JP2012233198A - ポリアミック酸及び非熱可塑性ポリイミド樹脂 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及び2,3,2',3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類のビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、(B)ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、及び1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類の直鎖状酸二無水物と、(C)2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル及び/又はp−フェニレンジアミンと、(D)1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、及び3,4'−ジアミノジフェニルエーテルから選ばれる少なくとも1種類のジアミン成分と、を重合させて得られるポリアミック酸。
【選択図】なし
Description
特許文献2には、ポリイミドフィルムと熱可塑性のポリイミド系接着剤から構成されるポリイミド接着シートが開示されている。
特許文献3には、導体層と接する絶縁樹脂層に高耐熱性のポリイミド樹脂を用いた積層体が開示されている。
さらに、特許文献5には、熱圧着性多層ポリイミドフィルムからなる銅張積層板が開示されている。
また、特許文献4に開示されたフレキシブル金属積層体の絶縁樹脂層は非熱可塑性のポリイミドフィルムと熱圧着可能なポリイミド(例えば、TPI)を積層一体化させているため、高温加工性に劣る。
さらに、特許文献5に開示された熱圧着性多層ポリイミドフィルムにおいても、TPIを使用しているため高温加工性に劣る。
[1]
(A)3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及び2,3,2',3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類のビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、
(B)ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、及び1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類の直鎖状酸二無水物と、
(C)2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル及び/又はp−フェニレンジアミンと、
(D)1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、及び3,4'−ジアミノジフェニルエーテルから選ばれる少なくとも1種類のジアミン成分と、を重合させて得られるポリアミック酸。
[2]
前記(A)が70〜95モル%、前記(B)が5〜30モル%、前記(C)が70〜95モル%、前記(D)が5〜30モル%である、前記[1]に記載のポリアミック酸。
[3]
前記[1]又は[2]に記載のポリアミック酸を含有する、非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
[4]
N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチル−2−ピロリドンからなる群から選ばれる溶剤をさらに含有する、前記[3]に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
[5]
前記溶剤が80〜90質量%である、前記[4]に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
[6]
前記N,N−ジメチルアセトアミドが65〜90質量%、前記N−メチル−2−ピロリドンが10〜35質量%である、前記[4]又は[5]に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
[7]
2層フレキシブル金属積層板用樹脂組成物である、前記[3]〜[6]のいずれか一項に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
[8]
前記[1]若しくは[2]に記載のポリアミック酸又は前記[3]〜[7]のいずれか一項に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を縮合させて得られる非熱可塑性ポリイミド樹脂。
[9]
前記[1]若しくは[2]に記載のポリアミック酸又は前記[3]〜[7]のいずれか一項に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物からなる2層フレキシブル金属積層板。
[10]
前記[8]に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂からなる2層フレキシブル金属積層板。
[11]
前記[9]又は[10]に記載の2層フレキシブル金属積層板からなるプリント配線板。
[12]
N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチル−2−ピロリドンからなる群から選ばれる溶剤中で、
(A)3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及び2,3,2',3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類のビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、
