JP2012138312A - 電子ビームの回折収差補正装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 位相差を発生させるためにベクトルポテンシャルをビーム軸に直交し、かつビーム軸に対して直交面内で対称な分布で誘起する回折収差補正器を対物絞りと対物レンズの近くに設置し、ビーム軸から傾いて進行する回折波は磁束のリングをくぐることで上記ベクトルポテンシャルによるAB効果によりビーム径内の位相差を増大して試料上の電子ビームの強度を抑制することができる。
【選択図】 図1
Description
Claims (8)
- 荷電粒子銃と、前記荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビームと、該荷電粒子ビームのビーム径を制限する対物絞りと、前記対物絞りを通過した荷電粒子ビームのビーム軸に対して対称となる位置でかつベクトルポテンシャルの極子の面の延長方向が前記ビーム軸と交差する向きに誘起するベクトルポテンシャルの向きを回転対称にした2つのベクトルポテンシャルの極子のペアを配置し、前記2つのベクトルポテンシャルの極子のペアに対して相対角度が90度となる位置でベクトルポテンシャルの極子の面の延長方向が前記ビーム軸と交差する向きに誘起するベクトルポテンシャルの向きを回転対称にしたもうひと組のベクトルポテンシャルの極子のペアを配置する回折収差補正器と、該荷電粒子ビームを試料上に集束する対物レンズと、該荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、該荷電粒子ビームの照射により該試料上から発生した2次粒子を検出する検出器とを有することを特徴とする回折収差補正装置。
- 請求項1に記載の回折収差補正装置において、
前記回折収差補正器は、4の倍数の極子を有するベクトルポテンシャルの多極子を該荷電粒子ビームのビーム軸に対して対称となる位置で、かつベクトルポテンシャルの極子の面の延長方向が前記ビーム軸と交差する向きに、かつ回転方位に配置することを特徴とする回折収差補正装置。 - 請求項1に記載の回折収差補正装置において、
前記回折収差補正器は、らせん状に巻いたソレノイドコイルでビーム軸を周回することを特徴とする回折収差補正装置。 - 請求項1乃至3に記載の回折収差補正装置において、
前記回折収差補正器の該荷電粒子ビームのビーム軸に対して直交度または軸ずれを補正する機能を有することを特徴とする回折収差補正装置。 - 荷電粒子銃と、前記荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビームと、該荷電粒子ビームのビーム径を制限する対物絞りと、前記対物絞りを通過した該荷電粒子ビームのビーム軸に直交し、かつ前記ビーム軸に対して直交面内で対称な分布のベクトルポテンシャルを誘起する回折収差補正器と、該荷電粒子ビームを試料上に集束する対物レンズと、該荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、該荷電粒子ビームの照射により前記試料上から発生した2次粒子を検出する検出器とを有することを特徴とする回折収差補正装置。
- 請求項5に記載の回折収差補正装置において、
前記回折収差補正器は、ソレノイドコイルまたは磁石で形成するリング、または複数のソレノイドコイルリングまたは磁石リングを重ねて形成することにより構成されるベクトルポテンシャルの極子のペアを該荷電粒子ビームのビーム軸に対して対称となる位置で、かつ前記ソレノイドコイルリングまたは前記磁石リングの面の延長方向が前記ビーム軸と交差する向きにかつ回転方位に配置して形成することを特徴とする回折収差補正装置。 - 荷電粒子銃と、前記荷電粒子銃から放出された荷電粒子ビームと、該荷電粒子ビームのビーム径を制限する対物絞りと、該荷電粒子ビームのビーム軸に対して直交度または軸ずれを補正する機能を有する回折収差補正器と、荷電粒子ビームを試料上に集束する対物レンズと、該荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、該荷電粒子ビームの照射により該試料上から発生した2次粒子を検出する検出器とを有することを特徴とする回折収差補正装置。
- 電子銃と前記電子銃から放出された電子ビームと、該電子ビームを照射する試料と、前記試料を透過した透過電子ビームが通過する対物レンズと、前記対物レンズを通過した該透過電子ビームの形状を制限する対物絞りと、前記対物絞りを通過して制限された該透過電子ビームの回折波を制御する回折収差補正器と、前記回折収差補正器を通過した該透過電子ビームを検出する検出器または結像する結像光学系とを有することを特徴とする回折収差補正装置。
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