JP2013162051A - フッ素樹脂フィルム製圧電素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 耐熱性、耐薬品性等の化学的特性に優れたフッ素樹脂系プラスチックフィルムを用いて、帯電性を高めた圧電素子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 厚み方向の切断面に基づく、気孔の厚み方向長さが最長の気孔から降順で所定個数の気孔について得られた、厚み方向長さの平均値(厚み方向長さ上位平均値An)を指標として、多孔質フッ素樹脂フィルムを選択する工程;及び前記選択した多孔質フッ素樹脂フィルムを圧電処理する工程を含む。前記選択工程は、前記平均値が、所定の値以下の多孔質フッ素樹脂フィルムを選択する工程であることが好ましく、前記所定の値は、多孔質フッ素樹脂フィルムの厚み、及び平均値の母数となる前記所定個数に依存して設定されることが好ましい。
【選択図】 図1
Description
本発明の製造方法は、多孔質フッ素樹脂フィルムからなる圧電素子の製造方法であって、厚み方向の切断面に基づく、気孔の厚み方向長さが最長の気孔から降順で所定個数の気孔について得られた、厚み方向長さの平均値(厚み方向長さ上位平均値An)を指標として、多孔質フッ素樹脂フィルムを選択する工程;及び前記選択した多孔質フッ素樹脂フィルムを圧電処理する工程を含む。
図1は、本発明の製造方法における選択工程の代表的処理フローを示す。このフロー図に従って、選択工程を具体的に説明する。
ここで、フィルムの切断は、フィルムの厚み方向と平行に切断した断面が得られる切断であればよく、フィルムの長手方向と平行に切断する場合と、幅方向と平行に切断する場合とがあるが、本発明では特に限定しない。ただし、延伸多孔質フッ素樹脂フィルムの場合、延伸処理により異方性を有することから、延伸方向に沿って(二軸延伸の場合は最初に延伸する方向に沿って)平行に切断した面を取得することが好ましい。
従って、2値化処理した結果、図2のように、得られる楕円の長軸がフィルムの面方向にほぼ平行の場合には短軸が、厚み方向長さaとなる。一方、2値化処理した結果、得られる気孔形状が、図3(a)のように、フィルムの面に対して傾きを有する楕円であったり、図3(b)(c)のように、楕円以外の形状の場合、これらの気孔を囲む仮想最小長方形(図中の破線)の縦方向の長さが、厚み方向長さaとなる。
ここで、平均値の母数とする個数nは、圧電値との相関係数が高くなる個数であり、好ましくは相関係数の絶対値が0.8以上となる個数が好ましい。このような個数は、フッ素樹脂フィルムの種類、製造方法等、二値化処理方法(階調など)により一概にはいえないが、通常40〜80個程度であり、好ましくは50個程度である。母数が多くなりすぎると、全気孔の平均値に近づき、圧電性との相関性が低下する。一方、母数が少なくなりすぎると、選択指標を設定するための断面の位置などによるデータのばらつきの影響を受けやすくなる。
従って、厚み方向長さの平均値Anが所定値(P)以下の多孔質フッ素樹脂フィルムを選択することで、圧電処理の方法を変えずに、高い圧電性を得ることが可能となる。
例えば、n=50の場合、所定値Pは、3μm程度とすることが好ましい。つまり、厚み方向長さが大きな気孔が少ない、あるいは最大気孔の厚み方向長さは小さい方が、圧電性が高い多孔質フッ素樹脂フィルムがえられやすい。
上記選択工程に供することができる多孔質フッ素樹脂フィルム、すなわち素材となる多孔質フッ素樹脂フィルムは、多孔質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)であることが好ましいが、他に、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル(EPA)、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体(ETFE)、ポリフッ化ビニリデン、ポリクロロ・テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン・エチレン共重合体、及びこれらの1種又は2種以上とポリテトラフルオロエチレン(PTFE)との混合物等の多孔質フィルムも用いることができる。
圧電処理方法は、特に限定せず、多孔質プラスチックフィルムのエレクトレット化の分野ですでに知られている圧電処理方法を採用することができる。
圧電処理は、延伸多孔質フッ素樹脂フィルムの両面に電極を設けた後、両電極間に、高電圧を印加する方法、電子線を照射する方法、図4に示すように、金属板上に延伸多孔質フッ素樹脂フィルムを載置し、該フィルムから所定間隔をあけて、コロナ放電により荷電させる方法などが挙げられる。これらのうち、好ましくは、コロナ放電する方法である。
本発明の圧電素子は、多孔質フッ素樹脂フィルムを圧電処理してなるもので、上記本発明の製造方法に基づいて製造される、高圧電性の圧電素子である。すなわち、上述のように、高い圧電性能が得られ得る多孔質フッ素樹脂フィルムを用いて製造されたものである。
代表的には、延伸多孔質フッ素樹脂フィルム(好ましくは延伸多孔質PTFE)で、上位50個の厚み方向長さの平均値(A50)が3μm以下、好ましくは2.5μm以下の延伸多孔質フッ素樹脂フィルムを圧電処理したものである。更に、具体的には、延伸多孔質フッ素樹脂フィルム(好ましくは延伸多孔質PTFE)をFIB加工や凍結破断により、延伸方向に沿って切断した切断面を、走査型電子顕微鏡(例えば、電界放出型顕微鏡Ultra55(Carl Zeiss社製))を用いて、倍率1000倍程度で撮影した画像を得る。得られた断面画像を、画像処理ソフト(例えば、住友金属テクノロジー株式会社の粒子解析ヴァージョン3)で、画像モード:モノクロ、256階調のうち、35の閾値で2値化変換した画像データを作成するとともに、さらに作成された画像に基づいて、厚み方向長さが最大から50個の気孔について算出した厚み方向長さの平均値(A50)が3μm以下となる多孔質フッ素樹脂フィルムを、圧電処理したものである。
ここで、気孔率とは、多孔質フッ素樹脂フィルムの見かけの体積(V)に占める気孔体積(V0)の割合をいい、下記式より求められる。
気孔率(%)=(V0/V)×100
式中、フィルムの見かけの体積Vは、フィルムの面積と厚みにより算出される。気孔体積(V0)は、多孔質フィルムの乾燥重量を樹脂の真比重(PTFEなら2.17g/cm3)で除することにより算出されるフィルムの樹脂部分体積(R)を、多孔質フィルムの見かけの体積から差し引くことにより算出される(V0=V−R)。
以上のように圧電処理した多孔質フッ素樹脂フィルムの両面に、金属箔を貼付、あるいは金属を蒸着等することにより電極を取り付けることで、高圧電率を有する圧電素子を得ることができる。圧電素子はその表面に耐湿性の向上や衝撃防止などのために、PETフィルムなどの保護フィルムを設けることが好ましい。
すなわち、ポリオレフィンフィルムやポリフッ化ビニリデン(PVDF)フィルム等の従来のプラスチックフィルム製圧電素子では、耐熱性との関係から、外部基板への接続は、加熱を要しないビス留め等に限定されていたため、作業性の点、コスト面、さらにはビス留めのためのスペースを要するといった点などから、改善が求められていたが、圧電素子として、耐熱性に優れた多孔質フッ素樹脂フィルム製圧電素子を用いることにより、これらの課題が解決できることになる。
はじめに、本実施例で行なった測定出方法について説明する。
(1)気孔サイズ
延伸多孔質PTFEフィルムを液体窒素中で冷却させた後、フィルム厚み方向と平行で且つフィルム延伸方向と平行に破断して得られる断面を、低加速高分解能走査電子顕微鏡(Curl Zeisss社 Ultra55)、加速電圧1.5kV、傾斜0度、観測倍率1000倍で撮影した。得られた断面画像(長手方向×厚み方向が114μm×30μmのエリアの画像)を、住友金属テクノロジー株式会社の粒子解析Ver3の画像処理ソフトを用いて、画像モード:モノクロ、256階調のうち35の閾値で2値化変換し、エリア内の気孔が黒色部分として得られる2値化画像を得た。この2値化画像に基づいて、各気孔を内包する最小の長方形(縦:厚み方向、横:フィルム面内方向)の縦方向長さa及び横方向長さbを最大値から降順で並べ、上位50個(母数n=50)の平均値(縦方向A50、横方向B50)及び全気孔の平均値(縦方向Aall、横方向Ball)を算出した。
図5に示すように、サンプルフィルム11の両面に、Al箔を重ねて、3×3cm2の電極を形成した。交流電界(1V、90Hz)を印加した際の厚み方向(z方向)の振動をレーザードップラー計で測定し、フィルム11の厚み方向の圧電定数(pC/N)を算出した。
