JP2012190850A - 基板搬送方法、その基板搬送方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】積層体を保持していないときにスペーサ部材を保持する基板保持部に対して、積層体を搬送する基板搬送方法であって、第1のフォーク53の上方に設けられた第2のフォーク54の一方の面54a側に設けられた第1の掴み機構61により、第1の基板を下掴みして受け取り、第2のフォーク54を上下反転させて第1のフォーク53に載置する第1の工程と、第2のフォーク54の一方の面54aと同一面側に設けられた第2の掴み機構62により、基板保持部に保持されているスペーサ部材を上掴みして受け取り、第1の基板上に載置する第2の工程と、第1の掴み機構61により第2の基板を上掴みして受け取り、スペーサ部材上に載置する第3の工程とを有する。
【選択図】図8
Description
13、14 収納容器
24、24a、24b ボート
26 昇降機構
27 移載機構
35 スペーサ部材
36 複板ユニット
52 昇降機構
53 下側フォーク
54 上側フォーク
54a 面
58 先端部
60 基端部
61 第1の掴み機構
61a 第1の爪部
61b 第1の押し部
62 第2の掴み機構
62a 第2の爪部
62b 第2の押し部
Claims (17)
- 裏面同士が対向する2枚の基板がスペーサ部材を介して積層されてなる積層体を上下方向に所定の間隔で複数保持可能であるとともに、前記積層体を保持していないときに前記積層体に代えて前記スペーサ部材を保持する基板保持部に対して、前記積層体を搬送する基板搬送方法であって、
第1のフォークの上方に設けられている第2のフォークの一方の面側に設けられた第1の掴み機構により、収容部に収容されている第1の基板を下掴みして受け取り、受け取った前記第1の基板を前記第2のフォークを上下反転させて前記第1のフォークに載置する第1の工程と、
前記第2のフォークの前記一方の面と同一面側に設けられた第2の掴み機構により、前記基板保持部に保持されているスペーサ部材を上掴みして受け取り、受け取った前記スペーサ部材を前記第1のフォークに載置された前記第1の基板上に載置する第2の工程と、
前記第1の掴み機構により前記収容部に収容されている第2の基板を上掴みして受け取り、受け取った前記第2の基板を前記第1のフォークに載置された前記スペーサ部材上に載置する第3の工程と
を有する、基板搬送方法。 - 前記第1の掴み機構は、前記第2のフォークの先端部に固定されている第1の爪部と、前記第2のフォークの基端部側に前記第1の爪部に対して進退可能に設けられている第1の押し部とを有し、
前記第2の掴み機構は、前記第2のフォークの前記先端部に固定されている第2の爪部と、前記第2のフォークの前記基端部側に前記第2の爪部に対して進退可能に設けられている第2の押し部とを有し、
前記第1の工程は、前記第1の押し部により、前記第1の基板を前記第1の爪部側に押すことによって、前記第1の爪部と前記第1の押し部との間で前記第1の基板を挟持するものであり、
前記第2の工程は、前記第2の押し部により、前記スペーサ部材を前記第2の爪部側に押すことによって、前記第2の爪部と前記第2の押し部との間で前記スペーサ部材を挟持するものであり、
前記第3の工程は、前記第1の押し部により、前記第2の基板を前記第1の爪部側に押すことによって、前記第1の爪部と前記第1の押し部との間で前記第2の基板を挟持するものである、請求項1に記載の基板搬送方法。 - 前記第2の工程は、前記第2の掴み機構に支持されている前記スペーサ部材の中心位置が、前記第1の掴み機構に支持されている前記基板の中心位置と異なる位置になるように、前記スペーサ部材を上掴みするものである、請求項1又は請求項2に記載の基板搬送方法。
- 前記収容部は、内部に前記基板保持部が設けられた筐体の外部に設けられたものであり、
前記筐体の内部で前記スペーサ部材の回転角度を位置合わせする位置合わせ工程を有する、請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板搬送方法。 - 前記スペーサ部材は、リング形状を有するものである、請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板搬送方法。
- 前記基板保持部は、裏面同士で対向して上下に隣り合う2枚の基板の間隔が、表面同士で対向して上下に隣り合う2枚の基板の間隔よりも狭くなるように、複数の前記積層体を保持するものである、請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板搬送方法。
- 前記第1のフォークと前記第2のフォークとは、いずれか一方が他方に対して上下方向に移動可能に設けられており、
前記基板又は前記スペーサ部材を前記第1のフォークに載置する際に、前記第1のフォークと前記第2のフォークとを相互に近接させる、請求項1から請求項6のいずれかに記載の基板搬送方法。 - 前記第1のフォークと前記第2のフォークとは、昇降機構により一体に上下動可能に設けられている、請求項1から請求項7のいずれかに記載の基板搬送方法。
- コンピュータに請求項1から請求項8のいずれかに記載の基板搬送方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 裏面同士が対向する2枚の基板がスペーサ部材を介して積層されてなる積層体を上下方向に所定の間隔で複数保持可能であるとともに、前記積層体を保持していないときに前記積層体に代えて前記スペーサ部材を保持する基板保持部に対して、前記積層体を搬送する基板搬送装置であって、
前記基板保持部に対して進退可能に設けられており、前記基板保持部との間で前記積層体を受け渡す第1のフォークと、
前記第1のフォークの上方に、前記基板を収容する収容部と前記基板保持部とに進退可能であって上下反転可能に設けられており、前記収容部と前記第1のフォークとの間で前記基板を受け渡すとともに、前記基板保持部と前記第1のフォークとの間で前記スペーサ部材を受け渡す第2のフォークと、
前記第2のフォークの一方の面側に設けられており、前記基板を上掴みする第1の掴み機構と、
前記第2のフォークの前記一方の面と同一面側に設けられており、前記スペーサ部材を上掴みする第2の掴み機構と
を有する、基板搬送装置。 - 前記第1の掴み機構は、前記第2のフォークの先端部に固定されている第1の爪部と、前記第2のフォークの基端部側に前記第1の爪部に対して進退可能に設けられており、前記基板を前記第1の爪部側に押すことによって前記第1の爪部との間で前記基板を挟持する第1の押し部とを有し、
前記第2の掴み機構は、前記第2のフォークの前記先端部に固定されている第2の爪部と、前記第2のフォークの前記基端部側に前記第2の爪部に対して進退可能に設けられており、前記スペーサ部材を前記第2の爪部側に押すことによって前記第2の爪部との間で前記スペーサ部材を挟持する第2の押し部とを有する、請求項10に記載の基板搬送装置。 - 前記第2の掴み機構に支持されている前記スペーサ部材の中心位置が、前記第1の掴み機構に支持されている前記基板の中心位置と異なる位置に配置されている、請求項10又は請求項11に記載の基板搬送装置。
- 前記収容部は、内部に前記基板保持部が設けられた筐体の外部に設けられたものであり、
前記筐体の内部で前記スペーサ部材の回転角度を位置合わせする位置合わせ機構を有する、請求項10から請求項12のいずれかに記載の基板搬送装置。 - 前記スペーサ部材は、リング形状を有するものである、請求項10から請求項13のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記基板保持部は、裏面同士で対向して上下に隣り合う2枚の基板の間隔が、表面同士で対向して上下に隣り合う2枚の基板の間隔よりも狭くなるように、複数の前記積層体を保持するものである、請求項10から請求項14のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記第1のフォークと前記第2のフォークとは、いずれか一方が他方に対して上下方向に移動可能に設けられている、請求項10から請求項15のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 前記第1のフォークと前記第2のフォークとを一体に上下動させる昇降機構を有する、請求項10から請求項16のいずれかに記載の基板搬送装置。
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