JP2007223014A - スピンドルユニット - Google Patents
スピンドルユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007223014A JP2007223014A JP2006050231A JP2006050231A JP2007223014A JP 2007223014 A JP2007223014 A JP 2007223014A JP 2006050231 A JP2006050231 A JP 2006050231A JP 2006050231 A JP2006050231 A JP 2006050231A JP 2007223014 A JP2007223014 A JP 2007223014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate surface
- air
- rotating shaft
- grinding
- interval
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
- F16C32/0696—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for both radial and axial load
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Turning (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
【課題】被加工物に対して圧力が加えられて加工が行われる加工装置において、信頼性が高く経済性に優れた機構によって加工時の圧力を計測できるようにする。
【解決手段】加工装置に搭載されるスピンドルユニット30において、スラストベアリング305によって支持されるベアリングプレート309の第一のプレート面309aまたは第二のプレート面309bとの間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段312、313を備え、第一のプレート面309aまたは第二のプレート面309bとの間の間隔の変化を検知して回転軸に加わる荷重の変化を検出する。
【選択図】図2
【解決手段】加工装置に搭載されるスピンドルユニット30において、スラストベアリング305によって支持されるベアリングプレート309の第一のプレート面309aまたは第二のプレート面309bとの間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段312、313を備え、第一のプレート面309aまたは第二のプレート面309bとの間の間隔の変化を検知して回転軸に加わる荷重の変化を検出する。
【選択図】図2
Description
本発明は、加工装置に搭載されるスピンドルユニットに関するものである。
IC、LSI等のデバイスが表面に形成されたウェーハは、裏面が研削されて所定の厚さに形成された後にダイシングされ、個々のデバイスに分割される。
ウェーハの裏面研削時には、裏面を露出させた状態で、ウェーハがチャックテーブルにおいて保持される。そして、回転軸に連結されて回転する研削砥石をウェーハの裏面に接触させ、所定の圧力でウェーハを押圧することにより当該裏面を研削する。研削時は、チャックテーブルを支持する部位に配設された圧力計によって、チャックテーブルに対して加わる圧力が計測される。そして、その計測値が所望の値になるように制御することで、研削砥石からウェーハに加わる圧力を制御している(例えば特許文献1参照)。
しかし、上記圧力計は、チャックテーブルによって常時押圧された状態にあるため、誤動作を引き起こす可能性が高く、計測値の信頼性に欠けるという問題がある。また、直接押圧される圧力計は、故障しやすく、比較的頻繁に交換する必要があるため、不経済であるという問題もある。このような問題は、研削時に限らず、押圧力を利用した加工において共通に生じる問題である。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、被加工物に対して圧力が加えられて加工が行われる加工装置において、信頼性が高く経済性に優れた機構によって、加工時の圧力を計測できるようにすることにある。
本発明は、回転軸と、回転軸のラジアル方向をエアーで支持するラジアルベアリングとスラスト方向をエアーで支持するスラストベアリングとを含むスピンドルハウジングと、回転軸の先端に形成され加工工具が装着される工具マウントとを少なくとも備えたスピンドルユニットに関するもので、スラストベアリングは、回転軸に形成され回転軸の軸心に直交する第一のプレート面及び第二のプレート面を有するベアリングプレートと、第一のプレート面にエアーを噴出してエアーを介して第一のプレート面を支持する第一の支持部と、第二のプレート面にエアーを噴出してエアーを介して第二のプレート面を支持する第二の支持部とから構成され、第一の支持部または第二の支持部には、第一のプレート面または第二のプレート面との間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段を備え、間隔対応出力手段には、第一のプレート面または第二のプレート面との間の間隔の変化を検知して回転軸に加わる荷重の変化を検出する荷重変化検出手段が接続されることを特徴とする。加重変化検出手段としては、例えば静電センサを用いることができる。
