JP2010078391A - 角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 - Google Patents
角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010078391A JP2010078391A JP2008245345A JP2008245345A JP2010078391A JP 2010078391 A JP2010078391 A JP 2010078391A JP 2008245345 A JP2008245345 A JP 2008245345A JP 2008245345 A JP2008245345 A JP 2008245345A JP 2010078391 A JP2010078391 A JP 2010078391A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angular velocity
- velocity sensor
- wiring
- sensor element
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】アーム部10に含まれる複数の電極に接続された配線が、下層配線3’を有する配線レイヤーと、上層配線55を有する配線レイヤーとに分けられて、基板上のベース部20に設けられる。下層配線3’は下層電極に接続された配線であり、上層配線55は上層電極に接続された配線である。よって、上記複数の電極に接続された配線が同一面上に設置された場合と比べて、それぞれの配線レイヤーが有する下層配線3’のパターンにおける配線間の距離、及び、上層配線55のパターンにおける配線間の距離が大きくなる。したがって、角速度センサ素子100の小型化を実現しながら、配線間の短絡やリーク電流を防止することができる。
【選択図】図1
Description
前記第1の導電膜、前記圧電膜及び前記第2の導電膜をそれぞれ所定の形状に形成することで、第1の電極、圧電材及び第2の電極が前記第1の部位上に形成され、また、前記第1の電極から延長されるように設けられた第1の配線が前記第2の部位上に形成される。
前記アーム部は、圧電材、第1及び第2の電極を有する。前記圧電材は、第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有し、前記第1の電極は前記第1の側に設けられ、前記第2の電極は前記第2の側に設けられる。
前記ベース部は、第1の配線レイヤーと、前記第1の配線レイヤイーとは異なるレイヤーに設けられた第2の配線レイヤーとを有する。前記第1の配線レイヤーは、前記第1の電極に接続された第1の配線を有し、前記第2の配線レイヤーは、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する。
本発明の別の形態に係る電子機器は、角速度センサ素子と、前記角速度センサ素子が実装される回路基板とを具備する角速度センサを搭載する。前記角速度センサ素子は、振動するアーム部と、前記アーム部を支持するベース部とを有する。
前記アーム部は、圧電材、第1及び第2の電極を有する。前記圧電材は、第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有し、前記第1の電極は前記第1の側に設けられ、前記第2の電極は前記第2の側に設けられる。
前記ベース部は、第1の配線レイヤーと、前記第1の配線レイヤイーとは異なるレイヤーに設けられた第2の配線レイヤーとを有する。前記第1の配線レイヤーは、前記第1の電極に接続された第1の配線を有し、前記第2の配線レイヤーは、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する。
3 下層導電膜、下層電極
3、3A、3B、3C 下層電極
3A、3C、52B 基準電極
3B、5A、5C 駆動電極
3’ 下層配線
4 圧電膜、圧電材
4、4A、4B、4C 圧電材
5" 上層導電膜、上層電極
5、5A、5B、5C、51B、52B、53B 上層電極
7 絶縁膜
10 アーム部
11 熱酸化膜
12 自励発振回路
13 演算回路
20 ベース部
30 アーム支持部
51B、53B 検出電極
55 上層配線
55’、55" パッド
75 ICチップ
90 基板
91 シリコン基板
92 シリコン基板
100、100A、100B 角速度センサ素子
200 角速度センサ
260 デジタルカメラ
261 機器本体
300 回路基板
510 制御部
520 光学系
530 CCD
540 補正機構
Claims (9)
- 第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有する圧電材と、前記第1の側に設けられた第1の電極と、前記第2の側に設けられた第2の電極とを有し、振動するアーム部と、
前記第1の電極に接続された第1の配線を有する第1の配線レイヤーと、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する前記第1の配線レイヤーとは異なる第2の配線レイヤーとを有し、前記アーム部を支持するベース部と
を具備する角速度センサ素子。 - 請求項1に記載の角速度センサ素子であって、
前記第1の配線は、第1の厚みでなり、
前記角速度センサ素子は、少なくとも前記第1の配線と前記第2の配線とを電気的に絶縁する、第1の厚みより大きい第2の厚みでなる絶縁膜をさらに具備し、
前記第2の配線は、前記絶縁膜上に形成されている角速度センサ素子。 - 請求項1に記載の角速度センサ素子であって、
前記第1の配線は、第1の材質を含み、
前記第2の配線は、前記第1の材質とは異なる第2の材質を含む角速度センサ素子。 - 請求項1に記載の角速度センサ素子であって、
前記アーム部は、前記圧電材、前記第1の電極及び前記第2の電極をそれぞれ有する複数のアームを有し、前記複数のアームが並ぶ方向に第1の幅で形成され、
前記ベース部は、前記アーム部を支持する、前記第1の幅より小さい第2の幅で形成されるアーム支持部を有する角速度センサ素子。 - 圧電駆動により振動するアーム部に対応する第1の部位と、前記アーム部を支持するベース部に対応する第2の部位とを有する基板上に、第1の導電膜、圧電膜及び第2の導電膜を順に形成し、
前記第1の導電膜、前記圧電膜及び前記第2の導電膜をそれぞれ所定の形状に形成することで、第1の電極、圧電材及び第2の電極を前記第1の部位上に、及び、前記第1の電極に延長されるように設けられた第1の配線を前記第2の部位上にそれぞれ形成する
角速度センサ素子の製造方法。 - 請求項5に記載の角速度センサ素子の製造方法であって、
前記第1の配線は、前記第2の部位上の前記圧電膜をエッチングすることにより形成される角速度センサ素子の製造方法。 - 請求項5に記載の角速度センサ素子の製造方法であって、
前記第1の配線上の前記圧電膜を除去した後、さらに、
前記第2の部位上に絶縁膜を形成し、
前記第1の部位上の前記第2の電極と接続させるように、前記絶縁膜上に第2の配線を形成する角速度センサ素子の製造方法。 - 角速度センサ素子であって、第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有する圧電材と、前記第1の側に設けられた第1の電極と、前記第2の側に設けられた第2の電極とを有し、振動するアーム部と、前記アーム部を支持するベース部であって、前記第1の電極に接続された第1の配線を有する第1の配線レイヤーと、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する、前記第1の配線レイヤーとは異なる第2の配線レイヤーとを有するベース部とを含む角速度センサ素子と、
前記角速度センサ素子が実装される回路基板と
を具備する角速度センサ。 - 角速度センサ素子であって、第1の側と、前記第1の側とは反対側の第2の側とを有する圧電材と、前記第1の側に設けられた第1の電極と、前記第2の側に設けられた第2の電極とを有し、振動するアーム部と、前記アーム部を支持するベース部であって、前記第1の電極に接続された第1の配線を有する第1の配線レイヤーと、前記第2の電極に接続された第2の配線を有する、前記第1の配線レイヤーとは異なる第2の配線レイヤーとを有するベース部とを含む角速度センサ素子と、
前記角速度センサ素子が実装される回路基板と
