WO2023062973A1 - 加工機及び被加工物の製造方法 - Google Patents
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
Definitions
- the present disclosure relates to a processing machine and a method of manufacturing a workpiece.
- Patent Documents 1 and 2 disclose a cutting device (processing machine) that divides a wafer (work) using a blade (tool) having a cutting edge on its outer periphery. Such a processing machine achieves a desired depth of cut, etc., for example, by moving the blade to a relative position set with respect to a predetermined reference position.
- the information on the position that serves as the reference position is obtained, for example, by bringing the blade closer to the work or the table holding the work and detecting the position of the blade when contact between the two is detected.
- a technique is disclosed in which conductive blades and a table are used and contact between the two is detected by using an electric current generated when the two come into contact with each other.
- Patent Literature 1 proposes a technique of applying a high-frequency voltage to a blade and a table and detecting their approach based on a change in capacitance between the two.
- Patent Literature 2 proposes a technique of acquiring information on a position serving as a reference position by using a pseudo blade imitating a blade instead of a blade.
- Patent Document 1 With the technology of Patent Document 1, a conductive blade must be used. That is, the degree of freedom of blade selection is reduced.
- the technique of Patent Document 2 requires a pseudo blade in addition to the blade. Also, errors can occur due to differences between the blade and the pseudo blade. Therefore, there is a need for a processing machine and a method for manufacturing a workpiece that are capable of acquiring information on a position that is preferably used as a reference position.
- a processing machine includes a spindle, a holding section, a drive section, a position sensor, a rotation sensor, and a control section.
- the spindle holds one of a tool and a workpiece.
- the holding portion holds the other of the tool and the work.
- the driving section moves the movable section, which is one of the main shaft and the holding section, in a predetermined first direction.
- the position sensor detects the position of the movable portion in the first direction.
- the rotation sensor detects rotation of the main shaft.
- the control unit moves the movable unit to a relative position set with respect to a predetermined reference position in the first direction when machining the workpiece with the tool while the spindle is rotating.
- the driving unit is controlled based on the detection value of the position sensor so as to cause the position sensor to move.
- the workpiece or a member immobile with respect to the workpiece is called a reference member.
- the rotation of the spindle is detected by the rotation sensor.
- the position detected by the position sensor when detected is acquired as the reference position.
- a method for manufacturing a workpiece according to one aspect of the present disclosure obtains a workpiece by machining the workpiece with the tool using the processing machine.
- FIG. 1 is a schematic perspective view showing a main part of a processing machine according to an embodiment of the present disclosure
- FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the bearing of the main shaft of the processing machine of FIG. 1
- FIG. 2 is a block diagram schematically showing the configuration of a signal processing system of the processing machine of FIG. 1
- 5(a) and 5(b) are schematic diagrams for explaining an operation related to acquisition of reference position information by the processing machine of FIG. 1
- FIG. FIG. 2 is a flowchart showing an example of a procedure for acquiring reference position information in the processing machine of FIG. 1
- FIG. 1 is a schematic perspective view showing main parts of a processing machine 1 according to an embodiment of the present disclosure.
- FIG. 2 is a schematic perspective view showing an enlarged part of the processing machine 1 of FIG.
- the relationship between the directions of the various members illustrated and the vertical direction is arbitrary. However, in the following description, for the sake of convenience, expressions may be made on the premise that the relationship between the orientation of various members and the vertical direction is the relationship illustrated in the drawings.
- a rectangular coordinate system XYZ is attached to the drawing.
- the Z direction is, for example, a direction parallel to the vertical direction, and the +Z side is, for example, upward.
- the processing machine 1 processes (for example, cuts) the workpiece 103 with the tool 101 .
- the tool 101 and work 103 are supported and driven by the machine body 3 shown in FIG.
- the machine body 3 is controlled by a control section 5 (see FIG. 4).
- the tool 101 is a blade having a cutting edge on its outer circumference, and is held by a spindle 37 parallel to the Y direction.
- the workpiece 103 is cut by moving the main shaft 37 to the -Z side while rotating around the axis parallel to the Y direction.
- a groove extending in the X direction is formed in the upper surface of the workpiece 103 .
- a machining fluid (not shown; for example, a cutting fluid) is supplied from a nozzle 7 to the area to be processed.
- control unit 5 acquires the position of the spindle 37 in the Z direction when the tool 101 is moved to the -Z side and the tool 101 comes into contact with the workpiece 103 (other members are also possible as described later) as the reference position. do. Then, the spindle 37 is moved to the relative position in the Z direction set with respect to the reference position. Thereby, for example, the depth of the groove formed on the upper surface of the workpiece 103 can be set to a desired size (relative distance between the reference position and the relative position).
- FIG. 5(a) and 5(b) are schematic diagrams for explaining a method of acquiring position information that serves as the reference position described above.
- FIG. 6 is a flow chart showing an example of the procedure of a method for acquiring information on a position that serves as a reference position. Note that FIG. 6 may be regarded as a flowchart showing an example of the procedure of processing executed by the control unit 5 .
- reference position information on the reference position may simply be referred to as the reference position for convenience. Acquisition of information on a position that serves as a reference position may simply be referred to as acquisition of a reference position.
- the rotational speed of the tool 101 at this time is lower than, for example, the rotational speed of the tool 101 when cutting the workpiece 103 with the tool 101 .
- the moment driving the tool 101 at this time (the external moment and/or the moment of inertia; hereinafter the same) is smaller than the moment driving the tool 101 during machining.
- the tool 101 is rotated by supplying the fluid from the nozzle 7 toward the outer periphery of the tool 101 in the tangential direction of the outer periphery.
- step ST3 of FIG. 6 the control unit 5 detects this stop of rotation. Further, when the control unit 5 detects the stop of the rotation (when the affirmative determination is made in step ST3), as shown in step ST4, the control unit 5 detects the position of the main shaft 37 in the Z direction at this time, and detects the detected position. The position in the Z direction is set as the reference position.
- the contact of the tool 101 with the work 103 is detected based on the phenomenon that the rotating tool 101 comes into contact with the work 103 and stops. Therefore, the tool 101 or the reference member (the workpiece 103 in this case) in contact with the tool 101 does not have to be conductive. Also, there is no need to use pseudo blades. Furthermore, lowering the number of rotations of the tool 101 (reducing the moment) also reduces the probability of deterioration of the tool 101 and/or the reference member.
- the processing machine 1 has, for example, the machine main body 3 including the spindle 37 and the control section 5 that controls the machine main body 3 .
- the processing machine 1 also has a fluid supply section 9 (see FIG. 4) including a nozzle 7 .
- the control unit 5 may also be used to control the fluid supply unit 9 .
- the fluid supply unit 9 may be regarded as a separate device from the processing machine 1 .
- the tool 101 may be various tools used for various processes.
- tool 101 may be a cutting tool for cutting, a grinding tool for grinding, or an abrasive tool for polishing.
- the cutting tool may be, for example, a milling tool (rotary tool) that rotates itself to cut the workpiece 103 (example shown), or a turning tool that cuts the rotating workpiece 103.
- Milling tools may include, for example, milling cutters, drills and reamers.
- the grinding tool or polishing tool may use fixed abrasive grains fixed to the tool, or may use loose abrasive grains contained in the slurry.
- the turning tool and the work 103 are brought closer to each other while rotating the spindle holding the work 103. Then, it may be detected that the rotation of the work 103 has stopped due to the contact between the two, and the position of the tool 101 or the work 103 detected at this time may be obtained as the reference position.
- description or expression may be given on the premise that the tool 101 is a milling tool as in the illustrated example, without any particular notice.
- the portion of the tool 101 that contacts the workpiece 103 in the first direction is arbitrary.
- the relationship between the orientation of the tool 101 and the first direction is arbitrary.
- the contact portion may be the outer peripheral portion (the outer portion around the rotation axis) (example shown) or the tip portion. .
- the contact of the tool 101 with the workpiece 103 causes rotation of the tool 101 when the reference position is acquired, for example. Easy to stop. This effect increases, for example, as the diameter increases.
- the diameter of the tool 101 is, for example, 1 or more times, 2 or more times, or 5 or more times the maximum length (in another point of view, the maximum thickness) of the tool 101 in the rotation axis direction. you can
- the tool 101 in the illustrated example is a blade having a cutting edge 101a (referenced in FIGS. 5(a) and 5(b)) on its outer periphery.
- the blade is generally plate-shaped (disk-shaped or ring-shaped) with a circular outer edge.
- the blade is used to form grooves in the work 103 and/or cut (divide) the work 103 by rotating about its axis (about the rotation axis parallel to the Y direction in the illustrated example).
- the processing machine 1 may be attached with one blade (the example shown), or may be attached with a plurality of blades spaced apart from each other in the direction parallel to the rotation axis. It should be noted that the following description may be expressed on the premise that one blade is attached, as in the illustrated example.
- the work 103 may also be of various types.
- the workpiece 103 may be made of various materials such as metal, ceramic, resin, wood, chemical wood, or composite material (eg, carbon fiber reinforced plastic).
- the shape and dimensions of the work 103 before and/or after processing are arbitrary.
- the dimensional accuracy required for the workpiece 103 after processing is also arbitrary. For example, when relatively high accuracy is required, the accuracy (tolerance) may be 10 ⁇ m or less, 1 ⁇ m or less, or 100 nm or less.
- the contact portion may be the upper surface of the workpiece 103 (the surface opposite to the table 25) (illustrated example). , different from the illustrated example, it may be a side surface of the workpiece 103 (a surface facing the side of the table 25). Further, although not shown in particular, in a mode in which the tool 101 is a turning tool, the contact portion may be the outer peripheral surface of the workpiece 103 (outer surface around the rotation axis) or the end surface (around the rotation axis). faces in parallel directions).
- a plate-shaped object is illustrated as the workpiece 103.
- FIG. The shape of the plate-like workpiece 103 before processing is arbitrary, and may be, for example, a rectangular shape (example shown in the drawing) or a circular shape.
- the blade is, for example, placed on the upper surface (+Z side surface) of the plate-shaped work 103 and perpendicular to the rotation axis of the tool 101. It contributes to forming grooves extending in the direction (X direction) and dividing the workpiece 103 in the Y direction.
- machine body In the description of the machine main body 3, the outline will be described in the following order of enumeration.
- ⁇ General machine body 3 that can be used in this embodiment ⁇ Machine body 3 illustrated in FIG. ⁇ An example of the structure of the bearing of the main shaft 37
- the machine body 3 supports and drives the tool 101 and workpiece 103 . That is, the machine main body 3 bears the main part of processing.
- the configuration of the machine main body 3 may be of various modes, and may be, for example, a known configuration.
- the boundary is not always clear.
- the machine main body 3 or the processing machine 1 may be classified into either.
- an aspect that is generally classified as a machine tool is taken as an example.
- the processing targeted by the machine body 3 may be various such as cutting, grinding and/or polishing.
- the machine body 3 that performs cutting or the like may rotate the tool 101 or may rotate the workpiece 103 .
- the machine body 3 may or may not be a compound machine tool.
- the machine body 3 may drive one tool 101 (example shown), or may be multi-axis or multi-head for driving a plurality of tools 101 at the same time.
- the machine body 3 (processing machine 1) that rotates the tool 101 (milling tool) may be, for example, a milling machine, a drilling machine, a boring machine, or a machining center.
- the machine body 3 relatively moves the tool 101 and the workpiece 103 on each of the mutually orthogonal X-, Y-, and Z-axes, for example.
- the machine body 3 may be capable of relatively moving the tool 101 and the workpiece 103 along other axes in addition to the above three axes.
- the machine body 3 (processing machine 1) may be rotatable around at least one axis parallel to any one of the three axes (for example, a 5-axis machining center). Relative movement between the tool 101 and the workpiece 103 in each axis may be achieved by movement of the tool 101 or movement of the workpiece 103, as understood from known machine tools.
- orientations of various members such as the main shaft 37 and the table 25 will be described on the assumption that the orientations of the various members do not change.
- This description may apply to aspects in which the orientation of the member is variable, for example, the standard orientation of the member, or a specific orientation different from the standard orientation.
- a standard orientation may be reasonably determined in light of common technical knowledge.
- the relative relationship between the direction of the spindle 37, the direction of the table 25, the vertical direction, and the first direction (the Z direction in the illustrated example) for acquiring the reference position is arbitrary. be.
- the orientation of the spindle 37, the orientation of the tool post, the vertical direction, and the first direction are arbitrary.
- the main shaft 37 (its rotation axis) may be parallel to the upper surface of the table 25 (example shown) or may intersect (for example, orthogonally).
- the first direction may intersect (for example, orthogonally) or be parallel to the main axis 37 (example shown).
- the first direction may intersect (for example, orthogonally) or be parallel to the upper surface of the table 25 (example shown).
- FIG. 1 a slicer capable of cutting by rotating a disk-shaped tool 101 having a cutting edge 101a on the outer periphery is illustrated as the machine body 3. As shown in FIG.
- the machine body 3 illustrated in FIG. 1 has the following components as components for supporting the workpiece 103.
- a base 21 installed on the floor of a factory or the like.
- X-axis bed 23 fixed on base 21;
- table 25 supported by the X-axis bed 23 and movable in the X direction (horizontal direction).
- a chuck 27 that is fixed on the table 25 and detachably holds the workpiece 103 .
- the machine body 3 may be configured so that the table 25 can rotate around an axis parallel to the Z axis.
- the machine body 3 illustrated in FIG. 1 has the following components as components for supporting and driving the tool 101.
- a Y-axis moving unit 31 supported by the Y-axis bed 29 and movable in the Y direction (horizontal direction).
- a Z-axis moving part 33 supported by the Y-axis moving part 31 and movable in the Z direction (vertical direction).
- a spindle head 35 (not including the spindle 37) fixed to the Z-axis moving part 33;
- a spindle 37 (referred to in FIG. 2) is rotatably supported by a spindle head 35 about a rotation axis parallel to the Y direction and detachably holds the tool 101 .
- a drive force from a drive source (for example, an electric motor) (not shown) is transmitted to the table 25 to move the table 25 in the X direction.
- a driving force from a drive source (for example, an electric motor) (not shown) is transmitted to the Y-axis moving portion 31 to move the Y-axis moving portion 31 in the Y direction, thereby moving the tool 101 supported by the Y-axis moving portion 31. It moves relative to the workpiece 103 in the Y direction.
- a driving force from a predetermined drive source (for example, a Z-axis electric motor 39 shown in FIG. 4 to be described later) is transmitted to the Z-axis moving portion 33 to move the Z-axis moving portion 33 in the Z direction.
- the tool 101 supported by is moved relative to the workpiece 103 in the Z direction.
- a driving force from a predetermined drive source (for example, a main shaft electric motor 41 shown in FIG. 4) is transmitted to the main shaft 37 to rotate the main shaft 37 around its axis, thereby rotating the tool 101 held by the main shaft 37 around its axis. be done.
- each member 21, 23, 25, 27, 29, 31, 33, 35 and 37
- the actual shape of each member may deviate greatly from the illustrated shape.
- the material of each member is also arbitrary.
- guides (no reference numerals) for guiding the moving parts (25, 31 or 33) that move in parallel with the supporting parts (23, 29 or 31) are also shown only schematically, It does not matter if it deviates from the shape or the like.
- a guide that guides the moving part (25, 31 or 33) that moves in parallel with the supporting part (23, 29 or 31) may be an appropriate one.
- the guide may be a sliding guide in which the supporting portion and the moving portion slide, a rolling guide in which rolling elements roll between the supporting portion and the moving portion, or a sliding guide in which the rolling element rolls between the supporting portion and the moving portion. It may be a static pressure guide that intervenes air or oil between the parts, or a combination of two or more of these.
