JP2012164735A - フッ素樹脂フィルム製圧電素子 - Google Patents
フッ素樹脂フィルム製圧電素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012164735A JP2012164735A JP2011022493A JP2011022493A JP2012164735A JP 2012164735 A JP2012164735 A JP 2012164735A JP 2011022493 A JP2011022493 A JP 2011022493A JP 2011022493 A JP2011022493 A JP 2011022493A JP 2012164735 A JP2012164735 A JP 2012164735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- fluororesin
- porous
- piezoelectric element
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】気孔率45%以上の多孔質フッ素樹脂フィルム1の片面又は両面に、厚み20μm以下で且つガーレー秒300秒以上のフッ素樹脂薄膜(非多孔質フッ素樹脂薄膜)2が接合一体化されている複合フィルム10を圧電処理する。多孔質フッ素樹脂フィルム1の少なくとも一面に、非多孔質フッ素樹脂薄膜2が積層された複合フィルム10を、非多孔質フッ素樹脂薄膜2の上方からコロナ放電する工程を含む。
【選択図】図1
Description
例えば、特開平6−342947号公報(特許文献2)では、多孔質のPVDFフィルムの空孔に絶縁油を含浸させた状態で且つ誘電体シートで挟んで分極処理することが提案されている。
具体的には、PVDF/TrFE共重合体のフッ素樹脂溶液をガラス板上にキャストした後、乾燥して得られた膜厚130μmの連通孔タイプの多孔質膜(空孔率70%、平均孔径0.45μm)(実施例1)、更にこれに絶縁油を含浸させたもの(実施例2)を、PVDF系一軸延伸シートでサンドイッチして、コロナ荷電により分極処理すると、多孔質膜単独でコロナ荷電した場合(比較例)よりも、分極処理後の多孔質膜の圧電特性(圧力上昇に対する電荷増加量)が大きくなったと説明されている。なお、絶縁油は、分極処理後に乾燥除去され、PVDF系一軸延伸シートは、特許文献2には明示されていないが、圧電処理時のみに使用され、圧電処理後に取り除かれると理解される。
本発明は、気孔への帯電に基づいて圧電性を発現する圧電素子で、優れた圧電性能、耐熱性を有するフッ素樹脂系圧電素子を提供することを目的とする。
本発明に係る単体型圧電素子は、気孔率45%以上の多孔質フッ素樹脂フィルムの片面又は両面に、ガーレー秒が300秒以上の実質的に非多孔質フッ素樹脂薄膜(以下、単に「非多孔質フッ素樹脂薄膜」という)が積層された複合フィルムを、圧電処理したものである。図1は、本発明に係る単体型圧電素子の一実施態様として、片面にだけ非多孔質フッ素樹脂薄膜を積層した複合フィルムを示している。
はじめに、本発明の圧電素子に使用する複合フィルムについて、図1に基づいて説明する。
図1に示す実施形態の複合フィルム10は、多孔質フッ素樹脂フィルム1の片面に、非多孔質フッ素樹脂薄膜2が積層されたものである。
本発明で使用する多孔質フッ素樹脂フィルムは、気孔率が45%以上のフッ素樹脂製多孔質フィルムである。ここで、気孔率とは、多孔質フッ素樹脂フィルムの見かけの体積(V)に占める気孔体積(V0)の割合をいい、下記式より求められる。
気孔率(%)=(V0/V)×100
式中、フィルムの見かけの体積Vは、多孔質フィルムの乾燥重量と水中で測定した重量、体積から求められる。気孔体積(V0)は、多孔質フィルムの乾燥重量を樹脂の真比重(PTFEなら2.17)で除することにより算出されるフィルムの樹脂部分体積(R)を、多孔質フィルムの見かけの体積から差し引くことにより算出される(V0=V−R)。
本発明の複合フィルムに用いられる非多孔質フッ素樹脂薄膜は、ガーレー秒300秒以上、好ましくは1000秒以上、より好ましくは、実質上、非多孔質の5000秒以上のフッ素樹脂フィルムである。
本発明で使用する複合フィルムは、上記多孔質フッ素樹脂フィルムの片面又は両面に、上記非多孔質フッ素樹脂薄膜が一体的に接合されたものである。
複合フィルムに圧電性を付与するために、積層後、圧電処理を行う。圧電処理は、複合フィルムの両面に電極を設けた後、高電圧を印加する方法、フィルム表面に電極を設けず、高電界下で数分間、保持する方法等、図2に示すように、金属板上に多孔質膜を載置し、フィルムから所定間隔をあけて、コロナ放電により荷電させる方法などが挙げられる。これらのうち、好ましくは、コロナ放電する方法である。コロナ放電に際しては、多孔質フッ素樹脂フィルムの気孔内の空気をヘリウムやアルゴンに置換することが望ましい。これにより気孔内での放電が発生しやすくなり、圧電性の起源となる気孔部の帯電が発生しやすくなる。
本発明の積層型圧電素子は、上記本発明の単体型圧電素子を積層したものである。
複合フィルムを重ね合わせることによって形成してもよいし、長尺の帯状体の複合フィルムを作製し、これを断面ジグザグ状に折りたたんでいくことにより積層してもよい。
積層型圧電素子は、各複合フィルムをそれぞれ圧電処理した単体型圧電素子を重ね合わせることにより形成してもよいし、まず複合フィルムを積層した積層体を形成し、この積層体を圧電処理することにより形成してもよい。好ましくは、積層後、圧電処理する方法である。
はじめに、本実施例で行なった測定出方法について説明する。
(1)気孔率(%)
多孔質フィルムの乾燥重量と水中で測定した重量、体積から、多孔質フィルムの見かけの体積(V)を求める。また、多孔質フィルムの乾燥重量を樹脂の真比重(PTFEなら2.17)で除することにより算出されるフィルムの樹脂部分体積(R)を、多孔質フィルムの見かけの体積から差し引くことにより、気孔体積V0を算出する(V0=V−R)。算出した、多孔質フィルムの見かけの体積(V)に占める気孔体積(V0)の割合を、下記式より求める。
気孔率(%)=(V0/V)×100
JIS P8117(紙及び板紙の透気℃試験方法)に規定のガーレー透気度試験機と同一構造の王研式透気度測定装置(旭精工株式会社製)を用いて測定した。
図3に示すように、サンプルフィルム11の長手方向両端部面上に、金を真空蒸着して、3×3cm2の電極を形成した。交流電界(1V、90Hz)を印加した際の厚み方向(z方向)の振動をレーザードップラー計で測定し、フィルム11の厚み方向の圧電定数(pC/N)を算出した。
実施例1:
PTFEディスパージョンAD911(旭硝子社製)とPFAラテックス(ソルベイソレクシス社製、PFAのMFI:7g/分)とを用いて、PFA/(PTFA+PFA)(フッ素樹脂固形分の体積比率)が60%となるように調整し、更に分子量200万のポリエチレンオキサイドを濃度3mg/ml、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステルトリエタノールアミン(花王製20T)を10mg/mlとなるように添加してフッ素樹脂ディスパージョンを調製した。
複合フィルムを密閉容器内に載置し、1時間真空引きした後にアルゴンガスで置換し、更に1時間放置して多孔フィルムの空孔内をアルゴンガスで置換した。このアルゴンガス置換複合フィルムを密閉容器から取りだしてすぐに実施例1と同様にして、コロナ放電処理することにより、実施例2の圧電素子を作製した。得られた圧電素子の圧電定数を上記測定方法に基づいて測定した結果を表1に示す。
実施例1で使用した多孔質フッ素樹脂フィルム単体を、コロナ放電処理して、比較例1の圧電素子を作製した。得られた圧電素子の圧電定数を上記測定方法に基づいて測定した結果を表1に示す。
実施例1で使用した延伸PTFE多孔質フィルム単体を、実施例2と同様の方法によりアルゴンの加圧ガス充填処理を行った後、コロナ放電処理したものである。上記測定方法に基づいて測定した圧電定数を表1に示す。
Claims (9)
- 気孔率45%以上の多孔質フッ素樹脂フィルムの片面又は両面に、厚み20μm以下で且つガーレー秒300秒以上のフッ素樹脂薄膜(以下、「非多孔質フッ素樹脂薄膜」という)が接合一体化されている複合フィルムを圧電処理してなることを特徴とする圧電素子。
- 前記多孔質フッ素樹脂フィルムは、空孔が連通孔となっている請求項1に記載の圧電素子。
- 前記多孔質フッ素樹脂フィルムは、分子及び結晶構造に起因する双極子をもたないフッ素樹脂からなる請求項1又は2に記載の圧電素子。
- 前記多孔質フッ素樹脂フィルムは、延伸ポリテトラフルオロエチレンフィルムである請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電素子。
- 前記多孔質フッ素樹脂フィルムを構成するフッ素樹脂と、前記非多孔質フッ素樹脂薄膜を構成するフッ素樹脂の種類は異なっている請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電素子。
- 前記複合フィルムが2層以上積層された積層体を、圧電処理してなる請求項1〜5のいずれかに1項に記載圧電素子。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の圧電素子の製造方法であって、
気孔率45%以上の多孔質フッ素樹脂フィルムの少なくとも一面に、厚み20μm以下で且つガーレー秒300秒以上のフッ素樹脂薄膜(以下、「非多孔質フッ素樹脂薄膜」という)が積層された複合フィルムを、前記非多孔質フッ素樹脂薄膜の上方からコロナ放電することにより帯電させる工程を含む圧電素子の製造方法。 - 前記複合フィルムは、金属箔を基体として製造され、当該金属箔はそのまま又は一部除去された後、前記帯電工程に供される請求項7に記載の圧電素子の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の圧電素子を用いたセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011022493A JP2012164735A (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | フッ素樹脂フィルム製圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011022493A JP2012164735A (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | フッ素樹脂フィルム製圧電素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012164735A true JP2012164735A (ja) | 2012-08-30 |
Family
