JP5407250B2 - 角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 - Google Patents
角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 Download PDFInfo
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前記第1の導電膜、前記圧電膜及び前記第2の導電膜をそれぞれ所定の形状に形成することで、第1の電極、圧電材及び第2の電極が前記第1の部位上に形成され、また、前記第1の電極から延長されるように設けられた第1の配線が前記第2の部位上に形成される。
前記アーム部は、圧電材、第1及び第2の電極を有する。前記圧電材は、第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有し、前記第1の電極は前記第1の側に設けられ、前記第2の電極は前記第2の側に設けられる。
前記ベース部は、第1の配線レイヤーと、前記第1の配線レイヤイーとは異なるレイヤーに設けられた第2の配線レイヤーとを有する。前記第1の配線レイヤーは、前記第1の電極に接続された第1の配線を有し、前記第2の配線レイヤーは、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する。
本発明の別の形態に係る電子機器は、角速度センサ素子と、前記角速度センサ素子が実装される回路基板とを具備する角速度センサを搭載する。前記角速度センサ素子は、振動するアーム部と、前記アーム部を支持するベース部とを有する。
前記アーム部は、圧電材、第1及び第2の電極を有する。前記圧電材は、第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有し、前記第1の電極は前記第1の側に設けられ、前記第2の電極は前記第2の側に設けられる。
前記ベース部は、第1の配線レイヤーと、前記第1の配線レイヤイーとは異なるレイヤーに設けられた第2の配線レイヤーとを有する。前記第1の配線レイヤーは、前記第1の電極に接続された第1の配線を有し、前記第2の配線レイヤーは、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する。
3 下層導電膜、下層電極
3、3A、3B、3C 下層電極
3A、3C、52B 基準電極
3B、5A、5C 駆動電極
3’ 下層配線
4 圧電膜、圧電材
4、4A、4B、4C 圧電材
5" 上層導電膜、上層電極
5、5A、5B、5C、51B、52B、53B 上層電極
7 絶縁膜
10 アーム部
11 熱酸化膜
12 自励発振回路
13 演算回路
20 ベース部
30 アーム支持部
51B、53B 検出電極
55 上層配線
55’、55" パッド
75 ICチップ
90 基板
91 シリコン基板
92 シリコン基板
100、100A、100B 角速度センサ素子
200 角速度センサ
260 デジタルカメラ
261 機器本体
300 回路基板
510 制御部
520 光学系
530 CCD
540 補正機構
Claims (4)
- 第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有する圧電材と、前記第1の側に設けられた第1の電極と、前記第2の側に設けられた第2の電極とを有し、振動するアーム部と、
前記第1の電極と一体的に形成された第1の厚みでなる第1の配線を有する第1の配線レイヤーと、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する第2の配線レイヤーとを有し、前記アーム部を支持するベース部と、
前記第2の電極と前記第2の配線との接続部分において、前記第2の電極に対して前記第2の配線に接続される部分が露出するように設けられることで、前記第1の電極と前記第2の電極とを電気的に絶縁する第1の絶縁部と、
前記第1の厚みより大きい第2の厚みでなり、前記第1の配線を内包するようにかつ表面に前記第2の配線が形成されるように設けられることで、前記第1の配線レイヤーと前記第2の配線レイヤーとが互いに異なるように、前記第1の配線と前記第2の配線とを電気的に絶縁する第2の絶縁部と
を有する絶縁膜と
を具備する角速度センサ素子。 - 圧電駆動により振動するアーム部に対応する第1の部位と、前記アーム部を支持するベース部に対応する第2の部位とを有する基板上に、第1の厚みでなる第1の導電膜、圧電膜及び第2の導電膜を順に形成し、
前記第1の導電膜、前記圧電膜及び前記第2の導電膜をそれぞれ所定の形状に形成した後に前記第2の部位上の前記圧電膜を除去することで、第1の電極、圧電材及び第2の電極を前記第1の部位上に、及び、前記第1の電極に延長されるように一体的に設けられた前記第1の厚みでなる第1の配線を前記第2の部位上にそれぞれ形成し、
前記第1の配線上の前記圧電膜を除去した後、前記第1の部位上の前記第2の電極と前記第2の配線との接続部分において、前記第2の電極に対して前記第2の配線に接続される部分が露出するように、かつ、前記第2の部位上において前記第1の配線を内包するように前記第1の厚みより大きい第2の厚みでなる絶縁膜を形成し、
前記第1の部位上の前記第2の電極と接続させるように、前記絶縁膜上に第2の配線を形成する
角速度センサ素子の製造方法。 - 第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有する圧電材と、前記第1の側に設けられた第1の電極と、前記第2の側に設けられた第2の電極とを有し、振動するアーム部と、
前記第1の電極と一体的に形成された第1の厚みでなる第1の配線を有する第1の配線レイヤーと、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する第2の配線レイヤーとを有し、前記アーム部を支持するベース部と、
前記第2の電極と前記第2の配線との接続部分において、前記第2の電極に対して前記第2の配線に接続される部分が露出するように設けられることで、前記第1の電極と前記第2の電極とを電気的に絶縁する第1の絶縁部と、
前記第1の厚みより大きい第2の厚みでなり、前記第1の配線を内包するようにかつ表面に前記第2の配線が形成されるように設けられることで、前記第1の配線レイヤーと前記第2の配線レイヤーとが互いに異なるように、前記第1の配線と前記第2の配線とを電気的に絶縁する第2の絶縁部と
を有する絶縁膜と
を有する角速度センサ素子と、
前記角速度センサ素子が実装される回路基板と
を具備する角速度センサ。 - 第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有する圧電材と、前記第1の側に設けられた第1の電極と、前記第2の側に設けられた第2の電極とを有し、振動するアーム部と、
前記第1の電極と一体的に形成された第1の厚みでなる第1の配線を有する第1の配線レイヤーと、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する第2の配線レイヤーとを有し、前記アーム部を支持するベース部と、
前記第2の電極と前記第2の配線との接続部分において、前記第2の電極に対して前記第2の配線に接続される部分が露出するように設けられることで、前記第1の電極と前記第2の電極とを電気的に絶縁する第1の絶縁部と、
前記第1の厚みより大きい第2の厚みでなり、前記第1の配線を内包するようにかつ表面に前記第2の配線が形成されるように設けられることで、前記第1の配線レイヤーと前記第2の配線レイヤーとが互いに異なるように、前記第1の配線と前記第2の配線とを電気的に絶縁する第2の絶縁部と
を有する絶縁膜と
を有する角速度センサ素子と、
前記角速度センサ素子が実装される回路基板と
を具備する角速度センサを搭載した電子機器。
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JP2008245345A JP5407250B2 (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 |
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JP2008245345A JP5407250B2 (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 |
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JP2010078391A JP2010078391A (ja) | 2010-04-08 |
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