本発明では、スピンドルユニットの内部のスラストベアリングに、ベアリングプレートの第一のプレート面または第二のプレート面との間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段を配設し、間隔対応出力手段には、第一のプレート面または第二のプレート面との間の間隔の変化を検知して回転軸に加わる荷重の変化を検出する荷重変化検出手段が接続される構成としたため、第一のプレート面または第二のプレート面と間隔対応出力手段との間隔の変化に基づいて、荷重変化検出手段において回転軸に対する荷重の変化を検出することができる。したがって、間隔対応出力手段及び荷重変化検出手段に直接押圧力が作用することがないため、これらが誤動作することがなく、信頼性を向上させることができる。また、故障が生じにくく交換の必要性も低減されるため、経済的である。
本発明に係るスピンドルユニットを搭載した加工装置の一例として、図1に示す研削装置1について説明する。この研削装置1は、ウェーハWを保持するチャックテーブル2と、チャックテーブル2に保持されたウェーハWを研削する研削手段3と、研削手段3を垂直方向に移動させて研削送りする研削送り手段4と、研削送り手段4を制御する制御手段5とを備えている。
チャックテーブル2は、回転可能であると共に、水平方向に移動可能であり、保持面20においてウェーハWを吸引保持することができる。
研削手段3は、スピンドルユニット30と、スピンドルユニット30に装着された研削ホイール31と、研削ホイール31の下面に固着された研削砥石32とから構成される。
研削送り手段4は、垂直方向に配設されたボールネジ40と、ボールネジ40の一端に連結されたパルスモータ41と、ボールネジ40と平行に配設された一対のガイドレール42と、内部のナット(図示せず)がボールネジ40に螺合すると共に側部がガイドレール42に摺接する昇降板43と、昇降板43に連結されスピンドルユニット30を支持する支持部44とから構成され、パルスモータ41に駆動されてボールネジ40が回動することにより、昇降板43がガイドレール42にガイドされて昇降し、これに伴い支持部44及び研削手段3が昇降する構成となっている。パルスモータ41は、制御手段5による制御の下で駆動される。
図2に示すように、スピンドルユニット30は、垂直方向の軸心を有する回転軸300と、回転軸300をエアーによって非接触状態で支持するスピンドルハウジング301と、回転軸300の先端に形成され加工工具が装着される工具マウント302と、回転軸を回転駆動するモータ303とから構成される。モータ303には、回転軸300に連結されて回転可能なロータ303aと、ロータ303aを回転させるステータ303bとを備えている。工具マウント302には、ボルト31aによって研削ホイール31が固定される。
スピンドルハウジング301には、回転軸のラジアル方向をエアーで支持するラジアルベアリング304と、回転軸のスラスト方向をエアーで支持するスラストベアリング305とを備えている。
スピンドルハウジング301は円筒状に形成されており、その内周面には、例えば1[MPa]程度の高圧エアーを回転軸300の回転中心に向けて噴出するエア噴出口304aが複数形成されている。複数の噴出口304aは、エア流路306に連通し、エア流路306は、エア流入口307を介して高圧エア供給源308に連通している。複数の噴出口304aから噴出されるエアによってラジアルベアリング304が構成される。
回転軸300には、円柱部分よりも径が大きく形成された円板状のベアリングプレート309が形成されており、これに対応して、スピンドルハウジング301の内周も拡径している。拡径している部分には、垂直方向(回転軸300の軸心方向)に高圧エアを噴出するエア噴出口305a、305bが形成されている。エア噴出口305aは、エア流路306に連通し、エア流路306を介して高圧エア供給源308に連通している。
ベアリングプレート309は、回転軸300の軸心に直交する第一のプレート面309aと第二のプレート面309bとを有しており、それぞれの面に対してエア噴出口305a305bから高圧エアが噴出されている。第一のプレート面309aに対して高圧エアを噴出するエア噴出口305aは、エアを介して第一のプレート面309aを支持する第一の支持部310を構成し、第二のプレート面309bに対して高圧エアを噴出するエア噴出口305bは、エアを介して第二のプレート面309bを支持する第二の支持部311を構成する。ベアリングプレート309と第一の支持部310と第二の支持部311とによってスラストベアリング305が構成される。第一の支持部310及び第二の支持部311は、ベアリングプレート309を支持することにより、回転軸300をスラスト方向に支持する。
第一の支持部310及び第二の支持部311には、第一のプレート面309aとの間の間隔、及び、第二のプレート面309bとの間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段312、313がそれぞれ配設されている。
間隔対応出力手段312、313は、例えば静電容量の変化に対応する電圧出力を発生させる静電センサにより構成され、自身と第一のプレート面309aとの間の間隔D1、自身と第二の支持部311と第二のプレート面309bとの間の間隔D2に対応する電圧等を出力する。この出力は、常時行われている。なお、図示の例では、第一の支持部310と第二の支持部311にそれぞれ間隔対応出力手段312、313を備えているが、第一の支持部310または第二の支持部311のいずれか一方にのみ間隔対応出力手段を備えた構成としてもよい。
