JP2020022188A - 音波検知素子 - Google Patents

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Tetsuya Yoneda
哲也 米田
幸 山中
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幸 山中
学 本居
Manabu Motoi
学 本居
佳郎 田實
Yoshiro Tanuki
佳郎 田實
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Abstract

【課題】音波検知能および耐久性に優れる音波検知素子を提供すること。【解決手段】分子および結晶構造に起因する双極子を持たない樹脂からなる多孔質樹脂体と耐圧容器とを有し、前記多孔質樹脂体が、樹脂からなるファイバーから形成された不織布または織布を含む、音波検知素子。【選択図】なし

Description

本発明は、音波検知素子に関する。
音波、特に超音波は、非破壊および無害でその内部等を調べることが可能なことから、構造物の欠陥の検査、人や動物の疾患の診断、測深機または探知機などの様々な分野に応用されている。
このような音波を検知する素子として、例えば、特許文献1には、ケース内に圧電素子が組み込まれた超音波トランスジューサーが開示されており、特許文献2には、ケース内に接着された圧電体を具備した超音波振動子が開示されている。
特開平11−295281号公報 特開2006−166183号公報
しかしながら、前記特許文献に記載の音波検知素子には、長期特性維持などの耐久性や耐熱性の観点で課題があり、さらなる改良の余地があった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、音波検知能および耐久性に優れる音波検知素子を提供することを目的とする。
このような状況のもと、本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、分子および結晶構造に起因する双極子を持たない樹脂からなる多孔質樹脂体と耐圧容器とを有する音波検知素子によれば、前記の目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明の構成は以下の通りである。
[1] 分子および結晶構造に起因する双極子を持たない樹脂からなる多孔質樹脂体と耐圧容器とを有する音波検知素子。
[2] 前記多孔質樹脂体の空孔率が60%以上である、[1]に記載の音波検知素子。
[3] 前記樹脂がポリテトラフルオロエチレンである、[1]または[2]に記載の音波検知素子。
[4] 前記多孔質樹脂体が、樹脂からなるファイバーから形成された不織布または織布を含む、[1]〜[3]のいずれかに記載の音波検知素子。
[5] 前記ファイバーの平均繊維径が0.05〜50μmである、[4]に記載の音波検知素子。
[6] 前記多孔質樹脂体が分極処理されたものである、[1]〜[5]のいずれかに記載の音波検知素子。
[7] 前記耐圧容器の音波透過率が20%以上である、[1]〜[6]のいずれかに記載の音波検知素子。
[8] 前記耐圧容器の引張強度が50〜2000MPaである、[1]〜[7]のいずれかに記載の音波検知素子。
[9] 前記耐圧容器に前記多孔質樹脂体が収容された、[1]〜[8]のいずれかに記載の音波検知素子。
本発明によれば、音波検知能および耐久性に優れる音波検知素子を提供することができる。
≪音波検知素子≫
本発明の音波検知素子は、分子および結晶構造に起因する双極子を持たない樹脂からなる多孔質樹脂体と耐圧容器とを有する。このため、本発明の音波検知素子は、音波検知能および耐久性に優れる。
本発明の音波検知素子は、構造物の欠陥の検査、人や動物の疾患の診断、測深機または探知機などの様々な分野に用いることができ、室温より高温となる環境下や、特に高い圧力のかかる環境(例:圧力が1MPa以上の環境)下で音波を検知したい用途に好適に用いることができる。
本発明の音波検知素子は、超音波検知素子として好適に使用される。
本発明の音波検知素子は、前記多孔質樹脂体と耐圧容器とを有すればその構造は特に制限されないが、耐圧容器に多孔質樹脂体が収容された素子であることが好ましい。