ID=46843865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011022493A Pending JP2012164735A (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | フッ素樹脂フィルム製圧電素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012164735A (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013118598A1 (ja) * | 2012-02-07 | 2013-08-15 | 住友電気工業株式会社 | フッ素樹脂フィルムを用いた圧電素子 |
JP2014060291A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Ricoh Co Ltd | 電気−機械変換素子の製造方法、電気−機械変換素子、該電気−機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置。 |
JP2014093313A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Sekisui Chem Co Ltd | エレクトレットシート |
CN104305970A (zh) * | 2014-10-22 | 2015-01-28 | 南昌大学 | 一种探测脉搏波和心尖搏动波形的器件及其制作方法 |
JP2015018368A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 住友電気工業株式会社 | 感圧式タッチ入力部材付き表示装置 |
CN104756213A (zh) * | 2012-10-31 | 2015-07-01 | 日本华尔卡工业株式会社 | 压电层叠体 |
WO2015167013A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-11-05 | 日本バルカー工業株式会社 | 音波・衝撃検知素子 |
WO2015167014A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-11-05 | 日本バルカー工業株式会社 | 音波検知素子 |
JP2016072355A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 東邦化成株式会社 | 圧電素子及びその製造方法 |
JP2016183965A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 学校法人福岡大学 | フィルム試料固定装置、それを有するx線分析装置及び方法並びにそれを用いたフィルム製造装置及び方法とその方法により製造されたフィルム |
JP2017152468A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | 東京応化工業株式会社 | 圧電素子、センサ、アクチュエータ、及び圧電素子の製造方法 |
JP2017198678A (ja) * | 2013-03-15 | 2017-11-02 | ナノ コンポジット プロダクツ インコーポレイテッド | 歪みゲージとして使用される複合材料 |
US10260968B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-04-16 | Nano Composite Products, Inc. | Polymeric foam deformation gauge |
WO2019138642A1 (ja) * | 2018-01-11 | 2019-07-18 | 住友電気工業株式会社 | 撥油性シート材の製造方法及びガスセンサ |
US10405779B2 (en) | 2015-01-07 | 2019-09-10 | Nano Composite Products, Inc. | Shoe-based analysis system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06342947A (ja) * | 1993-06-01 | 1994-12-13 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 多孔質圧電体の製造方法及びポリマ−圧電性多孔膜 |
JP2004088754A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-03-18 | Toho Kasei Kk | 耐熱性エレクトレット用材料、それを用いた耐熱性エレクトレットおよびその製造方法、並びに静電型音響センサー |
JP2010089495A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-04-22 | Yupo Corp | エレクトレット化フィルム |
-
2011
- 2011-02-04 JP JP2011022493A patent/JP2012164735A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06342947A (ja) * | 1993-06-01 | 1994-12-13 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 多孔質圧電体の製造方法及びポリマ−圧電性多孔膜 |
JP2004088754A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-03-18 | Toho Kasei Kk | 耐熱性エレクトレット用材料、それを用いた耐熱性エレクトレットおよびその製造方法、並びに静電型音響センサー |
JP2010089495A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-04-22 | Yupo Corp | エレクトレット化フィルム |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9343653B2 (en) | 2012-02-07 | 2016-05-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Piezoelectric element including fluororesin film |
JP2013162050A (ja) * | 2012-02-07 | 2013-08-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | フッ素樹脂フィルム製圧電素子 |
WO2013118598A1 (ja) * | 2012-02-07 | 2013-08-15 | 住友電気工業株式会社 | フッ素樹脂フィルムを用いた圧電素子 |
JP2014060291A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Ricoh Co Ltd | 電気−機械変換素子の製造方法、電気−機械変換素子、該電気−機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置。 |
JP2014093313A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Sekisui Chem Co Ltd | エレクトレットシート |
US10998488B2 (en) | 2012-10-31 | 2021-05-04 | Valqua, Ltd. | Piezoelectric stack |
CN104756213A (zh) * | 2012-10-31 | 2015-07-01 | 日本华尔卡工业株式会社 | 压电层叠体 |
US20150295163A1 (en) * | 2012-10-31 | 2015-10-15 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | Piezoelectric Stack |
US10658567B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-05-19 | Nano Composite Products, Inc. | Composite material used as a strain gauge |
US11874184B2 (en) | 2013-03-15 | 2024-01-16 | Nano Composite Products, Inc. | Composite conductive foam |
US11329212B2 (en) | 2013-03-15 | 2022-05-10 | Nano Composite Products, Inc. | Composite conductive foam insole |
JP2017198678A (ja) * | 2013-03-15 | 2017-11-02 | ナノ コンポジット プロダクツ インコーポレイテッド | 歪みゲージとして使用される複合材料 |
US10263174B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-04-16 | Nano Composite Products, Inc. | Composite material used as a strain gauge |
US10260968B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-04-16 | Nano Composite Products, Inc. | Polymeric foam deformation gauge |
JP2015018368A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 住友電気工業株式会社 | 感圧式タッチ入力部材付き表示装置 |
WO2015167013A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-11-05 | 日本バルカー工業株式会社 | 音波・衝撃検知素子 |
JPWO2015167014A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2017-06-08 | 日本バルカー工業株式会社 | 音波検知素子 |
WO2015167014A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-11-05 | 日本バルカー工業株式会社 | 音波検知素子 |
JP2020022188A (ja) * | 2014-05-01 | 2020-02-06 | 株式会社バルカー | 音波検知素子 |
JP2016072355A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 東邦化成株式会社 | 圧電素子及びその製造方法 |
CN104305970A (zh) * | 2014-10-22 | 2015-01-28 | 南昌大学 | 一种探测脉搏波和心尖搏动波形的器件及其制作方法 |