4.5cm×4.5cmの多孔質フッ素樹脂フィルムの厚みを測定し、見掛けの体積(V)を求める。また、その多孔質フッ素樹脂フィルムの乾燥重量を樹脂の真比重(PTFEなら2.17g/cm3)で除することにより算出されるフィルムの樹脂部分体積(R)を、多孔質フッ素樹脂フィルムの見かけの体積から差し引くことにより、気孔体積V0を算出する(V0=V−R)。算出した、多孔質フッ素樹脂フィルムの見かけの体積(V)に占める気孔体積(V0)の割合を、下記式より求める。
気孔率(%)=(V0/V)×100
フィルム厚み、気孔率、気孔サイズが種々異なる9種類の延伸多孔質PTFEフィルム(No.1〜9)、さらに室温下、3MPaで60分間、圧縮処理(No.10,11)、130℃加熱下で、3MPaで20分間、圧縮処理した多孔質PTFEフィルム(No.12〜15)について、上記方法により気孔サイズを算出した。次いで、図4に示すように、金属板上に延伸多孔質フッ素樹脂フィルムを載置し、フィルムから所定間隔をあけて、コロナ放電(アルゴン雰囲気下、針電極−8kV、90秒間飽和電流が流れるまで処理)することにより、圧電処理を行った。得られた圧電フィルムについて、下記測定方法により、圧電値を測定した。測定結果を表1に示すとともに、上位50個平均法で求めた厚み方向長さ平均値Aと圧電値との関係を示すグラフを図6、全気孔平均法で求めた厚み方向長さ平均値Tと圧電値との関係を示すグラフを図7に、それぞれ示す。各グラフにおいて、No.10,11の測定結果は白抜き四角(□)、No.12−15の測定結果は黒三角(▲)、No.1−10の測定結果は黒菱形(◆)で表わされている。
Claims (14)
- 多孔質フッ素樹脂フィルムからなる圧電素子の製造方法であって、
厚み方向の切断面に基づく、気孔の厚み方向長さが最長の気孔から降順で所定個数の気孔について得られた、厚み方向長さの平均値(厚み方向長さ上位平均値An)を指標として、多孔質フッ素樹脂フィルムを選択する工程;及び
前記選択した多孔質フッ素樹脂フィルムを圧電処理する工程
を含む圧電素子の製造方法。 - 前記選択工程は、前記平均値が、所定の値以下の多孔質フッ素樹脂フィルムを選択する工程である請求項1に記載の製造方法。
- 前記所定の値は、多孔質フッ素樹脂フィルムの厚み、及び平均値の母数となる前記所定個数に依存して設定される請求項1又は2に記載の製造方法。
- 前記選択した多孔質フッ素樹脂フィルムを、加熱圧縮した後、圧電処理する請求項1〜3のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。
- 前記加熱圧縮時の加熱温度は、100℃以上である請求項4に記載の製造方法。
- 前記圧電処理は、前記多孔質フッ素樹脂フィルムの片面から放電処理することにより行われる請求項1〜5のいずれか1項に記載の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法で製造される多孔質フッ素樹脂フィルム製圧電素子。
- 多孔質フッ素樹脂フィルムからなる圧電素子であって、
厚み方向の切断面に基づく、気孔の厚み方向長さが最長の気孔から降順で50個の気孔について得られた、厚み方向長さの平均値(A50)が3μm以下である多孔質フッ素樹脂フィルム製圧電素子。 - 前記厚み方向長さの平均値(A50)が0.5μm以上である請求項7又は8に記載の多孔質フッ素樹脂フィルム製圧電素子。
- 前記延伸多孔質フッ素樹脂フィルムは、延伸ポリテトラフルオロエチレンフィルムである請求項7〜9のいずれかに記載の圧電素子。
- 前記多孔質フッ素樹脂フィルムは、気孔率40%以下である請求項7〜10のいずれかに記載の圧電素子。
- 前記多孔質フッ素樹脂フィルムの両面に、電極が取り付けられている請求項7〜11のいずれか1項に記載の圧電素子。
- 請求項7〜12のいずれか1項に記載の圧電素子を用いたセンサ。
- 請求項7〜12のいずれか1項に記載の圧電素子と、外部基板上の電極端子とが、異方導電性接着剤又は融点150℃以下の半田で接続されている圧電素子搭載基板。
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