- the bearings of main shaft 37 may be plain bearings, rolling bearings, hydrostatic bearings, or a combination of two or more of these.
- a driving source for parallel movement is, for example, an electric motor.
- This electric motor may be a rotary motor or a linear motor.
- the rotary motion of the rotary electric motor may be converted into linear motion by an appropriate mechanism such as a screw mechanism (for example, a ball screw mechanism).
- the driving source for parallel movement may be hydraulic or pneumatic.
- the drive source for rotation of the main shaft 37 is, for example, a rotary electric motor (main shaft electric motor 41).
- the drive source for rotating the main shaft 37 may be hydraulic or pneumatic.
- the specific configuration of the various motors may vary.
- the motor may be a DC motor or an AC motor.
- the AC motor may be a synchronous motor or an induction motor.
- the rotor (not shown) of the main shaft electric motor 41 and the main shaft 37 are, for example, fixed to each other so as to rotate together (including modes in which parts are shared). However, a clutch and/or a transmission or the like may be interposed between the rotor (part or all of it) and the main shaft 37 . When a clutch is interposed, the moment of inertia may be reduced by disconnecting the rotor from the main shaft 37 in the operation of obtaining the reference position.
- the description and expressions are based on the premise that the rotor and the main shaft 37 rotate integrally.
- the main shaft electric motor 41 is a synchronous motor including permanent magnets, for example, when power is not supplied and torque is free, an attractive force that stops the rotation of the main shaft 37 is generated. Therefore, for example, the probability of unintended rotation occurring when obtaining the reference position is reduced. Also, from another point of view, rotation by supplying fluid to the tool 101 is effective.
- the main shaft motor 41 is an induction motor, for example, when power is not supplied and the torque is free, the attraction force that stops the rotation of the main shaft 37 is not generated. Therefore, for example, even if the force applied to the tool 101 by the fluid is reduced, the main shaft 37 can be rotated.
- the chuck 27 is configured by, for example, a vacuum chuck or an electrostatic chuck, and is attached to the table 25 by an appropriate instrument such as a machine vise (not shown). Note that the chuck 27 may be configured integrally with the table 25, unlike the above description. Alternatively, the workpiece 103 may be fixed to the table 25 by an appropriate jig (for example, a machine vise) other than the chuck 27 without providing the chuck 27 .
- the combination of the table 25 and the chuck 27 may be regarded as the table.
- the holding surface of the table that holds the work 103 is the holding surface 25a (reference numeral in FIG. 2) of the table 25 that indirectly holds the work 103 by holding the chuck 27.
- it may refer to the holding surface 27a (reference numeral in FIG. 2) of the chuck 27 that directly holds the workpiece 103.
- the spindle 37 may hold the tool 101 by its own mechanism (for example, a clamping mechanism), or may be attached to the tool 101 by a tool including a screw or the like.
- the blade (tool 101) includes, for example, a member (not shown) having a shaft portion inserted through a hole formed in the center of the blade, a member overlapping the blade in the axial direction of the main shaft 37, and a member inserted through these members. It may be fixed to the main shaft 37 by a screw that is screwed into the main shaft 37 by means of a screw.
- the blade may be regarded as the tool 101 , or the entirety of the blade and the tool for attaching the blade to the main shaft 37 may be regarded as the tool 101 .
- the main shaft 37 is located on the side facing the holding surface 27a of the table 25, and its rotation axis is along (for example, parallel to) the holding surface 27a. As the main shaft 37 moves in the Z direction as the first direction, the outer peripheral portion of the blade as the tool 101 comes into contact with the upper surface of the work 103, and processing or acquisition of the reference position is performed.
- the bearings of the main shaft 37 may be of any configuration.
- the configuration of a hydrostatic bearing will be described.
- FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of the configuration of the bearing 43 of the main shaft 37, corresponding to line III-III in FIG.
- a gap is formed between the outer peripheral surface of the spindle 37 and the inner peripheral surface of the spindle head 35 .
- Gas for example, air
- liquid for example, oil or water
- the bearing 43 is an air bearing.
- FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the processing machine 1, focusing on the configuration of the signal processing system.
- the fluid supply unit 9 has a nozzle 7 and a supply unit main body 47 that supplies fluid to the nozzle 7 .
- the fluid supply unit 9 supplies the machining fluid from the nozzle 7 to the area where the workpiece 103 is machined by the tool 101 (hereinafter sometimes referred to as "machining area"). Further, the fluid supply unit 9 rotates the tool 101 by supplying fluid from the nozzle 7 toward the tool 101 when acquiring the reference position.
- the working fluid may be of various types that are used for various types of machining.
- the machining fluid may be a cutting fluid (in other words, a cutting fluid).
- the main component of the cutting fluid may be oil or water.
- the working fluid may be, for example, a grinding fluid for grinding or a polishing fluid for polishing.
- the grinding fluid or polishing fluid (slurry) may or may not contain free abrasive grains.
- the processing liquid may be simply water.
- the working fluid may be a coolant whose purpose is only cooling, or whose main purpose is cooling.
- the type (component) of the fluid supplied to the tool 101 to rotate the tool 101 in the operation of acquiring the reference position is arbitrary.
- the fluid may be a working liquid, a liquid different from the working liquid, or a gas.
- Gases can include, for example, air and inert gases (eg, nitrogen).
- air and inert gases eg, nitrogen
- expressions may be made on the premise that the fluid supplied for obtaining the reference position is air.
- the tool 101 is the member to which the fluid is applied in order to rotate the spindle 37 in the operation of acquiring the reference position.
- the work 103 may be the member to which the fluid is applied. In either mode, it can be said that the member to which the fluid is applied is a rotational object held by the main shaft 37 .
- the fluid may be applied to the spindle 37 instead of or in addition to the object to rotate.
- a member may be attached to the main shaft 37 to increase the moment caused by the impact of the fluid. Such a member may be regarded as part of the main shaft 37 or part of the rotational object.
- the fluid is applied to the outer surface of the object to be rotated (tool 101 or workpiece 103) or the outer surface exposed to the outside of the spindle 37.
- the reason why the outer surface of the spindle 37 is exposed to the outside is to distinguish it from the technique of applying a moment to the spindle 37 by fluid within the spindle head 35 for machining (the technique of using fluid instead of the spindle motor 41). is.
- the description of the present embodiment may be expressed on the premise that the tool 101 is the member to which the fluid is applied in order to rotate the main shaft 37 in the operation of obtaining the reference position.
- the term tool 101 as a member to which the fluid is applied may be appropriately replaced with the term work 103 or spindle 37 as long as there is no contradiction.
- the nozzle 7 shown in FIG. 2 supplies machining fluid to the machining area when the workpiece 103 is machined by the tool 101 .
- the machining area is, in other words, an area of the workpiece 103 that is being machined by the tool 101 .
- the working area is the position where the cutting edge is in contact with the workpiece 103 and its adjacent area.
- the processing area is the contact position and the adjacent area between the tool 101 and the workpiece 103, or the contact area, and the contact is free abrasive grains. It may be indirect through
- the supply of the machining liquid to the machining area may be performed in various ways.
- the nozzle 7 may cause the machining fluid to flow toward the machining area, or may cause the machining fluid to flow toward a position away from the machining area of the tool 101 or the workpiece 103 so that the machining fluid flows into the tool 101 or the workpiece 103.
- the workpiece 103 may be conveyed to reach the machining area.
- the nozzle 7 may eject the machining fluid, or may flow the machining fluid at a flow rate that cannot be said to be an ejection.
- the nozzle 7 may discharge (e.g., jet) the machining fluid as a single stream having an appropriate cross section, may discharge (e.g., jet) the machining fluid in the form of a shower, or may eject (e.g., eject) the machining fluid in the form of a mist. may be ejected.
- the nozzle 7 applies fluid in a direction that imparts a moment about the rotation axis of the main shaft 37 to the outer surface of the tool 101 .
- the position (area) of the tool 101 to which the fluid is applied can be various positions, and the direction in which the fluid is applied to the position (from another point of view, the fluid is ejected). direction) can also be in various directions.
- the tool 101 can be rotated as long as an imaginary line extending in the direction of the resultant force from the point of action of the resultant force of the force exerted by the fluid on the tool 101 is away from the rotation axis. In other words, tool 101 will rotate if fluid is applied to the outer surface of tool 101 offset relative to the axis of rotation of tool 101 .
- the direction in which the fluid hits extends from the position where the fluid hits (or the region or the center position of the region) to the direction in which the fluid hits.
- the imaginary line may be directed away from the rotation axis of the main shaft 37 .
- this direction can be considered as the tangential direction of a circle with an arbitrary radius centered on the axis of rotation.
- the direction in which the fluid hits may be the tangential direction of a circle passing through the location where the fluid hits.
- the tangential direction with respect to the direction in which the fluid impinges (and/or the direction in which the fluid is ejected) may include relatively large tolerances, e.g. may be within the range of
- the direction in which the fluid hits may be orthogonal to the rotation axis of the tool 101 in terms of the torsional positional relationship, or may be inclined in a direction parallel to the rotation axis (the Y direction in the illustrated example). good too.
- the position where the fluid hits may be the outer peripheral portion of the tool 101 (the outer portion around the rotation axis), or the surface facing the direction along the rotation axis of the tool 101 (the +Y side in the illustrated example). and/or -Y side), or both the former and the latter.
- the fluid applied to the tool 101 to rotate the main shaft 37 is a liquid
- various aspects may be taken when the fluid is ejected from the nozzle 7 .
- the description of the mode of supply (the mode of jetting out as a single stream, the mode of jetting out in the form of a shower, etc.) in the description of the supply of the working fluid may be incorporated into the mode of supplying the fluid for rotation.
- the liquid may be supplied to the tool 101 in a manner that cannot be said to be a jet, and the tool 101 may be rotated using the force of the liquid dropping.
- the configuration of the nozzle 7 may be configured in various ways, for example, it may be the same as a known configuration.
- the configuration of the nozzle for realizing the mode of ejecting the liquid (the mode of ejecting the liquid in a single stream, the mode of ejecting the liquid in the form of a shower, etc.) is well known.
- the nozzle 7 may be capable of switching the manner in which the liquid is discharged, or may not be capable of switching. In the former case, the switching state of the nozzle 7 may be the same or different when supplying the machining fluid and when supplying the fluid for rotating the spindle 37. good.
- the configuration related to the attachment and positioning of the nozzle 7 may have various configurations, for example, it may be the same as a known configuration.
- the nozzle 7 may be detachable from the machine body 3 .
- the nozzle 7 may be regarded as a separate element from the processing machine 1, like the tool 101 and the workpiece 103.
- the nozzle 7 may be movable during processing, or may be arranged at a fixed position.
- the positioning of the nozzle 7 with respect to a given element (for example the spindle 37) can be done manually or by a robot. In the latter case, the positioning may be performed automatically by the control unit 5 or may be performed by operating an operation unit (not shown) of the processing machine 1 .
- the position of the nozzle 7 is the same when supplying machining fluid and when supplying fluid for rotating the main shaft 37 in the operation of obtaining the reference position. There may be, or they may be different.
- the nozzle 7 is positioned at the tip of a bellows (reference numerals omitted) that can maintain its shape.
- the end of the bellows opposite to the nozzle 7 is connected to a block (not numbered) having a channel.
- the block is secured to the spindle head 35 by suitable equipment. Therefore, the nozzle 7 can move relative to the workpiece 103 together with the tool 101 (except for the rotation of the tool 101 about its axis), and its specific position and orientation can be determined by manually deforming the bellows.
- the nozzle 7 is positioned so that the cutting edge 101a of the blade as the tool 101 impinges on the cutting edge 101a with the machining fluid and the fluid for rotating the spindle 37 in the tangential direction of the cutting edge 101a.
- the supply unit main body 47 has a machining fluid supply source 49 that supplies machining fluid, and an air supply source 51 that supplies fluid (here, air) for rotating the main shaft 37 when obtaining the reference position. there is Further, the supply unit body 47 has a control valve 53 that selectively connects the machining fluid supply source 49 and the air supply source 51 to the nozzle 7 . Thereby, the fluid supply part 9 can selectively flow out the machining fluid and the air from the nozzle 7 .
- the configuration of the machining liquid supply system in the supply unit main body 47 may be appropriately configured according to the type of the machining liquid.
- the working fluid is a cutting fluid, a grinding fluid, or a polishing fluid
- the working fluid supply system has a structure similar to or adapted from the structure of a device that supplies these working fluids in a normal machine tool.
- the machining fluid is water
- the machining fluid supply system may be configured to supply water from factory equipment and have a valve that permits and prohibits the supply of the water to the nozzle 7 .
- the working fluid supply source 49 includes, for example, although not shown, a tank that stores the working fluid and a working fluid that is supplied from the tank. and a pump to deliver.
- the machining fluid supply system may have a valve at an appropriate position (for example, between the pump and the control valve 53) to control the flow of the machining fluid.
- FIG. 4 illustrates a working fluid valve 55 that is opened and closed according to a command from the control unit 5 .
- the pump and/or the working fluid valve 55 may control whether or not the working fluid is supplied, the flow rate of the working fluid, and/or the pressure of the working fluid.
- the configuration of the air supply system in the supply unit main body 47 may be an appropriate configuration.
- a working fluid supply device there is known one that mixes the working fluid and compressed air and ejects a mist of the working fluid.
- This configuration for supplying compressed air may be applied to or shared with an air supply system.
- the air supply source 51 may have, for example, a compressor (not shown) that delivers air.
- the air supply system may have a valve that controls the flow of air at an appropriate position (for example, a position between the compressor and the control valve 53).
- FIG. 4 illustrates an air valve 57 that is opened and closed according to commands from the control unit 5 . The presence or absence of air supply, air flow rate and/or air pressure may be controlled by the compressor and/or the air valve 57 .
- the description of the machining liquid supply system is applied to the liquid supply system as long as there is no contradiction. good.
- the fluid for rotating the spindle 37 is machining fluid
- the supply system for supplying the machining fluid during machining is used to supply the machining fluid in the operation of acquiring the reference position. you can In other words, the supply system and control valve 53 separate from the machining fluid supply system need not be provided.
- control valve 53 is arbitrary. In FIG. 4, for the sake of convenience, the control valve 53 is indicated by the symbol of a 3-port 2-position switching valve. However, the control valve 53 may be another type of valve. For example, control valve 53 may be capable of inhibiting flow of both machining fluid and air. The control valve 53 may have the function of a flow control valve or a pressure control valve. The control valve 53 is opened and closed according to a command from the controller 5 .
- control valve 53, the working fluid valve 55, and the air valve 57 may be regarded as one valve as a whole.
- the control valve 53 may be omitted and the machining fluid and air may be selectively supplied to the nozzle 7 by the machining fluid valve 55 and the air valve 57 .
- the machining fluid valve 55 and the air valve 57 may be omitted by allowing the control valve 53 to inhibit the flow of both machining fluid and air.
- the fluid supply unit 9 is regarded as a part of the processing machine 1.
- the fluid supply unit 9 may be provided so as to be regarded as a part of the processing machine 1 in terms of appearance, or may be provided so as not to be regarded as such.
- part or all of the fluid supply unit 9 may be housed in a housing (not shown) together with the machine body 3 shown in FIG. good.
- Part or all of the fluid supply 9 may be arranged in or on the base 21 of the machine body 3 .
- the control unit 5 shown in FIG. 4 may be configured including, for example, a computer.
- the computer includes, for example, a CPU (central processing unit), a ROM (read only memory), a RAM (random access memory), and an external storage device (not shown).
- a RAM and/or an external storage device are shown as storage unit 67 .
- Various functional units (59, 61, 63 and 65) that perform control and the like are constructed by the CPU executing programs stored in the ROM and/or the external storage device.
- the control unit 5 may include a logic circuit that performs only certain processing.
- the control unit 5 is a conceptualized control unit for the processing machine 1 as a whole.
- the control unit 5 may be integrated in one place in terms of hardware, or may be distributed in a plurality of places.
- a control unit that controls the machine body 3 and a control unit that controls the fluid supply unit 9 may be provided separately in terms of hardware. Both may perform control synchronously, or may not perform such control. Synchronization may be achieved by one operating based on a signal from the other, or may be achieved by providing a higher-level controller for both.
- the control unit 5 has functional units (59, 61 and 63) that control the machine body 3 and a fluid control unit 65 that controls the fluid supply unit 9 as functional units that perform control and the like. More specifically, the former includes a movement control unit 59 that controls relative movement between the spindle 37 and the table 25 during machining, a rotation control unit 61 that controls rotation of the spindle 37 during machining, and a reference position acquisition. It is the reference position acquisition unit 63 that controls the operation when the position is set. A part of these various functional units may be shared.
- the movement control unit 59 drives the moving unit, for example, based on the detected value of the position sensor that detects the position of the moving unit (25, 31 or 33) on each axis (eg, X-axis, Y-axis or Z-axis). Control the drive source.
- position sensors may not be provided for axes other than the axis (the Z axis in the illustrated example) related to the first direction in which the reference position is acquired. From another point of view, open-loop control may be performed for other axes without performing feedback control based on the position sensor.
- FIG. 4 exemplifies a configuration for controlling the Z-axis electric motor 39 based on the Z-axis position sensor 69 that detects the Z-direction position of the Z-axis moving portion 33 among the configurations related to the three axes.
- the position in the Z direction of the Z-axis moving unit 33 here is, for example, the position in the Z direction in an absolute coordinate system (machine coordinate system from another point of view). is the position in the Z direction relative to the intended member (eg, Y-axis mover 31).
- the above-mentioned position sensor may directly detect the position of the moving part (example shown), or may detect the amount of operation of the drive source that drives the moving part (for example, the amount of rotation of a rotary electric motor). It may be one that detects. From another point of view, the feedback control based on the detected value of the position sensor may be of a fully closed loop (example shown) or of a semi-closed loop.
- the specific configuration of the position sensor may be various configurations, and may be, for example, a linear encoder (illustrated example) or a laser length-measuring device. Linear encoders may be optical or magnetic, and may be absolute or incremental.
- the rotation control unit 61 controls the main shaft electric motor 41 that drives the main shaft 37 based on the detection value of a rotation sensor 71 that detects the rotation of the main shaft 37 (more specifically, the number of revolutions, for example).
- the rotation sensor 71 may directly detect the rotation of the main shaft 37 or may detect the rotation of the main shaft electric motor 41 . again.
- a specific configuration of the rotation sensor 71 may be various configurations, and may be an encoder or a resolver, for example. Encoders may be optical or magnetic, and may be absolute or incremental.
- the control by the movement control unit 59 and the rotation control unit 61 is performed, for example, according to the NC program D1 stored in the storage unit 67 (RAM and/or external storage device).
- the NC program D1 defines one or more values for at least one of the absolute coordinates (machine coordinates) of the target position, the relative coordinates of the target position, the target movement amount, the target rotation speed, and the like. Then, based on the detection values of the position sensor (69, etc.) and the rotation sensor 71, the movement control unit 59 and the rotation control unit 61 adjust the driving sources (39, 41, etc.) so that the above-described various target values are realized. to control.
- the acquired reference position information D3 is stored in the storage unit 67 (RAM and/or external storage device).
- the information D3 is appropriately used in the control performed according to the NC program D1.
- the mode of utilization thereof may be various.
- the NC program D1 may include a program (one or more blocks) for moving the spindle 37 (tool 101) to a relative position (target position) set with respect to the reference position in the Z-axis direction. Thereby, a reference position may be used.
- the position relative to the reference position may be defined by relative coordinates to the reference position or by the amount of movement from the reference position in one or more blocks. Further, the movement to the relative position in the Z-axis direction may or may not be accompanied by movement in other axes.
- the relationship between the movement based on the reference position and the processing content is also arbitrary.
- the groove may be formed at a predetermined depth. That is, the reference position may be used as a position for defining the depth of cut from the upper surface of the workpiece 103 .
- the reference position may be used in a manner in which the reference position is not defined within the NC program.
- the reference position is defined in the NC program by detecting the deviation between the actual position of the tool 101 and/or work 103 and the assumed position of the tool 101 and/or work 103 in machine coordinates. It may be used to correct general machine coordinates or general position detected by a position sensor. It should be noted that such a mode of use can also be regarded as moving the main shaft 37 to a relative position set with respect to the reference position.
- the reference position acquisition unit 63 controls the machine body 3 (more specifically, the Z-axis electric motor 39) and the fluid supply unit 9 so as to implement the operation for acquiring the reference position. In FIG. 4, illustration of an arrow representing this control is omitted.
- the reference position acquisition unit 63 may use the movement control unit 59 in controlling the Z-axis electric motor 39 , and may control the fluid control unit 65 in controlling the fluid supply unit 9 . From another point of view, the reference position acquisition unit 63 may share a part with the movement control unit 59 and the fluid control unit 65 .
- the reference position acquisition unit 63 acquires the position of the main shaft 37 in the Z-axis direction when the stop of rotation of the main shaft 37 is detected as the reference position.
- a sensor that detects the position of the spindle 37 at this time is, for example, the Z-axis position sensor 69 that the movement control unit 59 uses for feedback control.
- the reference position and the relative position set with respect to the reference position are specified based on the detection value of the same sensor, so that the machining accuracy is improved.
- the operation procedure for acquiring the reference position is defined by a program separate from the NC program, unlike the operation procedure during machining, for example.
- the other program is included in a program executed by the CPU to construct the reference position acquisition section 63, for example.
- a program for constructing the reference position acquisition unit 63 may be stored in advance in the storage unit 67 by the manufacturer of the processing machine 1 or may be installed in the existing processing machine 1 by the operator. Unlike the above description, part of the operating procedure for obtaining the reference position may be defined by a program created similarly to the NC program.
- the sensor that detects the stop of rotation may be the rotation sensor 71 that the rotation control unit 61 uses for feedback control (the example shown in the figure), or may be another sensor.
- the former aspect for example, the configuration is simplified.
- a sensor capable of detecting minute changes in the rotation angle is provided rather than the rotation sensor 71, so that stoppage of rotation can be detected with high accuracy. It should be noted that, in the description of the present embodiment, expressions based on the former aspect may be used for the sake of convenience.
- the fluid control unit 65 controls the fluid supply unit 9 so that, for example, machining fluid is supplied during machining, and air is supplied during acquisition of the reference position.
- Specific controlled objects are, for example, a control valve 53, a machining fluid valve 55, an air valve 57, a machining fluid supply source 49 (for example, a pump (not shown)), and an air supply source 51 (for example, a compressor (not shown)). be.
- the operation for obtaining the reference position shown in these figures may be started when the operator performs a predetermined operation on an operation unit (not shown) of the processing machine 1, or may be started by the operator. It may be automatically started by the control unit 5 without depending on the operation. In the latter mode, the timing at which the control unit 5 automatically acquires the reference position is, for example, when a series of machining defined by the NC program is started, and when a specific machining is performed in the series of machining. and when the wear amount of the tool 101 exceeds a predetermined threshold by a sensor (not shown) that detects the wear of the tool 101 .
- the control unit 5 controls the fluid supply unit 9 to blow air from the nozzle 7 onto the tool 101 .
- the control unit 5 for example, puts the main shaft motor 41 in a torque-free state. That is, no power is supplied to the main shaft motor 41 .
- the main shaft 37 rotates as indicated by the arrow a1.
- the control unit 5 also controls the Z-axis electric motor 39 to move the main shaft 37 toward the table 25 as indicated by the arrow a2.
- the rotation of the main shaft 37 and the movement of the main shaft 37 may be started at the same time, or one may be started before the other.
- the ejection of air from the nozzle 7 may be continued until the stop of rotation of the main shaft 37 is detected, or may be stopped before the stop of rotation of the main shaft 37 is detected.
- the main shaft 37 can be reliably rotated until the main shaft 37 comes into contact with the workpiece 103 and the rotation of the main shaft 37 stops.
- the possibility of deterioration of the tool 101 and/or the work 103 can be reduced.
- the number of rotations of the main shaft 37 (from another point of view, air pressure, etc.) when acquiring the reference position may be set appropriately.
- the number of rotations at this time may be sufficiently lower than the number of rotations when the tool 101 performs processing.
- the moment of inertia of the spindle 37 and the tool 101 and/or the moment the air imparts to the tool 101 may be smaller than during machining.
- a specific number of rotations or moment in processing or obtaining a reference position may be appropriately set according to the specific configuration of the machine body 3 to which the present embodiment is applied, the type of the tool 101, the type of the workpiece 103, and the like. .
- the rotation speed is 2000 rpm (rotations per minute) or more
- the reference position is 100 rpm or less, or 10 rpm or less.
- the number of revolutions in the operation of acquiring the reference position may be 1/10 or less or 1/100 or less of the number of revolutions in machining.
- the number of revolutions for processing is set by the operator of the processing machine 1, for example.
- the number of revolutions for machining is defined by the NC program. Therefore, when focusing on the processing machine 1 in the distribution stage, the relative relationship between the number of rotations for processing and the number of rotations for obtaining the reference position need not be regarded as a component of the processing machine 1. .
- the number of rotations for processing if there is a lower limit value that can be set by the operator in the processing machine 1, or if there is a lower limit value recommended by the manufacturer in the specifications, etc., the above lower limit The number of rotations for obtaining the reference position may be compared with the value to determine whether the above relationship holds.
- the number of revolutions for machining specified by the NC program if the number of revolutions specified by the NC program is not constant, the lowest number of revolutions is compared with the number of revolutions for obtaining the reference position. you can
- the number of rotations for obtaining the reference position may be set by the manufacturer of the processing machine 1 or may be set by the operator of the processing machine 1, for example. From another point of view, information on the number of rotations for obtaining the reference position may be stored in advance in the storage unit 67, or may be input to the control unit 5 by operating an operation unit (not shown) of the processing machine 1. may When the operator sets the number of rotations for obtaining the reference position, the number of rotations for obtaining the reference position cannot be regarded as a component of the processing machine 1 when focusing on the processing machine 1 in the distribution stage. What can be done is similar to the number of revolutions for machining.
- the moving speed of the main shaft 37 in the operation of acquiring the reference position may be set appropriately.
- this movement speed may be constant or may not be constant (a speed change may be performed).
- the predicted position may be input to the control unit 5 by an NC program or by an operator's operation on an operation unit (not shown).
- the moving speed when the tool 101 contacts the workpiece 103 for obtaining the reference position may be slower than or equal to the moving speed when the tool 101 contacts the workpiece 103 for machining. It can be faster, or it can be faster.
- the moving speed may be set by the manufacturer of the processing machine 1 or may be set by the operator of the processing machine 1 . From another point of view, the moving speed information may be stored in the storage unit 67 in advance, or may be input to the control unit 5 by operating an operation unit (not shown) of the processing machine 1 or the like.
- the control unit 5 may control the Z-axis electric motor 39 so as to move the main shaft 37 with a position on the -Z side of the predicted position of the reference position as the target position. Then, the spindle 37 may be stopped in the Z direction by the force received from the workpiece 103 .
- the control unit 5 may control the Z-axis electric motor 39 so as to generate an appropriate torque so that the force of the tool 101 pushing the workpiece 103 toward the -Z side does not become excessively large. Further, the control unit 5 may detect deceleration or stoppage of the main shaft 37 in the Z direction based on the detection value of an appropriate sensor, and stop driving the Z-axis electric motor 39 in response to the detection. Examples of the sensors include a Z-axis position sensor 69, a sensor that detects power supplied to the Z-axis electric motor 39, and a sensor that detects stoppage of rotation of the main shaft 37 (for example, the rotation sensor 71).
- control unit 5 rotates the tool 101 by the air from the nozzle 7 and brings the tool 101 closer to the work 103 while rotating the tool 101 by the rotation sensor 71 (or other sensor). is detected, the detected value of the Z-axis position sensor 69 at that time is stored in the storage unit 67 as a reference position.
- the rotation sensor 71 detects the stop of rotation. When it falls below, the control unit 5 may determine that the rotation has stopped.
- the threshold may be set by the manufacturer of the processing machine 1 or may be set by the operator of the processing machine 1 . From another point of view, the threshold information may be stored in the storage unit 67 in advance, or may be input to the control unit 5 by operating an operation unit (not shown) of the processing machine 1 or the like.
- part of the operations shown in FIGS. 5(a) and 5(b) may be performed manually, or may be performed by an operator's operation of an operation unit (not shown) of the processing machine 1.
- the part includes, for example, rotation of the main shaft 37 and/or movement of the main shaft 37 in the -Z direction.
- the workpiece 103 was taken as an example of the reference member with which the tool 101 abuts when obtaining the reference position.
- the reference member may be another member immovable with respect to the workpiece 103 .
- the reference member may be the table 25 or the chuck 27, or may be a dedicated member that is detachably fixed to the table 25 or the chuck 27 to obtain the reference position.
- the above dedicated member may be regarded as part of the table 25 or the chuck 27 .
- the term workpiece 103 may be replaced with the term other reference member as long as there is no contradiction.
- the processing machine 1 includes the main shaft 37, the holding section (table 25), the driving section (Z-axis electric motor 39), the position sensor (Z-axis position sensor 69), the rotation sensor 71, the control section 5 and
- the spindle 37 holds one of the tool 101 and the workpiece 103 (the tool 101 in the illustrated example).
- the holding section (table 25) holds the other of the tool 101 and the work 103 (the work 103 in the illustrated example).
- the Z-axis electric motor 39 moves the movable portion (main shaft 37), which is one of the main shaft 37 and the table 25, in a predetermined first direction (Z direction).
- a Z-axis position sensor 69 detects the position of the main shaft 37 in the Z direction.
- a rotation sensor 71 detects rotation of the main shaft 37 .
- the control unit 5 moves the spindle 37 to a relative position set with respect to a predetermined reference position in the Z direction when machining the workpiece 103 with the tool 101 while the spindle 37 is rotating.
- the Z-axis motor 39 is controlled based on the detected value of the Z-axis position sensor 69 .
- the control unit 5 moves the main shaft 37 in the Z direction while the main shaft 37 is rotating to move the tool 101. and the reference member are in contact with each other in the Z direction, the position detected by the Z-axis position sensor 69 when the rotation sensor 71 detects that the rotation of the main shaft 37 has stopped is acquired as the reference position.
- the method for manufacturing a workpiece uses the processing machine 1 as described above to process the workpiece 103 with the tool 101 to process the workpiece (for example, the workpiece 103 after cutting). ).
- the tool 101 and the reference member (here, the workpiece 103) in contact with the tool 101 may not have conductivity. Also, there is no need to use a conductive dummy tool instead of the tool 101 .
- the first direction (Z direction) for obtaining the above reference position may be a direction that intersects (for example, orthogonally) the rotation axis of the main shaft 37 .
- the outer circumference of the milling tool may come into contact with the reference member (for example, the workpiece 103) when acquiring the reference position.
- the outer peripheral portion of the reference member for example, the workpiece 103 may abut against the tool 101 when acquiring the reference position.
- the contact between the milling tool and the workpiece 103 tends to stop the rotation of the milling tool.
- the reason for this is that the distance from the rotation axis of the milling tool to the contact position between the milling tool and the work 103 tends to be long, and/or the contact area between the outer circumference of the milling tool and the work 103 is increased. There are easy things.
- the spindle 37 that holds one of the tool 101 and the workpiece 103 may hold the tool 101 .
- a holding portion that holds the other of the tool 101 and the work 103 is positioned on one side (-Z side) in the first direction (Z direction) of the spindle 37, and is provided with a table (table 25 and/or chuck 25) that holds the work 103. 27).
- the tool 101 may be a blade having a cutting edge 101a on its outer circumference.
- the reference position may be a position where the cutting edge 101a abuts on the workpiece 103 or the table (more specifically, the other side (+Z side) of these in the Z direction).
- the processing machine 1 may further have a fluid supply section 9 .
- the tool 101 or workpiece 103 (the tool 101 in the illustrated example) held by the spindle 37 is referred to as a rotating object.
- the fluid supply unit 9 applies the fluid to at least one of the outer surface to be rotated and the outer surface of the main shaft 37 exposed to the outside, thereby realizing the rotation of the main shaft 37 in the operation of acquiring the reference position. good.
- the reference position can be obtained by rotating the spindle 37 with a drive source other than the drive source (spindle motor 41) that drives the spindle 37 for machining. Therefore, for example, compared to a mode in which the main shaft motor 41 rotates the main shaft 37 to obtain the reference position (this mode may also be included in the technology according to the present disclosure), regardless of the performance of the main shaft motor 41, You can set the number of rotations when acquiring the reference position. As a result, for example, it becomes easier to lower the number of rotations when acquiring the reference position.
- the fluid supply unit 9 may realize the rotation of the spindle 37 in the operation of acquiring the reference position by applying the fluid to the outer surface of the object to be rotated (the tool 101 or the work 103).
- the machining fluid is supplied to the tool 101 or the workpiece 103 during machining. It is easy to use the device for obtaining the reference position as a device for obtaining the reference position. From another point of view, the configuration of the apparatus can be simplified in a mode in which the apparatus for supplying the machining fluid during machining is also used for obtaining the reference position. As a device used for obtaining the reference position, a device for supplying machining fluid is taken as an example, but other devices such as a device for supplying cleaning air may be used.
- the tool 101 may be a blade having a cutting edge 101a on its outer periphery.
- the fluid supply unit 9 may realize the rotation of the main shaft 37 in the operation of acquiring the reference position by applying the fluid to the cutting edge 101a in the tangential direction of the cutting edge 101a.
- the above-described effect that the device for supplying the machining fluid can be easily used to acquire the reference position is achieved. Further, since the fluid is applied to a position relatively long from the rotation axis of the tool 101, the tool 101 can be easily rotated. As a result, for example, it is easy to reduce the burden on the fluid supply unit 9 when acquiring the reference position.
- the fluid supply unit 9 includes a nozzle 7, a machining fluid supply source 49 that supplies machining fluid to the nozzle 7, a gas supply source (air supply source 51) that supplies gas to the nozzle 7, a machining fluid supply source 49 and air. and a valve (control valve 53 ) selectively connecting the supply 51 to the nozzle 7 .
- the fluid supply unit 9 may realize the rotation of the main shaft 37 in the operation of acquiring the reference position by supplying gas (air) from the air supply source 51 through the nozzle 7 .
- the consumption of machining fluid can be reduced compared to the aspect of supplying the machining fluid when acquiring the reference position (this aspect may also be included in the technology according to the present disclosure).
- this aspect may also be included in the technology according to the present disclosure.
- the working fluid is not water and air is used as the gas, it is easy to reduce the cost of acquiring the reference position.
- it is easy to reduce the force applied to the tool 101 compared to the mode of supplying the liquid to the tool 101 this mode may also be included in the technology according to the present disclosure).
- the rotation speed of the main shaft 37 immediately before the tool 101 contacts the reference member (for example, the work 103) in the operation of acquiring the reference position may be lower than the rotation speed of the main shaft 37 when the work 103 is processed by the tool 101.
- the possibility of deterioration of the tool 101 and/or the reference member when acquiring the reference position is reduced.
- the above characteristics need not be specified in the processing machine 1 in the distribution stage.
- the rotation speed of the main shaft 37 when machining the workpiece 103 may be 2000 rpm or more.
- the rotation speed of the main shaft 37 immediately before the tool 101 contacts the reference member (for example, the workpiece 103) in the operation of acquiring the reference position may be 100 rpm or less. From another point of view, the rotation speed of the main shaft 37 immediately before the tool 101 contacts the reference member in the operation of acquiring the reference position is set to 1/100 or less of the rotation speed of the main shaft 37 when machining the workpiece 103. you can
- the number of rotations in the operation of acquiring the reference position is sufficiently low compared to the number of rotations for processing. Therefore, the probability of deterioration of at least one of the tool 101 and the reference member due to contact during the operation of acquiring the reference position is reduced.
- the main shaft 37 may be supported by an air bearing (bearing 43 illustrated in FIG. 3).
- the frictional force that tends to stop the main shaft 37 is small, and the main shaft 37 can be rotated with a relatively small moment.
- the moment applied to the main shaft 37 from the outside and/or the moment of inertia of the main shaft 37 can be reduced in the operation of acquiring the reference position.
- the moment that the tool 101 imparts to the work 103 when the tool 101 contacts the work 103 can be reduced.
- the possibility of deterioration of the tool 101 and/or the reference member due to acquisition of the reference position is reduced.
- the table 25 is an example of a holding portion that holds the other of the tool and the work.
- the Z direction is an example of a first direction.
- the main shaft 37 is an example of a movable portion.
- the Z-axis electric motor 39 is an example of a driving section.
- Z-axis position sensor 69 is an example of a position sensor.
- Each of the work 103, chuck 27 and table 25 is an example of a reference member.
- the air supply source 51 is an example of a gas supply source.
- Control valve 53 is an example of a valve. Air is an example of gases and fluids.
- the reference position is the position of the movable part (one of the main shaft and the holding part) in the first direction (Z direction) in the absolute coordinate system.
- the reference position may be a relative position of the movable portion to another member (the other of the main shaft and the holding portion) in the first direction.
- the position sensor that detects the position of the movable portion in the first direction may be one sensor that detects the relative position between the movable portion and another member, or may detect the absolute position of the movable portion. It may be a combination of a sensor and a sensor that detects the absolute position of another member.
- a fluid supply unit that supplies fluid to a rotating object (tool or workpiece) or the like to acquire a reference position and a fluid supply unit that supplies machining fluid may be completely separate devices.
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Abstract
加工機1において、Z軸電動機39は、主軸37をZ方向に移動させる。Z軸位置センサ69は、主軸37のZ方向における位置を検出する。回転センサ71は、主軸37の回転を検出する。制御部5は、主軸37が回転している状態で工具101によってワーク103を加工するときに、Z方向において、所定の基準位置に対して設定された相対位置へ、主軸37を移動させるように、Z軸位置センサ69の検出値に基づいてZ軸電動機39を制御する。制御部5は、主軸37が回転している状態で主軸37がZ方向に移動して工具101とワーク103とがZ方向に接触する状況で、主軸37の回転の停止が回転センサ71によって検出されたときにZ軸位置センサ69が検出した位置を上記基準位置として取得する。
Description
本開示は、加工機及び被加工物の製造方法に関する。
工具によってワークに対して加工(例えば切削)を行う加工機が知られている(例えば下記特許文献1及び2)。特許文献1及び2では、切れ刃を外周に有するブレード(工具)を用い、ウェハ(ワーク)を分割する切削装置(加工機)を開示している。このような加工機は、例えば、所定の基準位置に対して設定された相対位置へブレードを移動させることによって、所望の切込み深さ等を実現する。
上記の基準位置となる位置の情報は、例えば、ブレードをワーク又は当該ワークを保持するテーブルに近づけ、両者の接触が検出されたときのブレードの位置を検出することによって取得される。特許文献1及び2の背景技術の欄では、ブレード及びテーブルとして導電性のものを用い、両者が接触したときの通電を利用して、両者の接触を検出する技術が開示されている。
ブレードとテーブルとが接触すると、いずれか一方が劣化するなどの不都合が生じる可能性がある。そこで、特許文献1は、ブレード及びテーブルに高周波電圧を印加し、両者の間の静電容量の変化に基づいて両者の接近を検出する技術を提案している。特許文献2は、ブレードに代えて、ブレードを模した疑似ブレードを用いることによって基準位置となる位置の情報を取得する技術を提案している。
特許文献1の技術では、ブレードとして導電性のものを用いなければならない。すなわち、ブレードの選択の自由度が低下する。特許文献2の技術では、ブレードに加えて疑似ブレードが必要になる。また、ブレードと疑似ブレードとの相違に起因する誤差が生じ得る。従って、好適に基準位置となる位置の情報を取得可能な加工機及び被加工物の製造方法が待たれる。
本開示の一態様に係る加工機は、主軸と、保持部と、駆動部と、位置センサと、回転センサと、制御部と、を有している。前記主軸は、工具及びワークの一方を保持する。前記保持部は、前記工具及び前記ワークの他方を保持する。前記駆動部は、前記主軸及び前記保持部の一方である可動部を所定の第1方向に移動させる。前記位置センサは、前記可動部の前記第1方向における位置を検出する。前記回転センサは、前記主軸の回転を検出する。前記制御部は、前記主軸が回転している状態で前記工具によって前記ワークを加工するときに、前記第1方向において、所定の基準位置に対して設定された相対位置へ、前記可動部を移動させるように、前記位置センサの検出値に基づいて前記駆動部を制御する。前記ワーク又は前記ワークに対して不動な部材を基準部材と称する。前記制御部は、前記主軸が回転している状態で前記可動部が前記第1方向に移動して前記工具と前記基準部材とが接触する状況で、前記主軸の回転の停止が前記回転センサによって検出されたときに前記位置センサが検出した位置を前記基準位置として取得する。
本開示の一態様に係る被加工物の製造方法は、上記加工機を用いて、前記工具によって前記ワークを加工して被加工物を得る。
上記の構成又は手順によれば、ワークと工具とを相対移動させるときの基準位置の情報を好適に取得できる。
まず、本開示の一実施形態に係る加工機の概要について説明し、その後、加工機の詳細について説明する。
(加工機の概要)
図1は、本開示の一実施形態に係る加工機1の要部を示す模式的な斜視図である。図2は、図1の加工機1の一部を拡大して示す模式的な斜視図である。
図1は、本開示の一実施形態に係る加工機1の要部を示す模式的な斜視図である。図2は、図1の加工機1の一部を拡大して示す模式的な斜視図である。
図示された種々の部材の向きと、鉛直方向との関係は任意である。ただし、以下の説明では、便宜上、種々の部材の向きと鉛直方向との間の関係が図に例示された関係であることを前提とした表現をすることがある。図には、便宜上、直交座標系XYZを付す。Z方向は、例えば、鉛直方向に平行な方向であり、+Z側は、例えば、上方である。
加工機1は、工具101によってワーク103を加工(例えば切削)する。工具101及びワーク103の支持及び駆動は、図1に示す機械本体3によってなされる。機械本体3は、制御部5(図4参照)によって制御される。図示の例では、工具101は、外周に切れ刃を有するブレードであり、Y方向に平行な主軸37によって保持されている。そして、主軸37がY方向に平行な軸心の回りに回転しつつ、-Z側へ移動することによってワーク103が切削される。具体的には、例えば、特に図示しないが、ワーク103の上面にX方向に延びる溝が形成される。加工が行われる領域には、ノズル7から加工液(不図示。例えば、切削液)が供給される。
制御部5は、例えば、工具101を-Z側へ移動させて工具101がワーク103(後述するように他の部材も可能)に当接するときの主軸37のZ方向の位置を基準位置として取得する。そして、基準位置に対して設定されたZ方向の相対位置へ主軸37を移動させる。これにより、例えば、ワーク103の上面に形成される溝の深さを所望の大きさ(基準位置と上記相対位置との相対距離)にすることができる。
図5(a)及び図5(b)は、上記の基準位置となる位置の情報の取得方法を説明するための模式図である。図6は、基準位置となる位置の情報の取得方法の手順の一例を示すフローチャートである。なお、図6は、制御部5が実行する処理の手順の一例を示すフローチャートと捉えられてもよい。
なお、以下の説明では、便宜上、基準位置の情報を単に基準位置ということがある。また、基準位置となる位置の情報の取得を単に基準位置の取得ということがある。
まず、図5(a)の矢印a1及び図6のステップST1によって示すように、工具101がワーク103から+Z側へ離れている状態で、工具101(別の観点では主軸37)を回転軸CL回りに回転させる。また、図5(a)の矢印a2及び図6のステップST2によって示すように、工具101を回転させた状態で、工具101をワーク103へ近づけていく。
このときの工具101の回転数は、例えば、工具101によってワーク103を切削するときの工具101の回転数よりも低い。別の観点では、このときの工具101を駆動するモーメント(外部からのモーメント及び/又は慣性モーメント。以下、同様。)は、加工時の工具101を駆動するモーメントよりも小さい。
工具101を回転させる方法は、種々の方法とされてよい。図示の例では、ノズル7から流体が工具101の外周に向けて当該外周の接線方向に供給されることによって工具101が回転している。
その後、図5(b)に示すように、工具101がワーク103に当接すると、工具101がワーク103から受ける摩擦力等によって工具101の回転が停止する。図6のステップST3に示すように、制御部5は、この回転の停止を検出する。また、制御部5は、回転の停止を検出したとき(ステップST3で肯定判定がなされたとき)、ステップST4に示すように、このときの主軸37のZ方向の位置を検出し、この検出されたZ方向の位置を基準位置とする。
このように、本実施形態では、回転している工具101がワーク103に当接して停止する現象に基づいて工具101のワーク103に対する接触を検知する。従って、工具101又は工具101と接触する基準部材(ここではワーク103)は、導電性を有していなくてもよい。また、疑似ブレードを用いる必要もない。さらに、工具101の回転数を低くすれば(モーメントを小さくすれば)、工具101及び/又は基準部材が劣化する蓋然性も低下する。
(加工機の詳細)
既述のとおり、加工機1は、例えば、主軸37を含む機械本体3と、機械本体3を制御する制御部5とを有している。また、加工機1は、ノズル7を含む流体供給部9(図4参照)を有している。制御部5は、流体供給部9の制御にも利用されてよい。また、流体供給部9は、上記の説明とは異なり、加工機1とは別個の装置として捉えられてもよい。
既述のとおり、加工機1は、例えば、主軸37を含む機械本体3と、機械本体3を制御する制御部5とを有している。また、加工機1は、ノズル7を含む流体供給部9(図4参照)を有している。制御部5は、流体供給部9の制御にも利用されてよい。また、流体供給部9は、上記の説明とは異なり、加工機1とは別個の装置として捉えられてもよい。
以下では、加工機1の構成要素等について、概略、次に示す列挙順に説明する。
・工具101(図1及び図2)
・ワーク103(図1及び図2)
・機械本体3(図1、図2及び図3)
・流体供給部9(図1、図2及び図4)
・制御部5(図4)
・基準位置となる位置の情報の取得手順(図5(a)、図5(b)及び図6)
・実施形態についてのまとめ
・工具101(図1及び図2)
・ワーク103(図1及び図2)
・機械本体3(図1、図2及び図3)
・流体供給部9(図1、図2及び図4)
・制御部5(図4)
・基準位置となる位置の情報の取得手順(図5(a)、図5(b)及び図6)
・実施形態についてのまとめ
(工具)
工具101は、種々の加工に用いられる種々の工具とされてよい。例えば、工具101は、切削を行う切削工具、研削を行う研削工具又は研磨を行う研磨工具とされてよい。切削工具は、例えば、自ら回転してワーク103を切削する転削工具(回転工具)であってもよいし(図示の例)、回転しているワーク103を切削する旋削工具であってもよい。転削工具としては、例えば、フライス、ドリル及びリーマを挙げることができる。研削工具又は研磨工具は、当該工具に固定された固定砥粒を用いるものであってもよいし、スラリーに含まれる遊離砥粒を用いるものであってもよい。
工具101は、種々の加工に用いられる種々の工具とされてよい。例えば、工具101は、切削を行う切削工具、研削を行う研削工具又は研磨を行う研磨工具とされてよい。切削工具は、例えば、自ら回転してワーク103を切削する転削工具(回転工具)であってもよいし(図示の例)、回転しているワーク103を切削する旋削工具であってもよい。転削工具としては、例えば、フライス、ドリル及びリーマを挙げることができる。研削工具又は研磨工具は、当該工具に固定された固定砥粒を用いるものであってもよいし、スラリーに含まれる遊離砥粒を用いるものであってもよい。
図示の例とは異なり、工具101が旋削工具である態様において基準位置の取得を行うときは、例えば、ワーク103を保持している主軸を回転させた状態で旋削工具とワーク103とを近づける。そして、両者の接触によってワーク103の回転が停止したことを検出し、このときに検出される工具101又はワーク103の位置が基準位置として取得されてよい。なお、本実施形態の説明では、特に断りなく、図示の例のように工具101が転削工具であることを前提とした説明又は表現を行うことがある。
工具101又はワーク103(図示の例では工具101)を第1方向(図示の例ではZ方向)に移動させて加工を行う状況、及び/又は、第1方向における基準位置を取得する状況について考える。このとき、工具101のうち、ワーク103に対して第1方向に接触する部位は任意である。換言すれば、工具101の向きと第1方向との関係は任意である。例えば、工具101が転削工具である態様において、上記の接触する部位は、外周部(回転軸回りの外側の部位)であってもよいし(図示の例)、先端部であってもよい。
図示の例のように、転削工具の外周部がワーク103に対して第1方向に接触する態様では、例えば、基準位置を取得するとき、工具101のワーク103に対する接触によって工具101の回転が停止しやすい。この効果は、例えば、径が大きいほど高くなる。このような観点に関して、工具101の直径は、例えば、工具101の回転軸方向の最大長さ(別の観点では最大厚さ)に対して、1倍以上、2倍以上又は5倍以上であってよい。
図1及び図2では、工具101として、転削工具が例示されている。より詳細には、図示の例の工具101は、外周に切れ刃101a(符号は図5(a)及び図5(b))を有するブレードである。ブレードは、概略、外縁が円形状の板状(円盤状又はリング状)である。ブレードは、その軸回り(図示の例ではY方向に平行な回転軸回り)に回転することによって、ワーク103に対する溝の形成、及び/又はワーク103の切断(分割)に利用される。加工機1は、1枚のブレードが取り付けられてもよいし(図示の例)、回転軸に平行な方向に互いに間隔を空けた複数枚のブレードが取り付けられてもよい。なお、以下の説明では、図示の例のように、1枚のブレードが取り付けられている態様を前提とした表現をすることがある。
(ワーク)
工具101が行う加工の種類が種々のものであってよいことの上記説明から理解されるように、ワーク103も種々のものとされてよい。例えば、ワーク103の材料は、種々のものとされてよく、金属、セラミック、樹脂、木材、ケミカルウッド又は複合材料(例えば炭素繊維強化プラスチック)であってよい。加工前及び/又は加工後におけるワーク103の形状及び寸法は任意である。加工後のワーク103に要求される寸法の精度も任意である。例えば、比較的高い精度が要求される場合の例を挙げると、精度(公差)は、10μm以下、1μm以下又は100nm以下とされてよい。
工具101が行う加工の種類が種々のものであってよいことの上記説明から理解されるように、ワーク103も種々のものとされてよい。例えば、ワーク103の材料は、種々のものとされてよく、金属、セラミック、樹脂、木材、ケミカルウッド又は複合材料(例えば炭素繊維強化プラスチック)であってよい。加工前及び/又は加工後におけるワーク103の形状及び寸法は任意である。加工後のワーク103に要求される寸法の精度も任意である。例えば、比較的高い精度が要求される場合の例を挙げると、精度(公差)は、10μm以下、1μm以下又は100nm以下とされてよい。
工具101又はワーク103(図示の例では工具101)を第1方向(図示の例ではZ方向)に移動させて加工を行う状況、及び/又は、第1方向における基準位置を取得する状況について考える。このとき、ワーク103のうち、工具101に対して第1方向に接触する部位は任意である。別の観点では、ワーク103を保持する部材(図示の例では後述するテーブル25)の向きと第1方向との関係は任意である。
例えば、工具101が転削工具である態様(図示の例)において、上記の接触する部位は、ワーク103の上面(テーブル25とは反対側の面)であってもよいし(図示の例)、図示の例とは異なり、ワーク103の側面(テーブル25の側方に面する面)であってもよい。また、特に図示しないが、工具101が旋削工具である態様において、上記の接触する部位は、ワーク103の外周面(回転軸回りの外側の面)であってもよいし、端面(回転軸に平行な方向に面する面)であってもよい。
図1及び図2では、ワーク103として、板状のもの(基板)が例示されている。加工前の板状のワーク103の形状は任意であり、例えば、矩形状(図示の例)又は円形状である。既述のように工具101が外周に切れ刃101aを有する円盤状のブレードである態様において、ブレードは、例えば、板状のワーク103の上面(+Z側の面)に工具101の回転軸に直交する方向(X方向)に延びる溝を形成したり、ワーク103をY方向に分割したりすることに寄与する。
(機械本体)
機械本体3の説明では、概略、次に示す列挙順に説明する。
・本実施形態に利用可能な機械本体3全般
・図1に例示されている機械本体3
・主軸37の軸受の構成の一例
機械本体3の説明では、概略、次に示す列挙順に説明する。
・本実施形態に利用可能な機械本体3全般
・図1に例示されている機械本体3
・主軸37の軸受の構成の一例
(機械本体全般)
機械本体3は、工具101及びワーク103の支持及び駆動を行う。すなわち、機械本体3は、加工の主たる部分を担う。機械本体3の構成は、種々の態様のものとされてよく、例えば、公知の構成とされて構わない。
機械本体3は、工具101及びワーク103の支持及び駆動を行う。すなわち、機械本体3は、加工の主たる部分を担う。機械本体3の構成は、種々の態様のものとされてよく、例えば、公知の構成とされて構わない。
例えば、加工を行う機械に関して、工作機械と産業用ロボットとが区別されることがある(その境界は必ずしも明確ではない。)。このような区別が行われる場合において、機械本体3(又は加工機1)は、いずれに分類されるものであってもよい。なお、本実施形態の説明では、一般に工作機械に分類される態様を例に取る。
また、例えば、工具101の既述の説明から理解されるように、機械本体3(又は加工機1)が対象とする加工は、切削、研削及び/又は研磨等の種々のものとされてよい。また、切削等を行う機械本体3は、工具101を回転させるものであってもよいし、ワーク103を回転させるものであってもよい。
機械本体3は、複合工作機械であってもなくてもよい。機械本体3は、1つの工具101を駆動するものであってもよいし(図示の例)、複数の工具101を同時に駆動する多軸又は多頭のものであってもよい。工具101(転削工具)を回転させる機械本体3(加工機1)は、例えば、フライス盤、ボール盤、中ぐり盤、又はマシニングセンタであってよい。
機械本体3は、例えば、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸のそれぞれにおいて工具101とワーク103とを相対移動させる。機械本体3は、上記の3軸に加えて、他の軸において工具101とワーク103とを相対移動させることが可能なものであってもよい。例えば、機械本体3(加工機1)は、上記の3軸のいずれかに平行な少なくとも1つの軸回りの回転が可能なもの(例えば5軸マシニングセンタ)であってもよい。工具101とワーク103との各軸における相対移動は、公知の工作機械から理解されるように、工具101の移動によって実現されてもよいし、ワーク103の移動によって実現されてもよい。
なお、本実施形態の説明では、基本的に、主軸37及びテーブル25等の種々の部材の向きが変化しないことを前提として種々の部材の向きについて説明する。この説明は、部材の向きが変化可能な態様に対しては、例えば、部材の標準的な向きに適用されてもよいし、標準的な向きとは異なる特定の向きに適用されてもよい。標準的な向きは、技術常識に照らして合理的に判断されてよい。
工具101が転削工具である態様において、主軸37の向きと、テーブル25の向きと、鉛直方向と、基準位置を取得する第1方向(図示の例ではZ方向)との相対関係は任意である。同様に、工具101が旋削工具である態様における、主軸37の向きと、刃物台の向きと、鉛直方向と、第1方向との相対関係は任意である。
例えば、主軸37(その回転軸)は、テーブル25の上面に対して、平行であってもよいし(図示の例)、交差(例えば直交)していていもよい。また、第1方向は、主軸37に対して、交差(例えば直交)していてもよいし(図示の例)、平行であってもよい。第1方向は、テーブル25の上面に対して、交差(例えば直交)していてもよいし(図示の例)、平行であってもよい。
(図示の例の機械本体)
図1では、機械本体3として、外周に切れ刃101aを有する円盤状の工具101を回転させて切削を行うことが可能なスライサーが例示されている。
図1では、機械本体3として、外周に切れ刃101aを有する円盤状の工具101を回転させて切削を行うことが可能なスライサーが例示されている。
具体的には、例えば、図1に例示されている機械本体3は、ワーク103を支持する構成要素として、以下の構成要素を有している。工場の床面等に設置されるベース21。ベース21上に固定されているX軸ベッド23。X軸ベッド23に支持されており、X方向(水平方向)に移動可能なテーブル25。テーブル25上に固定されており、ワーク103を着脱可能に保持するチャック27。特に図示しないが、機械本体3は、Z軸に平行な軸回りにテーブル25を回転可能に構成されていてもよい。
また、例えば、図1に例示されている機械本体3は、工具101を支持及び駆動する構成要素として、以下の構成要素を有している。上記ベース21。ベース21上に固定されているY軸ベッド29。Y軸ベッド29に支持されており、Y方向(水平方向)に移動可能なY軸移動部31。Y軸移動部31に支持されており、Z方向(鉛直方向)に移動可能なZ軸移動部33。Z軸移動部33に固定されている主軸頭35(主軸37を含まないものとする。)。Y方向に平行な回転軸の回りに回転可能に主軸頭35に支持されており、工具101を着脱可能に保持する主軸37(符号は図2)。
不図示の駆動源(例えば電動機)からの駆動力がテーブル25に伝えられてテーブル25がX方向に移動することによって、テーブル25に支持されているワーク103が工具101に対してX方向に相対移動する。不図示の駆動源(例えば電動機)からの駆動力がY軸移動部31に伝えられてY軸移動部31がY方向に移動することによって、Y軸移動部31に支持されている工具101がワーク103に対してY方向に相対移動する。所定の駆動源(例えば後述する図4に示すZ軸電動機39)からの駆動力がZ軸移動部33に伝えられてZ軸移動部33がZ方向に移動することによって、Z軸移動部33に支持されている工具101がワーク103に対してZ方向に相対移動する。所定の駆動源(例えば図4に示す主軸電動機41)からの駆動力が主軸37に伝えられて主軸37が軸回りに回転することによって、主軸37に保持されている工具101が軸回りに回転される。
図1及び図2は模式図であり、各図に示した各部材(21、23、25、27、29、31、33、35及び37)の形状は模式的なものに過ぎない。実際の各部材の形状は、図示された形状と大きく乖離していても構わない。また、各部材の材料も任意である。さらに、支持部(23、29又は31)に対して平行移動する移動部(25、31又は33)を案内するガイド(符号省略)も、模式的に示されているに過ぎず、図示された形状等と乖離していても構わない。
支持部(23、29又は31)に対して平行移動する移動部(25、31又は33)を案内するガイドは適宜なものとされてよい。例えば、ガイドは、支持部と移動部とが摺動するすべり案内であってもよいし、支持部と移動部との間で転動体が転がる転がり案内であってもよいし、支持部と移動部との間に空気又は油を介在させる静圧案内であってもよいし、これらの2以上の組み合わせであってもよい。同様に、主軸37の軸受は、すべり軸受、転がり軸受、静圧軸受又はこれらの2以上の組み合わせとされてよい。
平行移動に係る駆動源は、例えば、電動機である。この電動機は、回転式のものであってもよいし、リニアモータであってもよい。回転式の電動機の回転運動は、ねじ機構(例えばボールねじ機構)等の適宜な機構によって直線運動に変換されてよい。また、平行移動に係る駆動源は、液圧式(油圧式)又は空圧式のものとされても構わない。同様に、主軸37の回転に係る駆動源は、例えば、回転式の電動機(主軸電動機41)である。ただし、主軸37の回転に係る駆動源は、液圧式(油圧式)又は空圧式のものとされても構わない。種々の電動機の具体的な構成は、種々のものとされてよい。電動機は、直流電動機であってもよいし、交流電動機であってもよい。交流電動機は、同期電動機であってもよいし、誘導電動機であってもよい。
主軸電動機41のロータ(不図示)と主軸37とは、例えば、共に回転するように互いに固定されている(一部同士が共用されている態様を含む。)。ただし、ロータ(その一部又は全部)と主軸37との間には、クラッチ及び/又は変速機等が介在してもよい。クラッチが介在する場合、基準位置を取得する動作において、ロータと主軸37との連結が解除されて、慣性モーメントが小さくされてもよい。なお、本実施形態の説明では、特に断りが無い限り、ロータと主軸37とが一体的に回転する態様を前提とした説明及び表現を行う。
主軸電動機41が永久磁石を含む同期電動機である態様においては、例えば、電力が供給されずにトルクフリーとされているとき、主軸37の回転を停止させる吸引力が生じる。従って、例えば、基準位置を取得するときに、意図されていない回転が生じる蓋然性が低減される。また、別の観点では、流体を工具101に供給することによる回転が有効である。一方、主軸電動機41が誘導電動機である態様においては、例えば、電力が供給されずにトルクフリーとされているとき、主軸37の回転を停止させる吸引力が生じない。従って、例えば、流体が工具101に付与する力を小さくしても、主軸37を回転させることができる。
チャック27は、例えば、真空チャック又は静電チャックによって構成されており、マシンバイス(不図示)等の適宜な器具によってテーブル25に取り付けられている。なお、チャック27は、上記の説明とは異なり、テーブル25と一体不可分に構成されていても構わない。また、チャック27が設けられずに、チャック27とは別の適宜な治具(例えばマシンバイス)によってワーク103がテーブル25に固定されていてもよい。
本実施形態の説明とは異なり、テーブル25とチャック27との組み合わせがテーブルと捉えられてもよい。ワーク103を保持するテーブルの保持面というとき、保持面は、チャック27を保持することによって間接的にワーク103を保持しているテーブル25の保持面25a(符号は図2)のことであってもよいし、ワーク103を直接的に保持しているチャック27の保持面27a(符号は図2)のことであってもよい。
主軸37は、自らが有している機構(例えばクランプ機構)によって工具101を保持してもよいし、ねじ等を含む器具によって工具101が取り付けられてもよい。ブレード(工具101)は、例えば、特に図示しないが、ブレードの中心に形成された孔に挿通される軸部を有する部材、ブレードに主軸37の軸方向に重なる部材、及びこれらの部材に挿通されて主軸37に螺合されるねじによって主軸37に固定されてよい。このような態様においては、ブレードを工具101として捉えてもよいし、ブレードと、ブレードを主軸37に取り付けるための器具との全体を工具101として捉えてもよい。
主軸37は、テーブル25の保持面27aが面している側に位置しており、その回転軸は、保持面27aに沿っている(例えば平行である。)。そして、主軸37が第1方向としてのZ方向に移動することによって、工具101としてのブレードの外周部がワーク103の上面に接触して、加工又は基準位置の取得が行われる。
(主軸の軸受の構成の一例)
既述のように、主軸37の軸受は、任意の構成とされてよい。ここでは、主軸37の軸受の一例として、静圧軸受の構成について説明する。
既述のように、主軸37の軸受は、任意の構成とされてよい。ここでは、主軸37の軸受の一例として、静圧軸受の構成について説明する。
図3は、主軸37の軸受43の構成の一例を示す模式的な断面図であり、図2のIII-III線に対応する。
主軸37の外周面と、主軸頭35の内周面との間には隙間が構成されている。当該隙間にはポンプ45等によって所定の圧力で気体(例えば空気)又は液体(例えば油又は水)が供給される。なお、前者の態様においては、軸受43は空気軸受である。
(流体供給部)
図4は、加工機1の構成を信号処理系の構成を中心として示すブロック図である。
図4は、加工機1の構成を信号処理系の構成を中心として示すブロック図である。
流体供給部9は、ノズル7と、ノズル7に流体を供給する供給部本体47とを有している。流体供給部9は、既述のように、工具101によってワーク103を加工するときに加工が行われる領域(以下、「加工領域」ということがある。)にノズル7から加工液を供給する。また、流体供給部9は、基準位置を取得するときにノズル7から工具101に向けて流体を供給することによって工具101を回転させる。
以下では、概略、以下の順に説明を行う。
・加工液
・基準位置を取得するときに供給される流体
・基準位置を取得するときに流体が当てられる部材
・ノズル7
・供給部本体47
・加工液
・基準位置を取得するときに供給される流体
・基準位置を取得するときに流体が当てられる部材
・ノズル7
・供給部本体47
(加工液)
既述の工具101の説明から理解されるように、加工液(不図示)は、種々の加工に利用される種々のものとされてよい。例えば、加工が切削である態様においては、加工液は、切削液(別の表現では切削油剤)とされてよい。切削液の主成分は、油であってもよいし、水であってもよい。また、加工液は、例えば、研削のための研削液、又は研磨のための研磨液とされてよい。研削液又は研磨液(スラリー)は、遊離砥粒を含んでいなくてもよいし、含んでいてもよい。いずれの加工にせよ、加工液は、単なる水とされても構わない。また、加工液は、冷却のみを目的とした、又は冷却を主目的としたクーラントとされても構わない。
既述の工具101の説明から理解されるように、加工液(不図示)は、種々の加工に利用される種々のものとされてよい。例えば、加工が切削である態様においては、加工液は、切削液(別の表現では切削油剤)とされてよい。切削液の主成分は、油であってもよいし、水であってもよい。また、加工液は、例えば、研削のための研削液、又は研磨のための研磨液とされてよい。研削液又は研磨液(スラリー)は、遊離砥粒を含んでいなくてもよいし、含んでいてもよい。いずれの加工にせよ、加工液は、単なる水とされても構わない。また、加工液は、冷却のみを目的とした、又は冷却を主目的としたクーラントとされても構わない。
(基準位置を取得するときに供給される流体)
基準位置を取得する動作において工具101を回転させるために工具101に供給される流体の種類(成分)は任意である。例えば、当該流体は、加工液であってもよいし、加工液とは別の液体であってもよいし、気体であってもよい。気体としては、例えば、空気(エア)及び不活性ガス(例えば窒素)を挙げることができる。本実施形態の説明では、基本的に、空気が供給される態様を例に取る。また、特に断りなく、基準位置の取得のために供給される流体が空気であることを前提とした表現をすることがある。
基準位置を取得する動作において工具101を回転させるために工具101に供給される流体の種類(成分)は任意である。例えば、当該流体は、加工液であってもよいし、加工液とは別の液体であってもよいし、気体であってもよい。気体としては、例えば、空気(エア)及び不活性ガス(例えば窒素)を挙げることができる。本実施形態の説明では、基本的に、空気が供給される態様を例に取る。また、特に断りなく、基準位置の取得のために供給される流体が空気であることを前提とした表現をすることがある。
(基準位置を取得するときに流体が当てられる部材)
これまでの説明では、基準位置を取得する動作において主軸37を回転させるために流体が当てられる部材は、工具101であるものとした。ただし、ワーク103が主軸37に保持される態様においては、流体が当てられる部材は、ワーク103とされてよい。なお、いずれの態様であっても、流体が当てられる部材は、主軸37に保持される回転対象であるということができる。
これまでの説明では、基準位置を取得する動作において主軸37を回転させるために流体が当てられる部材は、工具101であるものとした。ただし、ワーク103が主軸37に保持される態様においては、流体が当てられる部材は、ワーク103とされてよい。なお、いずれの態様であっても、流体が当てられる部材は、主軸37に保持される回転対象であるということができる。
また、回転対象が、工具101及びワーク103のいずれであっても、流体は、回転対象に代えて、又は加えて、主軸37に当てられてもよい。流体が当たることによるモーメントを大きくするための部材が主軸37に取り付けられてもよい。そのような部材は、主軸37の一部又は回転対象の一部として捉えられてよい。
流体は、回転対象(工具101又はワーク103)の外面、又は主軸37の外部に露出している外面に当てられる。主軸37の外部に露出している外面と断るのは、加工のために主軸頭35内で流体によって主軸37にモーメントを付与する技術(主軸電動機41に代えて流体を用いる技術)と区別するためである。
なお、本実施形態の説明では、基準位置を取得する動作における主軸37の回転を実現するために流体が当てられる部材が工具101であることを前提とした表現をすることがある。流体が当てられる部材としての工具101の語は、矛盾等が生じない限り、適宜にワーク103又は主軸37の語に置換されてよい。
(ノズル)
図2に示すノズル7は、工具101によってワーク103を加工するときに加工領域に加工液を供給する。加工領域は、換言すれば、ワーク103のうち工具101によって加工が行われている領域である。例えば、工具101が切削を行うものである態様においては、加工領域は、ワーク103に切れ刃が当接している位置及びその隣接領域である。工具101が研削及び研磨を行うものである態様においては、例えば、加工領域は、工具101とワーク103との当接位置及びその隣接領域、又は当接領域であり、当接は、遊離砥粒を介した間接的なものであってもよい。
図2に示すノズル7は、工具101によってワーク103を加工するときに加工領域に加工液を供給する。加工領域は、換言すれば、ワーク103のうち工具101によって加工が行われている領域である。例えば、工具101が切削を行うものである態様においては、加工領域は、ワーク103に切れ刃が当接している位置及びその隣接領域である。工具101が研削及び研磨を行うものである態様においては、例えば、加工領域は、工具101とワーク103との当接位置及びその隣接領域、又は当接領域であり、当接は、遊離砥粒を介した間接的なものであってもよい。
加工領域への加工液の供給は、種々の態様で行われてよい。例えば、ノズル7は、加工領域に向けて加工液を流出させてもよいし、工具101又はワーク103のうちの加工領域から離れた位置に向けて加工液を流出させ、加工液が工具101又はワーク103を伝って加工領域に到達するようにしてもよい。ノズル7は、加工液を噴出してもよいし、噴出とは言えない流速で加工液を流出させてもよい。ノズル7は、適宜な断面を有する1筋の流れとして加工液を流出(例えば噴出)させてもよいし、シャワー状に加工液を流出(例えば噴出)させてもよいし、霧状に加工液を噴出してもよい。
また、ノズル7は、基準位置を取得するときに、工具101の外面に対して主軸37の回転軸回りのモーメントを付与する向きで流体を当てる。このようにして主軸37を回転させるとき、工具101の流体が当てられる位置(領域)は、種々の位置とすることができ、また、上記位置に流体が当たる方向(別の観点では流体が噴出される方向)も種々の方向とすることができる。概念的には、例えば、流体が工具101に及ぼす力の合力の作用点から上記合力の方向へ延ばした仮想線が回転軸から離れる限り、工具101は回転できる。換言すれば、工具101の回転軸に対して偏って工具101の外面に流体が当てられれば、工具101は回転する。
具体的には、例えば、工具101をその回転軸に平行に見たときに、流体が当たる方向は、流体が当たる位置(又は領域若しくは当該領域の中心位置)から上記流体が当たる方向に延ばした仮想線が主軸37の回転軸から離れる方向とされてよい。なお、この方向は、回転軸を中心とする任意の半径を有する円の接線方向と考えることができる。また、例えば、工具101をその回転軸に平行に見たときに、流体が当たる方向は、流体が当たる位置を通る円の接線方向とされてよい。なお、流体が当たる方向(及び/又は流体が噴出される方向)に関しての接線方向は、比較的大きな許容差を含んでよく、例えば、厳密な接線方向を中心として60°の範囲内又は30°の範囲内とされてよい。
また、例えば、流体が当たる方向は、工具101の回転軸に対して、ねじれの位置関係で直交してもよいし、回転軸に平行な方向(図示の例ではY方向)に傾斜していてもよい。また、例えば、流体が当たる位置は、工具101の外周部(回転軸回りの外側の部分)であってもよいし、工具101の回転軸に沿う方向に面する面(図示の例では+Y側及び/又は-Y側の面)であってもよいし、前者と後者との双方であってもよい。
主軸37を回転させるために工具101に当てられる流体が液体の場合において、当該流体がノズル7から噴出されるときの態様は種々の態様とされてよい。例えば、加工液の供給の説明における供給の態様(1筋の流れとして噴出される態様及びシャワー状に噴出される態様等)の説明は、回転のための流体の供給の態様に援用されてよい。また、流体が液体の場合においては、噴出とは言えない態様で液体が工具101に供給され、液体が落下する力を利用して工具101を回転させてもよい。
ノズル7の構成は、種々の構成とされてよく、例えば、公知の構成と同様とされて構わない。液体を流出させるときの態様(1筋の流れとして噴出される態様及びシャワー状に噴出される態様等)を実現するためのノズルの構成は公知である。また、ノズル7は、液体を流出させるときの態様を切換え可能なものであってもよいし、切換えが不可能なものであってもよい。前者の場合において、ノズル7の切換え状態は、加工液を供給するときと、主軸37を回転させるために流体を供給するときとで、同じ状態であってもよいし、異なる状態であってもよい。
ノズル7の取付け及び位置決め等に係る構成は種々の構成とされてよく、例えば、公知の構成と同様とされて構わない。具体的には、例えば、ノズル7は、機械本体3に対して着脱可能とされていてよい。なお、この場合、ノズル7は、工具101及びワーク103と同様に、加工機1とは別個の要素として捉えられてもよい。ノズル7は、加工中に移動可能であってもよいし、一定の位置に配置されていてもよい。ノズル7の所定の要素(例えば主軸37)に対する位置決めは、手作業によって行われてもよいし、ロボットによって行われてもよい。後者の場合、位置決めは、制御部5によって自動的に行われてもよいし、加工機1が有している不図示の操作部に対する操作によって行われてもよい。ノズル7の位置を変更可能である態様において、ノズル7の位置は、加工液を供給するときと、基準位置の取得の動作において主軸37を回転させるために流体を供給するときとで、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
図2に示す例では、ノズル7は、形状を維持できる蛇腹(符号省略)の先端に位置している。蛇腹のノズル7とは反対側の端部は、流路を有しているブロック(符号省略)に接続されている。ブロックは、適宜な器具によって主軸頭35に固定されている。従って、ノズル7は、ワーク103に対して工具101と共に相対移動可能であり(工具101の軸回りの回転を除く)、また、その具体的な位置及び向きは、手作業で蛇腹を変形させることによって決定される。図2では、ノズル7は、工具101としてのブレードの切れ刃101aに対して切れ刃101aの接線方向に加工液及び主軸37を回転させるための流体が当たるように位置決めされている。
(供給部本体)
供給部本体47は、加工液を供給する加工液供給源49と、基準位置を取得するときに主軸37を回転させるための流体(ここでは空気)を供給するエア供給源51とを有している。さらに、供給部本体47は、ノズル7に対して加工液供給源49及びエア供給源51を選択的に接続する制御弁53を有している。これにより、流体供給部9は、加工液及びエアを選択的にノズル7から選択的に流出可能となっている。
供給部本体47は、加工液を供給する加工液供給源49と、基準位置を取得するときに主軸37を回転させるための流体(ここでは空気)を供給するエア供給源51とを有している。さらに、供給部本体47は、ノズル7に対して加工液供給源49及びエア供給源51を選択的に接続する制御弁53を有している。これにより、流体供給部9は、加工液及びエアを選択的にノズル7から選択的に流出可能となっている。
供給部本体47のうち、加工液の供給系の構成は、加工液の種類等に応じて適宜に構成されてよい。例えば、加工液が切削液、研削液又は研磨液である態様においては、加工液の供給系は、通常の工作機械においてこれらの加工液を供給する装置の構成と同様又はこれを応用した構成とされてよい。また、加工液が水である態様においては、加工液の供給系は、工場設備から水が供給され、当該水のノズル7への供給を許容及び禁止するバルブを有する構成であってよい。
加工液が、切削液、研削液若しくは研磨液又はこれらに類するものである態様において、加工液供給源49は、例えば、特に図示しないが、加工液を貯留するタンクと、当該タンクから加工液を送出するポンプとを有してよい。加工液の供給系は、適宜な位置(例えばポンプから制御弁53までの間の位置)に加工液の流れを制御するバルブを有してよい。図4では、制御部5からの指令に応じて開閉される加工液用バルブ55が例示されている。そして、ポンプ及び/又は加工液用バルブ55によって、加工液の供給の有無、加工液の流量及び/又は加工液の圧力が制御されてよい。
供給部本体47のうち、空気の供給系の構成は、適宜な構成とされてよい。例えば、加工液の供給装置として、加工液と圧縮エアとを混合して加工液のミストを噴出するものが知られている。この圧縮エアを供給する構成が空気の供給系に応用又は兼用されてよい。エア供給源51は、例えば、特に図示しないが、エアを送出するコンプレッサを有してよい。空気の供給系は、適宜な位置(例えばコンプレッサから制御弁53までの間の位置)に空気の流れを制御するバルブを有してよい。図4では、制御部5からの指令に応じて開閉されるエア用バルブ57が例示されている。そして、コンプレッサ及び/又はエア用バルブ57によって、エアの供給の有無、エアの流量及び/又はエアの圧力が制御されてよい。
なお、基準位置の取得の動作において主軸37を回転させるための流体が液体である場合においては、加工液の供給系の説明は、矛盾等が生じない限り、当該液体の供給系に援用されてよい。また、主軸37を回転させるための流体が加工液である場合においては、例えば、加工のときに加工液を供給する供給系が、基準位置を取得する動作において加工液を供給することに利用されてよい。換言すれば、加工液の供給系とは別個の供給系及び制御弁53は設けられなくてもよい。
制御弁53の構成は任意である。図4では、便宜上、制御弁53として、3ポート2位置の切換弁の記号が示されている。ただし、制御弁53は、他の形式の弁であっても構わない。例えば、制御弁53は、加工液及び空気の双方の流れを禁止可能であってもよい。制御弁53は、流量制御弁又は圧力制御弁の機能を有していてもよい。制御弁53は、制御部5からの指令に応じて開閉される。
なお、制御弁53、加工液用バルブ55及びエア用バルブ57の全体が1つの弁として捉えられてもよい。また、制御弁53を省略して、加工液用バルブ55及びエア用バルブ57によって、加工液と空気とが選択的にノズル7に供給されてもよい。逆に、制御弁53が加工液及び空気の双方の流れを禁止可能であることによって、加工液用バルブ55及びエア用バルブ57が省略されてもよい。
本実施形態の説明では、流体供給部9は、加工機1の一部として捉えられている。このような場合において、流体供給部9は、外観上、加工機1の一部として捉えられる態様で設けられていてもよいし、そのように捉えることができない態様で設けられていてもよい。例えば、流体供給部9の一部又は全部は、図1に示した機械本体3と共に不図示の筐体に収容されていてもよし、機械本体3とは別個に筐体に収容されていてもよい。流体供給部9の一部又は全部は、機械本体3のベース21内又はベース21上に配置されてもよい。
(制御部)
図4に示す制御部5は、例えば、コンピュータを含んで構成されてよい。コンピュータは、例えば、特に図示しないが、CPU(central processing unit)、ROM(read only memory)、RAM(random access memory)及び外部記憶装置を含んで構成されている。図4では、RAM及び/又は外部記憶装置が記憶部67として示されている。CPUがROM及び/又は外部記憶装置に記憶されているプログラムを実行することによって、制御等を行う各種の機能部(59、61、63及び65)が構築される。なお、制御部5は、一定の処理のみを行う論理回路を含んでいてもよい。
図4に示す制御部5は、例えば、コンピュータを含んで構成されてよい。コンピュータは、例えば、特に図示しないが、CPU(central processing unit)、ROM(read only memory)、RAM(random access memory)及び外部記憶装置を含んで構成されている。図4では、RAM及び/又は外部記憶装置が記憶部67として示されている。CPUがROM及び/又は外部記憶装置に記憶されているプログラムを実行することによって、制御等を行う各種の機能部(59、61、63及び65)が構築される。なお、制御部5は、一定の処理のみを行う論理回路を含んでいてもよい。
制御部5は、加工機1全体にとっての制御部を概念化したものである。制御部5は、ハードウェア的に1カ所に纏められていてもよいし、複数個所に分散して設けられていてもよい。後者の例を挙げると、機械本体3の制御を行う制御部と、流体供給部9の制御を行う制御部とがハードウェア的に別個に設けられていてもよい。両者は、同期して制御を行ってもよいし、そのような制御を行わなくてもよい。同期は、一方が他方からの信号に基づいて動作することによって実現されてもよいし、両者の上位の制御部が設けられることによって実現されてもよい。
制御部5は、制御等を行う機能部として、機械本体3を制御する機能部(59、61及び63)と、流体供給部9を制御する流体制御部65とを有している。前者は、より詳細には、加工のときに主軸37とテーブル25との相対移動を制御する移動制御部59、加工のときに主軸37の回転を制御する回転制御部61、及び基準位置を取得するときの動作を制御する基準位置取得部63である。なお、これらの種々の機能部は、一部が共用されていてよい。
移動制御部59は、例えば、各軸(例えばX軸、Y軸又はZ軸)における移動部(25、31又は33)の位置を検出する位置センサの検出値に基づいて、移動部を駆動する駆動源を制御する。なお、基準位置が取得される第1方向に係る軸(図示の例ではZ軸)以外の他の軸に関しては、位置センサが設けられなくてもよい。別の観点では、他の軸に関しては、位置センサに基づくフィードバック制御が行われずに、オープンループ制御が行われてもよい。
図4では、3軸に係る構成のうち、Z軸移動部33のZ方向の位置を検出するZ軸位置センサ69に基づいて、Z軸電動機39を制御するための構成が例示されている。ここでいうZ軸移動部33のZ方向の位置は、例えば、絶対座標系(別の観点では機械座標系)におけるZ方向における位置であり、厳密には、例えば、Z方向において不動であることが意図されている部材(例えばY軸移動部31)に対するZ方向における位置である。
上記の位置センサは、移動部の位置を直接的に検出するものであってもよいし(図示の例)、移動部を駆動する駆動源の動作量(例えば回転式の電動機の回転量)を検出するものであってもよい。別の観点では、位置センサの検出値に基づくフィードバック制御は、フルクローズドループのものであってもよいし(図示の例)、セミクローズドループのものであってもよい。位置センサの具体的な構成は種々の構成とされてよく、例えば、リニアエンコーダ(図示の例)又はレーザー測長器とされてよい。リニアエンコーダは、光学式又は磁気式とされてよく、また、アブソリュート式又はインクリメンタル式とされてよい。
回転制御部61は、主軸37の回転(より詳細には例えば回転数)を検出する回転センサ71の検出値に基づいて、主軸37を駆動する主軸電動機41を制御する。回転センサ71は、主軸37の回転を直接的に検出するものであってもよいし、主軸電動機41の回転を検出するものであってもよい。また。主軸37と主軸電動機41との一部同士が共用されていることによって、上記のような区別が不可能であってもよい。回転センサ71の具体的な構成は種々の構成とされてよく、例えば、エンコーダ又はレゾルバとされてよい。エンコーダは、光学式又は磁気式とされてよく、また、アブソリュート式又はインクリメンタル式とされてよい。
移動制御部59及び回転制御部61による制御は、例えば、記憶部67(RAM及び/又は外部記憶装置)に記憶されているNCプログラムD1に従って行われる。NCプログラムD1は、例えば、目標位置の絶対座標(機械座標)、目標位置の相対座標、目標移動量並びに目標回転数等の少なくとも1種に関して、1つ以上の値を規定している。そして、移動制御部59及び回転制御部61は、位置センサ(69等)及び回転センサ71の検出値に基づいて、上記の種々の目標値が実現されるように駆動源(39及び41等)を制御する。
取得された基準位置の情報D3は記憶部67(RAM及び/又は外部記憶装置)に記憶される。上記のNCプログラムD1に従って行わる制御においては、情報D3が適宜に利用される。その利用の態様は、種々のものとされてよい。
例えば、NCプログラムD1は、Z軸方向に関して、基準位置に対して設定されている相対位置(目標位置)へ主軸37(工具101)を移動させるプログラム(1つ以上のブロック)を含んでよい。これにより、基準位置が利用されてよい。
基準位置に対する相対位置は、1つ以上のブロックにおいて、基準位置に対する相対座標によって規定されていてもよいし、基準位置からの移動量によって規定されていてもよい。また、上記のZ軸方向における相対位置への移動は、他の軸における移動を伴っていてもよいし、伴っていなくてもよい。
上記のような利用態様において、基準位置に基づく移動と加工内容との関係も任意である。一例を挙げると、基準位置又は基準位置よりも+Z側に設定された相対位置から、基準位置よりも-Z側へ設定された相対位置への-Z側へのブレード(工具101)の移動によって、所定の深さで溝が形成されてよい。すなわち、基準位置は、ワーク103の上面からの切込み量を規定するための位置として利用されてよい。
上記とは異なり、NCプログラム内で基準位置が規定されていない態様で基準位置が利用されてもよい。例えば、基準位置は、工具101及び/又はワーク103の実際の位置と、機械座標において想定されている工具101及び/又はワーク103の位置とのずれを検出して、NCプログラムで規定されている機械座標全般又は位置センサで検出される位置全般を補正することに利用されてよい。なお、このような利用態様も、結局は、基準位置に対して設定された相対位置へ主軸37を移動させていると捉えることができる。
基準位置取得部63は、基準位置を取得するための動作を実現するように、機械本体3(より詳細にはZ軸電動機39)及び流体供給部9を制御する。図4では、この制御を表す矢印の図示は省略されている。基準位置取得部63は、Z軸電動機39の制御において、移動制御部59を利用してよいし、流体供給部9の制御において流体制御部65を制御してよい。別の観点では、基準位置取得部63は、移動制御部59及び流体制御部65と一部が共用されていてよい。
基準位置取得部63は、主軸37の回転の停止が検出されたときの主軸37のZ軸方向の位置を基準位置として取得する。このとき主軸37の位置を検出するセンサは、例えば、移動制御部59がフィードバック制御に利用するZ軸位置センサ69である。これにより、基準位置と、当該基準位置に対して設定される相対位置とが同一のセンサによる検出値に基づいて特定されるから、加工の精度が向上することになる。
特に図示しないが、基準位置を取得するための動作手順は、例えば、加工時の動作手順とは異なり、NCプログラムとは別のプログラムによって規定されている。当該別のプログラムは、例えば、基準位置取得部63を構築するためにCPUによって実行されるプログラムに含まれている。基準位置取得部63を構築するためのプログラムは、加工機1の製造者によって予め記憶部67に記憶されていてもよいし、オペレータによって既存の加工機1にインストールされてもよい。上記の説明とは異なり、基準位置を取得するための動作手順の一部は、NCプログラムと同様に作成されたプログラムによって規定されてもよい。
回転の停止を検出するセンサは、回転制御部61がフィードバック制御に利用する回転センサ71であってもよいし(図示の例)、他のセンサであってもよい。前者の態様においては、例えば、構成が簡素化される。後者の態様においては、例えば、回転センサ71よりも回転角度の微小な変化を検出できるセンサを設け、回転の停止を高精度に検出できる。なお、本実施形態の説明では、便宜上、前者の態様を前提とした表現をすることがある。
流体制御部65は、例えば、加工のときは加工液が供給されるように、基準位置の取得のときは空気が供給されるように流体供給部9を制御する。その具体的な制御対象は、例えば、制御弁53、加工液用バルブ55、エア用バルブ57、加工液供給源49(例えば不図示のポンプ)及びエア供給源51(例えば不図示のコンプレッサ)である。
(基準位置の取得手順)
図5(a)、図5(b)及び図6についての概要は既に述べたとおりである。
図5(a)、図5(b)及び図6についての概要は既に述べたとおりである。
これらの図に示す基準位置の取得のための動作は、加工機1が有している不図示の操作部に対してオペレータが所定の操作を行ったときに開始されてもよいし、オペレータの操作によらずに、制御部5によって自動的に開始されてもよい。後者の態様において、制御部5が自動的に基準位置を取得する時期としては、例えば、NCプログラムによって規定されている一連の加工を開始するとき、上記の一連の加工の中で特定の加工を開始するとき、及び工具101の摩耗を検出する不図示のセンサによって摩耗量が所定の閾値を超えたときが挙げられる。
基準位置を取得するとき、制御部5は、流体供給部9を制御して、ノズル7から工具101へ空気を吹き付ける。また、このとき、制御部5は、例えば、主軸電動機41をトルクフリーの状態としている。すなわち、主軸電動機41に電力は供給されていない。これにより、主軸37が矢印a1で示すように回転する。また、制御部5は、Z軸電動機39を制御して、矢印a2で示すように、主軸37をテーブル25に向けて移動させる。
基準位置を取得する動作において、主軸37の回転と主軸37の移動とは、同時に開始されてもよいし、一方が他方よりも先に開始されてもよい。また、ノズル7からの空気の噴出は、主軸37の回転の停止が検出されるまで継続的に行われてもよいし、主軸37の回転の停止が検出される前に停止されていてもよい。前者の態様においては、例えば、主軸37がワーク103に接触することによって主軸37の回転が停止するまで、確実に主軸37を回転させることができる。後者の態様においては、例えば、主軸37がワーク103に接触するときの主軸37の回転数を低くすることによって、工具101及び/又はワーク103が劣化する蓋然性を低減できる。
基準位置を取得するときの主軸37の回転数(別の観点では空気の圧力等)は適宜なものとされてよい。例えば、このときの回転数は、工具101によって加工を行うときの回転数よりも十分に低くされてよい。別の観点では、主軸37及び工具101の慣性モーメント、及び/又は空気が工具101に付与するモーメントは、加工を行うときのものよりも小さくされてよい。
加工又は基準位置取得における具体的な回転数又はモーメントは、本実施形態が適用される機械本体3の具体的な構成、工具101の種類、ワーク103の種類等に応じて適宜に設定されてよい。一例を挙げると、例えば、加工における(より詳細には例えば工具101がワーク103に接触する直前又は接触しているときの)回転数は2000rpm(rotations per minute)以上であり、一方で、基準位置を取得する動作における(より詳細には例えば工具101がワーク103に接触する直前の)回転数は100rpm以下又は10rpm以下である。別の観点では、基準位置を取得する動作における回転数は、加工における回転数の1/10以下又は1/100以下とされてよい。
なお、加工のための回転数は、例えば、加工機1のオペレータによって設定される。別の観点では、加工のための回転数は、NCプログラムによって規定される。従って、流通段階の加工機1に着目したとき、加工のための回転数と、基準位置の取得のための回転数との相対的な関係は、加工機1の構成要件として捉えられなくてよい。ただし、加工のための回転数に関して、オペレータが設定可能な下限値が加工機1において設定されていたり、製造者が仕様書等で推奨している下限値が存在したりする場合において、上記下限値に対して、基準位置の取得のための回転数が比較され、上記のような関係が成り立つか否か判定されてもよい。NCプログラムによって規定される加工のための回転数を参照する場合において、NCプログラムで規定されている回転数が一定でない場合は、最も低い回転数が基準位置の取得のための回転数と比較されてよい。
基準位置の取得のための回転数は、例えば、加工機1の製造者によって設定されてもよいし、加工機1のオペレータによって設定されてもよい。別の観点では、基準位置の取得のための回転数の情報は、予め記憶部67に記憶されていてもよいし、加工機1の不図示の操作部に対する操作等によって制御部5に入力されてもよい。なお、基準位置の取得のための回転数がオペレータによって設定される場合、流通段階の加工機1に着目したとき、基準位置の取得のための回転数が加工機1の構成要件として捉えられなくてもよいことは、加工のための回転数と同様である。
基準位置を取得する動作における主軸37の移動速度は適宜なものとされてよい。また、この移動速度は、一定であってもよいし、一定でなくてもよい(変速が行われてもよい。)。後者の態様としては、例えば、基準位置の予測位置に近づいたときに減速する態様が挙げられる。予測位置は、NCプログラムによって、又は不図示の操作部に対するオペレータの操作によって制御部5に入力されてよい。また、基準位置の取得のために工具101がワーク103に接触するときの移動速度は、加工のために工具101がワーク103に接触するときの移動速度に対して、遅くてもよいし、同等でもよいし、速くてもよい。移動速度は、加工機1の製造者によって設定されてもよいし、加工機1のオペレータによって設定されてもよい。別の観点では、移動速度の情報は、予め記憶部67に記憶されていてもよいし、加工機1の不図示の操作部に対する操作等によって制御部5に入力されてもよい。
制御部5は、基準位置の予測位置よりも-Z側の位置を目標位置として主軸37を移動させるようにZ軸電動機39を制御してよい。そして、主軸37は、ワーク103から受ける力によってZ方向において停止してよい。制御部5は、工具101がワーク103を-Z側へ押す力が過剰に大きくならないように、適宜なトルクを生じるようにZ軸電動機39を制御してよい。また、制御部5は、適宜なセンサの検出値に基づいて、主軸37のZ方向の減速又は停止を検知して、当該検知に応じてZ軸電動機39の駆動を停止してもよい。上記センサとしては、例えば、Z軸位置センサ69、Z軸電動機39に供給される電力を検出するセンサ、及び主軸37の回転の停止を検出するセンサ(例えば回転センサ71)が挙げられる。
制御部5は、上記のように、ノズル7からの空気によって工具101を回転させながら工具101をワーク103に近づけている動作を行っている状態で、回転センサ71(又は他のセンサ)によって回転の停止が検出されると、そのときのZ軸位置センサ69の検出値を基準位置として記憶部67に記憶させる。
なお、便宜上、回転センサ71によって回転の停止が検出されると表現しているが、厳密には、例えば、回転センサ71によって検出される回転数(別の観点では回転速度)が所定の閾値を下回ったときに、制御部5が、回転が停止したと判定してよい。閾値は、加工機1の製造者によって設定されてもよいし、加工機1のオペレータによって設定されてもよい。別の観点では、閾値の情報は、予め記憶部67に記憶されていてもよいし、加工機1の不図示の操作部に対する操作等によって制御部5に入力されてもよい。
なお、図5(a)及び図5(b)に示す動作の一部は、人力で行われたり、加工機1の不図示の操作部に対するオペレータの操作によって行われたりしてもよい。上記一部としては、例えば、主軸37の回転、及び/又は主軸37の-Z方向への移動が挙げられる。
これまでの説明では、基準位置を取得するときに工具101が当接する基準部材として、ワーク103を例に挙げた。ただし、基準部材は、ワーク103に対して不動の他の部材であってもよい。例えば、基準部材は、テーブル25又はチャック27であってもよいし、テーブル25又はチャック27に着脱可能に固定された基準位置を取得するための専用の部材であってもよい。ただし、上記の専用の部材は、テーブル25又はチャック27の一部として捉えられてもよい。本開示における基準位置の取得に関する説明において、ワーク103の語は、矛盾等が生じない限り、上記の他の基準部材の語に置換されてよい。
(実施形態のまとめ)
以上のとおり、加工機1は、主軸37と、保持部(テーブル25)と、駆動部(Z軸電動機39)と、位置センサ(Z軸位置センサ69)と、回転センサ71と、制御部5とを有している。主軸37は、工具101及びワーク103の一方(図示の例では工具101)を保持する。保持部(テーブル25)は、工具101及びワーク103の他方(図示の例ではワーク103)を保持する。Z軸電動機39は、主軸37及びテーブル25の一方である可動部(主軸37)を所定の第1方向(Z方向)に移動させる。Z軸位置センサ69は、主軸37のZ方向における位置を検出する。回転センサ71は、主軸37の回転を検出する。制御部5は、主軸37が回転している状態で工具101によってワーク103を加工するときに、Z方向において、所定の基準位置に対して設定された相対位置へ、主軸37を移動させるように、Z軸位置センサ69の検出値に基づいてZ軸電動機39を制御する。また、ワーク103又はワーク103に対して不動の部材(例えばテーブル25)を基準部材と称するとき、制御部5は、主軸37が回転している状態で主軸37がZ方向に移動して工具101と基準部材とがZ方向に接触する状況で、主軸37の回転の停止が回転センサ71によって検出されたときにZ軸位置センサ69が検出した位置を上記基準位置として取得する。
以上のとおり、加工機1は、主軸37と、保持部(テーブル25)と、駆動部(Z軸電動機39)と、位置センサ(Z軸位置センサ69)と、回転センサ71と、制御部5とを有している。主軸37は、工具101及びワーク103の一方(図示の例では工具101)を保持する。保持部(テーブル25)は、工具101及びワーク103の他方(図示の例ではワーク103)を保持する。Z軸電動機39は、主軸37及びテーブル25の一方である可動部(主軸37)を所定の第1方向(Z方向)に移動させる。Z軸位置センサ69は、主軸37のZ方向における位置を検出する。回転センサ71は、主軸37の回転を検出する。制御部5は、主軸37が回転している状態で工具101によってワーク103を加工するときに、Z方向において、所定の基準位置に対して設定された相対位置へ、主軸37を移動させるように、Z軸位置センサ69の検出値に基づいてZ軸電動機39を制御する。また、ワーク103又はワーク103に対して不動の部材(例えばテーブル25)を基準部材と称するとき、制御部5は、主軸37が回転している状態で主軸37がZ方向に移動して工具101と基準部材とがZ方向に接触する状況で、主軸37の回転の停止が回転センサ71によって検出されたときにZ軸位置センサ69が検出した位置を上記基準位置として取得する。
また、別の観点では、本実施形態に係る被加工物の製造方法は、上記のような加工機1を用いて、工具101によってワーク103を加工して被加工物(例えば切削後のワーク103)を得る。
従って、例えば、既述のように、工具101及び工具101と接触する基準部材(ここではワーク103)は、導電性を有していなくてもよい。また、工具101に代えて導電性の疑似工具を用いる必要もない。
上記の基準位置を取得する第1方向(Z方向)は、主軸37の回転軸に交差(例えば直交)する方向であってよい。別の観点では、図示の例のように、工具101が転削工具である態様において、基準位置を取得するとき、転削工具の外周部が基準部材(例えばワーク103)に接触してよい。あるいは、図示の例とは異なり、工具101が旋削工具である態様において、基準位置を取得するとき、基準部材(例えばワーク103)の外周部が工具101に当接してよい。
この場合、例えば、転削工具(工具101)の構成等にもよるが、転削工具の先端がワーク103に接触する態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれる。)に比較して、転削工具とワーク103との接触によって転削工具の回転を停止させやすい。その理由としては、転削工具の回転軸から転削工具とワーク103との接触位置までの距離が長くなりやすいこと、及び/又は転削工具の外周部とワーク103との接触面積を大きくしやすいことが挙げられる。
工具101及びワーク103の一方を保持する主軸37は、工具101を保持してよい。工具101及びワーク103の他方を保持する保持部は、主軸37よりも第1方向(Z方向)の一方側(-Z側)に位置し、ワーク103を保持するテーブル(テーブル25及び/又はチャック27)であってよい。工具101は、外周に切れ刃101aを有するブレードであってよい。基準位置は、切れ刃101aが、ワーク103又はテーブル(より詳細にはこれらのZ方向の他方側(+Z側)の面)に当接する位置であってよい。
この場合、例えば、工具101の回転軸CLから工具101がワーク103に接触する部位までの距離(ブレードの半径)が比較的大きく確保されるから、工具101の回転が停止されやすい。その結果、本実施形態における基準位置を取得する方法を適用することが容易である。また、切れ刃101aが当接する位置を基準位置とするから、ワーク103からの切込み量(溝の深さ)を高精度に制御できる。切れ刃101aの摩耗が進んだときに基準位置を再度取得して、切込み量の精度を維持できる。
加工機1は、流体供給部9を更に有してよい。ここで、主軸37に保持されている工具101又はワーク103(図示の例では工具101)を回転対象と称するものとする。このとき、流体供給部9は、回転対象の外面及び主軸37の外部に露出している外面の少なくとも一方に対して流体を当てることによって基準位置を取得する動作における主軸37の回転を実現してよい。
この場合、例えば、加工のために主軸37を駆動する駆動源(主軸電動機41)とは別の駆動源によって主軸37を回転させて基準位置を取得することができる。従って、例えば、基準位置を取得するために主軸電動機41によって主軸37を回転させる態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい)に比較して、主軸電動機41の性能によらずに基準位置を取得するときの回転数を設定できる。ひいては、例えば、基準位置を取得するときの回転数を低くすることが容易化される。
流体供給部9は、回転対象(工具101又はワーク103)の外面に対して流体を当てることによって基準位置を取得する動作における主軸37の回転を実現してよい。
この場合、例えば、主軸37の外面のみに流体を当てる態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい)に比較して、加工のときに工具101又はワーク103に加工液を供給するための装置を、基準位置を取得するための装置として兼用することが容易化される。別の観点では、加工のときに加工液を供給する装置を基準位置の取得のときにも利用する態様において、当該装置の構成を簡素にすることができる。なお、基準位置の取得のために利用される装置として、加工液を供給するための装置を例に取ったが、清掃用のエアを供給する装置等の他の装置が利用されてもよい。
工具101は、外周に切れ刃101aを有するブレードであってよい。流体供給部9は、切れ刃101aに対して切れ刃101aの接線方向に流体を当てることによって基準位置を取得する動作における主軸37の回転を実現してよい。
この場合、例えば、加工液を供給するための装置を基準位置の取得に利用しやすいという上記の効果が奏される。また、工具101の回転軸からの距離が比較的長い位置に流体が当てられるから、工具101を回転させやすい。その結果、例えば、基準位置を取得するときの流体供給部9の負担を軽減しやすい。
流体供給部9は、ノズル7と、ノズル7に加工液を供給する加工液供給源49と、ノズル7に気体を供給する気体供給源(エア供給源51)と、加工液供給源49及びエア供給源51を選択的にノズル7に接続するバルブ(制御弁53)と、を有してよい。流体供給部9は、エア供給源51からの気体(空気)をノズル7から供給することによって基準位置を取得する動作における主軸37の回転を実現してよい。
この場合、例えば、基準位置を取得するときに加工液を供給する態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)に比較して、加工液の消費を低減できる。そして、例えば、加工液が水でなく、かつ気体として空気を用いた場合においては、基準位置の取得におけるコストを削減することが容易である。また、例えば、液体を工具101に供給する態様(当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。)に比較して、工具101に付与する力を小さくすることが容易である。
基準位置を取得する動作において工具101が基準部材(例えばワーク103)に接触する直前の主軸37の回転数は、工具101によってワーク103を加工するときの主軸37の回転数よりも低くてよい。
この場合、例えば、基準位置を取得するときに工具101及び/又は基準部材が劣化する蓋然性が低減される。なお、既述のように、加工のための回転数はオペレータが設定するものであるから、上記のような特徴は、流通段階の加工機1においては特定されなくてもよい。
ワーク103を加工するときの主軸37の回転数は、2000rpm以上とされてよい。基準位置を取得する動作において工具101が基準部材(例えばワーク103)に接触する直前の主軸37の回転数は、100rpm以下とされてよい。また、別の観点では、基準位置を取得する動作において工具101が基準部材に接触する直前の主軸37の回転数は、ワーク103を加工するときの主軸37の回転数の1/100以下とされてよい。
これらの場合、例えば、基準位置を取得する動作における回転数は、加工のための回転数に比較して十分に低い。従って、基準位置を取得する動作において工具101と基準部材とが接触することによって両者の少なくとも一方が劣化する蓋然性が低減される。
主軸37は、空気軸受(図3に例示する軸受43)によって支持されてよい。
この場合、例えば、他の形式の軸受に比較して、主軸37を停止させようとする摩擦力が小さく、比較的小さいモーメントで主軸37を回転させることができる。その結果、例えば、基準位置を取得する動作において、外部から主軸37に付与するモーメント、及び/又は主軸37の慣性モーメントを小さくできる。ひいては、工具101がワーク103に接触するときに工具101がワーク103に付与するモーメントを小さくできる。その結果、基準位置の取得に起因して工具101及び/又は基準部材が劣化する蓋然性が低減される。
なお、以上の実施形態において、テーブル25は工具及びワークの他方を保持する保持部の一例である。Z方向は第1方向の一例である。主軸37は可動部の一例である。Z軸電動機39は駆動部の一例である。Z軸位置センサ69は位置センサの一例である。ワーク103、チャック27及びテーブル25それぞれは基準部材の一例である。エア供給源51は気体供給源の一例である。制御弁53はバルブの一例である。空気は気体及び流体の一例である。
本開示に係る技術は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
実施形態の説明では、基準位置は、可動部(主軸及び保持部の一方)の、絶対座標系における第1方向(Z方向)の位置とされた。ただし、基準位置は、可動部の、他の部材(主軸及び保持部の他方)に対する第1方向における相対位置であっても構わない。この場合において、可動部の第1方向の位置を検出する位置センサは、可動部と他の部材との相対位置を検出する1つのセンサであってもよいし、可動部の絶対位置を検出するセンサと他の部材の絶対位置を検出するセンサとの組み合わせであってもよい。
また、例えば、基準位置を取得するために回転対象(工具又はワーク)等に流体を供給する流体供給部と、加工液を供給する流体供給部とは、全く別の装置とされてもよい。
1…加工機、3…機械本体、5…制御部、7…ノズル、9…流体供給部、25…テーブル(保持部)、37…主軸、39…Z軸電動機(駆動部)、69…Z軸位置センサ(位置センサ)、71…回転センサ、101…工具、103…ワーク(基準部材)。
Claims (12)
- 工具及びワークの一方を保持する主軸と、
前記工具及び前記ワークの他方を保持する保持部と、
前記主軸及び前記保持部の一方である可動部を所定の第1方向に移動させる駆動部と、
前記可動部の前記第1方向における位置を検出する位置センサと、
前記主軸の回転を検出する回転センサと、
前記主軸が回転している状態で前記工具によって前記ワークを加工するときに、前記第1方向において、所定の基準位置に対して設定された相対位置へ、前記可動部を移動させるように、前記位置センサの検出値に基づいて前記駆動部を制御する制御部と、
を有しており、
前記ワーク又は前記ワークに対して不動な部材を基準部材と称するとき、前記制御部は、前記主軸が回転している状態で前記可動部が前記第1方向に移動して前記工具と前記基準部材とが前記第1方向に接触する状況で、前記主軸の回転の停止が前記回転センサによって検出されたときに前記位置センサが検出した位置を前記基準位置として取得する
加工機。 - 前記第1方向は、前記主軸の回転軸に交差する方向である
請求項1に記載の加工機。 - 前記主軸は、前記工具を保持し、
前記保持部は、前記主軸よりも前記第1方向の一方側に位置し、前記ワークを保持するテーブルであり、
前記工具は、外周に切れ刃を有するブレードであり、
前記基準位置は、前記切れ刃が、前記ワーク又は前記テーブルに接触する位置である
請求項2に記載の加工機。 - 前記主軸に保持されている前記工具又は前記ワークを回転対象と称するとき、
前記回転対象の外面及び前記主軸の外部に露出している外面の少なくとも一方に対して流体を当てることによって前記基準位置を取得する動作における前記主軸の回転を実現する流体供給部を更に有している
請求項1~3のいずれか1項に記載の加工機。 - 前記流体供給部は、前記回転対象の外面に対して前記流体を当てることによって前記基準位置を取得する動作における前記主軸の回転を実現する
請求項4に記載の加工機。 - 前記工具は、外周に切れ刃を有するブレードであり、
前記流体供給部は、前記切れ刃に対して前記切れ刃の接線方向に前記流体を当てることによって前記基準位置を取得する動作における前記主軸の回転を実現する
請求項5に記載の加工機。 - 前記流体供給部は、
ノズルと、
前記ノズルに加工液を供給する加工液供給源と、
前記ノズルに気体を供給する気体供給源と、
前記加工液供給源及び前記気体供給源を選択的に前記ノズルに接続するバルブと、を有しており、
前記流体供給部は、前記気体供給源からの前記気体を前記流体として前記ノズルから供給することによって前記基準位置を取得する動作における前記主軸の回転を実現する
請求項4~6のいずれか1項に記載の加工機。 - 前記基準位置を取得する動作において前記工具が前記基準部材に接触する直前の記主軸の回転数は、前記工具によって前記ワークを加工するときの前記主軸の回転数よりも低い
請求項1~7のいずれか1項に記載の加工機。 - 前記ワークを加工するときの前記主軸の回転数は、2000rpm以上であり、
前記基準位置を取得する動作において前記工具が前記基準部材に接触する直前の記主軸の回転数は、100rpm以下である
請求項8に記載の加工機。 - 前記基準位置を取得する動作において前記工具が前記基準部材に接触する直前の記主軸の回転数は、前記ワークを加工するときの前記主軸の回転数の1/100以下である
請求項8又は9に記載の加工機。 - 前記主軸は、空気軸受によって支持されている
請求項1~10のいずれか1項に記載の加工機。 - 請求項1~11に記載の加工機を用いて、前記工具によって前記ワークを加工して被加工物を得る、被加工物の製造方法。
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