JP2006026864A - 微細加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 極細ドリルなどの微細加工用の回転工具を用いて効率良く微細加工を行うことのできる微細加工装置を提案すること。
【解決手段】 微細加工装置1のスピンドル軸2は、空気静圧式のラジアル軸受5、6およびスラスト軸受7、8によって支持され、ノズル12を介して供給される一定圧力・一定流量の空気流によって高速回転し、その先端に取り付けた極細ドリル4によってワークWに微細穴を加工する。極細ドリル4に過負荷が作用してスピンドル軸2が後方に押されて移動すると、その後端側の軸部分2bに組み付けた静電容量型のスラストセンサ15によって、そのスラスト方向の移動が検出される。制御部20は、センサ出力に基づき過負荷状態であると判別すると、スピンドル軸2の送り、あるいは回転を止めて、極細ドリル4の折損などを未然に防止する。
【選択図】 図1
【解決手段】 微細加工装置1のスピンドル軸2は、空気静圧式のラジアル軸受5、6およびスラスト軸受7、8によって支持され、ノズル12を介して供給される一定圧力・一定流量の空気流によって高速回転し、その先端に取り付けた極細ドリル4によってワークWに微細穴を加工する。極細ドリル4に過負荷が作用してスピンドル軸2が後方に押されて移動すると、その後端側の軸部分2bに組み付けた静電容量型のスラストセンサ15によって、そのスラスト方向の移動が検出される。制御部20は、センサ出力に基づき過負荷状態であると判別すると、スピンドル軸2の送り、あるいは回転を止めて、極細ドリル4の折損などを未然に防止する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、微細穴を加工する微細ドリルなどの微細加工用の回転工具を用いて微細加工を行う微細加工装置に関し、回転工具が過負荷状態に陥って破損するなどの弊害を回避可能な微細加工装置に関するものである。
微細加工、例えば微細な穴あけ加工を行うために用いるドリルは極細であり、穴あけ作業時においてドリルに僅かな過負荷が作用しても、ドリルが折損するなどの弊害が発生しやすい。
本発明の課題は、この点に鑑みて、微細加工用の回転工具を用いて微細加工を行うに当り、回転工具の折損などの弊害を伴うことなく微細加工を効率良く行うことのできる微細加工装置を提案することにある。
上記の課題を解決するために、本発明の微細加工装置は、
微細穴加工用ドリルなどの微細加工を行う回転工具を回転駆動するためのスピンドル軸と、
前記スピンドル軸を回転自在の状態で支持している支持部と、
前記スピンドル軸を回転駆動するための回転駆動機構と、
前記スピンドル軸に作用する負荷の状態を検出するための非接触型のセンサとを有し、
前記センサは、前記支持部に対する前記スピンドル軸のスラスト方向への微小移動を検知するスラストセンサ、および/または、前記スピンドル軸の回転状態を検出する回転センサであることを特徴としている。
微細穴加工用ドリルなどの微細加工を行う回転工具を回転駆動するためのスピンドル軸と、
前記スピンドル軸を回転自在の状態で支持している支持部と、
前記スピンドル軸を回転駆動するための回転駆動機構と、
前記スピンドル軸に作用する負荷の状態を検出するための非接触型のセンサとを有し、
前記センサは、前記支持部に対する前記スピンドル軸のスラスト方向への微小移動を検知するスラストセンサ、および/または、前記スピンドル軸の回転状態を検出する回転センサであることを特徴としている。
微細加工のためのスピンドル軸の支持部としては、小型でコンパクトに構成でき、高速回転時における回転抵抗の少ない空気静圧式のラジアル軸受を用いることが望ましい。また、空気静圧式のスラスト軸受によってスピンドル軸をスラスト方向から支持することが望ましい。
また、回転駆動機構として、スピンドル軸に形成したラジアル方向に放射状に延びる複数枚の羽根車部分と、当該羽根車部分に対して一定圧力および一定流量の空気を供給する作動空気供給部とを備えた空気圧式の回転駆動機構を用いることが望ましい。スピンドル軸を高速回転する場合には、電動式の回転駆動機構に比べて、より精度良く定速状態を保持できる。
ここで、前記センサとして、前記スピンドル軸と一体でスラスト方向に移動する移動側電極板と、前記支持部に取り付けられた固定側電極板とを備えた可変容量形キャパシタを有する静電容量型のスラストセンサを用いることができる。静電容量の変化に基づき、微小なスラスト方向の移動を検出できる。
この場合、前記移動側電極板を前記スピンドル軸と一体回転する円環状電極板とし、前記固定側電極板を、前記スピンドル軸の回転中心に対して点対称状態に配置された一対の円弧板とすることができる。
次に、前記センサとして、前記スピンドル軸と一体回転する光透過部あるいは光反射部を備えた回転数検出用の光学センサを用いることができる。
一方、本発明の微細加工装置は、上記構成に加えて、前記センサの出力に基づき、前記スピンドル軸の回転駆動する前記回転駆動機構を制御する制御部を有していることを特徴としている。
本発明の微細加工装置は、スピンドル軸の負荷状態を検出するためのスラストセンサあるいは回転センサを備えている。スピンドル軸に取り付けた微細加工用の回転工具の負荷が増加すると、スピンドル軸に作用するトルクが増加する。この結果、スピンドル軸にスラスト力が作用し、また、スピンドル軸が減速して回転数が低下する。よって、スピンドル軸のスラスト方向の移動、あるいは、回転状態を検出することにより、スピンドル軸に取り付けて微細加工用の回転工具の負荷状態を知ることができる。よって、センサ出力に基づき、スラスト量が増加した場合、スピンドル軸が減速した場合には、過負荷状態に陥ったものとしてスピンドル軸の回転を停止するなどの処置を施せば、そこに取り付けられている微細加工用の回転工具の折損などの弊害を未然に回避でき、効率良く微細加工を行うことが可能である。
また、空気圧式の回転駆動機構を用いれば、スピンドル軸の高速回転状態を安定的に保持できるので、効率良く微細加工を行うことができる。
さらに、センサとして静電容量形のスラストセンサを用いた場合には、微細加工用の回転工具に作用する微小負荷に起因するスラスト方向の微小な移動量を精度良く検出できるので好ましい。
また、静電容量形のスラストセンサおよび光学式の回転数センサは小型でコンパクトに構成できるので、小径のスピンドル軸にも簡単に組み付けることができる。
以下に、図面を参照して、本発明を適用した微細加工装置の実施例を説明する。
(実施の形態1)
図1は本例の微細加工装置を示す概略構成図であり、図2はそこに組み込まれている静電容量型のスラストセンサを示す説明図である。微細加工装置1はスピンドル軸2を有しており、この先端部に、チャックなどの工具取り付け部3を介して、同軸状態に微細加工用の回転工具、例えば微細穴形成用の極細ドリル4が取り付け可能となっている。スピンドル軸2は、前後一対の空気静圧式のラジアル軸受5、6と、前後一対の空気静圧式のスラスト軸受7、8を介して、支持板9に対して回転自在の状態で支持されている。支持板9は送り機構10に搭載されており、送り機構10によって、支持板9に支持されているスピンドル軸2がその回転中心線1aの方向に往復移動可能となっている。
図1は本例の微細加工装置を示す概略構成図であり、図2はそこに組み込まれている静電容量型のスラストセンサを示す説明図である。微細加工装置1はスピンドル軸2を有しており、この先端部に、チャックなどの工具取り付け部3を介して、同軸状態に微細加工用の回転工具、例えば微細穴形成用の極細ドリル4が取り付け可能となっている。スピンドル軸2は、前後一対の空気静圧式のラジアル軸受5、6と、前後一対の空気静圧式のスラスト軸受7、8を介して、支持板9に対して回転自在の状態で支持されている。支持板9は送り機構10に搭載されており、送り機構10によって、支持板9に支持されているスピンドル軸2がその回転中心線1aの方向に往復移動可能となっている。
スピンドル軸2における前後一対のラジアル軸受5、6によって支持されている間の部位は、回転中心線1aを中心として等角度間隔で放射状に延びている複数枚の羽根を備えた羽根車部分11となっている。この羽根車部分11の外周側の部位には、羽根車部分11に対して接線方向から一定圧力の空気を一定流量で供給するためのノズル12が配置されており、このノズル12には、高圧空気源13から空気圧回路14を介して高圧空気が供給されるようになっている。ノズル12からの空気流によってスピンドル軸2は一定の回転数で回転駆動される。
スピンドル軸2の後端部分は後側のスラスト軸受8から後方に突出しており、この突出した小径の軸部分2bには、静電容量形のスラストセンサ15が組み付けられている。本例のスラストセンサ15は、スピンドル軸2のスラスト方向(回転中心線1aの方向)の移動量を検出するためのものであり、小径の軸部分2bに同軸状態で固着した円環状の移動側電極板16と、この移動側電極板16に所定のギャップで対向配置した一対の固定側電極板17、18とを備えている。本例の固定側電極板17、18は、ほぼ180度の弧を張る点対称状態に配置した円弧板であり、支持板9の側に取り付けられている。移動側電極板16と固定側電極板17の間、および移動側電極板16と固定側電極板18の間にはそれぞれ交流電圧が印加される。スピンドル軸2がスラスト方向に移動すると、移動側電極板16と、固定側電極板17、18の電極間ギャップが変化する。したがって、これらの電極板によって可変容量形キャパシタが構成され、この静電容量の変化を検出することにより、スラスト方向の移動量を検出できる。
可変容量形キャパシタの静電容量は、制御部20の判別回路21に供給される。判別回路21では、静電容量の変化に基づきスピンドル軸2の移動量を算出し、これに基づきスピンドル軸2に負荷状態が過剰であるか否かを判別する。すなわち、スピンドル軸2に取り付けられている極細ドリルの負荷トルクが過剰であるか否かを判別する。過剰負荷状態であると判別されると、制御部20の送り制御回路22により送り機構10による送りが制御され、また、空気圧制御回路23により空気圧回路14が制御され、スピンドル軸2の回転数が調整される。例えば、送り機構10による送りを停止すると共に、スピンドル軸2の回転を止める。この結果、極細ドリル4が過負荷状態に陥って折損するなどの弊害を未然に回避できる。
なお、空気静圧式のラジアル軸受5、6およびスラスト軸受7、8に対する圧縮空気の供給も、高圧空気源13から空気圧回路14を介して行われるようになっている。
この構成の微細加工装置1では、制御部20の制御の下に、送り機構10によってスピンドル軸2の先端に取り付けた極細ドリル4を高速回転させながらワークWに対して送り出し、その所定の部位に微細穴を形成する。微細穴の穴あけ動作中において、極細ドリル4が過負荷状態に陥ると、極細ドリル4の負荷トルクが増加するので、その送り抵抗および回転抵抗が増加する。送り抵抗の増加によって、極細ドリル4が取り付けられているスピンドル軸2が後方に押されて移動する。スピンドル軸2が後方に移動すると、その後端の軸部分2bに取り付けてある移動側電極板16も後方に移動するので、移動側電極板16と、固定側電極板17、18の電極間ギャップが広がり、静電容量が減少する。制御部20の判別回路21ではこの変化に基づき、極細ドリル3が過負荷状態に陥ったことを判別できる。よって、スピンドル軸2の送りあるいは回転を停止し、または、送り速度あるいは回転数を低下させることにより、極細ドリルの折損などの弊害を防止できる。
なお、移動側電極板16を設ける代わりに、スピンドル軸2に電極板部分を形成してもよい。同様に、固定側電極板17、18を設ける代わりに、支持板9の側に固定されている部位、例えば、スラスト軸受8など軸受ケースの端面などに固定側電極板部分を形成してもよい。
(実施の形態2)
上記の微細加工装置1では、スラストセンサ15を用いてスピンドル軸2の過負荷状態を検出している。スラストセンサ15の代わりに、スピンドル軸2の回転状態(回転数、加速度)を検出してもよい。スピンドル軸2の回転数を検出するためのセンサとしては、透過型あるいは反射型の光学センサ、磁気センサなどの非接触型センサを用いることができる。
上記の微細加工装置1では、スラストセンサ15を用いてスピンドル軸2の過負荷状態を検出している。スラストセンサ15の代わりに、スピンドル軸2の回転状態(回転数、加速度)を検出してもよい。スピンドル軸2の回転数を検出するためのセンサとしては、透過型あるいは反射型の光学センサ、磁気センサなどの非接触型センサを用いることができる。
図3は、図1の微細加工装置1において、スラストセンサ15の代わりに、透過型の光学センサを組み付けた場合の一例を示す部分説明図である。この図に示すように、光学センサ30は、一般的に用いられているロータリエンコーダを用いることができる。すなわち、光学センサ30は、スピンドル軸2の後側の軸部分2bに同軸状態に固着したスリット付き回転円盤31と、これに対向配置した固定側スリット板32と、これらを挟み、対向配置された発光素子33および受光素子34とから構成されている。
反射型の光学センサを用いる場合には、例えば、スピンドル軸2の後端側の軸部分の外周面に、円周方向に配列した反射面を形成し、その外周側に配置した発光素子および受光素子を用いて、各反射面で反射したパルス光を検出すればよい。
1 微細加工装置
2 スピンドル軸
4 極細ドリル
5、6 ラジアル軸受
7、8 スラスト軸受
10 送り機構
11 羽根車部分
12 ノズル
13 高圧空気源
14 空気圧回路
15 スラストセンサ
16 移動側電極板
17、18 固定側電極板
20 制御部
21 判別回路
22 送り制御回路
23 空気圧制御回路
W ワーク
30 透過型光センサ
31 スリット付き回転円盤
32 スリット付き固定板
33 発光素子
34 受光素子
2 スピンドル軸
4 極細ドリル
5、6 ラジアル軸受
7、8 スラスト軸受
10 送り機構
11 羽根車部分
12 ノズル
13 高圧空気源
14 空気圧回路
15 スラストセンサ
16 移動側電極板
17、18 固定側電極板
20 制御部
21 判別回路
22 送り制御回路
23 空気圧制御回路
W ワーク
30 透過型光センサ
31 スリット付き回転円盤
32 スリット付き固定板
33 発光素子
34 受光素子
Claims (8)
- 微細穴加工用ドリルなどの微細加工を行う回転工具を回転駆動するためのスピンドル軸と、
前記スピンドル軸を回転自在の状態で支持している支持部と、
前記スピンドル軸を回転駆動するための回転駆動機構と、
前記スピンドル軸に作用する負荷の状態を検出するための非接触型のセンサとを有し、
前記センサは、前記支持部に対する前記スピンドル軸のスラスト方向への微小移動を検知するスラストセンサ、および/または、前記スピンドル軸の回転状態を検出する回転センサであることを特徴とする微細加工装置。 - 請求項1において、
前記支持部は、空気静圧式のラジアル軸受を介して前記スピンドル軸を回転自在の状態で支持していることを特徴とする微細加工装置。 - 請求項2において、
前記支持部は、空気静圧式のスラスト軸受を介して前記スピンドル軸を回転自在の状態で支持していることを特徴とする微細加工装置。 - 請求項2または3において、
前記回転駆動機構は、前記スピンドル軸に形成したラジアル方向に放射状に延びる複数枚の羽根車部分と、当該羽根車部分に対して一定圧力および一定流量の空気を供給する作動空気供給部とを備えた空気圧式の回転駆動機構であることを特徴とする微細加工装置。 - 請求項3において、
前記センサは、前記スピンドル軸と一体でスラスト方向に移動する移動側電極板と、前記支持部に取り付けられた固定側電極板とを備えた可変容量形キャパシタを有する静電容量型のスラストセンサであることを特徴とする微細加工装置。 - 請求項5において、
前記移動側電極板は前記スピンドル軸と一体回転する円環状電極板であり、
前記固定側電極板は、前記スピンドル軸の回転中心に対して点対称状態に配置された一対の円弧板であることを特徴とする微細加工装置。 - 請求項4において、
前記センサは、前記スピンドル軸と一体回転する光透過部あるいは光反射部を備えた回転数検出用の光学センサであることを特徴とする微細加工装置。 - 請求項1ないし7のうちのいずれかの項において、
前記センサの出力に基づき、前記スピンドル軸を回転駆動する前記回転駆動機構を制御する制御部を有していることを特徴とする微細加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004212791A JP2006026864A (ja) | 2004-07-21 | 2004-07-21 | 微細加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004212791A JP2006026864A (ja) | 2004-07-21 | 2004-07-21 | 微細加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006026864A true JP2006026864A (ja) | 2006-02-02 |
Family
ID=35893793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004212791A Pending JP2006026864A (ja) | 2004-07-21 | 2004-07-21 | 微細加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006026864A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008126395A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Daiya Seiki Co Ltd | スピンドルモータ及び穿孔加工装置 |
JP2009291876A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Daiya Seiki Co Ltd | スピンドルモータ及び穿孔加工装置 |
US20120275871A1 (en) * | 2009-09-25 | 2012-11-01 | Atlas Copco Tools Ab | Pneumatic ade-machines |
CN107378063A (zh) * | 2017-07-27 | 2017-11-24 | 苏州艾乐蒙特机电科技有限公司 | 一种钻床自动感应软件 |
CN108818150A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-11-16 | 哈尔滨理工大学 | 电主轴速度检测机构 |
US10222576B2 (en) | 2014-10-15 | 2019-03-05 | Nittoh Inc. | Projection lens barrel and projection display device |
CN112404524A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-02-26 | 西安北方光电科技防务有限公司 | 一种提高细小轴类零件径向孔加工质量的装夹装置及方法 |
-
2004
- 2004-07-21 JP JP2004212791A patent/JP2006026864A/ja active Pending
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