JP2006035376A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の加工装置100は、工具T若しくは工作物が固定されたスピンドル軸101と、スピンドル軸を回転自在にかつ軸線方向に流体を介して軸支する軸受構造104を備えた支持体103と、工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出する検出手段とを有し、検出手段は、スピンドル軸に対して少なくともその軸線方向に固定された状態で接続された検出電極106と、検出電極に対し軸線方向に対向配置され支持体に対して少なくとも軸線方向に固定された状態で接続された固定電極105A,105Bと、検出電極と固定電極との間の静電容量を直接若しくは間接的に検出する検出回路とを有する。
【選択図】図1
Description
1/Cx=1/Ca+1/Cb=da/εSa+db/εSb …(1)
が成立する。ただし、本実施形態の場合には、da=db、Sa=Sb、Ca=Cbである。そして、固定電極105A,105Bと検出電極106の距離が変化すると、上記電極間隔daとdbは同時に同量だけ変化する。したがって、固定電極105Aと105Bとの間の静電容量を検出すれば、固定電極105A,105Bと検出電極106との間の静電容量を検出したことになり、その結果、固定電極105A,105Bと検出電極106との間の軸線方向の相対的変位量、すなわち、スピンドル軸101と支持体103との間の軸線方向の相対的変位量を知ることができる。
Claims (5)
- 工具若しくは工作物が固定されたスピンドル軸と、該スピンドル軸を回転自在にかつ軸線方向に流体を介して軸支する軸受構造を備えた支持体と、前記工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出する検出手段とを有する加工装置であって、
前記検出手段は、前記スピンドル軸に対して少なくともその軸線方向に固定された状態で接続された検出電極と、該検出電極に対し前記軸線方向に対向配置され、前記支持体に対して少なくとも前記軸線方向に固定された状態で接続された固定電極と、前記検出電極と前記固定電極との間の静電容量を直接若しくは間接的に検出する検出回路とを有することを特徴とする加工装置。 - 前記検出電極は、前記スピンドル軸に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
- 前記検出電極に対し共に同じ側から対向配置され、相互に絶縁された一対の前記固定電極を有し、前記検出回路が前記一対の固定電極にそれぞれ導電接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の加工装置。
- 前記検出電極は、前記固定電極に対して前記加工応力の向きに移動した側にて対向配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の加工装置。
- 前記軸受構造は圧縮性流体を介して前記スピンドル軸を前記軸線方向に軸支するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の加工装置。
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JP2007223014A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルユニット |
JP2009291876A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Daiya Seiki Co Ltd | スピンドルモータ及び穿孔加工装置 |
-
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