JP2012196976A5 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

液体吐出ヘッド Download PDF

Info

Publication number
JP2012196976A5
JP2012196976A5 JP2012166854A JP2012166854A JP2012196976A5 JP 2012196976 A5 JP2012196976 A5 JP 2012196976A5 JP 2012166854 A JP2012166854 A JP 2012166854A JP 2012166854 A JP2012166854 A JP 2012166854A JP 2012196976 A5 JP2012196976 A5 JP 2012196976A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
discharge
head according
port
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012166854A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2012196976A (ja
JP5496280B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012166854A priority Critical patent/JP5496280B2/ja
Priority claimed from JP2012166854A external-priority patent/JP5496280B2/ja
Publication of JP2012196976A publication Critical patent/JP2012196976A/ja
Publication of JP2012196976A5 publication Critical patent/JP2012196976A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5496280B2 publication Critical patent/JP5496280B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドに関し、具体的にはインクを被記録媒体に吐出することにより記録を行うインクジェット記録ヘッドに関する。
そこで、本発明は、リフィル速度の高速化、液滴の吐出量の安定化を図り、液滴の吐出効率を向上することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
本発明の一態様は、液体を供給する供給口が形成された基板と、液体を吐出する吐出口と前記供給口との間の液体が流れる領域であって前記吐出口と前記供給口とを連通させる領域を形成する部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記領域は1つの吐出口に対して1つ形成されており、前記1つの領域は前記1つの吐出口と前記供給口との間の領域であって前記1つの吐出口と前記供給口とを連通させる領域であり、
前記1つの領域内に複数の流路部が形成されていることを特徴とする
本発明によれば、リフィル速度の高速化および液滴の吐出量安定化を行うことが可能になって、液滴の吐出効率を向上することができる液体吐出ヘッドを提供することができる。

Claims (24)

  1. 液体を供給する供給口が形成された基板と、液体を吐出する吐出口と前記供給口との間の液体が流れる領域であって前記吐出口と前記供給口とを連通させる領域を形成する部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、
    前記領域は1つの吐出口に対して1つ形成されており、前記1つの領域は前記1つの吐出口と前記供給口との間の領域であって前記1つの吐出口と前記供給口とを連通させる領域であり、
    前記1つの領域内に複数の流路部が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 前記基板はエネルギー発生素子を有する請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
  3. 前記エネルギー発生素子と前記吐出口とが対向している請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 前記1つの領域内において、前記供給口から各流路部までの距離が異なる請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  5. 前記複数の流路部を流れる液体の流れの方向は、前記基板の表面に対して実質的に垂直な方向である請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  6. 前記複数の流路部を流れる液体の流れの方向は、前記吐出口からの液体の吐出方向と実質的に平行な方向である請求項1から5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  7. 前記基板はシリコンで形成された基板である請求項1から6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  8. 前記1つの領域は、前記基板に平行な断面積が段階的に変化する形状を有する請求項1から7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  9. 前記エネルギー発生素子は、電気熱変換素子である請求項2から8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  10. 前記エネルギー発生素子は気泡を発生させ、発生した気泡は前記吐出口で液体吐出ヘッドの外部と連通する請求項9に記載の液体吐出ヘッド。
  11. 前記1つの領域内において、前記気泡が外部と連通した際、前記供給口側に押し出される液体の流抵抗よりも前記吐出口側へ流れる液体の流抵抗の方が低い請求項10に記載の液体吐出ヘッド。
  12. 前記領域は、前記吐出口と前記供給口とに接する領域である請求項1から11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  13. 液体を供給する供給口が形成された基板と、液体を吐出するための吐出口及び該吐出口に連通する吐出部を形成する部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、
    前記吐出部は1つの吐出口に対して1つ形成されており、前記1つの吐出部内に複数の流路部が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  14. 前記基板はエネルギー発生素子を有する請求項13に記載の液体吐出ヘッド。
  15. 前記エネルギー発生素子と前記吐出口とが対向している請求項14に記載の液体吐出ヘッド。
  16. 前記1つの吐出部内において、前記供給口から各流路部までの距離が異なる請求項13から15のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  17. 前記複数の流路部を流れる液体の流れの方向は、前記基板の表面に対して実質的に垂直な方向である請求項13から16のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  18. 前記複数の流路部を流れる液体の流れの方向は、前記吐出口からの液体の吐出方向と実質的に平行な方向である請求項13から17のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  19. 前記基板はシリコンで形成された基板である請求項13から18のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  20. 前記1つの吐出部は、前記基板に平行な断面積が段階的に変化する形状を有する請求項13から19のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  21. 前記エネルギー発生素子は、電気熱変換素子である請求項14から20のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  22. 前記エネルギー発生素子は気泡を発生させ、発生した気泡は前記吐出口で液体吐出ヘッドの外部と連通する請求項21に記載の液体吐出ヘッド。
  23. 前記1つの吐出部内において、前記気泡が外部と連通した際、前記供給口側に押し出される液体の流抵抗よりも前記吐出口側へ流れる液体の流抵抗の方が低い請求項22に記載の液体吐出ヘッド。
  24. 前記吐出部は、前記吐出口と前記供給口とに接する領域である請求項13から23のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
JP2012166854A 2006-09-08 2012-07-27 液体吐出ヘッド Active JP5496280B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012166854A JP5496280B2 (ja) 2006-09-08 2012-07-27 液体吐出ヘッド

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006244149 2006-09-08
JP2006244149 2006-09-08
JP2012166854A JP5496280B2 (ja) 2006-09-08 2012-07-27 液体吐出ヘッド

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007230013A Division JP5094290B2 (ja) 2006-09-08 2007-09-05 液体吐出ヘッドの製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012196976A JP2012196976A (ja) 2012-10-18
JP2012196976A5 true JP2012196976A5 (ja) 2012-11-29
JP5496280B2 JP5496280B2 (ja) 2014-05-21

Family

ID=38669741

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012166854A Active JP5496280B2 (ja) 2006-09-08 2012-07-27 液体吐出ヘッド

Country Status (3)

Country Link
US (2) US8376525B2 (ja)
JP (1) JP5496280B2 (ja)
WO (1) WO2008029650A1 (ja)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009119650A (ja) * 2007-11-13 2009-06-04 Canon Inc インクジェットヘッドの製造方法
US20090136875A1 (en) * 2007-11-15 2009-05-28 Canon Kabushiki Kaisha Manufacturing method of liquid ejection head
US20090162797A1 (en) * 2007-12-19 2009-06-25 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing liquid ejection head
JP2009220286A (ja) * 2008-03-13 2009-10-01 Canon Inc 液体吐出記録ヘッド及その製造方法
JP4942218B2 (ja) * 2008-12-16 2012-05-30 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP5574802B2 (ja) * 2009-06-03 2014-08-20 キヤノン株式会社 構造体の製造方法
JP5578859B2 (ja) * 2010-01-14 2014-08-27 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法
WO2012009706A1 (en) * 2010-07-15 2012-01-19 Corinthian Ophthalmic, Inc. Drop generating device
US10154923B2 (en) 2010-07-15 2018-12-18 Eyenovia, Inc. Drop generating device
US20130150812A1 (en) 2011-12-12 2013-06-13 Corinthian Ophthalmic, Inc. High modulus polymeric ejector mechanism, ejector device, and methods of use
JP6128820B2 (ja) 2011-12-22 2017-05-17 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
MX2014012313A (es) 2012-04-10 2015-06-05 Corinthian Ophthalmic Inc Mecanismos y dispositivos eyectores de aspersion que proporcionan aislamiento de carga y carga controlable de gota, y administracion oftalmica con bajo volumen de dosificacion.
MX2014012702A (es) 2012-04-20 2015-08-14 Eyenovia Inc Dispositivo eyector de aspersion y metodos de uso.
MX2014013853A (es) 2012-05-14 2015-08-06 Eyenovia Inc Dispositivo generador de gotas de flujo laminar y metodos de uso.
MX2014013962A (es) 2012-05-15 2015-06-17 Eyenovia Inc Dispositivos eyectores, métodos, accionadores y circuitos para los mismos.
JP6155735B2 (ja) * 2013-03-15 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
GB201518337D0 (en) * 2015-10-16 2015-12-02 The Technology Partnership Plc Linear device
CN109475707A (zh) 2016-05-03 2019-03-15 精呼吸股份有限公司 用于输送流体到肺部系统的液滴输送装置及其使用方法
JP2018094845A (ja) 2016-12-15 2018-06-21 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP6522040B2 (ja) * 2017-04-28 2019-05-29 キヤノン株式会社 積層体の製造方法および液体吐出ヘッドの製造方法
CN110799231B (zh) 2017-05-19 2022-08-02 精呼吸股份有限公司 干粉输送装置及其使用方法
EP3634550A4 (en) 2017-06-10 2021-03-03 Eyenovia, Inc. METHODS AND DEVICES FOR HANDLING A FLUID AND DELIVERING THE FLUID TO THE EYE
CN111526914A (zh) 2017-10-04 2020-08-11 精呼吸股份有限公司 电子呼吸致动式直线型液滴输送装置及其使用方法
CA3079189A1 (en) 2017-10-17 2019-04-25 Pneuma Respiratory, Inc. Nasal drug delivery apparatus and methods of use
CA3082192A1 (en) 2017-11-08 2019-05-16 Pneuma Respiratory, Inc. Electronic breath actuated in-line droplet delivery device with small volume ampoule and methods of use
JP2021069993A (ja) * 2019-10-31 2021-05-06 キヤノン株式会社 ウルトラファインバブル生成装置およびその制御方法
EP4359046A1 (en) 2021-06-22 2024-05-01 Pneuma Respiratory, Inc. Droplet delivery device with push ejection

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3607992A1 (de) 1985-04-08 1986-10-09 VEB Kombinat Robotron, DDR 8010 Dresden Tintenstrahldruckkopf mit tintenviskositaetsabhaengiger daempfungseinrichtung
WO1988002698A1 (en) 1986-10-16 1988-04-21 Siemens Aktiengesellschaft Multilayer ink writing head
JPS63242554A (ja) * 1987-03-28 1988-10-07 Nec Home Electronics Ltd インクジエツト・ヘツド
DE3803432A1 (de) 1988-02-05 1989-08-17 Olympia Aeg Piezoelektrisch betriebener schreibkopf in tintenmosaikschreibeinrichtungen
IT1250371B (it) * 1991-12-24 1995-04-07 Olivetti & Co Spa Testina di stampa a getto d'inchiostro perfezionata.
JP3143307B2 (ja) 1993-02-03 2001-03-07 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
US5489930A (en) * 1993-04-30 1996-02-06 Tektronix, Inc. Ink jet head with internal filter
US5685491A (en) * 1995-01-11 1997-11-11 Amtx, Inc. Electroformed multilayer spray director and a process for the preparation thereof
CN1092109C (zh) 1996-06-07 2002-10-09 佳能株式会社 喷液方法及其设备
EP1083049B1 (en) 1999-09-03 2006-07-12 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head, liquid discharging method and liquid discharge apparatus
US6472125B1 (en) 1999-11-30 2002-10-29 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing ink jet recording head and ink jet recording head manufactured by such method of manufacture
JP4269136B2 (ja) 1999-12-10 2009-05-27 富士フイルム株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法並びに印刷装置
EP1245390A4 (en) * 1999-12-10 2009-04-01 Fujifilm Corp INK JET HEAD AND PRINTER
US7323143B2 (en) * 2000-05-25 2008-01-29 President And Fellows Of Harvard College Microfluidic systems including three-dimensionally arrayed channel networks
US6582064B2 (en) * 2000-06-20 2003-06-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection device having an integrated filter and method of manufacture
US6508947B2 (en) 2001-01-24 2003-01-21 Xerox Corporation Method for fabricating a micro-electro-mechanical fluid ejector
US6409312B1 (en) * 2001-03-27 2002-06-25 Lexmark International, Inc. Ink jet printer nozzle plate and process therefor
JP2003025577A (ja) 2001-07-11 2003-01-29 Canon Inc 液体吐出ヘッド
JP4532785B2 (ja) * 2001-07-11 2010-08-25 キヤノン株式会社 構造体の製造方法、および液体吐出ヘッドの製造方法
JP4095368B2 (ja) * 2001-08-10 2008-06-04 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの作成方法
US6626522B2 (en) * 2001-09-11 2003-09-30 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Filtering techniques for printhead internal contamination
JP3862624B2 (ja) * 2002-07-10 2006-12-27 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび、該ヘッドの製造方法
JP3862625B2 (ja) * 2002-07-10 2006-12-27 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP4298414B2 (ja) * 2002-07-10 2009-07-22 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP2004042389A (ja) * 2002-07-10 2004-02-12 Canon Inc 微細構造体の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッド
JP4280574B2 (ja) * 2002-07-10 2009-06-17 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP3890268B2 (ja) * 2002-07-10 2007-03-07 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび、該ヘッドの製造方法
JP2004306396A (ja) * 2003-04-07 2004-11-04 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置
KR100590527B1 (ko) 2003-05-27 2006-06-15 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
WO2005003192A1 (en) * 2003-06-26 2005-01-13 Symyx Technologies, Inc. Synthesis of photoresist polymers
EP1768848B1 (en) 2004-06-28 2010-07-21 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method
KR100765315B1 (ko) 2004-07-23 2007-10-09 삼성전자주식회사 기판과 일체로 이루어진 필터링 부재를 구비하는 잉크젯헤드 및 그 제조방법.
TWI289511B (en) * 2004-11-22 2007-11-11 Canon Kk Method of manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head
JP4459037B2 (ja) * 2004-12-01 2010-04-28 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP4632421B2 (ja) 2004-12-07 2011-02-16 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JP4614383B2 (ja) 2004-12-09 2011-01-19 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法、及びインクジェット記録ヘッド
JP5032362B2 (ja) * 2007-03-12 2012-09-26 ローム アンド ハース カンパニー ヒドロキシフェニルアクリレート系モノマーおよびポリマー
JP4981491B2 (ja) 2007-03-15 2012-07-18 キヤノン株式会社 インクジェットヘッド製造方法及び貫通電極の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012196976A5 (ja) 液体吐出ヘッド
JP2009056691A5 (ja)
JP2015071289A5 (ja)
JP5393400B2 (ja) 液体吐出ヘッド
JP2013039837A5 (ja) 液体吐出ヘッド
JP2010201921A5 (ja)
JP2014237323A5 (ja)
JP2009143024A5 (ja)
JP2008149579A5 (ja)
JP2008162259A (ja) インクジェットヘッド
JP2013014111A5 (ja)
JP2012196882A5 (ja)
JP2011143331A5 (ja)
JP2019006081A5 (ja)
JP2013067178A5 (ja)
JP2012045725A5 (ja)
JP2007230132A5 (ja)
JP2012000799A5 (ja)
JP2015202644A5 (ja)
JP2016117234A5 (ja)
JP6066623B2 (ja) 液体吐出ヘッド
JP2008087410A5 (ja)
ATE500062T1 (de) Tintenstrahlkopf
JP2007203640A5 (ja)
JP2013043394A5 (ja)