(B)ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、及び1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類の直鎖状酸二無水物と、
(C)2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル及び/又はp−フェニレンジアミンと、
(D)1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、3,4'−ジアミノジフェニルエーテルから選ばれる少なくとも1種類のジアミン成分と、を反応させて非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を得る工程、
前記非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を金属箔に塗布する工程、
前記金属箔に塗布された前記非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を乾燥する工程、
330〜400℃まで昇温する工程、を含む2層フレキシブル金属積層板の製造方法。
[13]
前記昇温する工程において、40℃/時間以下で昇温する、前記[12]に記載の製造方法。
[14]
昇温後、330〜400℃で、1.0時間以上加温する工程をさらに含む、前記[12]又は[13]に記載の製造方法。
(A)3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及び2,3,2',3'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類のビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、
(B)ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、及び1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類の直鎖状酸二無水物と、
(C)2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル及び/又はp−フェニレンジアミンと、
(D)1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、及び3,4'−ジアミノジフェニルエーテルから選ばれる少なくとも1種類のジアミン成分と、を重合させて得られるポリアミック酸である。
本発明の非熱可塑性ポリイミド樹脂は、上記ポリアミック酸を縮合させて得られる非熱可塑性ポリイミド樹脂である。
本発明において、「熱可塑性ポリイミド樹脂」とは、ガラス転移温度(Tg)以上で加熱すると軟化し、かつTg以上における弾性率が著しく低下する樹脂をいう。
熱可塑性樹脂は、Tg以上で加熱すると軟化することから軟化点温度を有する樹脂である。
本発明において、「熱硬化性樹脂」とは、ガラス転移温度(Tg)以上で加熱すると硬化し、弾性率が低下しない樹脂をいう。
DMA(動的粘弾性測定)により、非熱可塑性樹脂であることを確認することができる。例示として、図1に示すように、熱可塑性樹脂では、温度上昇と共に、弾性率が極端に低下するのに対し、非熱可塑性樹脂では、弾性率が緩やかに低下することから熱可塑性樹脂又は非熱可塑性樹脂であることを確認することができる。
また、熱硬化性樹脂では、温度上昇により弾性率は低下しないことから熱硬化性樹脂と非熱可塑性樹脂とを確認することができる。
ここで、図1に例示したDMAは、レオメトリック・サイエンティフィック社製の動的粘弾性測定装置RSAII用いて、10℃/分で昇温させたときの弾性率を測定したものである。
これら(A)成分の酸無水物モノマーは、単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(A)成分としては、高接着性、入手容易性の観点で、3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物であることが好ましい。
これら(B)成分の酸無水物モノマーは、単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(B)成分としては、高耐熱性、入手容易性の観点で、ピロメリット酸二無水物であることが好ましい。
これら(C)成分のジアミンモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(C)成分としては、高耐熱性の観点で、p−フェニレンジアミンであることが好ましい。
これら(D)成分のジアミンモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(D)成分として、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンを用いると、メタ結合を分子内に有するため、パラ結合を分子内に有するジアミン化合物を用いるよりも重合体として柔軟性が増すと考えられ、レジストとの接着性に優れる2層フレキシブル金属積層板とすることができる。
レジストとの接着性に優れることにより、加工時及び最終製品状態において、レジストの剥離等がなく、金属配線への負荷を低減することできる。
また、(A)成分の含有量が、酸無水物モノマーに対して、70〜95モル%の範囲内であることにより、非熱可塑性ポリイミド樹脂自体の柔軟性が増し、接着性が向上する。
(A)成分の含有量は、[(A)成分のモル数]/[酸無水物モノマーのモル数]×100として求めることができ、(B)成分の含有量は、[(B)成分のモル数]/[酸無水物モノマーのモル数]×100として求めることができる。
