JP5492697B2 - Atカット水晶デバイス及びatカット水晶デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
<水晶デバイス100の構成>
本発明の水晶デバイスの構成を、図1を参照しながら説明する。
図1(a)は、水晶デバイス100の斜視図である。水晶デバイス100は、水晶リッド10と、水晶ベース30と、ATカットフレーム20とにより構成されている。水晶デバイス100は、上部に水晶リッド10が配置され、下部に水晶ベース30が配置され、ATカットフレーム20は水晶リッド10と水晶ベース30とに挟まれた位置に配置されている。また、水晶ベース30の下面には外部電極31が形成されている。
水晶リッドウエハ60及び水晶ベースウエハ80を人工水晶原石50から切断する角度θ2の決定には、ATカット水晶ウエハ70との線膨張係数(熱膨張係数)の違い及び人工水晶原石50からどれだけ多くのウエハを取ることができるかの2つが考慮される。以下に、角度θ2がどのように求められたかについて説明する。
ΔL=α・L・ΔT ・・・・・・(1)
ここで、Lは長さ、ΔLは長さの変化、ΔTは温度の上昇、αは線膨張係数である。
αz’=Ay×sin2θ+Az×cos2θ ・・・・・(2)
ここで、αz’はz’軸方向の線膨張係数、AyはY軸方向の線膨張係数(12.2ppm/℃)、AzはZ軸方向の線膨張係数(6.8ppm/℃)、θはZ軸とz’軸との成す角度である。
図4は、水晶デバイス100の製造方法を示したフローチャートである。
ステップS101では、水晶原石がランバード加工される。ランバード加工は、水晶原石の結晶軸を出し、水晶原石の表面の凹凸をなくすように研削し、棒状の使いやすい状態にする工程である。図3(a)に示した人工水晶原石50はランバード加工された後の状態を示している。
ステップS111では、X軸を中心として人工水晶原石50のZ軸から35度15分にATカット水晶ウエハ70が切り出される。これによりATカット水晶ウエハ70が用意される。ATカット水晶ウエハ70の人工水晶原石50からの切り出され方は、図3に示された通りである。
ステップS121では、X軸を中心として人工水晶原石50のZ軸から31度58分±30分に水晶ベースウエハ80が切り出される。これにより水晶ベースウエハ80が用意される。水晶ベースウエハ80の人工水晶原石50からの切り出され方は、図3に示された通りである。
ステップS131で、X軸を中心として人工水晶原石50のZ軸から24度00分以上32度28分以下の範囲に切り出される。水晶リッドウエハ60は水晶ベースウエハ80と同じであるため、ステップS121とステップS131とは同じ工程であってもよい。
なお、ATカット水晶ウエハを用意する工程と、水晶ベースウエハを用意する工程と、水晶リッドウエハを用意する工程とは順不同で行われる。
<水晶デバイス200の構成>
水晶デバイス100は、図4のステップS141においてシロキサン結合を用いて各ウエハを接合して形成したが、封止材により各ウエハを接合しても良い。以下に、封止材によって各ウエハを接合することにより形成される水晶デバイス200について説明する。
11 第1面
12 凹部
20、220 ATカットフレーム
21、221 励振電極
22、222 ATカット振動片
23、223 外枠
24 キャビティ
25、224 引出電極
26 接続腕
27 接続点
30、230 水晶ベース
31、231a、231b 外部電極
32 接続電極
33、233 第2面
34、234 凹部
35 導通部
50 水晶原石
60 水晶リッドウエハ
70 ATカット水晶ウエハ
80 水晶ベースウエハ
90 封止材
100、200 水晶デバイス
213、225、226、232 金属環
214 第1キャスタレーション
215 第6キャスタレーション
227 第2キャスタレーション
228 第3キャスタレーション
235 第4キャスタレーション
236 第5キャスタレーション
Claims (8)
- 一主面と他主面とを有するATカット振動片と前記ATカット振動片の周囲を囲み且つ前記ATカット振動片を支持する外枠とを有するフレームを複数含むATカット水晶ウエハを用意する工程と、
前記外枠の一主面に接合される第1面を有するリッドを複数含む水晶リッドウエハを用意する工程と、
前記外枠の他主面に接合される第2面を有するベースを複数含む水晶ベースウエハを用意する工程と、
前記ATカット水晶ウエハ、前記水晶ベースウエハ及び水晶リッドウエハを接合する接合工程と、を備え、
前記ATカット水晶ウエハ、前記水晶ベースウエハ及び水晶リッドウエハは、3〜4インチサイズであり、
前記水晶ベースウエハ及び水晶リッドウエハは、水晶の結晶軸であるZ軸から24度00分以上32度28分以下の範囲で切り出されている水晶デバイスの製造方法。 - 前記接合工程は、前記外枠の一主面と前記第1面との間及び前記外枠の他主面と前記第2面との間に封止材を塗布する封止材接合、又は前記外枠の一主面、他主面、前記第1面及び前記第2面を活性化させて接合するシロキサン結合を含む請求項1に記載の水晶デバイスの製造方法。
- 前記封止材はガラス、エポキシ樹脂、共晶金属又はポリイミド樹脂の接着剤を含む請求項2に記載の水晶デバイスの製造方法。
- 一主面と他主面とにそれぞれ形成された一対の励振電極を有するATカット振動片と、前記ATカット振動片の周囲を囲む外枠と、を有するATカットフレームと、
前記外枠の一主面に接合される第1面を有する水晶リッドと、
前記外枠の他主面に接合される第2面を有する水晶ベースと、
を備え、
前記水晶ベース及び水晶リッドは、水晶の結晶軸であるZ軸から24度00分以上32度28分以下の範囲で切り出されている水晶デバイス。 - 水晶リッド、水晶ベース及びATカットフレームのX軸方向が一致する請求項4に記載の水晶デバイス。
- 前記外枠の一主面と前記第1面との間及び前記外枠の他主面と前記第2面との間に封止材が配置されている請求項4又は請求項5に記載の水晶デバイス。
- 前記外枠の一主面と前記第1面との間及び前記外枠の他主面と前記第2面との間が活性化されてシロキサン結合されている請求項4又は請求項5に記載の水晶デバイス。
- 前記一主面から前記他主面への方向から見ると、前記外枠の外周にキャスタレーションが形成されている請求項4から請求項6のいずれか一項に記載の水晶デバイス。
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