JP2012109490A - 希土類永久磁石薄膜の製造方法 - Google Patents
希土類永久磁石薄膜の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012109490A JP2012109490A JP2010258774A JP2010258774A JP2012109490A JP 2012109490 A JP2012109490 A JP 2012109490A JP 2010258774 A JP2010258774 A JP 2010258774A JP 2010258774 A JP2010258774 A JP 2010258774A JP 2012109490 A JP2012109490 A JP 2012109490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rare earth
- permanent magnet
- thin film
- earth permanent
- magnet thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
【課題】 Taなどの高融点金属層とR−T−B系永久磁石が積層された高性能永久磁石薄膜を用いた、高加工精度の小型・高性能なマイクロデバイスを、低コストで大量に生産することができる、希土類永久磁石薄膜の製造方法の提供。
【解決手段】基板上に、厚さ500nm以下の希土類合金磁性層と、厚さ50nm以下の高融点金属層を含む多層構造を有する希土類永久磁石薄膜を形成し、前記希土類永久磁石薄膜上にフォトレジスト層を形成し、前記フォトレジスト層を露光、現像することによりパターニングし、前記パターニングされた前記フォトレジスト層をマスクとして、露出した前記希土類永久磁石薄膜をイオンミリングにより除去し、残存する前記希土類永久磁石薄膜上の前記フォトレジスト層を酸素プラズマアッシングにより除去する。
【選択図】図1
【解決手段】基板上に、厚さ500nm以下の希土類合金磁性層と、厚さ50nm以下の高融点金属層を含む多層構造を有する希土類永久磁石薄膜を形成し、前記希土類永久磁石薄膜上にフォトレジスト層を形成し、前記フォトレジスト層を露光、現像することによりパターニングし、前記パターニングされた前記フォトレジスト層をマスクとして、露出した前記希土類永久磁石薄膜をイオンミリングにより除去し、残存する前記希土類永久磁石薄膜上の前記フォトレジスト層を酸素プラズマアッシングにより除去する。
【選択図】図1
Description
本発明は希土類永久磁石薄膜の製造方法に関する。
近年、電子機器の小型・高性能化に伴い、モータやアクチュエータなどに使用される永久磁石の小型化、薄型化が要求されている。これらの用途には、最大エネルギー積の高いNd−Fe−B系異方性焼結永久磁石が主として用いられている。しかし、Nd−Fe−B系異方性焼結永久磁石は、粉末冶金法により製造されるため、薄型化には限界があった。
そこで、ここ数年、Nd−Fe−B系永久磁石の薄膜化に関する研究が活発化している。Nd−Fe−B系永久磁石は酸素に対して活性な希土類元素を含有するため、これまで、主に物理的蒸着手法で薄膜化の検討がなされていた。中でもスパッタリング法は、他の物理的蒸着手法に比べてスパッタリング粒子の運動エネルギーが高いために基板との密着性や磁気的性質の優れた薄膜が得られる点や、マグネトロンスパッタリング法の進歩により量産性が著しく向上したことなどから、最も有望な薄膜形成方法の一つと考えられている。
例えば、山下らは、1991年に、DCマグネトロンスパッタリング法により、Nd13〜17at%、Fe65.5〜77at%、B10〜17.5at%の組成で、最高値で保磁力7kOe、残留磁化9.6kGの永久磁石薄膜を得たことを報告している(非特許文献1)。
さらに、Taからなる高融点金属層と主たる構成相がR2Fe14Bである希土類合金磁性層とが交互に積層された永久磁石薄膜が提案されている(特許文献1)。特許文献1の技術によって、高い保磁力HcJと膜面に対して垂直方向に高い残留磁束密度Brを有する高性能永久磁石薄膜を得ることが可能になっている。
一方、微小な立体的構造物の作製技術として、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術と呼ばれる分野が近年急速に発展し、各種センサ、アクチュエータ、ポンプ、バルブなどの種々のマイクロデバイスに応用されている。MEMS技術は、主として半導体集積回路の作製に用いられてきたフォトリソグラフィ、エッチング及び蒸着等に代表される半導体加工技術を基本としているため、微細な構造物の形成が容易であり、かつ非常に高い加工精度で微細構造物を形成することができるという利点を有する。また、ウエハ単位の一括プロセスで行なわれるため、デバイス個々の組み立て及び調整等の工数が省略され、個体間のばらつきの小さいマイクロデバイスを低コストで大量に生産することができるという利点を有する。
上記の特許文献1による永久磁石薄膜をスパッタリング法で形成し、これにMEMS技術を適用することができれば、これまで存在しない小型・高性能なマイクロデバイスを生産性よく製造することが可能である。
しかし、特許文献1によるTaなどの高融点金属層とNd−Fe−B系永久磁石が積層された永久磁石薄膜では、エッチング手段としてウェットエッチングを用いると、Nd−Fe−B系永久磁石の主たる構成相となるNd2Fe14B化合物が、塩酸や硝酸といった酸に容易に溶解するのに対し、Taなどの高融点金属層は酸に触れると表面が不動態化するため、永久磁石薄膜を均一に加工することが困難である。
また、半導体集積回路の精密加工技術として知られ、近年MEMS技術として特に普及が進んでいる反応性イオンエッチング(RIE)は、強磁性金属材料であるFe、Co、Ni等が加工対象である場合、融点、沸点の低い化合物を生成する適当な反応ガスが見出されておらず、明らかな有効性が未だ検証されていない(非特許文献2)。すなわち、Feを主成分とするNd−Fe−B系永久磁石もRIEでエッチングすることは困難である。
このように、特許文献1によるTaなどの高融点金属層とNd−Fe−B系永久磁石が積層された永久磁石薄膜を用いて、MEMS技術によりマイクロデバイスを製造する技術は未だ提案されていない。
日本応用磁気学会誌 Vol.15,No.2,1991,241−244
ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.67,2007,18−22
特許第4337209号
本発明は、Taなどの高融点金属層とR−T−B系永久磁石が積層された高性能永久磁石薄膜を用いた、高加工精度の小型・高性能なマイクロデバイスを、低コストで大量に生産することができる、希土類永久磁石薄膜の製造方法の提供を目的とする。
第1発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、
基板上に、R元素(R元素はNd、Pr、Tb、Dyの少なくとも一種でありNd及び/又はPrを必ず含む)とT元素(TはFeまたはFe及びCo)とBを必須元素として含有する厚さ500nm以下の希土類合金磁性層と、Ta、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる厚さ50nm以下の高融点金属層を含む多層構造を有する希土類永久磁石薄膜を形成する工程、
前記希土類永久磁石薄膜上にフォトレジスト層を形成する工程、
前記フォトレジスト層を露光、現像することによりパターニングする工程、
前記パターニングされた前記フォトレジスト層をマスクとして、露出した前記希土類永久磁石薄膜をイオンミリングにより除去する工程、
残存する前記希土類永久磁石薄膜上の前記フォトレジスト層を酸素プラズマアッシングにより除去する工程、
を包含する。
基板上に、R元素(R元素はNd、Pr、Tb、Dyの少なくとも一種でありNd及び/又はPrを必ず含む)とT元素(TはFeまたはFe及びCo)とBを必須元素として含有する厚さ500nm以下の希土類合金磁性層と、Ta、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる厚さ50nm以下の高融点金属層を含む多層構造を有する希土類永久磁石薄膜を形成する工程、
前記希土類永久磁石薄膜上にフォトレジスト層を形成する工程、
前記フォトレジスト層を露光、現像することによりパターニングする工程、
前記パターニングされた前記フォトレジスト層をマスクとして、露出した前記希土類永久磁石薄膜をイオンミリングにより除去する工程、
残存する前記希土類永久磁石薄膜上の前記フォトレジスト層を酸素プラズマアッシングにより除去する工程、
を包含する。
第2発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、基板は、500℃以上の融点を有する材料から形成されていることを特徴とする。
第3発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、希土類合金磁性層は、R2T14B化合物を主相として含有することを特徴とする。
第4発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、希土類合金磁性層は、50nm〜500nmの厚さであることを特徴とする。
第5発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、高融点金属層は、Taから形成されていることを特徴とする。
第6発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、高融点金属層は、5nm〜50nmの厚さであることを特徴とする。
第7発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、希土類合金磁性層と高融点金属層は、4層以上積層されることを特徴とする。