ここで、酸無水物モノマーのモル数は、(A)成分のモル数と(B)成分のモル数の和として求めることができる。
また、(C)成分の含有量が、ジアミンモノマーに対して、70〜95モル%の範囲内であることにより、耐熱性が向上し、非熱可塑性ポリイミド樹脂自体のCTEが金属箔のCTEに近づくため寸法安定性が向上する。
(C)成分の含有量は、[(C)成分のモル数]/[ジアミンモノマーのモル数]×100として求めることができ、(D)成分の含有量は、[(D)成分のモル数]/[ジアミンモノマーのモル数]×100として求めることができる。
ここで、ジアミンモノマーのモル数は、(C)成分のモル数と(D)成分のモル数の和として求めることができる。
非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物は、ポリアミック酸と、溶剤とを含んでいてもよい。
溶剤としては、N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチル−2−ピロリドンからなる群から選ばれる溶剤であることが好ましい。
溶剤の量が80〜90質量%であることにより、塗布性に優れたワニス粘度にすることができる。
本発明において、「全量」とは、非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物における固形品と溶解品との質量の合計をいう。「固形品」とは固形そのものをいい、「溶解品」とは固形品が溶剤に溶解して溶解状態となっているものをいう。
質量 溶剤の量は、(溶剤の質量)/(非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物の全量の質量)×100として求めることができる。
溶剤として、N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチル−2−ピロリドンの混合溶媒とする場合のN,N−ジメチルアセトアミドの含有量は、(N,N−ジメチルアセトアミドの質量)/(混合溶剤の質量)×100として求めることができ、N−メチル−2−ピロリドンの含有量は、(N−メチル−2−ピロリドンの質量)/(混合溶剤の質量)×100として求めることができる。
本発明の2層フレキシブル金属積層板は、ポリアミック酸が縮合した非熱可塑性ポリイミド樹脂からなることにより、寸法安定性が良好であり、加工時、及び最終製品状態において、金属配線の剥離等が減少するため、製品寿命向上する。
また、非熱可塑性ポリイミド樹脂が耐熱性を有するため、加工温度が高温であっても対応可能であり、温度を下げずに加工が可能となる。これにより、加工時間の短縮が可能となる。さらに、配線形成、半導体素子実装等の加工性・歩留りが向上した2層フレキシブル金属積層板とすることができる。
N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチル−2−ピロリドンからなる群から選択される溶剤中で、
(A)3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及び2,3,2',3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類のビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、
(B)ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、及び1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類の直鎖状酸二無水物と、
(C)2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル及び/又はp−フェニレンジアミンと、
(D)1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、及び3,4'−ジアミノジフェニルエーテルから選ばれる少なくとも1種類のジアミン成分と、を反応させて非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を得る工程、
前記非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を金属箔に塗布する工程、
前記金属箔に塗布された前記非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を乾燥する工程、
330〜400℃まで昇温する工程、を含む2層フレキシブル金属積層板の製造方法である。
本発明においては、ジアミンモノマーを溶解させずに分散状態で酸無水物モノマーを添加してもよく、溶剤に酸無水物モノマーを添加後、溶解又は分散させた状態でジアミンモノマーを添加してもよい。その後、室温下で、0.5時間以上撹拌することにより、ポリアミック酸を得ることができる。
撹拌温度の範囲が−10℃〜溶剤沸点の範囲であり、攪拌時間が0.5時間以上である場合も、本発明のポリアミック酸を得ることができる。
本発明において、金属箔としては、銅箔、SUS箔、アルミ箔等が挙げられ、導電性、回路加工性の観点で、銅箔などが好ましい。また、金属箔を使用する場合は、亜鉛メッキ、クロムメッキ等による無機表面処理、シランカップリング剤等による有機表面処理を施してもよい。
塗布・乾燥工程後の残存溶剤量はポリアミック酸100質量%に対し、50質量%以下にしておくことが好ましい。
本発明の2層フレキシブル金属積層板の製造方法としては、前記昇温後、330〜400℃で、1.0時間以上加温する工程をさらに含む製造方法であることが好ましい。
