JP2012115932A - 搬送ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、第1軸線周りに回転可能に構成された第1リンク部材と、第1軸線に対して所定距離に位置する第2軸線周りに回転可能に構成された第2リンク部材と、第2軸線に対して所定距離に位置する第3軸線周りに回転可能であり且つ物品を保持可能に構成された保持部材と、少なくとも保持部材を昇降駆動するための昇降駆動手段と、を備える。第1リンク部材、第2リンク部材、及び保持部材が、この順番で連結されてアームリンク機構を構成しており、昇降駆動手段が、第1リンク部材と保持部材との間に配置されてアームリンク機構の一部を構成している。
【選択図】図1
Description
2,2A,2B 第1リンク部材
3,3A,3B 第2リンク部材
4,4A,4B 昇降駆動手段
5,5A,5B 昇降駆動手段の柱状部材
6,6A,6B 昇降駆動手段の昇降部材
7,7A,7B 基板保持部材
8,8A,8B 基板保持部材の基端部
9,9A,9B 基板保持部材のフィンガー部
10 ロボット制御手段
11 第1リンク駆動手段
12 第2リンク駆動手段
13 手首軸駆動手段
L1 第1軸線
L2 第2軸線
L3 第3軸線
M 共通の直線
S ガラス基板
Claims (9)
- 第1軸線周りに回転可能に構成された第1リンク部材と、
前記第1軸線に対して所定距離に位置する第2軸線周りに回転可能に構成された第2リンク部材と、
前記第2軸線に対して所定距離に位置する第3軸線周りに回転可能であり且つ物品を保持可能に構成された保持部材と、
少なくとも前記保持部材を昇降駆動するための昇降駆動手段と、を備え、
前記第1リンク部材、前記第2リンク部材、及び前記保持部材が、この順番で連結されてアームリンク機構を構成しており、前記昇降駆動手段が、前記第1リンク部材と前記保持部材との間に配置されて前記アームリンク機構の一部を構成している、搬送ロボット。 - 前記昇降駆動手段は、前記第2リンク部材と前記保持部材との連結に使用されている、請求項1記載の搬送ロボット。
- 前記昇降駆動手段は、前記第2リンク部材に固定して設けられた柱状部材と、前記柱状部材に対して昇降可能に設けられた昇降部材と、を有し、前記保持部材は、前記昇降部材に前記第3軸線周りに回転可能に設けられている、請求項2記載の搬送ロボット。
- 前記昇降駆動手段は、前記第2リンク部材に前記第3軸線周りに回転可能に設けられた柱状部材と、前記柱状部材に対して昇降可能に設けられた昇降部材と、を有し、前記保持部材は、前記昇降部材に固定して設けられている、請求項2記載の搬送ロボット。
- 前記昇降駆動手段は、前記第1リンク部材と前記第2リンク部材との連結に使用されている、請求項1記載の搬送ロボット。
- 前記昇降駆動手段は、前記第1リンクに固定して設けられた柱状部材と、前記柱状部材に対して昇降可能に設けられた昇降部材と、を有し、前記第2リンク部材は、前記昇降部材に前記第2軸線周りに回転可能に設けられており、前記保持部材は、前記第2リンク部材に前記第3軸線周りに回転可能に設けられている、請求項5記載の搬送ロボット。
- 前記昇降駆動手段は、前記第1リンク部材に前記第2軸線周りに回転可能に設けられた柱状部材と、前記柱状部材に対して昇降可能に設けられた昇降部材と、を有し、前記第2リンク部材は、前記昇降部材に固定して設けられている、請求項5記載の搬送ロボット。
- 前記第1軸線と前記第2軸線との前記所定距離が、前記第2軸線と前記第3軸線との前記所定距離に等しい、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
- 動作範囲制御上の最後退位置において物品を保持した前記保持部材、前記保持部材に保持された前記物品、前記第1リンク部材、前記第2リンク部材、前記昇降駆動手段を含む領域が、前記第1軸線から前記物品又は前記保持部材の最遠点までの距離を半径として前記第1軸線周りに1回転したときの旋回領域内に配置されるように、前記保持部材、前記第1リンク部材、前記第2リンク部材、前記昇降駆動手段の各寸法、前記昇降駆動手段の向きが選ばれていることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の搬送ロボット。
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