JP2012171079A - 研削装置 - Google Patents
研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012171079A JP2012171079A JP2011038186A JP2011038186A JP2012171079A JP 2012171079 A JP2012171079 A JP 2012171079A JP 2011038186 A JP2011038186 A JP 2011038186A JP 2011038186 A JP2011038186 A JP 2011038186A JP 2012171079 A JP2012171079 A JP 2012171079A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- grinding
- acceleration sensor
- wheel
- air bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 53
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
【解決手段】チャックテーブルと、研削手段と、研削送り手段と、制御手段92とを備えた研削装置であって、該研削手段は、スピンドル22と、ラジアルエアベアリング80と、スラストエアベアリング82と、ハウジング20と、該スピンドル22の一端に連結されたホイールマウント24と、該ホイールマウント24に着脱可能に装着された研削ホイール25と、該スピンドル22の他端に連結されて該スピンドル22を回転するモータ23と、該ホイールマウント24又は該スピンドル22の何れかに配設された加速度センサ90とを含み、該制御手段92は、該加速度センサ90から出力される加速度値を受信する受信部94と、該受信部94で受信した加速度値を回転速度に変換する変換部96とを含んでおり、該変換部96で変換された回転速度を表示手段上に表示する。
【選択図】図2
Description
10 粗研削ユニット
22 スピンドル
24 ホイールマウント
25 研削ホイール
28 仕上げ研削ユニット
40 研削ホイール
44 ターンテーブル
46 チャックテーブル
76 表示手段
80 ラジアルエアベアリング
82 スラストエアベアリング
90 加速度センサ
92 制御手段
96 変換部
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に対面して研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、該チャックテーブルに対して該研削手段を相対的に研削送りする研削送り手段と、前記各手段を制御する制御手段とを備えた研削装置であって、
該研削手段は、スピンドルと、該スピンドルのラジアル方向をエアで支持するラジアルエアベアリングと、該スピンドルのスラスト方向をエアで支持するスラストエアベアリングと、該スピンドルを回転可能に収容し該スピンドルとの間に該ラジアルエアベアリングと該スラストエアベアリングを画成するハウジングと、該スピンドルの一端に連結されたホイールマウントと、該ホイールマウントに着脱可能に装着された研削ホイールと、該スピンドルの他端に連結されて該スピンドルを回転するモータと、該ホイールマウント又は該スピンドルの何れかに配設された加速度センサとを含み、
該制御手段は、該加速度センサから出力される加速度値を受信する受信部と、該受信部で受信した加速度値を回転速度に変換する変換部とを含んでおり、
該変換部で変換された回転速度を表示手段上に表示することを特徴とする研削装置。 - 該変換部は、スピンドルの軸心から加速度センサが配設された半径をr(m)とし、角速度をω(rad/秒)とし、該加速度センサから出力される加速度値をH(m/秒2)としたとき、H=rω2から角速度ωを求め、(ω/2π)×60から回転速度rpmを算出する請求項1記載の研削装置。
- 該研削手段は、該加速度センサが配設された点対称の位置に該加速度センサと同じ重さのカウンタバランスを備えている請求項1又は2記載の研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011038186A JP5709576B2 (ja) | 2011-02-24 | 2011-02-24 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011038186A JP5709576B2 (ja) | 2011-02-24 | 2011-02-24 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012171079A true JP2012171079A (ja) | 2012-09-10 |
JP5709576B2 JP5709576B2 (ja) | 2015-04-30 |
Family
ID=46974454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011038186A Active JP5709576B2 (ja) | 2011-02-24 | 2011-02-24 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5709576B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014148060A1 (ja) | 2013-03-21 | 2014-09-25 | セイコーエプソン株式会社 | テープカートリッジおよびテープ印刷装置 |
WO2014148063A1 (ja) | 2013-03-21 | 2014-09-25 | セイコーエプソン株式会社 | テープカートリッジおよびテープ印刷装置 |
WO2014148061A1 (ja) | 2013-03-21 | 2014-09-25 | セイコーエプソン株式会社 | テープカートリッジおよびテープ印刷装置 |
WO2015049811A1 (ja) | 2013-10-04 | 2015-04-09 | セイコーエプソン株式会社 | テープカートリッジ |
CN112179563A (zh) * | 2016-08-10 | 2021-01-05 | 国际计测器株式会社 | 动平衡测试机 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003236749A (ja) * | 1995-04-26 | 2003-08-26 | Fujitsu Ltd | 研磨装置及び研磨方法 |
JP2005156496A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Mitsuba Corp | 速度検出装置 |
JP2007223014A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルユニット |
-
2011
- 2011-02-24 JP JP2011038186A patent/JP5709576B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003236749A (ja) * | 1995-04-26 | 2003-08-26 | Fujitsu Ltd | 研磨装置及び研磨方法 |
JP2005156496A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Mitsuba Corp | 速度検出装置 |
JP2007223014A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルユニット |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014148060A1 (ja) | 2013-03-21 | 2014-09-25 | セイコーエプソン株式会社 | テープカートリッジおよびテープ印刷装置 |
WO2014148063A1 (ja) | 2013-03-21 | 2014-09-25 | セイコーエプソン株式会社 | テープカートリッジおよびテープ印刷装置 |
WO2014148061A1 (ja) | 2013-03-21 | 2014-09-25 | セイコーエプソン株式会社 | テープカートリッジおよびテープ印刷装置 |
WO2015049811A1 (ja) | 2013-10-04 | 2015-04-09 | セイコーエプソン株式会社 | テープカートリッジ |
CN112179563A (zh) * | 2016-08-10 | 2021-01-05 | 国际计测器株式会社 | 动平衡测试机 |
CN112179563B (zh) * | 2016-08-10 | 2023-03-14 | 国际计测器株式会社 | 动平衡测试机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5709576B2 (ja) | 2015-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5709576B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5743817B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5455609B2 (ja) | 研削装置及び該研削装置を使用したウエーハの研削方法 | |
JP5184242B2 (ja) | 半導体ウエーハの加工装置 | |
JP2009107040A (ja) | 加工装置 | |
JP6153323B2 (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
US9821427B2 (en) | Grinding method for workpieces | |
JP2012101293A (ja) | 加工方法 | |
JP2014030884A (ja) | 研削装置 | |
JP5943766B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2011143516A (ja) | 加工装置 | |
JP2012146889A (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP5242348B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2015178139A (ja) | 被加工物の研削方法 | |
JP5963580B2 (ja) | ウエーハの加工装置 | |
JP2002301644A (ja) | 研削盤 | |
JP5865159B2 (ja) | スピンドルユニット及び切削装置 | |
JP2011143495A (ja) | 研削装置 | |
CN111590417A (zh) | 加工装置 | |
JP2013162116A (ja) | 研削装置 | |
JP5259298B2 (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP5635807B2 (ja) | 切削加工装置 | |
JP2019147201A (ja) | 測定治具 | |
JP5719628B2 (ja) | スピンドルユニット | |
JP5783883B2 (ja) | 研削ホイール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150303 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150303 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5709576 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |