JP2012156474A - 半導体用接着剤組成物、半導体用接着シートおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る半導体用接着剤組成物は、アクリル重合体(A)、エポキシ系熱硬化樹脂(B)、熱硬化剤(C)、有機官能基を有し、分子量が300以上でアルコキシ当量が13mmol/gより大きいシラン化合物(D)、および有機官能基を有し、分子量が300以下でアルコキシ当量が13mmol/g以下であるシラン化合物(E)を含むことを特徴とする。
【選択図】なし
Description
(1)アクリル重合体(A)、エポキシ系熱硬化樹脂(B)、熱硬化剤(C)、有機官能基を有し、分子量が300以上でアルコキシ当量が13mmol/gより大きいシラン化合物(D)、および有機官能基を有し、分子量が300以下でアルコキシ当量が13mmol/g以下であるシラン化合物(E)を含む半導体用接着剤組成物。
本発明の半導体用接着剤組成物は、アクリル重合体(A)、エポキシ系熱硬化樹脂(B)、熱硬化剤(C)、有機官能基を有し、分子量が300以上でかつアルコキシ当量が13mmol/gより大きいシラン化合物(D)、および有機官能基を有し、分子量が300以下でかつアルコキシ当量が13mmol/g以下であるシラン化合物(E)を含有する。また、接着剤組成物の各種物性を改良するため、必要に応じて他の成分を配合してもよい。以下、これら各成分について具体的に説明する。
アクリル重合体(A)としては従来公知のアクリル重合体を用いることができる。アクリル重合体(A)の重量平均分子量(Mw)は、1万〜200万であることが好ましく、10万〜150万であることがより好ましい。アクリル重合体(A)のMwが低過ぎると、接着剤層と基材との接着力が高くなってチップのピックアップ不良が起こることがある。アクリル重合体(A)のMwが高すぎると、被着体の凹凸へ接着剤層が追従できないことがあり、ボイドなどの発生要因になることがある。アクリル重合体(A)のMwは、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算値である。
エポキシ系熱硬化樹脂(B)としては、従来公知の種々のエポキシ樹脂を用いることができる。エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェニレン骨格型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、複素環型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、縮合環芳香族炭化水素変性エポキシ樹脂や、これらのハロゲン化物などの、構造単位中に2つ以上の官能基が含まれるエポキシ樹脂が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
熱硬化剤(C)は、エポキシ系熱硬化樹脂(B)に対する熱硬化剤として機能する。熱硬化剤(C)としては、エポキシ基と反応しうる官能基を分子中に2個以上有する化合物が挙げられ、その官能基としてはフェノール性水酸基、アルコール性水酸基、アミノ基、カルボキシル基、酸無水物基などが挙げられる。これらの中では、フェノール性水酸基、アミノ基および酸無水物基が好ましく、フェノール性水酸基およびアミノ基がより好ましい。
有機官能基を有し、分子量が300以上でかつアルコキシ当量が13mmol/gより大きいシラン化合物(D)(以下において、単に「シラン化合物(D)」と記載することがある。)の有機官能基としては、アクリル重合体(A)やエポキシ系熱硬化樹脂(B)などが有する官能基と反応するものが好ましく、このようなものとして、エポキシ基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイル基中のビニル基を除くビニル基、メルカプト基が挙げられる。これらのうちでも、エポキシ基が好ましい。なお、アルコキシ当量は化合物の単位重量当たりに含まれるアルコキシ基の絶対数を示し、本発明において同様である。
有機官能基を有し、分子量が300以下でかつアルコキシ当量が13mmol/g以下であるシラン化合物(E)(以下において、単に「シラン化合物(E)」と記載することがある。)の有機官能基としては、アクリル重合体(A)やエポキシ系熱硬化樹脂(B)などが有する官能基と反応するものが好ましく、このようなものとして、エポキシ基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイル基中のビニル基を除くビニル基、メルカプト基が挙げられる。これらのうちでも、エポキシ基が好ましい。
シラン化合物(D)は、接着シートの製造直後から、一定の保管期間を置かずに使用した場合に、熱湿後接着状態維持効果が高い一方で、接着シートの製造後、一定の保管期間を置くと、シラン化合物(D)のアルコキシ基が他のアルコキシ基や場合によって添加される無機充填材と反応して消失していくため、被着体表面に結合したり、被着体表面と双極子的な相互作用を持ちにくくなり、接着剤層と被着体表面との界面の接着を強固にできず、熱湿後接着状態維持効果が低くなることがある。
本発明において、接着剤組成物の被着体に対する接着力をより向上させるため、シラン化合物(D)、シラン化合物(D’)、シラン化合物(E)およびシラン化合物(E’)以外にその他のシラン化合物(F)を用いてもよい。
硬化促進剤(G)は、接着剤組成物の硬化速度を調整するために用いられる。硬化促進剤としては、好ましくは、エポキシ基とフェノール性水酸基やアミン等との反応を促進し得る化合物である。この化合物としては、具体的には、3級アミン類、イミダゾール類、有機ホスフィン類、テトラフェニルボロン塩等が挙げられる。
本発明の接着剤組成物は、エネルギー線重合性化合物(H)を含有してもよい。エネルギー線重合性化合物(H)をエネルギー線照射によって重合させることで、接着シートにおける接着剤層の接着力を低下させることができる。このため、半導体チップのピックアップ工程において、基材と接着剤層との層間剥離を容易に行えるようになる。
本発明の接着剤組成物の使用に際して、前記エネルギー線重合性化合物(H)を使用する場合、紫外線などのエネルギー線を照射して、接着剤層の接着力を低下させることが好ましい。接着剤組成物中に光重合開始剤(I)を含有させることで、重合・硬化時間および光線照射量を少なくすることができる。
本発明において、無機充填材(J)を用いてもよい。無機充填材(J)を接着剤組成物に配合することにより、該組成物の熱膨張係数を調整することが可能となる。半導体チップ、リードフレームおよび有機基板に対して硬化後の接着剤層の熱膨張係数を最適化することで、パッケージ信頼性をより向上させることができる。また、接着剤層の硬化後の吸湿率をより低減することも可能となる。
本発明の接着剤組成物には、上記各成分の他に、必要に応じて各種添加剤が含有されてもよい。各種添加剤としては、ポリエステル樹脂等の可とう性成分、可塑剤、帯電防止剤、酸化防止剤、顔料、染料などが挙げられる。
本発明に係る接着シートは、上記接着剤組成物からなる接着剤層を、基材上に形成してなる。本発明に係る接着シートの形状は、テープ状、ラベル状など、あらゆる形状をとり得る。
粘着剤として、再剥離性の粘着剤を用いることが好ましく、再剥離性の粘着剤としては、粘着性の微弱な粘着剤、表面凹凸のある粘着剤、エネルギー線硬化型粘着剤、熱膨張成分含有粘着剤等が挙げられる。再剥離性の粘着剤を用いることで、被着体の加工の間は基材と接着剤層間を強固に固定し、その後接着剤層を被着体に固着残存させて基材から剥離することが容易となる。
次に本発明に係る接着シートの使用方法について、該接着シートを半導体装置の製造に適用した場合を例にとって説明する。
(1−1)上段チップの作成
ウエハバックサイドグラインド装置(DISCO社製、DGP8760)により、表面をドライポリッシュ処理したシリコンウエハ(200mm径、厚さ500μm)のドライポリッシュ処理面に、実施例または比較例で得られた接着シートをテープマウンター(リンテック社製、Adwill(登録商標) RAD2500 m/8)を用いて貼付し、同時にリングフレームに固定した。その後、紫外線照射装置(リンテック社製、Adwill(登録商標) RAD2000)を用いて、前記シートの基材面から紫外線を照射(350mW/cm2、190mJ/cm2)した。
ポリイミド系樹脂(日立化成デュポンマイクロシステムズ社製PLH708)がコーティングされたシリコンウエハ(200mm径、厚さ725μm)に、ダイシングテープ(リンテック社製、Adwill D−650)を上記と同様にテープマウンターを用いて貼付した。次いで、上記と同様にダイシング装置を用いて、シリコンウエハを12mm×12mmのチップサイズにダイシングし、チップをピックアップした。チップのポリイミド系樹脂がコーティングされた面(ポリイミド面)に、上記(1−1)で得た上段チップを、接着剤層を介して100℃かつ300gf/chip、1秒間の条件にてボンディングした。その後、125℃で60分、さらに175℃で120分間加熱し接着剤層を硬化させ、試験片を得た。
ボンドテスター(Dage社製、ボンドテスターSeries4000)の測定ステージを250℃に設定し、測定用試験片を測定ステージ上に30秒間放置した。ボンディング界面(接着剤層界面)より100μmの高さの位置よりスピード500μm/sで接着剤層界面に対し水平方向(せん断方向)に応力をかけ、試験片のポリイミド面における接着状態が破壊するときの力(せん断強度)(N)を測定した。なお、6サンプルの測定用試験片について、それぞれのせん断強度を測定し、その平均値をせん断強度(N)とした。
(2−1)上段チップの作成
ウエハバックサイドグラインド装置(DISCO社製、DGP8760)により、表面をドライポリッシュ処理したシリコンウエハ(200mm径、厚さ75μm)のドライポリッシュ処理面に、実施例または比較例で得られた接着シートをテープマウンター(リンテック社製、Adwill(登録商標) RAD2500 m/8)を用いて貼付し、同時にリングフレームに固定した。その後、紫外線照射装置(リンテック社製、Adwill(登録商標) RAD2000)を用いて、前記シートの基材面から紫外線を照射(350mW/cm2、190mJ/cm2)した。
上段チップの作成(2−1)と同様、ウエハバックサイドグラインド装置(DISCO社製、DGP8760)により、表面をドライポリッシュ処理したシリコンウエハ(200mm径、厚み75μm)のドライポリッシュ処理面に、ダイシングダイボンディングシート(リンテック社製、Adwill (登録商標)LE4738)をテープマウンター(リンテック社製、Adwill (登録商標) RAD2500 m/8)を用いて貼付し、同時にリングフレームに固定した。その後、紫外線照射装置(リンテック社製、Adwill(登録商標) RAD2000)を用いて、前記シートの基材側から紫外線を照射(350mW/cm2、190mJ/cm2)した。
チップをダイボンドする配線基板として、銅箔張り積層板(三菱ガス化学社製、BTレジンCCL−HL832HS)の銅箔に回路パターンが形成され、該パターン上にソルダーレジスト(太陽インキ社製、PSR−4000AUS303)を有している2層両面基板(LNTEG0001、サイズ:157mm×70mm×0.22t、最大凹凸15μm、日本CMK製)を用いた。なお、基板は水分の除去を目的に125℃の雰囲気下に20時間静置して乾燥した。
得られた半導体パッケージを、85℃85%RH条件下に168時間放置して吸湿させた後、最高温度260℃、加熱時間1分間のIRリフロー(リフロー炉:相模理工製、WL−15−20DNX型)を3回行った。上段チップと下段チップとの接合部の浮き・剥がれの有無、パッケージクラック発生の有無を、走査型超音波探傷装置(日立建機ファインテック(株)製、Hye−Focus)および断面観察により評価した。なお、上段チップと下段チップとの接合部に、面積が5.0mm2以上の剥離を観察した場合を剥離していると判断して、パッケージを25個試験に投入し接合部の浮き・剥がれ、パッケージクラックが発生しなかった個数(良品数)を数えた。
接着剤組成物を構成する各成分は下記および表1の通りである。表1の成分および配合量に従い、各成分を配合して接着剤組成物を調製した。
(A)アクリル重合体:日本合成化学工業株式会社製 コーポニールN−4617(Mw:約37万)
(B)エポキシ系熱硬化樹脂:
(B1)液状エポキシ樹脂:ビスフェノールA型エポキシ樹脂20重量%アクリル粒子含有品(株式会社日本触媒製 エポセットBPA328、エポキシ当量235g/eq)
(B2)固体エポキシ樹脂:クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製 EOCN−104S、エポキシ当量213〜223g/eq、軟化点90〜94℃)
(B3)固体エポキシ樹脂:多官能型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製 EPPN−502H、エポキシ当量158〜178g/eq、軟化点60〜72℃)
(B4)固体エポキシ樹脂:DCPD型エポキシ樹脂(大日本インキ化学株式会社製 EPICLON HP−7200HH、エポキシ当量265〜300g/eq、軟化点75〜90℃)
(C)熱硬化剤:ノボラック型フェノール樹脂(旭有機材工業株式会社製 PAPS-PN4、フェノール性水酸基当量104g/eq、軟化点111℃)
(D)有機官能基を有し、分子量が300以上でアルコキシ当量が13mmol/gより大きいシラン化合物:
(D1)ポリ3−(2,3−エポキシプロポキシ)プロピルメトキシシロキサンとポリジメトキシシロキサンの共重合体(メトキシ当量13.7〜13.8mmol/g、分子量2000〜3000)(三菱化学(株)製 MKCシリケートMSEP2(D’との混合物、82重量%含有))
(D2)オリゴマータイプシランカップリング剤(信越化学工業株式会社製 X−41−1056 メトキシ当量17.1mmol/g、分子量500〜1500)
(D’)シラン化合物(D)以外のシラン化合物であって、分子量が300以上でアルコキシ当量が13mmol/gより大きいシラン化合物:ポリメトキシシロキサン(メトキシ当量20.8mmol/g、分子量600)(三菱化学(株)製 MKCシリケートMSEP2(D1との混合物、18重量%含有))
(E)有機官能基を有し、分子量が300以下でアルコキシ当量が13mmol/g以下であるシラン化合物:
(E1)γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業株式会社製 KBM−403 メトキシ当量12.7mmol/g、分子量236.3)
(E2)γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業株式会社製 KBE−403 メトキシ当量8.1mmol/g、分子量278.4)
(E3)γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン(信越化学工業株式会社製 KBE−402 メトキシ当量10.8mmol/g、分子量248.4)
(G)硬化促進剤:2−フェニル−4,5−ジ(ヒドロキシメチル)イミダゾール(四国化成工業(株)製 キュアゾール2PHZ)
(H)エネルギー線重合性化合物:ジシクロペンタジエンジメトキシジアクリレート(日本化薬(株)製 KAYARAD R−684)
(I)光重合開始剤:α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製 イルガキュア184)
(J)無機充填材:Siフィラー(株式会社トクヤマ製 UF−310)
(K)その他の成分:熱可塑性ポリエステル樹脂(東洋紡社製 バイロン220)
表1に記載の組成の接着剤組成物を使用した。表1中、各成分の数値は固形分換算の重量部を示し、本発明において固形分とは溶媒以外の全成分をいう。なお、実施例1および比較例1において、成分D1とD’は、これらの混合物、三菱化学(株)製 MKCシリケートMSEP2を添加することにより接着剤組成物に加えた。表1に記載の組成の接着剤組成物を、メチルエチルケトンにて固形分濃度が50重量%となるように希釈し、シリコーン処理された剥離フィルム(リンテック社製、SP−PET381031)上に乾燥後厚みが約60μmになるように塗布・乾燥(乾燥条件:オーブンにて100℃、2分間)して、剥離フィルム上に形成された接着剤層を得た。その後、接着剤層と基材であるポリエチレンフィルム(厚み100μm、表面張力33mN/m)とを貼り合せて、接着剤層を基材上に転写することで、所望の接着シートを得た。各評価結果を表2に示す。
Claims (4)
- アクリル重合体(A)、エポキシ系熱硬化樹脂(B)、熱硬化剤(C)、有機官能基を有し、分子量が300以上でアルコキシ当量が13mmol/gより大きいシラン化合物(D)、および有機官能基を有し、分子量が300以下でアルコキシ当量が13mmol/g以下であるシラン化合物(E)を含む半導体用接着剤組成物。
- 前記シラン化合物(D)または前記シラン化合物(E)における有機官能基が、エポキシ基である請求項1に記載の半導体用接着剤組成物。
- 請求項1または2に記載の半導体用接着剤組成物からなる接着剤層を、基材上に形成してなる半導体用接着シート。
- 請求項3に記載の半導体用接着シートの接着剤層に半導体ウエハを貼着し、該半導体ウエハをダイシングして半導体チップとし、該半導体チップ裏面に前記接着剤層を固着残存させて基材から剥離し、該半導体チップを被着部に前記接着剤層を介して熱圧着する工程を有する半導体装置の製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014083872A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | リンテック株式会社 | チップ用樹脂膜形成用シート及び半導体装置の製造方法 |
JP2015105347A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド | 接着剤層用塗布組成物、半導体用接着フィルムおよびその製造方法、ならびに、これを用いた半導体装置の製造方法 |
KR20150092132A (ko) * | 2012-12-03 | 2015-08-12 | 린텍 가부시키가이샤 | 보호막 형성용 필름 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5917215B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2016-05-11 | リンテック株式会社 | 接着剤組成物、接着シートおよび半導体装置の製造方法 |
JP6250265B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2017-12-20 | リンテック株式会社 | 接着剤組成物、接着シートおよび半導体装置の製造方法 |
JP6038919B2 (ja) * | 2012-07-25 | 2016-12-07 | リンテック株式会社 | 保護膜形成層、保護膜形成用シート及び半導体装置の製造方法 |
KR101693075B1 (ko) * | 2014-03-07 | 2017-01-04 | 제일모직주식회사 | 유기발광소자 충진용 접착시트 및 이로부터 형성된 유기발광소자 표시장치 |