を具備する角速度センサを搭載した電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008245345A JP5407250B2 (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008245345A JP5407250B2 (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010078391A true JP2010078391A (ja) | 2010-04-08 |
JP5407250B2 JP5407250B2 (ja) | 2014-02-05 |
Family
ID=42209021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008245345A Expired - Fee Related JP5407250B2 (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5407250B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013108889A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Rohm Co Ltd | 角速度検出装置およびその製造方法 |
JP5903667B2 (ja) * | 2010-11-18 | 2016-04-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 慣性力センサ |
WO2016075942A1 (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-19 | 株式会社デンソー | 力学量センサ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003302222A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法 |
WO2004015370A1 (ja) * | 2002-08-07 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ |
JP2005249395A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2008082850A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Sony Corp | 振動素子及びその製造方法 |
JP2009216658A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Alps Electric Co Ltd | ジャイロセンサの製造方法 |
-
2008
- 2008-09-25 JP JP2008245345A patent/JP5407250B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003302222A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜微小機械式共振子ジャイロの製造方法 |
WO2004015370A1 (ja) * | 2002-08-07 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ |
JP2005249395A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2008082850A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Sony Corp | 振動素子及びその製造方法 |
JP2009216658A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Alps Electric Co Ltd | ジャイロセンサの製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5903667B2 (ja) * | 2010-11-18 | 2016-04-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 慣性力センサ |
JP2013108889A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Rohm Co Ltd | 角速度検出装置およびその製造方法 |
WO2016075942A1 (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-19 | 株式会社デンソー | 力学量センサ |
JP2016095201A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-26 | 株式会社デンソー | 力学量センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5407250B2 (ja) | 2014-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7583012B2 (en) | Piezoelectric element and method for manufacturing piezoelectric element | |
US7830074B2 (en) | Integrated quartz oscillator on an active electronic substrate | |
WO2007061047A1 (ja) | ウェハレベルパッケージ構造体およびその製造方法 | |
TW201340429A (zh) | 壓電元件和其製造方法以及電子元件製造方法 | |
WO2004015370A1 (ja) | 角速度センサ | |
JP4640459B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2013002938A (ja) | センサーデバイス、およびその製造方法 | |
JP5407250B2 (ja) | 角速度センサ素子、角速度センサ素子の製造方法、角速度センサ及び電子機器 | |
JP6572892B2 (ja) | ジャイロセンサおよび電子機器 | |
JP5030135B2 (ja) | 圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロ | |
JP2008082850A (ja) | 振動素子及びその製造方法 | |
JP2008224628A (ja) | 角速度センサ及び電子機器 | |
JP2006186376A (ja) | Mems素子パッケージおよびその製造方法。 | |
JP2007024810A (ja) | 角速度センサ素子およびその製造方法 | |
US8100011B2 (en) | Piezoelectric device, oscillation type gyro sensor, electronic device, and method of manufacturing piezoelectric device | |
JP5903667B2 (ja) | 慣性力センサ | |
JP2007263765A (ja) | ウェハレベルパッケージ構造体およびセンサ装置 | |
US20070035016A1 (en) | Semiconductor device | |
US9231182B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP5743383B2 (ja) | 圧電素子及び圧電装置の製造方法 | |
JP4457642B2 (ja) | 半導体装置、およびその製造方法 | |
KR20150026805A (ko) | 진동 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2010043870A (ja) | 角速度センサ素子、角速度センサ及び電子機器 | |
WO2015198536A1 (ja) | 角速度センサ | |
JP2014173871A (ja) | 圧電素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121113 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131008 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131021 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |