JP2012171815A - アルミナ接合体及びアルミナ焼結体の接合方法 - Google Patents
アルミナ接合体及びアルミナ焼結体の接合方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012171815A JP2012171815A JP2011032863A JP2011032863A JP2012171815A JP 2012171815 A JP2012171815 A JP 2012171815A JP 2011032863 A JP2011032863 A JP 2011032863A JP 2011032863 A JP2011032863 A JP 2011032863A JP 2012171815 A JP2012171815 A JP 2012171815A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alumina
- joined
- bonded
- sintered bodies
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
- C04B37/003—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts
- C04B37/005—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts consisting of glass or ceramic material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F7/00—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
- B22F7/02—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite layers
- B22F7/04—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite layers with one or more layers not made from powder, e.g. made from solid metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
- C04B2235/9669—Resistance against chemicals, e.g. against molten glass or molten salts
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/04—Ceramic interlayers
- C04B2237/06—Oxidic interlayers
- C04B2237/064—Oxidic interlayers based on alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/34—Oxidic
- C04B2237/343—Alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/59—Aspects relating to the structure of the interlayer
- C04B2237/597—Aspects relating to the structure of the interlayer whereby the interlayer is continuous but porous, e.g. containing hollow or porous particles, macro- or micropores or cracks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/76—Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc
- C04B2237/765—Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc at least one member being a tube
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
【解決手段】アルミナ焼結体1a、1b同士が接合部3を介して接合されたアルミナ接合体1Bである。接合部3は、厚さ30μm以上のアルミナからなり、接合部3の厚さ方向における孔径が接合部3の厚さの40〜100%の長さである粗大独立気孔20cと、孔径が5μm以下の微細気孔を含む未焼結領域20aと、相対密度が98%以上の緻密な焼結領域20bとから形成されている。
【選択図】図1
Description
アルミナ純度が99.5%以上で、相対密度が99.0%以上である市販のアルミナ焼結体を20mm×16mm×5mmに加工し、20mm×16mm面を#200番の研削砥石で研削した試験片を幾つか準備した。純水に、分散剤としてポリアクリル酸アンモニウム塩を主成分とする中京油脂社製のセルナD305(商品名)を、質量比で17:1となるように添加し、よく撹拌して分散媒を作製した。この分散媒に対して、純度が99.8%以上で、平均粒径が600nmであるアルミナ粒子を、含有量が表1に示すようにそれぞれ65.0質量%、69.5質量%、74.5質量%、77.5質量%、80.0質量%となるように添加して撹拌し、分散媒中にアルミナ粒子が分散混合したスラリーを得た。更に、これらのスラリーを真空ポンプを用いて約2分間真空脱気して、スラリー中の気泡の除去を行った。このようにして、アルミナ粒子の含有量が異なる5種のアルミナスラリーを調製した。
