JP2012218098A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5842369B2 (ja) * 2011-04-11 2016-01-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーターの製造方法、光スキャナーの製造方法および画像形成装置の製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP6585147B2 (ja) * 2017-12-01 2019-10-02 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
EP3628964B1 (de) * 2018-09-28 2024-02-14 Hexagon Technology Center GmbH Opto-elektro-mechanisches strahlmanipulationssystem
JP7263878B2 (ja) * 2019-03-27 2023-04-25 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、三次元計測装置およびロボットシステム
JP2021051222A (ja) * 2019-09-25 2021-04-01 日本電産株式会社 光学素子および光走査装置
JP2021051219A (ja) 2019-09-25 2021-04-01 日本電産株式会社 光学素子および光走査装置
JP7587994B2 (ja) * 2021-01-28 2024-11-21 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータデバイスの製造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4317611A (en) * 1980-05-19 1982-03-02 International Business Machines Corporation Optical ray deflection apparatus
DE69102590T2 (de) * 1990-05-18 1994-10-06 British Aerospace Trägheitssensoren.
JP3164742B2 (ja) * 1994-11-09 2001-05-08 株式会社東芝 光走査装置
US20010046346A1 (en) * 1999-08-02 2001-11-29 Brent E. Burns Micromachined structure for opto-mechanical micro-switch
JP4602542B2 (ja) * 2000-12-18 2010-12-22 オリンパス株式会社 光偏向器用のミラー揺動体
JP2002321196A (ja) * 2001-02-22 2002-11-05 Canon Inc マイクロ構造体、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ光偏向器、光走査型ディスプレイ、及びそれらの製造方法
US6831765B2 (en) * 2001-02-22 2004-12-14 Canon Kabushiki Kaisha Tiltable-body apparatus, and method of fabricating the same
JP3919616B2 (ja) * 2002-07-05 2007-05-30 キヤノン株式会社 マイクロ構造体及びその製造方法
JP2007316443A (ja) * 2006-05-26 2007-12-06 Canon Inc 光偏向器、及びそれを用いた光学機器
JP5521359B2 (ja) * 2008-03-13 2014-06-11 セイコーエプソン株式会社 光偏向器及びその製造方法
JP2009294458A (ja) * 2008-06-05 2009-12-17 Brother Ind Ltd 光スキャナ
JP5655365B2 (ja) * 2009-08-04 2015-01-21 セイコーエプソン株式会社 光偏向器、光偏向器の製造方法および画像表示装置
JP5842356B2 (ja) * 2011-03-24 2016-01-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置

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