本発明の音波検知素子には、多孔質樹脂体および耐圧容器以外の、従来公知の層等が存在していてもよく、この層は、耐圧容器の内側に存在していてもよいし、外側に存在していてもよい。このような従来公知の層の一例としては、前記多孔質樹脂体と耐圧容器とを接着するための接着層や、電極層、絶縁層が挙げられる。
前記従来公知の層は、高い圧電率を保持する多孔質樹脂体を含む音波検知素子が得られる等の点から、多孔質樹脂体表面の少なくとも一部を被覆する層であることが好ましい。
<多孔質樹脂体>
本発明の音波検知素子において、分子および結晶構造に起因する双極子を持たない樹脂からなる多孔質樹脂体は、圧電材料として用いられ、音波を電力に変換することで音波を検知する役割を果たす。
前記多孔質樹脂体は、微小外力への電荷応答性が高く、音波検知能が高く、高温環境においても電荷を保持できるため、この多孔質樹脂体を用いることで、音波検知能に優れ、可撓性が大きく、耐衝撃性および耐熱性に優れ、軽量である音波検知素子を得ることができる。さらに、多孔質樹脂体は、薄膜化や大面積化等の任意の形状への成形性が容易であるため、所望の用途に応じて任意の形状の音波検知素子を製造することができる。
前記多孔質樹脂体としては、電荷を保持し得る樹脂からなる構造体であることが好ましく、さらに、耐熱性を有する樹脂からなる構造体であることが好ましい。
前記分子および結晶構造に起因する双極子を持たない樹脂としては、分子および結晶構造が極性を示す樹脂でなければ特に制限されないが、ポリオレフィン系樹脂(ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンプロピレン樹脂など)、ポリエステル系樹脂(ポリエチレンエレフタラートなど)、ポリウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂、シリコーン樹脂等の非フッ素系樹脂、および、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)等のフッ素系樹脂などが挙げられる。
これらの中でも、耐熱性および耐候性等の観点から、連続使用可能温度が高く、ガラス転移点を音波検知素子の使用温度域に持たない樹脂であることが好ましい。連続使用可能温度は、UL746B(UL規格)に記載の連続使用温度試験により測定でき、50℃以上であることが好ましく、100℃以上であることがより好ましく、200℃以上であることがさらに好ましい。また耐湿性の観点から、撥水性を示す樹脂であることが好ましい。
これらの特性を有する樹脂としては、例えばポリオレフィン系樹脂、フッ素系樹脂が好ましく、フッ素系樹脂がより好ましく、PTFEが特に好ましい。
特に、前記樹脂として、PTFEを用いる場合には、耐熱性、音波検知能および耐久性にバランスよく優れる音波検知素子を得ることができ、該音波検知素子は、高温/高圧環境下でも、性能や構造を維持できるため、これらの環境下、例えば、地中掘削用、石油プラント配管等の高温部材検査用の音波検知素子として好適に使用することができる。
前記多孔質樹脂体には、樹脂の他に、本発明の効果を損なわない範囲において、従来公知の添加剤が含まれていてもよい。
例えば、前記多孔質樹脂体としては、高い圧電率を長期に亘って保持できるという観点から、マトリックス樹脂と電荷誘起性中空粒子(中空粒子の少なくとも一部の表面に導電性物質が付着した粒子)とを含む構造体であってもよい。
前記多孔質樹脂体の圧電率d33の初期値(多孔質樹脂体を作成した直後)は、好ましくは110pC/N以上、より好ましくは115〜400pC/N程度であり、多孔質樹脂体を作成してから、5日後の圧電率d33は、好ましくは60pC/N以上、より好ましくは70pC/N以上であり、25日経過後の圧電率d33は好ましくは50pC/N以上である。
圧電率が前記範囲にある多孔質樹脂体は、圧電材料として好適に用いることができる。
前記圧電率は、室温(20℃)雰囲気下、湿度20%の条件で、多孔質樹脂体の厚さ方向に一定の交流加速度α(周波数:90〜300Hz、大きさ:2〜10m/s2)を与え、その時の応答電荷を測定することで算出できる。
前記多孔質樹脂体は、下記式で算出される空孔率が、好ましくは60%以上、より好ましくは80〜99%である。空孔率が前記範囲内である多孔質樹脂体は、電荷保持量が高いため好ましい。
空孔率=(樹脂の真密度−見掛けの密度)×100/樹脂の真密度
なお見掛けの密度は、多孔質樹脂体の重量および見掛けの体積を用いて算出される値を用いる。
前記多孔質樹脂体の形状としては、用いる用途に応じて適宜選択すればよいが、製造容易性、音波検知性等の点から、シート状であることが好ましい。
多孔質樹脂体がシート状である場合、その厚さは、特に制限されないが、例えば10μm〜1mmであり、好ましくは50μm〜500μmである。
前記多孔質樹脂体は従来公知の種々の方法で得ることができる。例えば、前記樹脂を含む溶液の相変化を利用して細孔を形成する方法(相分離法)、細孔形成のための添加剤を樹脂に混合・分散して、成形後に除去する方法(抽出法)、前記樹脂を成形し、その後該成形体の一部分の結合を化学的に切断したり、逆に結合反応を行うことにより細孔を形成する方法(化学処理法)、樹脂を延伸し、ミクロフィブリル構造部分に微細孔を形成する方法、または、添加剤を混合分散し、延伸時に細孔を形成する方法(延伸法)、中性子線、レーザー等を照射して細孔を形成する方法(照射エッチング法)、樹脂微細片を加熱等により融着して多孔質体を形成する方法(融着法)、発泡剤を利用して細孔を形成する方法(発泡法)、前記の方法を組合せて細孔を形成する方法(複合法)、乾式紡糸、湿式紡糸、乾湿式紡糸、溶融紡糸、電界紡糸等により前記樹脂からファイバー(繊維)を形成し、該ファイバーを用いて織布または不織布を形成する方法が挙げられる。
前記多孔質樹脂体としては、耐久性、長期に変形性能が維持できるという観点からは、樹脂からなるファイバーから形成された不織布または織布を含む構造体が好ましい。この構造体は、該不織布または織布を含めばよく、該不織布または織布のみからなる構造体でもよいし、該不織布または織布の表面に従来公知の層等が積層した積層体であってもよい。
前記ファイバーは、平均繊維径が好ましくは0.05〜50μm、より好ましくは0.1〜20μm、さらに好ましくは0.5μm〜5μmである。平均繊維径が前記範囲内にあるファイバーを含む多孔質樹脂体は、繊維表面積が大きくなることで電荷を保持する十分な空間を形成でき、薄膜にした場合でも繊維の分布均一性を高くすることができるなどの点で好ましい。
前記平均繊維径は、ファイバーを形成する条件を適宜選択することで調整することができるが、例えば、電界紡糸法によりファイバーを形成する場合には、電界紡糸の際に湿度を下げる、ノズル径を小さくする、印加電圧を大きくする、または電圧密度を大きくすることにより、得られるファイバーの平均繊維径を小さくできる傾向にある。
なお、前記平均繊維径は、測定対象となるファイバー(群)を走査型電子顕微鏡(SEM)観察(倍率:10000倍)し、得られたSEM画像から無作為に20本のファイバーを選び、これらの各ファイバーの繊維径(長径)を測定し、この測定結果に基づいて算出される平均値である。
前記ファイバーの、下記式で算出される繊維径変動係数は、好ましくは0.7以下、より好ましくは0.01〜0.5である。繊維径変動係数が前記範囲内にあると、ファイバーは繊維径が均一となり、該ファイバーを用いて得られる不織布はより高い空孔率を有するため、また、電荷保持性の高い多孔質樹脂体が得られるため好ましい。
繊維径変動係数=標準偏差/平均繊維径
(なお、「標準偏差」とは、前記20本のファイバーの繊維径の標準偏差である。)
前記ファイバーの繊維長は、好ましくは0.1〜1000mm、より好ましくは0.5〜100mm、さらに好ましくは1〜50mmである。
前記ファイバーの形成方法は、特に制限されないが、電界紡糸法により得られるファイバーは繊維径が小さく、また、該ファイバーを用いて得られる不織布は、中空率が高くかつ高比表面積であるため、高い圧電特性を有する多孔質樹脂体が得られる等の点から、電界紡糸法が好ましい。
得られたファイバーを不織布状に集積または織布状に製織し、成形することで多孔質樹脂体を製造することができる。
[電界紡糸法]
電界紡糸法を用いて樹脂からなるファイバーを形成する際には、例えば、前記樹脂および必要に応じて溶媒を含む紡糸液が用いられる。
前記紡糸液中に含まれる樹脂の割合は、例えば5〜100重量%、好ましくは5〜80重量%、より好ましくは10〜70重量%である。
前記溶媒としては、前記樹脂を溶解または分散し得るものであれば特に限定されないが、例えば、水、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフラン、メチルピロリドン、キシレン、アセトン、クロロホルム、エチルベンゼン、シクロヘキサン、ベンゼン、スルホラン、メタノール、エタノール、フェノール、ピリジン、プロピレンカーボネート、アセトニトリル、トリクロロエタン、ヘキサフルオロイソプロパノール、ジエチルエーテルが挙げられる。これらの溶媒は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせた混合溶媒としてもよい。
前記溶媒は、紡糸液中に例えば0〜90重量%、好ましくは10〜90重量%、より好ましくは25〜80重量%含まれる。
前記紡糸液は、前記樹脂および溶媒のほかに、さらに界面活性剤、分散剤、電荷調整剤、機能性粒子、接着剤、粘度調整剤、繊維形成剤等の添加剤を含んでいてもよい。前記紡糸液は、溶媒への溶解度が低い樹脂と該溶媒を含む場合(例えば、樹脂がPTFEであり、溶媒が水である場合)、紡糸時に樹脂をファイバー状に成形させる観点から、さらに繊維形成剤を含むことが好ましい。
繊維形成剤としては、溶媒に対し高い溶解度を有するポリマーであることが好ましく、例えば、ポリエチレンオキサイド、ポリエチレングリコール、デキストラン、アルギン酸、キトサン、でんぷん、ポリビニルピロリドン、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリルアミド、セルロース、ポリビニルアルコールが挙げられる。
前記繊維形成剤を使用する場合の使用量は、溶媒の粘度、樹脂の溶媒への溶解度にもよるが、紡糸液中に例えば0.1〜15重量%、好ましくは1〜10重量%である。
前記紡糸液は、前記樹脂、ならびに必要に応じて溶媒および添加剤を従来公知の方法で混合することにより製造できる。
前記紡糸液の好ましい例としては、以下の紡糸液(1)が挙げられる。
紡糸液(1):PTFEを30〜70重量%、好ましくは35〜60重量%含み、繊維形成剤を0.1〜10重量%、好ましくは1〜7重量%含み、合計が100重量%となるよう溶媒を含む紡糸液
電界紡糸を行う際の印加電圧は、好ましくは1〜100kV、より好ましくは5〜50kV、さらに好ましくは10〜40kVである。
電界紡糸に用いられる紡糸ノズルの先端径(外径)は、好ましくは0.1〜2.0mm、より好ましくは0.2〜1.6mmである。
より具体的には、例えば前記紡糸液(1)を用いる場合であれば、前記印加電圧は、好ましくは10〜50kV、より好ましくは10〜40kVであり、前記の紡糸ノズルの先端径(外径)は、好ましくは0.3〜1.6mmである。
前記ファイバーの製造方法として、PTFEからなるファイバーを電界紡糸法により製造する方法を例に挙げて具体的に説明する。PTFEファイバーの製造方法としては、従来公知の製造方法を採用することができ、例えば、特表2012−515850号公報に記載された以下の方法が挙げられる。
PTFE、繊維形成剤および溶媒を含み、少なくとも50,000cPの粘度を有する紡糸液を提供するステップと;
紡糸液をノズルより紡糸し静電的牽引力によりファイバー化するステップと;
前記ファイバーをコレクター(例:巻き取りスプール)の上に集め、前駆体を形成するステップと;
前記前駆体を焼成して前記溶媒および前記繊維形成剤を除去することによってPTFEファイバーを形成するステップとを含む方法。
[不織布または織布の製造方法]
前記ファイバーを用いて不織布を形成するには、ファイバーを形成する工程、および得られたファイバーをシート状に集積して不織布を形成する工程を、別途独立に行ってもよく、同時に行ってもよい(すなわち、ファイバーを製造しつつシート状に集積して、不織布を形成してもよい)。具体的には、例えば、電界紡糸法を用いてファイバーを形成する工程、および得られたファイバーをシート状に集積して不織布を形成する工程を同時に行ってもよいし、ファイバーを形成する工程を行った後に、湿式法により得られたファイバーをシート状に集積して不織布を形成する工程を行ってもよい。
前記湿式法により不織布を形成する方法としては、例えば、前記ファイバーを含有する水分散液を用い、例えばメッシュ上に前記ファイバーを堆積(集積)させてシート状に成形(抄紙)する方法が挙げられる。
この湿式法におけるファイバーの使用量は、前記水分散液全量に対して、好ましくは0.1〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重量%である。ファイバーをこの範囲内で使用すれば、ファイバーを堆積させる工程で水を効率よく活用することができ、また、ファイバーの分散状態がよくなり、均一な湿式不織布を得ることができる。
前記水分散液には、分散状態を良好にするためにカチオン系、アニオン系、ノニオン系等の界面活性剤などからなる分散剤や油剤、また泡の発生を抑制する消泡剤等を添加してもよい。
前記ファイバーから形成される織布は、ファイバーを形成する工程、および得られたファイバーをシート状に製織して織布を形成する工程を含む方法で製造できる。
ファイバーをシート状に製織する方法としては、従来公知の製織方法を用いることができ、ウォータージェットルーム、エアージェットルーム、レピアルームなどの方法が挙げられる。
前記不織布および織布の目付は、好ましくは100g/m2以下、より好ましくは0.1〜50g/m2、さらに好ましくは0.1〜20g/m2である。
前記不織布および織布の厚さは、通常10μm〜1mm、好ましくは50μm〜500μmである。
前記目付および厚さは、紡糸時間を長くする、紡糸ノズル数を増やすなどにより、増大する傾向にある。
前記不織布および織布は、前記ファイバーをシート状に集積または製織したものであるが、このような不織布および織布は、単層から構成されるもの、材質や繊維径の異なる2層以上から構成されるものの何れでもよい。
[分極処理]
前記多孔質樹脂体は、圧電率d33が前記範囲にある多孔質樹脂体を得ることができる等の点から、分極処理されたものであることが好ましい。
前記分極処理の方法としては、従来公知の方法を用いることができ、特に制限されないが、例えば、直流電圧印加処理や交流電圧印加処理等の電圧印加処理、およびコロナ放電処理が挙げられる。
例えば、コロナ放電処理は、市販の高電圧電源と電極からなる装置を使用して行うことができる。
放電条件は、用いる多孔質樹脂体に応じて適宜選択すればよいが、好ましい条件として、高電圧電源の電圧が−0.1〜−100kV、より好ましくは−1〜−20kV、電流が0.1〜100mA、より好ましくは1〜80mA、電極間距離が0.1〜100cm、より好ましくは1〜10cm、印加電圧が0.01〜10.0MV/m、より好ましくは0.5〜2.0MV/mである条件が挙げられる。
前記分極処理は、通常、多孔質樹脂体単体を分極処理すればよいが、用いる耐圧容器によっては、該容器に多孔質樹脂体を収容した後、分極処理をしてもよい。
<耐圧容器>
前記耐圧容器は、多孔質樹脂体にかかる音波以外の外力を遮断する容器であれば特に制限されない。
なお、外力とは、本発明の音波検知素子の外部から、該素子に加わる力(音波を除く)、例えば、圧力や衝撃のことをいう。
前記耐圧容器の音波透過率は、好ましくは20%以上であり、より好ましくは30%以上である。
音波透過率が前記範囲にあることで、音波検知素子が、耐圧容器に多孔質樹脂体が収容された素子である場合でも、耐圧容器部分で音波が吸収されにくく、多孔質樹脂体部分で音波のほとんどを検知することができるため、高性能の音波検知素子となり好ましい。
前記音波透過率は、JIS A 1405−1に準拠し測定することができる。
前記耐圧容器の引張強度は、特に制限されず、該容器が多孔質樹脂体にかかる音波以外の外力(圧力)を遮断できるような強度であることが好ましく、好ましくは50〜2000MPaであり、より好ましくは200〜2000MPaである。
引張強度が前記範囲にある耐圧容器を用いることで、多孔質樹脂体にかかる音波以外の外力を効率よく遮断することができ、高静圧環境下においても音波以外の外力(ノイズ)を検知しにくい高感度で耐久性に優れる音波検知素子を得ることができる。
前記引張強度は、ISO527−1(JIS K 7161−7165)に準拠し測定することができる。
前記耐圧容器の大きさや厚みは、特に制限されず、引張強度が前記範囲となるような大きさや厚みであることが好ましく、本発明の音波検知素子が用いられる用途に応じて適宜選択すればよい。
前記耐圧容器は、特に制限されず、音波透過率および引張強度が前記範囲となるような材料からなる容器であることが好ましく、電気絶縁性が高い(電気抵抗率が1×1012Ω・cm以上)材料からなる容器であることが、多孔質樹脂体に保持された電荷が外部環境と電気的に接続して減衰することを防止する役割も果たし、より高感度の音波検知素子を得ることができる等の点から好ましい。
前記耐圧容器としては、本発明の音波検知素子が用いられる用途に応じて適宜選択すればよく、金属材料や、セラミック、ガラスなどの無機材料からなる容器が挙げられるが、樹脂などの有機材料や、無機材料と有機材料との複合材料からなる容器であってもよい。強度および電気抵抗率の観点からは、無機繊維(例えばガラス繊維)と樹脂材料の複合材料からなる容器であることが好ましい。
多孔質樹脂体との界面での音波の反射を低減する観点から、前記耐圧容器を構成する材料の音響インピーダンスが、多孔質樹脂体を構成する材料の音響インピーダンスと近いことが好ましい。前記耐圧容器を構成する材料の音響インピーダンスは、通常、1×106〜20×106kg/m2・sであることが好ましく、1×106〜10×106kg/m2・sであることがより好ましく、1×106〜4×106kg/m2・sであることがさらに好ましい。
前記耐圧容器の形状は、内部に収容空間を有すれば特に制限されないが、内部に前記多孔質樹脂体を収容できる空間を有することが好ましい。前記耐圧容器の形状としては、例えば、立方体や直方体等の多面体、球、円柱、円錐等が挙げられる。
また、前記耐圧容器は、その一部が開口した容器であってもよいが、多孔質樹脂体にかかる音波以外の外力を効率よく遮断する等の点から、密閉容器であることが好ましい。
前記耐圧容器としては、市販品を用いてもよく、従来公知の方法で製造したものを用いてもよい。
次に、本発明について実施例を示してさらに詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
[実施例1]
特表2012−515850号公報に記載の電界紡糸法により、PTFEファイバーをシート状に集積することで、多孔質樹脂体としてPTFEファイバーから形成されたシート状の不織布(厚さ0.06mm、空孔率95%、平均繊維径900nm)を得、絶縁層としてPFAシート(厚さ0.025mm、ダイキン工業株式会社製、ネオフロンPFA)を得られた不織布の上下面に重ね、300℃で60分間熱圧着することで多孔質樹脂体表裏面に絶縁層が形成された積層シートを作製した。この積層シートを−15kVのコロナ放電照射により分極処理した後に、得られた積層シート両面(絶縁層上)に蒸着法で電極を形成しさらにリード線を引き出して有機圧電素子を作製した。
この有機圧電素子を、両面テープ(住友スリーエム株式会社製、FPR−12)を介して耐圧容器(ガラス繊維強化プラスチック、厚さ2mm)の内面に貼り付け、音波検知素子を作製した。
この音波検知素子について、耐圧容器の外部から耐圧容器に向けて10kHzの音波を照射したところ、電圧が発生し、この発生した電圧を検出した。つまり、得られた音波検知素子により音波を検知することができた。

Claims (9)

  1. 分子および結晶構造に起因する双極子を持たない樹脂からなる多孔質樹脂体と耐圧容器とを有し、
    前記多孔質樹脂体が、樹脂からなるファイバーから形成された不織布または織布を含む、
    音波検知素子。
  2. 前記多孔質樹脂体の空孔率が60%以上である、請求項1に記載の音波検知素子。
  3. 前記樹脂がポリテトラフルオロエチレンである、請求項1または2に記載の音波検知素子。
  4. 前記ファイバーの平均繊維径が0.05〜50μmである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の音波検知素子。
  5. 前記多孔質樹脂体が分極処理されたものである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の音波検知素子。
  6. 前記耐圧容器の音波透過率が20%以上である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の音波検知素子。
  7. 前記耐圧容器の引張強度が50〜2000MPaである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の音波検知素子。
  8. 前記耐圧容器に前記多孔質樹脂体が収容された、請求項1〜7のいずれか1項に記載の音波検知素子。
  9. 前記耐圧容器が密閉容器である、請求項1〜5、8のいずれか1項に記載の音波検知素子。
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