第8発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、基板上に、最初に希土類合金磁性層を形成する場合、基板と希土類合金磁性層の間に、Ta、Cr、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる保護膜を形成することを特徴とする。
第9発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、希土類永久磁石薄膜の最表層に、Ta、Cr、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる酸化防止膜を形成することを特徴とする。
第10発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、イオンミリングは、アルゴンイオンビームエッチング(IBE)であることを特徴とする。
第3発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、希土類合金磁性層は、R2T14B化合物を主相として含有することを特徴とする。
第4発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、希土類合金磁性層は、50nm〜500nmの厚さであることを特徴とする。
第5発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、高融点金属層は、Taから形成されていることを特徴とする。
第6発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、高融点金属層は、5nm〜50nmの厚さであることを特徴とする。
第7発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、希土類合金磁性層と高融点金属層は、4層以上積層されることを特徴とする。
第8発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、基板上に、最初に希土類合金磁性層を形成する場合、基板と希土類合金磁性層の間に、Ta、Cr、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる保護膜を形成することを特徴とする。
第9発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、希土類永久磁石薄膜の最表層に、Ta、Cr、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる酸化防止膜を形成することを特徴とする。
第10発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法は、前記第1発明において、イオンミリングは、アルゴンイオンビームエッチング(IBE)であることを特徴とする。
第1発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法によれば、Taなどの高融点金属層とR−T−B系永久磁石が積層された高性能永久磁石薄膜を用いた、高加工精度の小型・高性能なマイクロデバイスを、低コストで大量に生産することができる。
第3発明から第7発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法によれば、高い最大エネルギー積(BH)maxを有する高性能な永久磁石薄膜を提供することができる。
第8発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法によれば、基板と希土類合金磁性層との反応を防止することができる。
第9発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法によれば、希土類永久磁石薄膜の酸化を防止することができる。
第10発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法によれば、パターニングされたフォトレジスト層をマスクとして、露出した希土類永久磁石薄膜を効率よく、かつ高加工精度で除去することができる。
以下に、本発明をその実施形態を示す図面に基づき説明する。
図1は、本発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法の例を模式的に示す説明図であり、図1(a)は、基板1上に希土類合金磁性層2と高融点金属層3が積層された多層構造を有する希土類永久磁石薄膜6が形成された状態を示す。図1(b)は、前記希土類永久磁石薄膜6上にフォトレジスト層7が形成された状態を示す。図1(c)は、前記フォトレジスト層7を露光、現像することによりパターニングされた後の状態を示す。図1(d)は、前記パターニングされた前記フォトレジスト層7をマスクとして、露出した希土類永久磁石薄膜6をイオンミリングによって除去した後の状態を示す。図1(e)は、残存する希土類永久磁石薄膜6上のフォトレジスト層7を酸素プラズマアッシングにより除去した後の状態を示す。
