JPH10107335A - 圧電アクチュエータ駆動回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電アクチュエータの駆動時の消費電力を低
減することが可能な圧電アクチュエータ駆動回路を提供
する。 【解決手段】 駆動回路２０は、スイッチＳ１〜Ｓ６の
ＯＮ，ＯＦＦを制御することにより、圧電アクチュエー
タ１を駆動するために圧電素子４を昇圧した際に充電さ
れた電荷を電荷回収用のコンデンサ２３に回収するよう
にして、その回収された電荷を、圧電アクチュエータ１
の次回の駆動時に利用することにより、スイッチＳ１が
ＯＮしたときのみ、駆動用電源２１から圧電素子４に充
電が行われて電力が消費される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マニピュレータや
微小位置制御装置などの各種機械的駆動用部材などに用
いられる圧電アクチュエータを駆動する圧電アクチュエ
ータ駆動回路に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】この様な圧電アクチュ
エータの動作原理を図９に示す。圧電アクチュエータ１
は、質量Ｍの移動体２，質量ｍ（＜Ｍ）の慣性体３及び
これらの移動体２及び慣性体３を結合する圧電素子４で
構成されており、移動体２のみが適当な摩擦係数を有す
るベース５に接して配置されている。

【０００３】図９（ａ）は、移動体２を右方向に移動さ
せる場合における圧電アクチュエータ１の状態と、圧電
素子４の端子電圧波形を示すものである。この図９
（ａ）において、圧電アクチュエータ１の駆動回路６
（図１０参照）は、初期状態から、圧電素子４に比較
的大きな時定数を以て充電を行い、端子電圧をＶ０にな
るまでゆっくりと上昇させる。すると、圧電素子４は遅
い速度でゆっくりと伸びるため、慣性体３のみが右方向
へ移動する（）。

【０００４】の状態から、圧電素子４に充電された電
荷を急速に放電させて端子電圧を低下させると圧電素子
４は急速に縮むので、慣性体３は左方向へ移動し、移動
体２は、この時与えられる加速度によって生じる力がベ
ース５に対する摩擦力よりも大きければ右方向へ移動す
る（）。以上の〜のプロセスを繰返すことによっ
て、移動体２は僅かずつ右方向に移動する。

【０００５】一方、図９（ｂ）は、移動体２を左方向に
移動させる場合を示すものである。図９（ｂ）におい
て、圧電アクチュエータ１の駆動回路６は、初期状態
から、圧電素子４に比較的小さな時定数を以て充電を行
い、端子電圧がＶ０になるまで急激に上昇させる。する
と、圧電素子４は急速に伸びるため、慣性体３は右方向
へ移動し、移動体２は、この時与えられる加速度によっ
て左方向へ移動する（）。

【０００６】の状態から、圧電素子４に充電された電
荷をゆっくりと放電させると圧電素子４はゆっくりと縮
むので、移動体２はそのままで、慣性体３のみが左方向
へ移動して初期状態に戻る（）。以上の〜のプロ
セスを繰返すことによって、移動体２は僅かずつ左方向
に移動する。

【０００７】図１０は、駆動回路６の構成を簡略化して
示すものである。駆動用電源７にはＰＮＰ形のトランジ
スタ８のエミッタが接続され、アースにはＮＰＮ形のト
ランジスタ９のエミッタが接続されており、両トランジ
スタ７及び８のコレクタは共通に接続されていると共
に、圧電素子（容量素子としてコンデンサで示す）４を
介してアースに接続されている。

【０００８】駆動回路６の制御回路１０は、トランジス
タ８及び９のベースに夫々ベース信号Ｓｃ及びＳｄを与
えて圧電素子４に対する充放電を図１１に示すように制
御することにより、図９に示した動作原理に基づき圧電
アクチュエータ１を駆動するようになっている。

【０００９】しかしながら、斯様な従来の駆動回路６に
おいては、圧電素子４の端子電圧を低下させる場合は、
圧電素子４に充電された電荷を、トランジスタ９を介し
て全てアースに放電させているため、圧電アクチュエー
タ１を駆動させる度に、駆動用電源７より同量の電荷を
供給する必要がある。従って、圧電アクチュエータ１の
容量が大きい程消費電力は大きくなり、特に、駆動用電
源７が電池であるなどの電源の供給状態が限定されてい
るような場合には、圧電アクチュエータ１の動作可能時
間が短くなってしまうという問題があった。

【００１０】本発明は上記課題を解決するものであり、
その目的は、圧電アクチュエータの駆動時の消費電力を
低減することが可能な圧電アクチュエータ駆動回路を提
供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の圧電アク
チュエータ駆動回路によれば、圧電素子に対して行う充
放電の端子電圧を少なくとも２通りに変化させて圧電ア
クチュエータを駆動する際に、圧電素子に充電された電
荷の一部を電荷回収用コンデンサに回収させたり、ま
た、圧電アクチュエータを駆動させる場合に、電荷回収
用コンデンサに蓄えられた電荷の一部を以て圧電素子に
充電させることが可能となる。従って、駆動用電源から
圧電素子に充電を行う場合の電荷量及び圧電素子から放
電経路に放電させる場合の電荷量を減少させて、消費電
力を低減させることができる。

【００１２】請求項２記載の圧電アクチュエータ駆動回
路によれば、制御手段により圧電素子の端子電圧の変化
を、異なる抵抗値を有する抵抗要素を切替え接続して抵
抗値を変化させ、充放電の時定数を変化させることによ
り行い、これによって圧電アクチュエータの駆動を行う
ことができる。

【００１３】請求項３記載の圧電アクチュエータ駆動回
路によれば、制御手段により圧電素子の端子電圧の変化
を、異なる電流値に設定された定電流要素を切替え接続
することにより設定して行い、これによって、圧電素子
に対する充放電を定電流で行うことができ、消費電力を
より低減することができる。

【００１４】請求項４記載の圧電アクチュエータ駆動回
路によれば、制御手段により、圧電素子に対する電荷回
収用コンデンサの通電経路にコイルを切替え接続するこ
とで、電荷回収用コンデンサから圧電素子に充電する電
荷量及び圧電素子から電荷回収用コンデンサに回収され
る電荷量をより多くすることができ、消費電力をより低
減することができる。

【００１５】請求項５記載の圧電アクチュエータ駆動回
路によれば、制御手段により圧電素子に対する電流経路
にダイオードを充電方向及び放電方向に夫々切替え接続
することで、圧電素子に対する充放電の切替え制御が容
易となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施例につい
て図１乃至図３を参照して説明する。尚、圧電アクチュ
エータ１の構成は図９に示したものと同様であり、本実
施例では、駆動回路６は駆動回路２０に置き換わってい
る。その駆動回路２０の要部の電気的構成を示す図１に
おいて、駆動用電源２１の負側端子はアースに接続され
ており、正側端子は、スイッチＳ１を介して母線２２に
接続されている。

【００１７】また、母線２２とアースとの間には、スイ
ッチＳ２とコンデンサ（電荷回収用コンデンサ，容量Ｃ
ｒ）２３との直列回路が接続されている。尚、コンデン
サ２３の容量Ｃｒは、圧電素子４の容量Ｃａに比較して
十分大きな値に設定されている。スイッチＳ３及び抵抗
値Ｒ１の抵抗（抵抗要素）２４の直列回路と、スイッチ
Ｓ４とは並列に接続されている。スイッチＳ３及びＳ４
の共通接続点は母線２２に接続されており、抵抗２４及
びスイッチＳ４の共通接続点は圧電素子（容量Ｃａ）４
の正側端子４ａに接続されている。

【００１８】スイッチＳ５及び抵抗値Ｒ１の抵抗（抵抗
要素）２５の直列回路と、スイッチＳ６とは並列に接続
されている。抵抗２５とスイッチＳ６との共通接続点は
圧電素子４の正側端子４ａに接続されており、スイッチ
Ｓ５及びＳ６の共通接続点はアースに接続されている。

【００１９】尚、上記した各スイッチＳ１〜Ｓ６は、例
えばアナログスイッチなどの双方向スイッチング素子か
らなるもので、図示しない制御回路から制御信号が与え
られてオンオフ制御が行われるようになっている。スイ
ッチＳ１〜Ｓ６並びに抵抗２４及び２５は制御手段２６
を構成しており、以上が駆動回路２０を構成している。

【００２０】次に、本実施例の作用について図２及び図
３をも参照して説明する。 （１）移動体２を右方向へ移動させる場合（図２参照） 初期状態として、スイッチＳ１〜Ｓ６は全てＯＦＦ状態
であり、コンデンサ２３は、その端子電圧が駆動用電源
２１の出力電圧Ｖ０の半分であるＶ０／２に充電されて
いるものとする。これは、以下に述べる動作を繰返すこ
とによって、コンデンサ２３が充放電を行うことにより
その端子電圧はＶ０／２に収束するからである。以下、
図中〜で示す各期間の動作に分けて説明する。

【００２１】上述の初期状態から、制御回路は、先
ず、スイッチＳ２及びＳ３を同時にＯＮさせて、コンデ
ンサ２３から抵抗２４を介して圧電素子４に充電を行
う。この場合の電荷の動きに基づいて微分方程式を立て
ると（１）式のようになる。

【数１】 ここで、電荷ｑは、コンデンサ２３に充電されている電
荷のうち、圧電素子４の充電動作で移動する電荷分であ
り、ｔは時間である。

【００２２】（１）式を、初期条件：ｔ＝０→ｑ＝０で
電荷ｑについて解き、圧電素子４の端子電圧Ｖａを表す
と（２）式となる。

【数２】 ここで、Ｃは、圧電素子４とコンデンサ２３とを直列に
接続した場合の合成容量であり、Ｃ＝ＣａＣｒ／（Ｃａ
＋Ｃｒ）である。この場合、Ｃａ＜＜Ｃｒであるから容
量Ｃの値はＣａに略等しくなるので、圧電素子４の端子
電圧Ｖａは時定数ＣａＲ１で充電され、定常状態（ｔ→
∞）で略Ｖ０／２となるように変化する。尚、コンデン
サ２３の電位は殆ど変化しない。

【００２３】次に、制御回路は、スイッチＳ１をＯ
Ｎ，スイッチＳ２をＯＦＦさせて、駆動用電源２１から
抵抗２４を介して圧電素子４に充電を行う。この場合の
充電電荷ｑの微分方程式は（３）式となり、

【数３】 （３）式を、初期条件：ｔ＝０→ｑ＝Ｃａ・（Ｖ０／
２）で電荷ｑについて解き、端子電圧Ｖａを表すと
（４）式となる。

【数４】 そして、圧電素子４の端子電圧ＶａはＶ０／２から時定
数ＣａＲ１で充電され、定常状態でＶ０となるように変
化する。

【００２４】次に、制御回路は、スイッチＳ１及びＳ
３をＯＦＦ，スイッチＳ２及びＳ４をＯＮさせて、圧電
素子４に充電されている電荷の一部を放電させてコンデ
ンサ２３に回収する。充電されている電荷の内回収され
る電荷をｑとし、このときの通電経路の抵抗要素の抵抗
値をＲ０とすると、微分方程式は（５）式となり、

【数５】 （５）式を、初期条件：ｔ＝０→ｑ＝０で電荷ｑについ
て解き、端子電圧Ｖａを表すと（６）式となる。

【数６】 この時、圧電素子４の端子電圧Ｖａは、充電電荷が充電
時よりも小さい時定数ＣＲ０で急速に放出されることに
より、コンデンサ２３の電位Ｖ０／２に等しくなるまで
変化する。

【００２５】最後に、制御回路は、スイッチＳ２及び
Ｓ４をＯＦＦにしてスイッチＳ６をＯＮにすることによ
り形成された放電経路によって、圧電素子４に残されて
いる電荷をアースに放電する。放電される電荷をｑとす
ると、微分方程式は（７）式となり、

【数７】 （７）式を、初期条件：ｔ＝０→ｑ＝Ｃａ・（Ｖ０／
２）で電荷ｑについて解き、端子電圧Ｖａを表すと
（８）式となる。

【数８】 ここで、Ｒ０′（Ｒ０に略等しい）は、圧電素子４から
アースに至る放電経路に存在する抵抗要素の抵抗値であ
る。この時、圧電素子４の端子電圧Ｖａは、最終的に０
となるように急速に変化する。そして、この後スイッチ
Ｓ６をＯＦＦにすると初期状態に戻る。

【００２６】以上の過程において、Ｃａ＜＜Ｃｒであ
り、Ｒ０，Ｒ０′＜＜Ｒ１であることから、充電時の時
定数は放電時の時定数に比して大きくなる。従って、図
２に示すような略鋸歯状波の波形（ゆっくり充電して急
速に放電する）を以て圧電素子４に対する充放電が行わ
れ、適当な周期で以上の過程を繰返すことによって、移
動体２は僅かずつ右方向へ移動する。