図1に示すように、間隔対応出力手段312、313は、荷重変化検出手段6に電気的に接続されており、間隔対応出力手段312、313からの出力は、常時荷重変化検出手段6に転送される。荷重変化検出手段6は、CPU、メモリ等を有し、間隔対応出力手段312、313から送られてくる出力の値をメモリに記憶させると共に、その記憶させた出力の値と、最新の出力の値とを比較し、両値が異なる場合は、図2に示した間隔D1、間隔D2が変化し、回転軸300に加わる荷重が変化したと判断する。
荷重変化検出手段6は、制御手段5に接続されており、制御手段5においては、荷重変化検出手段6における判断結果に基づき、パルスモータ41を制御して研削手段3を研削送りし、間隔対応出力手段312、313における出力の値が一定に保たれるようにフィードバック制御する。
図1に示したチャックテーブル2には、裏面が露出した状態で研削対象のウェーハWが保持される。そして、ウェーハWは、チャックテーブル2の水平方向の移動によって、研削手段3の直下に位置付けられる。
次に、制御手段5による制御の下で、図2に示したスピンドルユニット30を構成するモータ303を駆動して回転軸300を回転させて研削砥石32を回転させると共に、図1に示した研削送り手段4を構成するパルスモータ41を駆動して研削手段3を下降させていく。研削手段3を構成する研削砥石32がウェーハWに接触せずに回転している状態では、図2に示した間隔D1と間隔D2とは、等しい値(例えば10μm)に保たれている。
一方、研削手段3が下降して回転する研削砥石32がウェーハWの裏面に接触し、研削砥石32からウェーハWに対して押圧力が加えられて当該裏面が研削されると、回転軸300に対して上方に向けて荷重が加わるため、間隔D1の値が例えば9μmと小さくなり、間隔D2の値が例えば11μmと大きくなる。間隔D1の値が9μm、間隔D2の値11μmという状態が維持されている間は、適正な荷重のもとで研削が行われていると考えられる場合は、そのまま研削手段3を徐々に下降させていけばよい。このときの間隔対応出力手段312、313からの出力の値(以下、「正常値」という。)は、荷重変化検出手段6に記憶させておく。
研削を続けているうちに、例えば間隔D1の値が7μm、間隔D2の値が13μmとなった場合は、間隔対応出力手段312、313からの出力の値も変化し、荷重変化検出手段6がその変化を認識する。そうすると、間隔対応出力手段312、313からの出力の値が正常値に戻るように、制御手段5が研削送り手段4の制御を行う。具体的には、間隔対応出力手段312、313の計測値が正常値に戻るまで、制御手段5が、パルスモータ41の駆動による研削手段3の送り速度を遅くすることにより、ウェーハWに対する圧力を弱めるようにする。かかる制御を継続することによって、間隔対応出力手段312、313からの出力の値が正常値に戻る。そして、以降も、荷重変化検出手段6が同様の監視を続け、間隔対応出力手段312、313からの出力が正常値に維持されるようにする。
このように、間隔対応出力手段312、313をスピンドルユニット30の内部のスラストベアリング305に配設し、ベアリングプレート309と間隔対応出力手段312、313との間隔の変化に基づいて荷重の変化を検出することにより、間隔対応出力手段312、313に直接押圧力を作用させることなく、ウェーハに対する圧力を調整することができる。したがって、間隔対応出力手段312、313が誤動作することがなく、信頼性を向上させることができると共に、故障が少なく交換の頻度も低くなるため、経済的である。
なお、間隔対応出力手段312、313としては、静電センサのほか、レーザ光等を発してその反射光が到達するまでの時間に基づいて距離を求めることができるセンサを用いることもできる。この場合は、間隔対応出力手段312、313において、間隔D1、D2を直接求めることができる。したがって、荷重の調整が必要となる間隔D1、D2の限界値を操作手段7(図1参照)から入力して荷重変化検出手段6に記憶させておけば、間隔対応出力手段312、313において認識した間隔の値が、予め記憶させたその限界値に達したときに、制御手段5による研削送り手段4の調整をすることができる。
また、間隔対応出力手段312、313が間隔D1、D2を直接的に求めることができない場合であっても、間隔と電圧出力との対応関係を予め荷重変化検出手段6に記憶させておけば、上記と同様に、荷重の調整が必要となる間隔D1、D2の限界値を直接入力して記憶させておくことで、荷重を適正に制御することができる。更には、間隔D1、D2と荷重の値との対応関係も荷重変化検出手段6に記憶させておけば、操作手段7から、荷重の制御が必要となる荷重の限界値を予め入力して荷重変化検出手段6に記憶させることにより、荷重の限界値を超えたか否かに基づく直接的な制御も可能となる。
1:研削装置
2:チャックテーブル
20:保持面
3:研削手段
30:スピンドルユニット
300:回転軸 301:スピンドルハウジング 302:工具マウント
303:モータ
304:ラジアルベアリング
304a:エア噴出口
305:スラストベアリング
305a:エア噴出口
306:エア流路 307:エア流入口 308:高圧エア供給源
309:ベアリングプレート
309a:第一のプレート面 309b:第二のプレート面
310:第一の支持部 311:第二の支持部
312、313:間隔対応出力手段
31:研削ホイール 32:研削砥石
4:研削送り手段
40:ボールネジ 41:パルスモータ 42:ガイドレール
43:昇降板 44:支持部
5:制御手段
6:荷重変化検出手段
7:操作手段
2:チャックテーブル
20:保持面
3:研削手段
30:スピンドルユニット
300:回転軸 301:スピンドルハウジング 302:工具マウント
303:モータ
304:ラジアルベアリング
304a:エア噴出口
305:スラストベアリング
305a:エア噴出口
306:エア流路 307:エア流入口 308:高圧エア供給源
309:ベアリングプレート
309a:第一のプレート面 309b:第二のプレート面
310:第一の支持部 311:第二の支持部
312、313:間隔対応出力手段
31:研削ホイール 32:研削砥石
4:研削送り手段
40:ボールネジ 41:パルスモータ 42:ガイドレール
43:昇降板 44:支持部
5:制御手段
6:荷重変化検出手段
7:操作手段
Claims (2)
- 回転軸と、該回転軸のラジアル方向をエアーで支持するラジアルベアリングとスラスト方向をエアーで支持するスラストベアリングとを含むスピンドルハウジングと、該回転軸の先端に形成され加工工具が装着される工具マウントとを少なくとも備えたスピンドルユニットであって、
該スラストベアリングは、該回転軸に形成され該回転軸の軸心に直交する第一のプレート面及び第二のプレート面を有するベアリングプレートと、該第一のプレート面にエアーを噴出して該エアーを介して該第一のプレート面を支持する第一の支持部と、該第二のプレート面にエアーを噴出して該エアーを介して該第二のプレート面を支持する第二の支持部とから構成され、
該第一の支持部または該第二の支持部には、該第一のプレート面または該第二のプレート面との間の間隔に対応した出力を行う間隔対応出力手段を備え、
該間隔対応出力手段には、該第一のプレート面または該第二のプレート面との間の間隔の変化を検知して該回転軸に加わる荷重の変化を検出する荷重変化検出手段が接続されるスピンドルユニット。 - 前記間隔対応出力手段は、静電センサにより構成される請求項1に記載のスピンドルユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006050231A JP2007223014A (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | スピンドルユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006050231A JP2007223014A (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | スピンドルユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007223014A true JP2007223014A (ja) | 2007-09-06 |
Family
ID=38545290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006050231A Pending JP2007223014A (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | スピンドルユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007223014A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009160671A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルアセンブリ |
JP2010228048A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011083864A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2012171079A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Disco Corp | 研削装置 |
JP2014121793A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Kojima Press Industry Co Ltd | 車両用アンダーカバーの製造方法並びに車両用アンダーカバー |
US20170234365A1 (en) * | 2016-02-17 | 2017-08-17 | Disco Corporation | Processing apparatus |
CN108778616A (zh) * | 2016-03-11 | 2018-11-09 | 阿道夫·科希耶克 | 工具芯轴 |
CN110714985A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-01-21 | 北京航空航天大学 | 一种中间供气微小型空气轴承系统 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01172632A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧空気軸受 |
JP2006035376A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Daiya Seiki Co Ltd | 加工装置 |
-
2006
- 2006-02-27 JP JP2006050231A patent/JP2007223014A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01172632A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧空気軸受 |
JP2006035376A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Daiya Seiki Co Ltd | 加工装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009160671A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルアセンブリ |
JP2010228048A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011083864A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2012171079A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Disco Corp | 研削装置 |
JP2014121793A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Kojima Press Industry Co Ltd | 車両用アンダーカバーの製造方法並びに車両用アンダーカバー |
US20170234365A1 (en) * | 2016-02-17 | 2017-08-17 | Disco Corporation | Processing apparatus |
CN107088971A (zh) * | 2016-02-17 | 2017-08-25 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
TWI698302B (zh) * | 2016-02-17 | 2020-07-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 加工裝置 |
US11261911B2 (en) * | 2016-02-17 | 2022-03-01 | Disco Corporation | Processing apparatus |
CN108778616A (zh) * | 2016-03-11 | 2018-11-09 | 阿道夫·科希耶克 | 工具芯轴 |
JP2019508278A (ja) * | 2016-03-11 | 2019-03-28 | コフシエク,アドルフ | 工具スピンドル |
CN110714985A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-01-21 | 北京航空航天大学 | 一种中间供气微小型空气轴承系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007223014A (ja) | スピンドルユニット | |
JP2008246628A (ja) | チャックテーブル機構 | |
US9776293B2 (en) | Eyeglass lens processing apparatus | |
JP6664986B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2017164837A (ja) | 研削装置 | |
TW202209469A (zh) | 主軸單元及加工裝置 | |
JP5956287B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2018056383A (ja) | 基板洗浄装置及び基板処理装置 | |
JP2018083266A (ja) | 研削装置及び粗さ測定方法 | |
KR20200101836A (ko) | 연삭 장치 | |
KR20230059720A (ko) | 셋업 방법 | |
JP4440595B2 (ja) | 背圧センサの使用方法 | |
JP2011083864A (ja) | 加工装置 | |
JP4639405B2 (ja) | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 | |
JP2022065818A (ja) | 研削装置 | |
JP2006026864A (ja) | 微細加工装置 | |
JP2007285386A (ja) | 空気軸受スピンドルおよび空気軸受スピンドルの制御方法 | |
JP6831250B2 (ja) | リニアゲージと加工装置 | |
JP2021194708A (ja) | 研削装置 | |
JP2010172975A (ja) | 研磨装置 | |
JP2011025380A (ja) | 研削装置 | |
JP5939935B2 (ja) | 研削装置 | |
JP7460461B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2005079265A (ja) | 背圧センサを備えた加工装置 | |
US20220048152A1 (en) | Processing apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090126 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110823 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120110 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |