JP2012146863A - プローブカードの熱的安定化方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカードの熱的安定化方法は、載置台に熱伝達用基板を載置し、載置台を介して熱伝達用基板の温度を調整する第1の工程と、載置台を上昇させて熱伝達用基板と複数のプローブを所定の目標荷重で接触させる第2の工程と、熱伝達用基板との間で熱を授受するプローブカードの熱的変化に即して変化する熱伝達用基板と複数のプローブとの接触荷重を検出する第3の工程と、プローブカードが熱的に安定するまで接触荷重が所定の目標荷重になるように昇降駆動機構を介して載置台を昇降制御する第4の工程と、を備えている。
【選択図】なし
Description
本実施形態の検査装置10は、例えば図1に示すように、被検査体(例えば、ウエハ)を搬送するローダ室11と、ウエハの電気的特性検査を行うプローバ室12と、ローダ室11とプローバ室12に設けられた各種の機器を制御する制御装置13とを、備えている。
121 載置台
122 プローブカード
122A プローブ
126 昇降駆動機構
126A モータ
126B 回転駆動軸
126C トルク電圧検出器(接触荷重検出器)
13 制御装置
131 中央演算処理装置
133 記憶装置
S 熱伝達用基板
W ウエハ(被検査体)
Claims (8)
- 水平方向及び上下方向に移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置された複数のプローブを有するプローブカードと、上記載置台を昇降させる昇降駆動機構と、上記載置台の温度を調整する温度調整機構と、上記昇降駆動機構及び上記温度調整機構を制御する制御装置と、を備えた検査装置を用いて、被検査体を所定の温度で電気的特性検査を行う前に、上記載置台上に熱伝達用基板を載置し、上記温度調整機構によって温度調整される上記載置台上の熱伝達用基板を介して上記プローブカードを所定の温度になるまで温度調整すると共に上記昇降駆動機構を介して上記載置台を昇降させて上記熱伝達用基板と上記複数のプローブとの接触荷重を所定の目標荷重に制御しながら、上記プローブカードを熱的に安定させる方法であって、
上記載置台に上記熱伝達用基板を載置し、上記載置台を介して上記熱伝達用基板の温度を調整する第1の工程と、
上記載置台を上昇させて上記熱伝達用基板と上記複数のプローブを所定の目標荷重で接触させる第2の工程と、
上記熱伝達用基板との間で熱を授受する上記プローブカードの熱的変化に即して変化する上記熱伝達用基板と上記複数のプローブとの接触荷重を検出する第3の工程と、
上記プローブカードが熱的に安定するまで上記接触荷重が上記所定の目標荷重になるように上記昇降駆動機構を介して上記載置台を昇降制御する第4の工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブカードの熱的安定化方法。 - 上記接触荷重を、上記昇降駆動機構に用いられるモータのトルク電圧を介して検出することを特徴とする請求項1に記載のプローブカードの熱的安定化方法。
- 上記載置台をオーバードライブさせて上記目標荷重を得ることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブカードの熱的安定化方法。
- 上記熱伝達用基板として、熱伝導性に優れた材料を用いることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のプローブカードの熱的安定化方法。
- 水平方向及び上下方向に移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置された複数のプローブを有するプローブカードと、上記載置台を昇降させる昇降駆動機構と、上記載置台を介して上記熱伝達用基板の温度を調整する温度調整機構と、上記昇降駆動機構及び上記温度調整機構を制御する制御装置と、を備え、被検査体を所定の温度で電気的特性検査を行う前に、上記載置台上に熱伝達用基板を載置し、上記温度調整機構によって温度調整される上記載置台上の熱伝達用基板を介して上記プローブカードを所定の温度になるまで温度調整すると共に上記昇降駆動機構を介して上記載置台を昇降させて上記熱伝達用基板と上記複数のプローブとの接触荷重を所定の目標荷重に制御しながら、上記プローブカードを熱的に安定させる検査装置であって、
上記接触荷重を検出する荷重検出器を設け、
上記制御装置は、上記荷重検出器からの信号に基づいて上記プローブカードが熱的に安定して上記接触荷重が上記目標荷重から変化しなくなるまで上記昇降駆動機構を介して上記載置台を昇降制御する
ことを特徴とする検査装置。 - 水平方向及び上下方向に移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置された複数のプローブを有するプローブカードと、上記載置台を昇降させる昇降駆動機構と、上記載置台を介して上記熱伝達用基板の温度を調整する温度調整機構と、上記昇降駆動機構及び上記温度調整機構を制御する制御装置と、を備え、被検査体を所定の温度で電気的特性検査を行う前に、上記載置台上に熱伝達用基板を載置し、上記温度調整機構によって温度調整される上記載置台上の熱伝達用基板を介して上記プローブカードを所定の温度になるまで温度調整すると共に上記昇降駆動機構を介して上記載置台を昇降させて上記熱伝達用基板と上記複数のプローブとの接触荷重を所定の目標荷重に制御しながら、上記プローブカードを熱的に安定させる検査装置であって、
上記昇降駆動機構は、モータと、モータに連結されて上記載置台を昇降させる回転駆動軸と、上記回転駆動軸を回転させる時の上記モータのトルク電圧を検出するトルク電圧検出器と、を有し、
上記制御装置は、上記トルク電圧検出器からのトルク電圧を上記熱伝達用基板と上記複数のプローブとの接触荷重に変換する中央演算処理装置を有し、上記プローブカードが熱的に安定するまで上記トルク電圧検出器からの信号に基づいて上記接触荷重が上記目標荷重になるように上記載置台を昇降制御する
ことを特徴とする検査装置。 - 上記目標荷重は、上記載置台上がオーバードライブして得られることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の検査装置。
- 上記熱伝達用基板は、熱伝導性に優れた材料によって形成されていることを特徴とする請求項5〜請求項7のいずれか1項に記載の検査装置。
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