図1は、本発明に係る希土類永久磁石薄膜の製造方法の例を模式的に示す説明図であり、図1(a)は、基板1上に希土類合金磁性層2と高融点金属層3が積層された多層構造を有する希土類永久磁石薄膜6が形成された状態を示す。図1(b)は、前記希土類永久磁石薄膜6上にフォトレジスト層7が形成された状態を示す。図1(c)は、前記フォトレジスト層7を露光、現像することによりパターニングされた後の状態を示す。図1(d)は、前記パターニングされた前記フォトレジスト層7をマスクとして、露出した希土類永久磁石薄膜6をイオンミリングによって除去した後の状態を示す。図1(e)は、残存する希土類永久磁石薄膜6上のフォトレジスト層7を酸素プラズマアッシングにより除去した後の状態を示す。
図1(a)〜(e)の各図は、上記の通り、各製造工程と各構成層の形成状態を模式的に示したものであり、各構成層の厚さ、面積などの寸法は全く考慮されていない。また、図1(a)では希土類永久磁石薄膜の形成形態を明確にするため、希土類合金磁性層2、高融点金属層3などを個々に表示しているが、図1(b)〜(e)ではそれらをまとめて希土類永久磁石薄膜6として表示している。
本発明の希土類永久磁石薄膜の製造方法では、先ず、図1(a)に示すように、基板1上に、希土類合金磁性層2と高融点金属層3を形成し、多層構造を有する希土類永久磁石薄膜6を形成する。なお、図1(a)においては、基板1と希土類合金磁性層2の間に保護膜4を、基板1から最も遠い(最上層の)希土類合金磁性層2上に酸化防止膜5を形成しているが、保護膜4及び酸化防止膜5は必須ではなく、それらがなくても前記第1発明による効果を奏することができる。
基板は、希土類永久磁石薄膜の形成中または形成後に最低でも300℃以上の熱処理を受けることになる。そのため、基板の材料は、上記熱処理によって軟化を起こさないために500℃以上の融点を持つことが好ましい。さらに、基板は、薄膜形成中や熱処理中に雰囲気ガスや希土類合金磁性層及び高融点金属層と反応し難く、化学的に安定な材料から形成されていることが好ましい。このような基板として、Siウェハ、Mo板、ステンレス、各種鋼板、サファイヤ板、石英板、ガラス板、Al2O3−TiC複合セラミックス板などを好適に用いることができる。
希土類合金磁性層及び高融点金属層の形成方法は、生産性に優れ、密着力の良好な膜を得やすいマグネトロンスパッタリング法を用いることが好ましい。
希土類合金磁性層は、R元素(R元素はNd、Pr、Tb、Dyの少なくとも一種でありNd及び/又はPrを必ず含む)とT元素(TはFeまたはFe及びCo)とBを必須元素として含有するものが好ましい。
希土類永久磁石薄膜は、マイクロデバイスの小型・高性能化を図る観点から、高い最大エネルギー積(BH)max(以下、単に「(BH)max」という」)を有していることが望ましい。そのため、希土類合金磁性層は、R2T14B化合物を主相として含有するものが好ましい。
また、希土類合金磁性層は、500nm以下の厚さであることが必要である。500nmを超えると、R2T14B化合物結晶が粗大化して保磁力HcJ(以下、単に「HcJ」という」)が低下するとともに結晶成長の配向性が乱れ残留磁束密度Br(以下、単に「Br」という」)が低下し、その結果(BH)maxが低下するためである。一方、希土類合金磁性層の厚さが薄すぎると、希土類永久磁石薄膜全体に占める高融点金属層の存在比率が高くなり、(BH)maxなどの磁気特性が低下するため、50nm以上の厚さを有していることが好ましい。従って、好ましい厚さは50nm〜500nmである。さらに、厚さを50nm〜200nmにすることにより、希土類永久磁石薄膜のHcJが向上し、耐熱性を向上させることができる。
高融点金属層は、Ta、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる元素から構成されることが好ましい。希土類合金磁性層中のR2T14B化合物は、膜形成時あるいは熱処理時に、高融点金属層と接していると、その磁化容易軸を基板面に対して垂直な方向に配向する傾向がある。すなわち、高融点金属層は、希土類合金磁性層の磁気異方性を高め、面に垂直なBrを向上させる機能を有している。また、高融点金属層は、希土類合金磁性層中のR2T14B化合物の結晶成長を抑え、金属組織を微細化し、希土類永久磁石薄膜のHcJを向上させる働きを有する。従って、希土類永久磁石薄膜には、希土類合金磁性層と高融点金属層を含む多層構造を有していることが好ましく、特に、高融点金属層によって希土類合金磁性層が挟まれている構成が好ましい。Ta、Ti、Nb、Zr及びMoのうち高融点金属層として特に好ましいのはTaである。Taを用いることにより、希土類永久磁石薄膜の磁気特性をより向上させることができる。
高融点金属層は、50nm以下の厚さであることが必要である。50nmを超えると非磁性の高融点金属原子が希土類合金磁性層中に多く溶け込み、希土類合金磁性層の結晶磁気異方性エネルギーを減少させる恐れがあり、また、上下に位置する希土類合金磁性層の磁気的結合が弱くなるため好ましくない。一方、高融点金属層の厚さが薄すぎると、結晶配向効果が十分に発現されないため、5nm以上の厚さを有していることが好ましい。従って、好ましい厚さは5nm〜50nmである。さらに厚さを5nm〜20nmにすることにより、希土類永久磁石薄膜のBr及び(BH)maxをより向上させることができる。
前記の希土類合金磁性層と高融点金属層は、4層以上の積層構造にすることが好ましい。4層以上とは、少なくとも2層の希土類合金磁性層と2層の高融点金属層が積層されている構成を意味する。4層以上積層することにより、各種マイクロデバイスに供することができる磁気特性を発現できる。積層数は、希土類永久磁石薄膜を適用する用途並びに必要とされる磁気特性に応じて適宜選定すればよい。なお、図1では、3層の希土類合金磁性層の各層間に2層の高融点金属層が積層される5層構造となっているが、この構成に限定されるものではない。また、積層構造は、高融点金属層によって希土類合金磁性層が挟まれている構成、つまり、希土類合金磁性層と高融点金属層とが交互に積層される構成が好ましい。
希土類永久磁石薄膜を構成する複数の高融点金属層の厚さの合計(tn)の比率が大きくなりすぎると希土類永久磁石薄膜の磁気特性が低下するため好ましくない。そのため、高融点金属層の厚さの合計(tn)と希土類合金磁性層の厚さの合計(tm)の比率(tn/tm)は、0.01≦(tn/tm)≦0.3を満足することが好ましい。
基板上に、希土類合金磁性層と高融点金属層を積層するに際して、最初に希土類合金磁性層を形成する場合は、基板と希土類合金磁性層との反応を防止するために、Ta、Cr、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる保護膜を形成することが好ましい。もちろん、保護膜がなくても上記第1発明による効果を奏することができる。保護膜の厚さは反応防止や希土類永久磁石薄膜の磁気特性などを考慮して適宜選定すればよい。なお、最初に高融点金属層を形成する場合も保護膜を形成してもよい。特に、高融点金属層の厚さが薄い場合は有効である。
希土類合金磁性層と高融点金属層を積層した後、積層の最後となる希土類合金磁性層上又は高融点金属層上(希土類永久磁石薄膜の最表層)に、得られる希土類永久磁石薄膜の酸化を防止するために、Ta、Cr、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる酸化防止膜を形成することが好ましい。もちろん、酸化防止膜がなくても上記第1発明による効果を奏することができる。酸化防止膜の厚さは、希土類永久磁石薄膜の使用環境、希土類永久磁石薄膜の磁気特性などを考慮して適宜選定すればよい。
希土類永久磁石薄膜には、薄膜形成中または形成後に300℃〜800℃の結晶化のための熱処理を施すことが好ましい。薄膜形成中においては、基板の温度を300℃〜600℃に調整することによって結晶化させながら薄膜を形成することができる。薄膜形成後に熱処理を施す場合は、薄膜形成を例えば500℃未満の比較的低温で行い、薄膜形成後に500℃〜800℃で熱処理を行なえばよい。
次に、図1(b)に示すように、希土類永久磁石薄膜6上にフォトレジスト層7を塗布する。フォトレジスト層7は、公知の半導体加工技術やMEMS技術で用いられているフォトレジスト層を公知の手段により塗布することができる。フォトレジスト層7の厚さdrは、希土類永久磁石薄膜6の厚さをdpmとしたとき、dr>dpmであることが好ましく、より好ましい実施形態はdr>2dpmである。
次に、図1(c)に示すように、フォトレジスト層7を露光、現像することによりパターニングを行なう。パターニングは、公知の半導体加工技術やMEMS技術で用いられている手段を適用することができる。図1(c)においては、希土類永久磁石薄膜6上に矩形のフォトレジスト層7をアイランド状にパターニングしている。パターニングは、希土類永久磁石薄膜を用いる用途によって適宜選定すればよい。
次に、図1(d)に示すように、パターニングされたフォトレジスト層7をマスクとして、露出した希土類永久磁石薄膜6をイオンミリングにより除去する。図1(d)では、矩形のアイランド状の部分以外の、ロ字状に露出した希土類永久磁石薄膜6をイオンミリングで除去している。
イオンミリングは、公知の半導体加工技術やMEMS技術で用いられている方法や装置を採用することができる。但し、後述する実施例に示す通り、反応性イオンエッチング(RIE)では本発明に係る希土類永久磁石薄膜6を加工することは困難であり、また、公知のウェットエッチングも希土類永久磁石薄膜6を均一に加工することが困難である。
本発明に係る希土類永久磁石薄膜6を高加工精度で加工するには、アルゴンイオンビームエッチング(IBE)が特に適している。IBEによれば、エッチングレートを上げても加工精度が低下することがないので、生産性を大幅に向上させることができる。エッチングレートを上げるには、アルゴンイオンの加速電圧は1500V以上が好ましく、2000V以上がより好ましい。また、アルゴンイオンの入射方向に対して、加工面の法線方向θが15°<θ<60°であることが好ましく、20°<θ<50°がより好ましい。