KR101832450B1 (ko) * | 2015-04-29 | 2018-04-13 | 주식회사 엘지화학 | 반도체용 접착 필름 |
JP6632115B2 (ja) * | 2015-07-17 | 2020-01-15 | 藤森工業株式会社 | 接着性樹脂層及び接着性樹脂フィルム |
CN114497321B (zh) * | 2022-02-08 | 2024-04-05 | 亚世光电(集团)股份有限公司 | 一种led贴膜分离方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000017246A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-18 | Lintec Corp | 粘接着剤組成物および粘接着シート |
JP2008101168A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Saiden Chemical Industry Co Ltd | 粘着剤組成物および光学機能性フィルム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4948366A (en) * | 1987-06-26 | 1990-08-14 | Unitek Corporation | Adhesive bond strength control for orthodontic brackets |
JPH02165840A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-26 | M D Kasei Kk | 鋳物用砂型の鋳型材料および鋳物用砂型の製造方法 |
AU699339B2 (en) * | 1995-01-24 | 1998-12-03 | Nippon Paint Co., Ltd. | Curable resin composition, coating composition and method for forming coated film |
JP3739488B2 (ja) | 1996-06-25 | 2006-01-25 | リンテック株式会社 | 粘接着テープおよびその使用方法 |
JP4520003B2 (ja) * | 2000-04-14 | 2010-08-04 | 株式会社カネカ | 硬化性組成物 |
CA2530132A1 (en) * | 2003-07-08 | 2005-01-13 | Kaneka Corporation | Curing composition |
CN100523106C (zh) * | 2006-01-26 | 2009-08-05 | 深圳清华大学研究院 | 自由基-阳离子型紫外光固化胶粘剂及其制备方法 |
JP2008101183A (ja) | 2006-09-20 | 2008-05-01 | Hitachi Chem Co Ltd | 粘接着シート、これを用いて製造される半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US8815985B2 (en) * | 2007-02-13 | 2014-08-26 | Kaneka Corporation | Curable composition |
JP5089560B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2012-12-05 | リンテック株式会社 | 半導体チップ積層体および半導体チップ積層用接着剤組成物 |
JP5702951B2 (ja) * | 2010-06-02 | 2015-04-15 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ心線 |
-
2011
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2012
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000017246A (ja) * | 1998-07-06 | 2000-01-18 | Lintec Corp | 粘接着剤組成物および粘接着シート |
JP2008101168A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Saiden Chemical Industry Co Ltd | 粘着剤組成物および光学機能性フィルム |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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