JP2009054565A - 収差補正装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光軸に対してそれぞれが三回対称場を生じる三段の多極子21、22、23を備え、中段の多極子22は、光軸に垂直な面内において三回対称場を生じさせ、後段の多極子23は、光軸に垂直な面内において三回対称場を生じさせ、どの二段の多極子同士も三回場を打ち消す方向に配置されていないが、三段では三回非点を打ち消すように配置させる。
【選択図】図2
Description
光軸に対して一列に配置され、前記光軸に沿ってそれぞれが厚みを有する三段の多極子を備え、前記三段の多極子のうち、前段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第1の磁場又は電場を生じ、前記三段の多極子のうち、中段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第2の磁場又は電場を生じ、前記三段の多極子のうち、後段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第3の磁場又は電場を生じ、前記第2の磁場又は電場においては、前記第1磁場または電場、あるいは前記第3磁場または電場から発生した三回対称非点を打ち消す方向ではない磁場又は電場三回対称分布を作り、前記第3の磁場又は電場においては、前記第1の磁場または電場、あるいは前記第2の磁場または電場から発生した三回対称非点を打ち消す方向ではない磁場又は電場三回対称分布を作り、前記前段の多極子において発生した三回対称収差を、前記中段の多極子を用いて回転させ、前記中段の多極子から発生した三回対称収差を前記後段の多極子を用いて回転させ、前記三段の多極子の合成として、三回対称非点を打ち消すことを特徴とする。上記の回転というのは、多極子の作る場が次の多極子転送されたときの電子光学的回転関係を示しており、レンズによる回転作用を考慮している。即ち、磁場レンズは、転送や倍率変化だけでなく、光軸に対して回転作用を持っており、その回転作用は、加速電圧や磁場の強さによって異なり、その磁場レンズの前後に配置した多極子分布は、回転関係を加味して回転関係を議論しなければならない。本発明の説明では、この回転関係をゼロとして角度関係を記述しており、電子光学的回転関係を考慮するとは、この回転関係を加味することを意味している。
本発明に係る収差補正装置の一実施形態について説明する。図2(a)は、本発明の一実施形態に係る収差補正装置の模式図である。
上記のような三つの三回対称場を生じる多極子の配置としては、前段の多極子21の配置を基準として、中段又は後段の多極子22、23の何れか一方を、光軸11に垂直な面内において40°回転して配置し、中段又は後段の多極子22、23の何れか他方を、光軸11に垂直な面内において80°回転して配置する。このとき、中段及び後段の多極子22、23は同じ方向に回転して配置する。図2(b)〜(d)は、このような配置に基づいた各多極子の配置の一例を示したものである。これら各図は、図2(a)に示す光軸11上の原点OからA方向に見て、21aが前段の多極子21の配置を、22aが中段の多極子22の配置を、23aが後段の多極子23の配置を表している。この回転関係は、転送するレンズでの回転後に着目する必要があり、物理的に40°の回転関係になくとも、転送レンズにより電子光学的に40°の回転関係になっていればよい。三回対称場は、120°の回転対称性があり、また鏡面対称系を考えると、40°と80°という角度関係は、120°×m±40°と120°×m±80°と等価である。
以上は、式(4)を用いて一枚の多極子内で発生する六回非点に着目して議論した。
次に、式(7)を用いて、二つ以上の多極子が発生する三回非点の干渉によって生じる六回非点を考慮した系を考える。
三段の多極子を用意し、三段で三回非点を打ち消すようにした場合の、三段目の多極子からでた六回非点に対する電子線の傾きは、前段、中段、後段の多極子による三回非点収差係数をそれぞれA3A、A3B、A3Cとすると、以下となる。
図2(e)〜(f)は、このような配置に基づいた各多極子の配置の一例を示したものである。これら各図は、図2(a)に示す光軸11上の原点OからA方向に見て、21bが前段の多極子21の配置を、22bが中段の多極子22の配置を、23bが後段の多極子23の配置を表している。この回転関係は、転送するレンズでの回転後に着目する必要があり、物理的に120°×m±72°と120°×m±24°の回転関係になくとも、転送レンズにより電子光学的にその回転関係になっていればよい。
集束された電子線は照射系収差補正器53を通過する。このとき、上記した収差補正が行われる。さらに照射系収差補正器53を通過した電子線は、第2集束レンズ54によって集束され、対物レンズ及び試料ステージ55を通過する。なお、試料ステージには試料が装着されている。
11:光軸
21:前段の多極子
22:中段の多極子
23:後段の多極子
31:第1の転送レンズ
32:第2の転送レンズ
33:第3の転送レンズ
40:対物レンズ
50、60:透過型電子顕微鏡
53:照射系収差補正器
65:結像系収差補正器
100:電子線
101:光軸
102:多極子
103:対物レンズ
104:試料面
Claims (10)
- 光軸に対して一列に配置され、前記光軸に沿ってそれぞれが厚みを有する三段の多極子を備え、前記三段の多極子のうち、前段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第1の磁場又は電場を生じ、前記三段の多極子のうち、中段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第2の磁場又は電場を生じ、前記三段の多極子のうち、後段の多極子は、前記光軸に対して三回対称となる第3の磁場又は電場を生じ、前記第2の磁場又は電場においては、前記第1磁場または電場、あるいは前記第3磁場または電場から発生した三回対称非点を打ち消す方向ではない磁場又は電場三回対称分布を作り、前記第3の磁場又は電場においては、前記第1の磁場または電場、あるいは前記第2の磁場または電場から発生した三回対称非点を打ち消す方向ではない磁場又は電場三回対称分布を作り、前記前段の多極子において発生した三回対称収差を、前記中段の多極子を用いて回転させ、前記中段の多極子から発生した三回対称収差を前記後段の多極子を用いて回転させ、前記三段の多極子の合成として三回対称非点を打ち消し、球面収差補正と高次収差補正を行なうことを特徴とする電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記三段の多極子間の磁場又は電場の回転関係として、前記第2の磁場又は電場、或いは前記第3の磁場又は電場の何れか一方は、前記第1の磁場又は電場に対し、前記光軸に垂直な面内において電子光学的レンズによる回転作用を考慮して、mを整数として、120°×m±40°回転して分布し、前記第2の磁場又は電場、或いは前記第3の磁場又は電場、の何れか他方は、前記第1の磁場又は電場に対し、前記光軸に垂直な面内において電子光学的レンズによる回転作用を考慮して120°×m±80°回転して分布し、前記第2の磁場又は電場と、前記第3の磁場又は電場は同じ方向に回転して分布することを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記三段の多極子間の磁場又は電場の回転関係として、前記第2の磁場又は電場は、前記第1の磁場又は電場に対し、前記光軸に垂直な面内において電子光学的レンズによる回転作用を考慮して、mを整数として、120°×m±略72°回転して分布し、前記第3の磁場又は電場は、前記第1の磁場又は電場に対し、前記光軸に垂直な面内において電子光学的レンズによる回転作用を考慮して120°×m±略24°回転して分布することを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記前段の多極子と前記中段の多極子の間に設けられ、二段の軸対称レンズを有する第1の転送レンズ対と、前記中段の多極子と前記後段の多極子の間に設けられ、二段の軸対称レンズを有する第2の転送レンズ対を、更に備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記三段の多極子の、それぞれの多極子の前方、または後方に設けられ、二段の軸対称レンズを有する第3の転送レンズ対を更に備えることを特徴とする請求項4に記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記三段の多極子はそれぞれ、独立に励磁可能な磁極又は、独立に電圧印加可能な電極を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記三段の多極子はそれぞれ六極子を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記三段の多極子はそれぞれ十二極子を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記三段の多極子のそれぞれを前記光軸に垂直な面内で回転させる回転手段を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
- 前記三段の多極子は、三段とも多極子の厚みがおなじものを有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の電子顕微鏡用収差補正装置。
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