JP2012129386A

JP2012129386A - ウエハ搬送用アームとウエハ搬送装置

Info

Publication number: JP2012129386A
Application number: JP2010280239A
Authority: JP
Inventors: Seiji Ikeda; 誠二池田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2010-12-16
Filing date: 2010-12-16
Publication date: 2012-07-05

Abstract

【課題】本発明は、ウエハを真空吸着して所定のウエハの搬送を終えた後に、ウエハをウエハ吸着部から容易に離脱させることができるウエハ搬送用アームとウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本願の発明にかかるウエハ搬送用アームは、非弾性体で形成され、開口を有するウエハ吸着部と、該ウエハ吸着部と接続され、該開口に通じる吸気路を有する支持部と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、ウエハを真空吸着して搬送するウエハ搬送用アームとウエハ搬送装置に関する。

特許文献１には、ゴム製のウエハ吸着部（吸着パッド）を備えたウエハ搬送用アームが開示されている。このウエハ搬送用アームは、ウエハ吸着部にウエハを真空吸着させた状態で移動してウエハを所定位置に搬送する。

特開平０８−０５５８９６号公報特開平０６−８０８６号公報特開２００９−１４７０７８号公報特開２００５−１１９０９号公報特開２０００−１９５９２７号公報特開２００３−２３０６０号公報

特許文献１のウエハ搬送用アームは、ウエハの搬送が終わると、真空引きを止めてウエハ吸着部からウエハを離脱させる。ところが、真空引き後の残圧がゴム製のウエハ吸着部を弾性変形させるので、ウエハ吸着部とウエハが吸着することがある。この場合、ウエハ吸着部からウエハを離脱させることができないことがあった。

本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、ウエハの搬送を終えた後に、ウエハをウエハ吸着部から容易に離脱させることができるウエハ搬送用アームとウエハ搬送装置を提供することを目的とする。

本願の発明に係るウエハ搬送用アームは、非弾性体で形成され、開口を有するウエハ吸着部と、該ウエハ吸着部と接続され、該開口に通じる吸気路を有する支持部と、を備えたことを特徴とする。

本願の発明に係るウエハ搬送装置は、非弾性体で形成され、開口を有するウエハ吸着部と、該ウエハ吸着部と接続され、該開口に通じる吸気路を有する支持部と、を有するウエハ搬送用アームと、該吸気路を真空引きする真空ポンプと、該吸気路にエアーを供給する手段と、を備えたことを特徴とする。

本発明によれば、ウエハをウエハ吸着部から容易に離脱させることができる。

本発明の実施の形態１に係るウエハ搬送用アームを示す図である。図１のウエハ搬送用アームの断面図である。ウエハ搬送用アームにウエハを真空吸着させた状態を示す図である。ウエハをベルトコンベアに載せることを示す図である。ウエハ吸着部からウエハを離脱させることを示す図である。本発明の実施の形態２に係るウエハ搬送装置を示す図である。制御ボックスによるバルブの制御を示す図である。本発明の実施の形態３に係るウエハ搬送装置を示す図である。制御ボックスによる加圧ポンプの制御を示す図である。

実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係るウエハ搬送用アームを示す図である。ウエハ搬送用アーム１０はセラミックで形成されたウエハ吸着部１２を備えている。ウエハ吸着部１２はウエハ搬送時にウエハを真空吸着する部分である。ウエハ吸着部１２にはウエハ吸着部１２を支持する支持部１４が接続されている。

図２は図１のウエハ搬送用アーム１０の断面図である。ウエハ吸着部１２は中央に開口１２ａを有する皿状の形状である。支持部１４は中央に吸気路１６が形成された筒状の形状である。吸気路１６はウエハ吸着部１２の開口１２ａに通じている。これにより、吸気路１６を真空引きするとウエハ吸着部１２の開口１２ａも真空引きされてウエハを真空吸着できるようになっている。

以後、本発明の実施の形態１に係るウエハ搬送用アーム１０を用いたウエハの搬送方法を説明する。図３はウエハ搬送用アーム１０にウエハ２０を真空吸着させた状態を示す図である。ウエハ２０の真空吸着は、吸気路１６を真空引きしてウエハ２０をウエハ吸着部１２の上面に吸着させることで実現している。ここで、ウエハ吸着部１２はウエハ２０の裏面の一部のみと接している。

図４はウエハ２０をベルトコンベア２２に載せることを示す図である。ウエハ２０をウエハ吸着部１２に真空吸着させたまま、ウエハ２０をベルトコンベア２２に載せる。ウエハ２０をベルトコンベア２２に載せることによりウエハ２０の搬送を終えると、ウエハ吸着部１２からウエハ２０を離脱させる。図５はウエハ吸着部１２からウエハ２０を離脱させることを示す図である。ウエハ吸着部１２からウエハ２０を離脱させるときは、吸気路１６の真空引きを止めて、ウエハ搬送用アーム１０を下方（ウエハ２０から離れる方向）へ移動させる。本発明の実施の形態１に係るウエハ搬送用アーム１０は上述のようにウエハ２０を搬送する。

本発明の実施の形態１に係るウエハ搬送用アーム１０によれば、ウエハ吸着部１２がセラミックで形成されているため、真空引き後の残圧によりウエハ吸着部１２が変形することはない。従って、当該残圧がウエハ吸着部を弾性変形させウエハ吸着部がウエハを吸着することを回避できる。ゆえにウエハ２０をウエハ吸着部１２から容易に離脱させることができる。

本発明の実施の形態１に係るウエハ搬送用アーム１０では、ウエハ吸着部１２をセラミックで形成したが本発明はこれに限定されない。ウエハ吸着部１２は、ウエハ２０を真空吸着した後の残圧によっては変形しない材料で形成されればよい。具体的には、ウエハ吸着部１２は非弾性体で形成される。たとえば、ウエハ吸着部１２の材料をステンレスやテフロン（登録商標）としてもよい。

本発明の実施の形態１に係るウエハ搬送用アーム１０は、ウエハ裏面の一部のみを真空吸着するので、ウエハ裏面の一部を真空吸着して他の部分を所定位置に載せるという使用方法に広く利用できる。従って、ウエハ搬送用アーム１０はウエハ２０をベルトコンベア２２に載せること以外にも様々な用途に利用できる。たとえば、プーリー（滑車）により複数のひも状の弾性体を駆動してウエハを搬送する装置の当該弾性体にウエハをのせるために用いることもできる。また、ウエハ処理装置から別のウエハ処理装置への搬送、ウエハ処理装置とベルトコンベア間の搬送に用いることができる。なお、ウエハ処理装置のステージにはスリットが形成されておりこのスリット部分に露出したウエハ２０にウエハ吸着部１２を吸着させる。

実施の形態２．
図６は本発明の実施の形態２に係るウエハ搬送装置を示す図である。ウエハ搬送装置３０は前述したウエハ搬送用アーム１０を備えている。支持部１４の吸気路１６には吸気路１６を真空引きする真空ポンプ３２が接続されている。吸気路１６には、吸気路１６から枝分かれするようにエアー導入路３４が接続されている。エアー導入路３４にはエアー導入路３４を開閉するバルブ３６が設けられている。バルブ３６の開閉はバルブに接続された制御ボックス３８により制御される。

図７は制御ボックス３８によるバルブ３６の制御を示す図である。制御ボックス３８は、真空ポンプ３２のオン・オフと連動した制御を実施する。すなわち、制御ボックス３８は、真空ポンプ３２がオンで吸気路１６が真空引きされているときはバルブ３６を閉じ、真空ポンプ３２がオフで吸気路１６が真空引きされていないときはバルブ３６を開く。

このように、本発明の実施の形態２に係るウエハ搬送装置３０は、吸気路１６が真空引きされていないときに吸気路１６へエアーを導入する。従って、ウエハ吸着部１２とウエハの離脱を促進することができる。

本発明の実施の形態２に係るウエハ搬送装置３０では、吸気路１６にエアーを導入することとしたが、吸気路１６を大気圧に開放する構成としてもよい。また、ウエハ搬送用アーム１０については、本発明の実施の形態１相当の変形が可能である。

実施の形態３．
図８は本発明の実施の形態３に係るウエハ搬送装置を示す図である。ウエハ搬送装置４０は前述したウエハ搬送用アーム１０を備えている。支持部１４の吸気路１６には吸気路１６を真空引きする真空ポンプ３２が接続されている。吸気路１６には、吸気路１６から枝分かれするようにエアー導入路４２が接続されている。エアー導入路４２にはエアー導入路４２にエアーを供給する加圧ポンプ４４が接続されている。加圧ポンプ４４は、加圧ポンプ４４に接続された制御ボックス４６により制御される。

図９は制御ボックス４６による加圧ポンプ４４の制御を示す図である。制御ボックス４６は、ウエハの搬送開始信号及び搬送完了信号と連動した制御を実施する。すなわち、制御ボックス４６は、ウエハの搬送開始信号を受けたときは加圧ポンプ４４をオフとし、ウエハの搬送完了信号を受けたときは加圧ポンプ４４をオンとする。ここで、真空ポンプ３２は常に真空引きを行うが、加圧ポンプ４４がオンとなると当該真空引きの流量以上のエアーが吸気路１６に供給される。従って、搬送完了信号を受けてウエハ吸着部１２からウエハを離脱させるときに、ウエハ吸着部１２とウエハの離脱を促進することができる。

なお、加圧ポンプ４４が供給するエアーの流量は真空引きのエアー流量未満であってもウエハ吸着部１２とウエハの離脱を促進できる。また、ウエハ搬送用アーム１０については、本発明の実施の形態１相当の変形が可能である。

本発明の実施の形態２と３では、吸気路１６にエアーを供給することを説明したが、吸気路１６に対し「吸気路１６にエアーを供給する手段」が接続されればウエハ吸着部１２とウエハの離脱を促進できる。従って、「吸気路１６にエアーを供給する手段」は上述の構成に限定されない。

１０ウエハ搬送用アーム、１２ウエハ吸着部、１４支持部、１６吸気路、２０ウエハ、２２ベルトコンベア

Claims

非弾性体で形成され、開口を有するウエハ吸着部と、
前記ウエハ吸着部と接続され、前記開口に通じる吸気路を有する支持部と、を備えたことを特徴とするウエハ搬送用アーム。
前記ウエハ吸着部は、セラミック、ステンレス、若しくはテフロンのいずれかで形成されたことを特徴とする請求項１に記載のウエハ搬送用アーム。
非弾性体で形成され、開口を有するウエハ吸着部と、前記ウエハ吸着部と接続され、前記開口に通じる吸気路を有する支持部と、を有するウエハ搬送用アームと、
前記吸気路を真空引きする真空ポンプと、
前記吸気路にエアーを供給する手段と、を備えたことを特徴とするウエハ搬送装置。
前記エアーを供給する手段は、
前記吸気路に接続されたエアー導入路と、
前記エアー導入路に設けられたバルブと、を備えたことを特徴とする請求項３に記載のウエハ搬送装置。
前記エアーを供給する手段は、
前記吸気路に接続されたエアー導入路と、
前記エアー導入路に接続され、前記エアー導入路にエアーを供給する加圧ポンプと、を備えたことを特徴とする請求項３に記載のウエハ搬送装置。