次に、図1(e)に示すように、希土類永久磁石薄膜6上に残存するフォトレジスト層7を酸素プラズマアッシングによって除去する。フォトレジスト層7は、加速されたアルゴンイオンの衝撃によって、一部で炭化が進行しているため、一般的に用いられている無機系あるいは有機系のレジスト剥離液ではフォトレジスト層7を完全に除去することができない。本発明においては、酸素プラズマアッシングによって、炭化されたフォトレジスト層7を酸素プラズマとの化学反応を利用して除去する。
実施例1
基板として10mm×10mm、厚さ0.5mmのガラス板(CORNING社製、ガラスコードNo.7059)を用意し、真空チャンバー内で500℃に加熱した後、マグネトロンスパッタリングによって、希土類合金磁性層としてNd2Fe14Bを、高融点金属層としてTaを用いて交互に積層した。積層に際しては、基板とNd2Fe14Bが反応しないように、基板上に厚さ約20nmのTaからなる保護膜を形成した。
基板として10mm×10mm、厚さ0.5mmのガラス板(CORNING社製、ガラスコードNo.7059)を用意し、真空チャンバー内で500℃に加熱した後、マグネトロンスパッタリングによって、希土類合金磁性層としてNd2Fe14Bを、高融点金属層としてTaを用いて交互に積層した。積層に際しては、基板とNd2Fe14Bが反応しないように、基板上に厚さ約20nmのTaからなる保護膜を形成した。
具体的には、保護膜となるTa上に、積層の最初がNd2Fe14B、最後がNd2Fe14Bとなるように、厚さ約200nmのNd2Fe14Bを15層、厚さ約10nmのTaを14層交互に積層した。次いで、最表層となるNd2Fe14B上に厚さ約40nmのTaからなる酸化防止膜を形成した。得られた希土類永久磁石薄膜を触針式表面粗さ計を用いて全厚さを測定したところ、3.2μmであった。
次に、希土類永久磁石薄膜を形成した基板にネガ型のレジスト(MicroChem社製、SU8)をスピンコーターの条件を調節しながら厚さが約10μmになるように塗布し、プリベークを行った後、露光、現像を行い、一辺が2.5mmの正方形を4つ含んだレジストパターンを形成した。
次に、希土類永久磁石薄膜を形成した基板をイオンミリング装置に固定し、アルゴンイオンビームエッチング(IBE)を3時間行った。IBEのプロセス条件は、圧力2×10−2Pa、電流密度0.6mA/cm2、加速電圧3000Vとして、イオンビームは基板面に対して垂直入射させた。取り出した基板上の希土類永久磁石薄膜を観察したところ、レジストパターン開口部の希土類永久磁石薄膜は完全に取り除かれていた。
残存するレジストを確認したところ、炭化が進行していた。剥離液を用いてレジストの除去を試みたが、炭化の進行したレジストを除去することはできなかった。炭化したレジストを含む基板に対して、プラズマアッシング装置を使って酸素プラズマアッシングを試みた。酸素プラズマアッシングの効果を確認するため、剥離液で除去できなかったレジストの一部をカプトンテープで覆って処理を行った。その結果を図2に示す。図2において、上段が酸素プラズマアッシングしたもの、下段がカプトンテープで覆ったものである。図2に示す通り、酸素プラズマアッシングしたものは、残存するレジストは完全に除去されている。
実施例2
基板として20×20mm、厚さ0.38mmのガラス板(CORNING社製、ガラスコードNo.7059)を用意し、真空チャンバー内で500℃に加熱した後、マグネトロンスパッタリングによって、希土類合金磁性層としてNd2Fe14Bを、高融点金属層としてTaを用いて交互に積層した。積層に際しては、基板とNd2Fe14Bが反応しないように、基板上に厚さ約20nmのTaからなる保護膜を形成した。
基板として20×20mm、厚さ0.38mmのガラス板(CORNING社製、ガラスコードNo.7059)を用意し、真空チャンバー内で500℃に加熱した後、マグネトロンスパッタリングによって、希土類合金磁性層としてNd2Fe14Bを、高融点金属層としてTaを用いて交互に積層した。積層に際しては、基板とNd2Fe14Bが反応しないように、基板上に厚さ約20nmのTaからなる保護膜を形成した。
具体的には、保護膜となるTa上に、積層の最初がNd2Fe14B、最後がNd2Fe14Bとなるように、厚さ約200nmのNd2Fe14Bを30層、厚さ約10nmのTaを29層交互に積層した。次いで、最表層となるNd2Fe14B上に厚さ約100nmのTaからなる酸化防止膜を形成した。得られた希土類永久磁石薄膜を触針式表面粗さ計を用いて全厚さを測定したところ、6.0μmであった。
次に、希土類永久磁石薄膜を形成した基板にネガ型のレジスト(MicroChem社製、製品名:SU8)をスピンコーターの条件を調節しながら厚さが約20μmになるように塗布し、プリベークを行った後、露光、現像を行い、ピッチ0.4mmのライン・アンド・スペースのレジストパターンを形成した。
次に、希土類永久磁石薄膜を形成した基板をイオンミリング装置に固定し、IBEを6時間行った。IBEのプロセス条件は、圧力2×10−2Pa、加速電圧1500Vとして、イオンビームを基板面法線方向に対し30°傾けて入射させた。取り出した基板表面を観察し、レジストパターン開口部の希土類永久磁石薄膜が取り除かれていることを確認し、その後、プラズマアッシング装置を使った酸素プラズマアッシングを行って残存していたレジストを完全に除去した。
ピッチ0.4mmのライン・アンド・スペースに加工された希土類永久磁石薄膜の磁気特性を、薄膜の面内方向と膜垂直方向における磁化曲線をそれぞれ着磁後に試料振動型磁力計で計測した。その結果を図3に示す。その結果、加工後の希土類永久磁石薄膜は、IBEを行なう前(マグネトロンスパッタリング直後)の磁気特性と差異がなかった。また、この磁化曲線から、膜垂直方向の磁気特性値を読み取った値を表1に示す。表1より、得られた希土類永久磁石薄膜は、公知のR−T−B系焼結磁石と遜色ない磁気特性を有していることが分かる。
比較例1
希土類永久磁石薄膜の全厚さが2.9μmである以外は実施例1と同様な方法で基板上に希土類永久磁石薄膜を形成した。
希土類永久磁石薄膜の全厚さが2.9μmである以外は実施例1と同様な方法で基板上に希土類永久磁石薄膜を形成した。
次に、希土類永久磁石薄膜に対して、平行平板型反応性イオンエッチング装置を用いてドライエッチングを試みた。エッチング条件は、ガスとしてSF6を用い、プロセスガス圧力を50mTorr、プロセスガス流量を40sccm、投入電力をRF250Wとして、1時間の処理を行った。
取り出した基板上の希土類永久磁石薄膜を観察したところ、レジストパターン開口部の希土類永久磁石薄膜は除去されていなかった。レジスト開口部の希土類永久磁石薄膜の状態を図4に示す。図4に示すように、除去されなかった希土類永久磁石薄膜は表面が変色しており、一部に最表層が剥がれた部分が見られた。表面をX線マイクロアナライザで分析した結果、最表層が剥がれた部分からはNd2Fe14Bが検出され、最表層が残った場所からは、Nd2Fe14Bと反応ガスとの反応生成物が検出された。
このように、SF6ガスを用いた反応性イオンエッチングでは、Taは除去できるものの、Nd2Fe14BはSF6ガスと反応して不揮発性の反応物を形成してしまい、除去することが不可能であることが判明した。
比較例2
希土類永久磁石薄膜の全厚さが3.0μmである以外は実施例1と同様な方法で基板上に希土類永久磁石薄膜を形成した。
希土類永久磁石薄膜の全厚さが3.0μmである以外は実施例1と同様な方法で基板上に希土類永久磁石薄膜を形成した。
次に、希土類永久磁石薄膜に対して、平行平板型反応性イオンエッチング装置を用いてドライエッチングを試みた。エッチング条件は、ガスとしてCHF3を用い、プロセスガス圧力を50mTorr、プロセスガス流量を40sccm、投入電力をRF250Wとして、0.5時間の処理を行った。
取り出した基板上の希土類永久磁石薄膜を観察したところ、レジストパターン開口部の希土類永久磁石薄膜は除去されていなかった。レジスト開口部の希土類永久磁石薄膜の状態を図5に示す。図5に示すように、除去されなかった希土類永久磁石薄膜の表面には無数の亀裂が入り、その部分が浮かび上がって剥離を誘発していた。
本発明の希土類永久磁石薄膜の製造方法により得られた希土類永久磁石薄膜は、各種センサ、アクチュエータ、ポンプ、バルブなどの種々のマイクロデバイスに利用することができる。
1 基板
2 希土類合金磁性層
3 高融点金属層
4 保護膜
5 酸化防止膜
6 希土類永久磁石薄膜
7 フォトレジスト層
2 希土類合金磁性層
3 高融点金属層
4 保護膜
5 酸化防止膜
6 希土類永久磁石薄膜
7 フォトレジスト層
Claims (10)
- 基板上に、R元素(R元素はNd、Pr、Tb、Dyの少なくとも一種でありNd及び/又はPrを必ず含む)とT元素(TはFeまたはFe及びCo)とBを必須元素として含有する厚さ500nm以下の希土類合金磁性層と、Ta、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる厚さ50nm以下の高融点金属層を含む多層構造を有する希土類永久磁石薄膜を形成する工程、
前記希土類永久磁石薄膜上にフォトレジスト層を形成する工程、
前記フォトレジスト層を露光、現像することによりパターニングする工程、
前記パターニングされた前記フォトレジスト層をマスクとして、露出した前記希土類永久磁石薄膜をイオンミリングにより除去する工程、
残存する前記希土類永久磁石薄膜上の前記フォトレジスト層を酸素プラズマアッシングにより除去する工程、
を包含する希土類永久磁石薄膜の製造方法。 - 基板は、500℃以上の融点を有する材料から形成されていることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
- 希土類合金磁性層は、R2T14B化合物を主相として含有することを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
- 希土類合金磁性層は、50nm〜500nmの厚さであることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
