JP2012178620A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012178620A5 JP2012178620A5 JP2011039130A JP2011039130A JP2012178620A5 JP 2012178620 A5 JP2012178620 A5 JP 2012178620A5 JP 2011039130 A JP2011039130 A JP 2011039130A JP 2011039130 A JP2011039130 A JP 2011039130A JP 2012178620 A5 JP2012178620 A5 JP 2012178620A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal expansion
- crystal element
- lid
- expansion coefficient
- side direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011039130A JP5646367B2 (ja) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | 水晶デバイス |
| US13/400,549 US20120217846A1 (en) | 2011-02-25 | 2012-02-20 | Crystal Device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011039130A JP5646367B2 (ja) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | 水晶デバイス |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012178620A JP2012178620A (ja) | 2012-09-13 |
| JP2012178620A5 true JP2012178620A5 (enExample) | 2014-02-27 |
| JP5646367B2 JP5646367B2 (ja) | 2014-12-24 |
Family
ID=46718477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011039130A Expired - Fee Related JP5646367B2 (ja) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | 水晶デバイス |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20120217846A1 (enExample) |
| JP (1) | JP5646367B2 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5999833B2 (ja) * | 2011-06-08 | 2016-09-28 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
| JP6481813B2 (ja) * | 2015-02-17 | 2019-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
| JP6725208B2 (ja) * | 2015-03-25 | 2020-07-15 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
| WO2018008198A1 (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| JP6680372B2 (ja) * | 2019-02-12 | 2020-04-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56119518A (en) * | 1980-02-25 | 1981-09-19 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Ultrathin type quartz oscillator |
| JPH083058Y2 (ja) * | 1989-05-22 | 1996-01-29 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振部品 |
| JP3709113B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2005-10-19 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子とその製造方法 |
| JP4635917B2 (ja) * | 2006-03-09 | 2011-02-23 | 株式会社大真空 | 表面実装型圧電振動デバイス |
| JPWO2010079803A1 (ja) * | 2009-01-07 | 2012-06-28 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの製造方法 |
| JP5001393B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2012-08-15 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動デバイス及び圧電振動デバイスの製造方法 |
| JP5595196B2 (ja) * | 2010-09-16 | 2014-09-24 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
| JP5999833B2 (ja) * | 2011-06-08 | 2016-09-28 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
-
2011
- 2011-02-25 JP JP2011039130A patent/JP5646367B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-02-20 US US13/400,549 patent/US20120217846A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011229123A (ja) | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 | |
| JP2012034086A5 (enExample) | ||
| JP2012178620A5 (enExample) | ||
| JP2013098678A (ja) | 水晶振動子 | |
| JP2012039226A (ja) | 音叉型の圧電振動片および圧電デバイス | |
| CN106169917A (zh) | 压电振动片的制造方法、压电振动片及压电振动器 | |
| JP2012039226A5 (enExample) | ||
| JP2013012977A (ja) | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 | |
| JP2012156978A (ja) | Atカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 | |
| CN108141195B (zh) | 谐振子以及谐振装置 | |
| JP2011211672A5 (enExample) | ||
| JP4647677B2 (ja) | 圧電デバイス | |
| JP5646367B2 (ja) | 水晶デバイス | |
| JP5991452B2 (ja) | 水晶振動装置及びその製造方法 | |
| JPWO2016114237A1 (ja) | 共振子 | |
| JP6531616B2 (ja) | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス | |
| WO2015170484A1 (ja) | 水晶振動装置 | |
| JP2010259011A (ja) | 弾性表面波素子用基板及び弾性表面波素子の製造方法 | |
| CN102820869B (zh) | 晶体元件 | |
| CN105793978B (zh) | 电子部件用封装件及压电器件 | |
| JP2013141311A5 (ja) | 振動素子の製造方法 | |
| JP2020123928A5 (ja) | 振動デバイス、振動モジュールおよび振動デバイスの製造方法 | |
| JP6169369B2 (ja) | 電子デバイスのガラス封止方法 | |
| JP5302988B2 (ja) | Saw発振器 | |
| JP5911384B2 (ja) | 圧電発振器 |