アルミナスラリー中のアルミナ含有量を65.0質量%とした比較例1では、アルミナスラリーが乾燥する際の水分の蒸発量が大きく、接合部内に大きな空洞が形成されてしまい、接合強度の劣化が明らかであった。一方、アルミナスラリー中のアルミナ含有量を80.0質量%とした比較例3では、前述のとおりスラリーの流動性が十分でなく、接合部の厚みを制御できず仮接合体の作製ができなかった。これに対し、アルミナスラリー中のアルミナ含有量をそれぞれ69.5質量%と74.5質量%とした実施例1と2においては、ほぼ200MPa程度の曲げ強度を有するアルミナ接合体が作製できた。しかし、アルミナスラリー中のアルミナ含有量を77.5質量%とした比較例2においては、仮接合体の作製及び、焼結により接合体の作製はできたが、図3に示すように接合界面にき裂30を生じ、曲げ強度は120MPa程度しか得られなかった。これらの結果から、アルミナスラリー中のアルミナ含有量は、65.0質量%よりも大きく、77.5質量%未満であることが好適であることがわかった。
アルミナスラリー中のアルミナ含有量を74.5質量%に固定して、仮接合体の接合部の厚みをそれぞれ60μm、40μm、36μmとした以外は前記と同様にしてアルミナ接合体を作製し、3点曲げ強度の平均値を算出した。その結果を、前記実施例2(接合部の厚み90μmのもの)の結果と併せて表2に示すともに、当該結果に基づいて、接合部の厚みの効果について検討した。
接合部の厚みが30〜90μmの範囲にある実施例2〜5の何れのアルミナ接合体においても、200MPa以上の十分な曲げ強度を得ることができた。なお、接合部の厚みが30μm未満になるとアルミナ焼結体の被接合面の凹凸に十分対応することができないと思われたので、ここでは接合部の厚みが30μm未満のアルミナ接合体の作製を行わなかった。
アルミナスラリー中のアルミナ含有量を74.5質量%に固定して、接合部の厚みを90μmとした仮接合体を作製した。これらの仮接合体に、それぞれ被接合面の面圧が0.015MPa、0.008MPa、0MPa(自重のみ)となるように、アルミナ焼結体の重しを載せた以外は前記と同様にしてアルミナ接合体を作製し、3点曲げ強度の平均値を算出した。その結果を、前記実施例2(被接合面の面圧が0.03MPaのもの)の結果と併せて共に表3に示すともに、当該結果に基づいて、焼結時の被接合面の面圧の効果について検討した。
焼結時の被接合面の面圧を0.015MPa以上とした実施例2と6では、200MPa以上の十分な曲げ強度を得ることができた。一方、焼結時の被接合面の面圧を0.008MPa以下とした比較例4と5では、曲げ強度は200MPaに届かなかった。このことから、焼結時に0.015MPa以上の面圧を被接合面に負荷することが必要であることが分かった。なお、高さが1m以上あるようなアルミナ焼結体の接合において、自重により得られる被接合面の面圧は、0.04MPa程度であると見積もられることから、そのような大型焼結体の接合においては、外部から荷重を負荷することなく十分な強度を有するアルミナ接合体が得られることが分かった。
上記検討結果を踏まえ、実施例2を参考として、より大きなアルミナ焼結体(ブロック)を被接合材に用いてアルミナ接合体を作製し、室温と1200℃大気中での4点曲げ試験を行なった。具体的には、まず、アルミナ純度が99.5%以上で、相対密度が99.0%以上である市販のアルミナ焼結体を40mm×13mm×20mmに加工し、40mm×13mm面を#200番の研削砥石で研削した試験片を幾つか準備した。純水に、分散剤としてポリアクリル酸アンモニウム塩を主成分とする中京油脂社製のセルナD305(商品名)を、質量比で17:1となるように添加し、よく撹拌して分散媒を作製した。この分散媒に対して、純度が99.8%以上で、平均粒径が600nmであるアルミナ粒子を、含有量が74.5質量%となるように添加して撹拌し、分散媒中にアルミナ粒子が分散混合したスラリーを得た。更に、このスラリーを真空ポンプを用いて約2分間真空脱気して、スラリー中の気泡の除去を行った。このようにして、アルミナ粒子の含有量が74.5質量%のアルミナスラリーを調製した。
1B:アルミナ接合体
1a,1b:アルミナ焼結体
2:接合部(焼結前)
3:接合部(焼結後)
20a:未焼結領域
20b:焼結領域
20c:粗大独立気孔
30:き裂
Claims (6)
- アルミナ焼結体同士が接合部を介して接合されたアルミナ接合体であって、前記接合部が、厚さ30μm以上のアルミナからなり、前記接合部の厚さ方向における孔径が前記接合部の厚さの40〜100%の長さである粗大独立気孔と、孔径が5μm以下の微細気孔を含む未焼結領域と、相対密度が98%以上の緻密な焼結領域とから形成されるアルミナ接合体。
- 前記アルミナ接合体から前記接合部を含むように切り出した試験片を用い、JIS R1601に準拠して測定された室温での曲げ強度が200MPa以上であり、JIS R1604に準拠して測定された1200℃大気中での曲げ強度が100MPa以上である請求項1に記載のアルミナ接合体。
- 請求項1又は2に記載のアルミナ接合体からなる管部材であって、相対密度が95%以上である緻密質のアルミナ焼結体同士が、前記接合部を介して接合された接合構造を有する管部材。
- リチウムイオン2次電池用の正極材料の製造に使用されるロータリーキルンの構成部材として用いられる請求項3に記載の管部材。
- アルミナ焼結体同士を接合するアルミナ焼結体の接合方法であって、分散剤を添加した純水を分散媒とし、この分散媒に固形分として純度が99.8%以上のアルミナ粒子のみを添加したアルミナスラリーを調製し、このアルミナスラリーを前記アルミナ焼結体の被接合面に塗布した後、被接合面同士を突き合わせ、被接合面間に介在する前記アルミナスラリーからなる接合部の厚みが30μm以上となるように調整したまま乾燥させて仮接合体を作製し、この仮接合体を、前記被接合面の面圧が0.015MPa以上となるよう荷重を掛けた状態で、1300℃以上1700℃以下の温度にて大気中で熱処理することにより前記接合部を焼結させて、前記アルミナ焼結体同士を接合するアルミナ焼結体の接合方法。
- 前記アルミナスラリーにおけるアルミナ粒子の含有量が、65質量%よりも多く、77.5質量%未満である請求項5に記載のアルミナ焼結体の接合方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011032863A JP5761636B2 (ja) | 2011-02-18 | 2011-02-18 | アルミナ接合体及びアルミナ焼結体の接合方法 |
