JP2012156978A5 - - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011128193A JP2012156978A (ja) | 2011-01-05 | 2011-06-08 | Ａｔカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 |
| CN2011104251679A CN102594281A (zh) | 2011-01-05 | 2011-12-16 | At切割的水晶振动片、水晶装置及水晶振动片的制造方法 |
| US13/334,640 US8779652B2 (en) | 2011-01-05 | 2011-12-22 | At-cut quartz-crystal vibrating pieces and devices, and methods for manufacturing same |
| TW100149387A TW201230675A (en) | 2011-01-05 | 2011-12-29 | Quartz crystal vibrating piece, quartz crystal device, and manufacturing method of quartz crystal vibrating piece |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011000630 | 2011-01-05 | ||
| JP2011000630 | 2011-01-05 | ||
| JP2011128193A JP2012156978A (ja) | 2011-01-05 | 2011-06-08 | Ａｔカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012156978A JP2012156978A (ja) | 2012-08-16 |
| JP2012156978A5 true JP2012156978A5 (enExample) | 2014-07-17 |
Family
ID=46380135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011128193A Pending JP2012156978A (ja) | 2011-01-05 | 2011-06-08 | Ａｔカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8779652B2 (enExample) |
| JP (1) | JP2012156978A (enExample) |
| CN (1) | CN102594281A (enExample) |
| TW (1) | TW201230675A (enExample) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5325151B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2013-10-23 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス、及びその製造方法 |
| JP5492697B2 (ja) * | 2010-08-04 | 2014-05-14 | 日本電波工業株式会社 | Ａｔカット水晶デバイス及びａｔカット水晶デバイスの製造方法 |
| JP2012060628A (ja) * | 2010-08-07 | 2012-03-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及びその製造方法 |
| US20130043770A1 (en) * | 2011-08-17 | 2013-02-21 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric device |
| WO2016121182A1 (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 株式会社大真空 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
| CN113472310B (zh) | 2015-10-08 | 2025-03-11 | 株式会社村田制作所 | 水晶振动元件、以及具备该水晶振动元件的水晶振子 |
| CN109328432B (zh) * | 2016-06-23 | 2022-04-26 | 株式会社村田制作所 | 水晶振动片和水晶振子 |
| CN115051664B (zh) * | 2022-07-06 | 2025-11-28 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种石英谐振器晶片的制作方法及石英谐振器晶片 |
| WO2025234414A1 (ja) * | 2024-05-10 | 2025-11-13 | 京セラ株式会社 | 圧電振動素子及び圧電デバイス |
| WO2025234415A1 (ja) * | 2024-05-10 | 2025-11-13 | 京セラ株式会社 | 圧電振動素子及び圧電デバイス |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4069773B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2008-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子および圧電デバイス |
| JP4600140B2 (ja) * | 2005-05-09 | 2010-12-15 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片の製造方法 |
| JP2007288331A (ja) | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片、並びに圧電振動子 |
| JP4967707B2 (ja) * | 2006-05-01 | 2012-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子およびその製造方法 |
| JP4305542B2 (ja) * | 2006-08-09 | 2009-07-29 | エプソントヨコム株式会社 | Ａｔカット水晶振動片及びその製造方法 |
| JP5041145B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2012-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
| JP4647671B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2011-03-09 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
| JP5129005B2 (ja) * | 2008-04-17 | 2013-01-23 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動子及び圧電素子の製造方法並びに圧電振動子の製造方法 |
| JP4714770B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2011-06-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
| JP2010171572A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶発振器 |
-
2011
- 2011-06-08 JP JP2011128193A patent/JP2012156978A/ja active Pending
- 2011-12-16 CN CN2011104251679A patent/CN102594281A/zh active Pending
- 2011-12-22 US US13/334,640 patent/US8779652B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-29 TW TW100149387A patent/TW201230675A/zh unknown