【００２７】（２）移動体２を左方向へ移動させる場合 この場合は、（１）の場合と充放電時の時定数の大小関
係が逆になるようにスイッチＳ１〜Ｓ６の接続を制御す
れば良い。即ち、 スイッチＳ２及びＳ４をＯＮにして圧電素子４を電位
Ｖ０／２まで時定数ＣａＲ０で充電した後、 スイッチＳ２をＯＦＦ，スイッチＳ１をＯＮして電位
Ｖ０まで時定数ＣＲ０で充電する。

【００２８】次に、スイッチＳ１及びＳ４をＯＦＦ，
スイッチＳ２及びＳ３をＯＮにして、圧電素子４の充電
電荷の一部を抵抗２４を介して時定数ＣＲ１でコンデン
サ２３に回収させた後、 スイッチＳ２及びＳ３をＯＦＦ，スイッチＳ５をＯＮ
にして、圧電素子４の残りの電荷を抵抗２５を介して時
定数ＣａＲ１でアースに放電させる。この場合は、図３
に示すような略鋸歯状波の波形（急速に充電してゆっく
り放電する）を以て圧電素子４に対する充放電が行われ
る。

【００２９】（１）及び（２）の何れの場合でも、コン
デンサ２３によって回収された圧電素子４の電荷は、圧
電アクチュエータ１の次回の駆動時において圧電素子４
の充電電荷として利用される。全体として消費される電
力は、スイッチＳ１がＯＮしたときに駆動用電源２１か
らの充電に利用される分である。

【００３０】以上のように本実施例によれば、駆動回路
２０は、スイッチＳ１〜Ｓ６のＯＮ，ＯＦＦを制御する
ことにより、圧電アクチュエータ１を駆動するために圧
電素子４を昇圧した際に充電された電荷を電荷回収用の
コンデンサ２３に回収するようにして、その回収された
電荷を、圧電アクチュエータ１の次回の駆動時に利用す
ることにより、スイッチＳ１がＯＮしたときに駆動用電
源２１から流れる電流で消費される電力を低減すること
ができる。

【００３１】図４は本発明の第２実施例を示すものであ
り、第１実施例と同一部分には同一符号を付して説明を
省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。第１実
施例における２つの抵抗２４及び２５は、夫々例えばト
ランジスタまたは定電流ダイオードなどから構成される
周知構成の定電流回路（定電流要素）２７及び２８に置
き換っている。また、スイッチＳ４及びＳ６と圧電素子
４の正側端子４ａとの間にも、定電流回路２７及び２８
よりも定電流値が大となるように設定されている定電流
回路（定電流要素）２９及び３０が設けられている。そ
の他の構成は第１実施例と同様である。尚、スイッチＳ
１〜Ｓ６及び定電流回路２７〜３０は、制御手段３１を
構成しており、以上が駆動回路３２を構成している。

【００３２】次に、第２実施例の作用について説明す
る。第１実施例と同様に、制御回路によりスイッチＳ１
〜Ｓ６の切替えを制御して圧電素子４に対して電圧の印
加及び放電を行うと、圧電素子４の端子電圧は、定電流
回路２７〜３０の作用により時間の経過と共に線形で上
昇，下降する。従って、第２実施例によれば、第１実施
例のように抵抗２４及び２５を用いて圧電素子４の端子
電圧を指数関数的に上昇，下降させる場合に比して、通
電初期の電流が大きくなるのを抑制することによって、
消費電力をより低減することができる。

【００３３】図５乃至図７は本発明の第３実施例を示す
ものであり、第１実施例と同一部分には同一符号を付し
て説明を省略し、以下異なる部分についてのみ説明す
る。電気的構成を示す図５において、第３実施例では、
スイッチＳ７とコイル３３との直列回路がスイッチＳ２
に対して並列に接続されており、第１実施例の制御手段
２６にスイッチＳ７及びコイル３３を加えたものが制御
手段３４を構成している。即ち、スイッチＳ２及びＳ７
を制御することにより、コンデンサ２３の通電経路にコ
イル３３が切替え接続可能となるように構成されてい
る。その他の構成は第１実施例と同様であり、以上が駆
動回路３５を構成している。