TW101105040A TWI532549B (zh) | 2011-02-18 | 2012-02-16 | Alumina bonded body and alumina sintered body |
PCT/JP2012/054481 WO2012111854A2 (ja) | 2011-02-18 | 2012-02-17 | アルミナ接合体及びアルミナ焼結体の接合方法 |
CN201280008843.5A CN103370288B (zh) | 2011-02-18 | 2012-02-17 | 氧化铝接合体以及氧化铝烧结体的接合方法 |
KR1020137024091A KR101498410B1 (ko) | 2011-02-18 | 2012-02-17 | 알루미나 접합체 및 알루미나 소결체의 접합방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011032863A JP5761636B2 (ja) | 2011-02-18 | 2011-02-18 | アルミナ接合体及びアルミナ焼結体の接合方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012171815A true JP2012171815A (ja) | 2012-09-10 |
JP5761636B2 JP5761636B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=46673002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011032863A Active JP5761636B2 (ja) | 2011-02-18 | 2011-02-18 | アルミナ接合体及びアルミナ焼結体の接合方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5761636B2 (ja) |
KR (1) | KR101498410B1 (ja) |
CN (1) | CN103370288B (ja) |
TW (1) | TWI532549B (ja) |
WO (1) | WO2012111854A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101477921B1 (ko) * | 2013-09-17 | 2015-01-02 | 영남대학교 산학협력단 | 알루미나 세라믹 접합제 제조방법 및 그 접합제를 이용한 알루미나 세라믹 접합방법 |
WO2019044906A1 (ja) * | 2017-08-29 | 2019-03-07 | 京セラ株式会社 | セラミック接合体およびその製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102263959B1 (ko) * | 2014-02-26 | 2021-06-11 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 반도체용 복합 기판의 핸들 기판 |
US20240058889A1 (en) * | 2022-08-19 | 2024-02-22 | General Electric Company | Additively manufactured joined parts |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008174443A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-31 | Covalent Materials Corp | セラミックス接合体およびその製造方法 |
JP2009103331A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | Ngk Insulators Ltd | ローラハースキルン |
JP2010018448A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Covalent Materials Corp | セラミックス接合体およびその製造方法 |
-
2011
- 2011-02-18 JP JP2011032863A patent/JP5761636B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-16 TW TW101105040A patent/TWI532549B/zh active
- 2012-02-17 CN CN201280008843.5A patent/CN103370288B/zh active Active
- 2012-02-17 KR KR1020137024091A patent/KR101498410B1/ko active IP Right Grant
- 2012-02-17 WO PCT/JP2012/054481 patent/WO2012111854A2/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008174443A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-31 | Covalent Materials Corp | セラミックス接合体およびその製造方法 |
JP2009103331A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | Ngk Insulators Ltd | ローラハースキルン |