US10405779B2 (en) | 2015-01-07 | 2019-09-10 | Nano Composite Products, Inc. | Shoe-based analysis system |
US11564594B2 (en) | 2015-01-07 | 2023-01-31 | Nano Composite Products, Inc. | Shoe-based analysis system |
JP2016183965A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 学校法人福岡大学 | フィルム試料固定装置、それを有するx線分析装置及び方法並びにそれを用いたフィルム製造装置及び方法とその方法により製造されたフィルム |
JP2017152468A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | 東京応化工業株式会社 | 圧電素子、センサ、アクチュエータ、及び圧電素子の製造方法 |
CN111565922A (zh) * | 2018-01-11 | 2020-08-21 | 住友电气工业株式会社 | 拒油性片材的制造方法和气体传感器 |
WO2019138642A1 (ja) * | 2018-01-11 | 2019-07-18 | 住友電気工業株式会社 | 撥油性シート材の製造方法及びガスセンサ |
US11339299B2 (en) | 2018-01-11 | 2022-05-24 | Sumitomo Eletric Industries, Ltd. | Method of making oil repellent sheet material and gas sensor |
CN111565922B (zh) * | 2018-01-11 | 2022-08-12 | 住友电气工业株式会社 | 拒油性片材的制造方法和气体传感器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012164735A (ja) | フッ素樹脂フィルム製圧電素子 | |
JP5878033B2 (ja) | フッ素樹脂フィルム製圧電素子 | |
JP2019054003A (ja) | リチウム・イオン二次電池用の多層ハイブリッド電池セパレータおよびその製造方法 | |
EP3375026B1 (en) | Microlayer membranes, improved battery separators, and methods of manufacture and use | |
JP5543715B2 (ja) | ポリオレフィン製微多孔膜 | |
CN107925036B (zh) | 电池用隔膜 | |
JP7098931B2 (ja) | ポリオレフィン微多孔膜、リチウムイオン二次電池及びポリオレフィン微多孔膜製造方法 | |
JPWO2015194504A1 (ja) | ポリオレフィン微多孔質膜、電池用セパレータ及び電池 | |
WO2019074122A1 (ja) | ポリオレフィン微多孔膜及びこれを用いたリチウムイオン二次電池 | |
JPWO2018043331A1 (ja) | 微多孔膜、リチウムイオン二次電池及び微多孔膜製造方法 | |
JP6467217B2 (ja) | 圧電振動センサ | |
TW201231284A (en) | Polymer layer composite with ferroelectret properties, and process for the production thereof | |
JP7229775B2 (ja) | 電池用セパレータ、電極体及び非水電解質二次電池 | |
CN110225938B (zh) | 氟树脂膜 | |
KR102206758B1 (ko) | 적층 권회체 | |
KR20140105720A (ko) | 폴리테트라플루오로에틸렌제 다공질 수지막, 폴리테트라플루오로에틸렌제 다공질 수지막 복합체, 및 분리막 엘리먼트 | |
TW201034268A (en) | A ferroelectret multi-layer composite and a process for the production of a ferroelectret multi-layer composite with parallel tubular channels | |
JP2013162051A (ja) | フッ素樹脂フィルム製圧電素子及びその製造方法 | |
Wegener et al. | Porous polytetrafluoroethylene (PTFE) electret films: porosity and time dependent charging behavior of the free surface | |
JP6417557B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
JP5873389B2 (ja) | 変性ポリテトラフロオロエチレン製微細孔径膜の製造方法 | |
KR20160049851A (ko) | 압출코팅법을 이용한 이차전지용 분리막의 제조방법 및 이로부터 제조된 분리막 | |
JP2019110063A (ja) | 非水電解液二次電池 | |
JP2019106395A (ja) | 圧電素子シートおよびその製造方法 | |
JP6661098B1 (ja) | 積層ポリテトラフルオロエチレン多孔膜及びその製法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160219 |