【００３４】次に、第３実施例の作用について図６及び
図７をも参照して説明する。 （１）移動体２を右方向に移動させる場合（図６参照） において、コンデンサ２３から圧電素子４に対して充
電を行う場合は、第１実施例のようにスイッチＳ２をＯ
Ｎする代わりに、スイッチＳ７をＯＮすることによりコ
イル３３を介して充電するようにする。斯様にすれば、
コイル３３に蓄えられる磁気エネルギによって、圧電素
子４の端子電圧を、コンデンサ２３の端子電圧Ｖ０／２
以上の電位に昇圧することができる。従って、コンデン
サ２３から圧電素子４により多くの電荷を充電し得る。

【００３５】（２）移動体２を右方向に移動させる場合
（図７参照） において、圧電素子４に充電された電荷をコンデンサ
２３に回収する場合に、第１実施例の場合のスイッチＳ
２に代えてスイッチＳ７をＯＮすることにより、コイル
３３を介して回収を行うようにする。斯様にすれば、圧
電素子４に充電された電荷を、圧電素子４の端子電圧が
コンデンサ２３の端子電圧Ｖ０／２以下の電位となるま
で回収することができるので、より多くの電荷をコンデ
ンサ２３に回収することが可能となる。

【００３６】以上のように第３実施例によれば、コンデ
ンサ２３から圧電素子４に対して充電を行う場合及び圧
電素子４からコンデンサ２３に電荷を回収する場合に、
コイル３３を介して行うようにしたので、より多くの電
荷を充電及び回収し得て、消費電力をより低減すること
ができる。

【００３７】また、図８は本発明の第４実施例を示すも
のであり、第３実施例と同一部分には同一符号を付して
説明を省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。
電気的構成を示す図８において、ダイオード３６及びス
イッチＳ８の直列回路とダイオード３７及びスイッチＳ
９の直列回路とが、ダイオード３６，３７が互いに逆極
性となるように並列に接続されている。そのスイッチＳ
８及びＳ９の共通接続点は抵抗２４及び２５の共通接続
点に接続され、ダイオード３６のカソード及びダイオー
ド３７のアノードは、圧電素子４の正側端子４ａに接続
されている。

【００３８】第３実施例の制御手段３４にダイオード３
６及び３７並びにスイッチＳ８及びＳ９を加えたものが
制御手段３８を構成しており、その他の構成は第３実施
例と同様である。即ち、スイッチＳ８及びＳ９を制御す
ることにより、圧電素子４に対する電流経路に、ダイオ
ード３６及び３７が充電及び放電方向に夫々切り替え接
続可能となるように構成されている。以上が駆動回路３
９を構成している。

【００３９】次に、第４実施例の作用について説明す
る。第３実施例においては、コイル３３を介すことによ
り、圧電素子４の端子電圧がコンデンサ２３の端子電圧
以上となるように充電させ、また、圧電素子４に充電さ
れた電荷をコンデンサ２３に回収する場合にも、圧電素
子４の端子電圧がコンデンサ２３の端子電圧以下の電位
となるまで回収することが可能である。

【００４０】しかしながら、この場合、圧電素子４の
充，放電時における電位をできるだけ上昇，下降させる
には、スイッチＳ７をＯＦＦさせるタイミングを非常に
厳しく設定しないと、ピークに達した電位が電荷の逆流
によって下降，上昇してしまう。従って、コイル３３を
設けたことによる効果を十分に奏し得ないことになる。

【００４１】そこで、第４実施例では、抵抗２４及び２
５の共通接続点と圧電素子４との間に、互いに逆極性と
なるように接続されたダイオード３６，３７を設けて、
スイッチＳ８及びＳ９のＯＮ，ＯＦＦを制御することに
より、コンデンサ２３に対する充，放電時の電流方向が
夫々一方向となるように制御する。

【００４２】よって、充，放電時において圧電素子４の
端子電圧がピークに達した後にスイッチＳ８，Ｓ９をＯ
ＦＦしても、充，放電電荷が逆流することがないので圧
電素子４の端子電圧のピークを維持することができる。
従って、コンデンサ２３から圧電素子４に更に多くの電
荷を充電し得ると共に、圧電素子４からコンデンサ２３
に更に多くの電荷を回収することができ、消費電力の低
減効果を一層高めることができる。

【００４３】本発明は上記しかつ図面に記載した実施例
にのみ限定されるものではなく、次のような変形または
拡張が可能である。第１実施例において、スイッチＳ４
及びＳ６の側に、抵抗値がＲ１より小なる抵抗素子を設
けても良い。スイッチＳ１〜Ｓ９は、アナログスイッチ
に限ること無く、リレーなどで構成しても良い。

【００４４】第１実施例において、制御手段２６に代え
て、例えば、圧電素子４の正側端子４ａに抵抗値がＲ
１，Ｒ０に相当する抵抗Ｒａ及びＲｂを接続し、それら
の抵抗Ｒａ及びＲｂと母線２２との接続を切替えるスイ
ッチ手段を設けると共に、このスイッチ手段に駆動用電
源２１，コンデンサ２３及びアースを選択的に接続する
２つのスイッチ手段を設ける構成としても良い。斯様に
構成すれば、２つのスイッチ手段の切替えを制御するこ
とにより、駆動用電源２１から圧電素子４に対する充
電，コンデンサ２３−圧電素子４間の充放電，圧電素子
４からアースへの放電を切替えることができると共に、
圧電素子４に対して行われる充放電の時定数を切替える
構成を簡単にすることができる。

【００４５】また、上記の２つのスイッチ手段を一体に
構成した、２端子／３端子の切替えが夫々可能な複合ス
イッチ手段を１個設ける構成としても良い。コンデンサ
２３の容量Ｃｒは、圧電素子４の容量Ｃａに対して十分
大きくなくとも、Ｃｒ＞Ｃａを満たすものであれば適宜
変更して良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例における駆動回路の要部の
電気的構成を示す図

【図２】移動体を右方向へ移動させる場合の各スイッチ
のＯＮ，ＯＦＦ制御及び圧電素子の端子電圧波形を示す
タイミングチャート

【図３】移動体を左方向へ移動させる場合の図２相当図

【図４】本発明の第２実施例を示す図１相当図

【図５】本発明の第３実施例を示す図１相当図

【図６】図２相当図

【図７】図３相当図

【図８】本発明の第４実施例を示す図１相当図

【図９】従来技術において、移動体を移動させる場合の
圧電アクチュエータの状態及び圧電素子の端子電圧波形
を原理的に示す図で、（ａ）は右方向，（ｂ）は左方向
への移動を示す

【図１０】図１相当図

【図１１】駆動回路によりトランジスタのベースに与え
るベース信号の波形図で、（ａ）は右方向，（ｂ）は左
方向へ移動体を移動させる場合を示す

【符号の説明】

１は圧電アクチュエータ、４は圧電素子、１６は制御手
段、２０は駆動回路、Ｓ１〜Ｓ９はスイッチ、２３はコ
ンデンサ（電荷回収用コンデンサ）、２４及び２５は抵
抗（抵抗要素）、２７〜３０は定電流回路（定電流要
素）、３１は制御手段、３２は駆動回路、３３はコイ
ル、３４は制御手段、３５は駆動回路、３６及び３７は
ダイオード、３８は制御手段、３９は駆動回路を示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 服部 正 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式会 社デンソー内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電素子に電圧を印加することにより生
   じる逆圧電効果を利用した圧電アクチュエータを駆動す
   る圧電アクチュエータ駆動回路において、 前記圧電素子に電圧を印加可能な駆動用電源と、 前記圧電素子の充電電荷を回収可能な電荷回収用コンデ
   ンサと、 前記圧電素子を前記駆動用電源または前記電荷回収用コ
   ンデンサ或いは放電用経路に選択的に接続可能で、その
   接続状態で当該圧電素子の端子電圧の変化を少なくとも
   ２通りに設定可能な制御手段とを具備したことを特徴と
   する圧電アクチュエータ駆動回路。
2. 【請求項２】 前記制御手段は、前記圧電素子の端子電
   圧の変化を、異なる抵抗値を有する抵抗要素を切替え接
   続することにより設定することを特徴とする請求項１記
   載の圧電アクチュエータ駆動回路。
3. 【請求項３】 前記制御手段は、前記圧電素子の端子電
   圧の変化を、異なる電流値に設定された定電流要素を切
   替え接続することにより設定することを特徴とする請求
   項１記載の圧電アクチュエータ駆動回路。
4. 【請求項４】 前記制御手段は、前記圧電素子に対する
   電荷回収用コンデンサの通電経路にコイルを切替え接続
   可能に備えていることを特徴とする請求項１または２記
   載の圧電アクチュエータ駆動回路。
5. 【請求項５】 前記制御手段は、前記圧電素子に対する
   電流経路に、ダイオードを充電方向及び放電方向に夫々
   切替え接続可能に備えていることを特徴とする請求項４
   記載の圧電アクチュエータ駆動回路。