JP2010018448A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Covalent Materials Corp | セラミックス接合体およびその製造方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6014048154; 宮崎広行: 'アルミナ接合体の接合強度に及ぼす多孔質接合中間層の厚みの効果' 日本セラミックス協会年会講演予稿集 Vol.2012, 20120319, P.193 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101477921B1 (ko) * | 2013-09-17 | 2015-01-02 | 영남대학교 산학협력단 | 알루미나 세라믹 접합제 제조방법 및 그 접합제를 이용한 알루미나 세라믹 접합방법 |
WO2019044906A1 (ja) * | 2017-08-29 | 2019-03-07 | 京セラ株式会社 | セラミック接合体およびその製造方法 |
JPWO2019044906A1 (ja) * | 2017-08-29 | 2020-08-27 | 京セラ株式会社 | セラミック接合体およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201247339A (en) | 2012-12-01 |
WO2012111854A2 (ja) | 2012-08-23 |
CN103370288A (zh) | 2013-10-23 |
KR101498410B1 (ko) | 2015-03-03 |
TWI532549B (zh) | 2016-05-11 |
JP5761636B2 (ja) | 2015-08-12 |
CN103370288B (zh) | 2015-09-30 |
WO2012111854A3 (ja) | 2012-10-11 |
KR20130132983A (ko) | 2013-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101960264B1 (ko) | 잔류응력이 없는 탄화규소 접합체 및 그 제조방법 | |
CN105683129B (zh) | 氮化硅基板及使用其的氮化硅电路基板 | |
JP5761636B2 (ja) | アルミナ接合体及びアルミナ焼結体の接合方法 | |
TWI830990B (zh) | 積層構造體及半導體製造裝置構件 | |
JP6908248B2 (ja) | 被覆SiCナノ粒子を用いたSiCセラミックス及びその製造方法 | |
JPWO2019188148A1 (ja) | 複合焼結体、半導体製造装置部材および複合焼結体の製造方法 | |
WO2013035613A1 (ja) | セラミックス接合体及びその製造方法 | |
JP5159625B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
TWI612186B (zh) | 多晶CaF構件、電漿處理裝置用構件、電漿處理裝置及聚焦環之製造方法 | |
KR101652336B1 (ko) | 상압소결방식을 이용한 저저항 탄화규소 세라믹 소재 및 그의 제조 방법 | |
JP2010208871A (ja) | 酸化アルミニウム焼結体、その製法及び半導体製造装置部材 | |
JP6196492B2 (ja) | アルミナセラミックス接合体の製造方法 | |
JP5545803B2 (ja) | セラミックス多孔質焼結体の製造方法 | |
US10631370B2 (en) | Member for semiconductor manufacturing apparatus, method for producing the same, and heater including shaft | |
KR20160100110A (ko) | 전기전도성 상압소결 탄화규소 소재 제조용 조성물, 탄화규소 소재 및 그 제조방법 | |
JP4596855B2 (ja) | 金属−セラミックス複合構造体およびこれからなるプラズマ発生用電極部材 | |
Liu et al. | Effect of stacking pressure on the properties of Si3N4 ceramics fabricated by aqueous tape casting | |
WO2015025951A1 (ja) | 多孔質セラミックス及びその製造方法 | |
JP2013216500A (ja) | 炭化珪素質接合体およびこれからなる伝熱管ならびにこの伝熱管を備える熱交換器 | |
JP2002220282A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体とその製造方法 | |
JP2014067834A (ja) | 静電チャックおよびその製造方法 | |
JPWO2020090832A1 (ja) | 窒化ケイ素基板の製造方法および窒化ケイ素基板 | |
JP2021072350A (ja) | 複合焼結体および複合焼結体の製造方法 | |
JP2018168050A (ja) | アルミナ用接着剤、焼成治具及びその製造方法 | |
JP4373560B2 (ja) | 炭化硼素接合体およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130808 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140304 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150526 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150529 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5761636 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |