JP2015178139A - 被加工物の研削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削方法は、チャックテーブル50と、研削手段60と、研削送り手段70と、厚さ測定手段90と、を備えた研削装置1を用いて面内厚さばらつきのある被加工物Wを研削する。研削方法は、チャックテーブル50の保持面50aに保持した被加工物Wに向かって、研削ホイールの研削砥石63aを第1の送り速度で研削送りして接近させ、被加工物Wの表面Wa全面が研削されるまで研削する第1の研削ステップと、第1の研削ステップの後に、研削送り速度を第1の送り速度より遅い第2の送り速度に減速し、被加工物Wを更に研削する第2の研削ステップと、を備え、第1の研削ステップで研削中に、厚さ測定手段90で測定される被加工物Wの厚さばらつきが所定値以下となることで被加工物Wの表面Wa全面が研削されたと判定する。
【選択図】図1
Description
図1は、実施形態に係る研削装置の概略構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態に係る研削装置の研削手段および厚さ測定手段の構成例を示す斜視図である。図3は、実施形態に係る研削装置により研削される被加工物の表面の面内厚さばらつきの経時変化を示す図である。図4は、実施形態に係る研削装置の研削手段による研削加工の動作に関する一例を示す図である。
50 チャックテーブル
50a 保持面
60 研削手段
63 研削ホイール
63a 研削砥石
70 研削送り手段
90 厚さ測定手段
V1 第1の送り速度
V2 第2の送り速度
W 被加工物
Wa 表面
Claims (1)
- 板状の被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、研削ホイールの研削砥石を前記チャックテーブルの保持面に対向配置し前記チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、前記研削手段を前記チャックテーブルに接近および離間させる研削送り手段と、前記チャックテーブルに保持された被加工物の厚さを検出する厚さ測定手段と、を備えた研削装置を用いて面内厚さばらつきのある被加工物を研削する研削方法であって、
前記チャックテーブルの保持面に保持した被加工物に向かって、前記研削ホイールの前記研削砥石を第1の送り速度で研削送りして接近させ、被加工物の表面全面が研削されるまで研削する第1の研削ステップと、
前記第1の研削ステップの後に、研削送り速度を前記第1の送り速度より遅い第2の送り速度に減速し、被加工物を更に研削する第2の研削ステップと、を備え、
前記第1の研削ステップで研削中に、前記厚さ測定手段で測定される被加工物の厚さばらつきが所定値以下となることで被加工物の表面全面が研削されたと判定することを特徴とする被加工物の研削方法。
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