本発明の2層フレキシブル金属積層板は、金属箔に非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物をキャストして得られる金属層と非熱可塑性ポリイミド樹脂層(ポリイミドフィルム)からなるフレキシブル金属積層板であり、非熱可塑性ポリイミド樹脂層の厚みは、2〜50μmであることが好ましく、5〜30μmであることがより好ましい。
レジストとしては、金属箔回路を被覆するものであれば、限定するものではなく、液状レジスト、ドライフィルムレジスト等が挙げられる。
CTEは、以下の実施例に記載の方法により測定することができる。
Tgは、以下の実施例に記載の方法により測定することができる。
引き剥がし強度(銅箔)は、以下の実施例に記載の方法により測定することができる。
引き剥がし強度(レジスト)は、以下の実施例に記載の方法により測定することができる。
(A)成分
BPDA:3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(宇部興産製)
(B)成分
PMDA:ピロメリット酸二無水物(ダイセル化学工業製)
(C)成分
p−PDA:p−フェニレンジアミン(関東化学製)
m−TB:2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル(和歌山精化製)
(D)成分
TPE−R:1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(和歌山精化製)
APB:1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(東京化成工業製)
その他
4,4'−DAPE:4,4'−ジアミノジフェニルエーテル(和歌山精化製)
溶剤
DMAc:N,N−ジメチルアセトアミド(関東化学製)
NMP:N−メチル−2−ピロリドン(関東化学製)
実施例及び比較例で得られた2層フレキシブル金属積層板の銅箔をエッチングすることにより得られるポリイミドフィルムを用いた。
CTEは、島津製作所製の熱機械分析装置TMA−60を用い、サンプルサイズを幅5mm、長さ15mmとし、荷重5g、10℃/minの昇温速度で加熱した際の100℃から200℃までの寸法変化から求めた。
実施例及び比較例で得られた2層フレキシブル金属積層板の銅箔をエッチングすることにより得られるポリイミドフィルムを用いた。
Tgは、レオメトリック・サイエンティフィック社製の動的粘弾性測定装置RSAIIを用いて、10℃/minで昇温させたときの動的粘弾性を測定し、tanδの極大値からTgを求めた。
実施例及び比較例で得られた2層フレキシブル金属積層板の銅箔を3mm幅にパターンエッチングした試料をJIS C 6471の8.1項に準じて測定した。
島津製作所製のEZ−TESTを用い、常温下、テストスピード50mm/minで180度方向に銅箔を引き剥がしその強度を測定した。
実施例及び比較例で得られた2層フレキシブル金属積層板の銅箔を所定の形状にエッチングして得られたエッチング面にドライレジストフィルムであるニチゴー・モートン製DM−140を60℃、1MPaでラミネートし、積算光量50mJ/cm2でUV露光後、1.0%炭酸カルシウム水溶液を用い、30℃、0.15MPa、30秒で現像し、さらに積算光量4000mJ/cm2でUV硬化、150℃で1時間熱硬化することで回路を作製した。
次いで、厚さ2mmのアルミ板とレジスト面との間に有沢製作所製ボンディングシートAAC25KAを挟み込み、5.9MPa、160℃、30minの条件で接着したものを測定サンプルとした。
該測定サンプルを島津製作所製のEZ−TESTを用い、常温下、テストスピード50mm/minで90度方向にポリイミドフィルムを引き剥がし測定した。
実施例及び比較例で得られた2層フレキシブル金属積層板をエッチングして得られたポリイミドフィルムを10cm角に切り出し、四隅の浮き量の平均値をフィルムカールとして測定した。
浮き量の平均値が5mm以下の場合を○、5〜15mmの場合を△、15mm以上の場合を×とした。
500LのフラスコにDMAc 178.5gとNMP 76.5gを加えた。次いで、(C)成分としてp−PDA 10.7g(0.099mol)及び(D)成分としてTPE−R 3.2g(0.011mol)を添加後、30℃で撹拌して、DMAcとNMPの混合溶剤にp−PDAとTPE−Rのジアミン成分を溶解させた。
得られた溶液に、(A)成分としてBPDA 28.9g(0.098mol)及び(B)成分としてPMDA 2.4g(0.011mol)を徐々に添加した。
その後、室温下で10時間撹拌することによりポリアミック酸溶液を得た。
得られたポリアミック酸溶液を銅箔(日鉱金属製BHY-22B-T-18μm)の粗化処理面にイミド化後の樹脂層厚さが25μmになるようにバーコーターを用いて塗布し、130℃で10分間で乾燥させた。
ポリアミック酸溶液を塗布し乾燥した銅箔を、室温まで冷却後、昇温速度25℃/時間で360℃(物温)まで加熱した。360℃で2時間保持後、室温まで自然冷却し、2層フレキシブル金属積層板を得た。DMAの測定結果を図1に示す。また、上記(1)〜(5)の評価結果を表1に示す。
表1に記載した(A)〜(D)成分、溶剤、及び製造条件に変更した以外は、実施例1と同様にして、2層フレキシブル金属積層板を得た。上記(1)〜(5)の評価結果を表1に示す。
[比較例1]
500LのフラスコにDMAc 191.3gとNMP 63.8gを加えた。次いで、ジアミンモノマーとして、TPE−R 22.5g(0.077mol)を添加後、室温で撹拌して、DMAcとNMPの混合溶剤にジアミンモノマーを溶解させた。
得られた溶液に、酸無水物モノマーとして、BPDA 22.5g(0.076mol)を徐々に添加した。
その後、室温下で10時間撹拌することによりポリアミック酸溶液を得た。得られたポリアミック酸溶液を銅箔(日鉱金属製BHY-22B-T-18μm)の粗化処理面にイミド化後の樹脂層厚さが25μmになるようにバーコーターを用いて塗布し、130℃で10分間で乾燥させた。ポリアミック酸溶液を塗布し乾燥した銅箔を、室温まで冷却後、昇温速度25℃/時間で360℃(物温)まで加熱した。360℃で2時間保持後、室温まで自然冷却し、2層フレキシブル金属積層板を得た。DMAの測定結果を図1に示す。上記(1)〜(5)の評価結果を表2に示す。
表2に記載した成分、溶剤、及び製造条件を変更した以外は、比較例1と同様にして、2層フレキシブル金属積層板を得た。上記(1)〜(5)の評価結果を表2に示す。
Claims (14)
- (A)3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及び2,3,2',3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類のビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、
(B)ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、及び1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類の直鎖状酸二無水物と、
(C)2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル及び/又はp−フェニレンジアミンと、
(D)1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、及び3,4'−ジアミノジフェニルエーテルから選ばれる少なくとも1種類のジアミン成分と、を重合させて得られるポリアミック酸。 - 前記(A)が70〜95モル%、前記(B)が5〜30モル%、前記(C)が70〜95モル%、前記(D)が5〜30モル%である、請求項1に記載のポリアミック酸。
- 請求項1又は2に記載のポリアミック酸を含有する、非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
- N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチル−2−ピロリドンからなる群から選ばれる溶剤をさらに含有する、請求項3に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
- 前記溶剤が80〜90質量%である、請求項4に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
- 前記N,N−ジメチルアセトアミドが65〜90質量%、前記N−メチル−2−ピロリドンが10〜35質量%である、請求項4又は5に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
- 2層フレキシブル金属積層板用樹脂組成物である、請求項3〜6のいずれか一項に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物。
- 請求項1若しくは2に記載のポリアミック酸又は請求項3〜7のいずれか一項に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を縮合させて得られる非熱可塑性ポリイミド樹脂。
- 請求項1若しくは2に記載のポリアミック酸又は請求項3〜7のいずれか一項に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物からなる2層フレキシブル金属積層板。
- 請求項8に記載の非熱可塑性ポリイミド樹脂からなる2層フレキシブル金属積層板。
- 請求項9又は10に記載の2層フレキシブル金属積層板からなるプリント配線板。
- N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチル−2−ピロリドンからなる群から選ばれる溶剤中で、
(A)3,4,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、及び2,3,2',3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類のビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、
(B)ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、及び1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種類の直鎖状酸二無水物と、
(C)2,2'−ジメチル−4,4'−ジアミノビフェニル及び/又はp−フェニレンジアミンと、
(D)1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3'−ジアミノジフェニルエーテル、3,4'−ジアミノジフェニルエーテルから選ばれる少なくとも1種類のジアミン成分と、を反応させて非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を得る工程、
前記非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を金属箔に塗布する工程、
前記金属箔に塗布された前記非熱可塑性ポリイミド樹脂用組成物を乾燥する工程、
330〜400℃まで昇温する工程、を含む2層フレキシブル金属積層板の製造方法。 - 前記昇温する工程において、40℃/時間以下で昇温する、請求項12に記載の製造方法。
- 昇温後、330〜400℃で、1.0時間以上加温する工程をさらに含む、請求項12又は13に記載の製造方法。
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