- 高融点金属層は、Taから形成されていることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
- 高融点金属層は、5nm〜50nmの厚さであることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
- 希土類合金磁性層と高融点金属層は、4層以上積層されることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
- 基板上に、最初に希土類合金磁性層を形成する場合、基板と希土類合金磁性層の間に、Ta、Cr、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる保護膜を形成することを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
- 希土類永久磁石薄膜の最表層に、Ta、Cr、Ti、Nb、Zr及びMoのうち少なくとも一種からなる酸化防止膜を形成することを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
- イオンミリングは、アルゴンイオンビームエッチング(IBE)であることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010258774A JP2012109490A (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 希土類永久磁石薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010258774A JP2012109490A (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 希土類永久磁石薄膜の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012109490A true JP2012109490A (ja) | 2012-06-07 |
Family
ID=46494773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010258774A Pending JP2012109490A (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 希土類永久磁石薄膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012109490A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016157764A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 薄膜磁石および薄膜磁石の製造方法 |
KR102059762B1 (ko) | 2016-03-07 | 2019-12-26 | 제이엑스금속주식회사 | 희토류 박막 자석 및 그 제조 방법 |
CN115020099A (zh) * | 2022-05-26 | 2022-09-06 | 中国科学院金属研究所 | 一种增强NdFeB基永磁厚膜垂直磁各向异性的方法 |
-
2010
- 2010-11-19 JP JP2010258774A patent/JP2012109490A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016157764A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 薄膜磁石および薄膜磁石の製造方法 |
KR102059762B1 (ko) | 2016-03-07 | 2019-12-26 | 제이엑스금속주식회사 | 희토류 박막 자석 및 그 제조 방법 |
CN115020099A (zh) * | 2022-05-26 | 2022-09-06 | 中国科学院金属研究所 | 一种增强NdFeB基永磁厚膜垂直磁各向异性的方法 |
CN115020099B (zh) * | 2022-05-26 | 2023-11-03 | 中国科学院金属研究所 | 一种增强NdFeB基永磁厚膜垂直磁各向异性的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Walther et al. | Micro-patterning of NdFeB and SmCo magnet films for integration into micro-electro-mechanical-systems | |
WO2007119271A1 (ja) | 薄膜希土類磁石及びその製造方法 | |
JP4337209B2 (ja) | 永久磁石薄膜およびその製造方法 | |
JP2012109490A (ja) | 希土類永久磁石薄膜の製造方法 | |
JP5861246B2 (ja) | 希土類薄膜磁石及びその製造方法並びに希土類薄膜磁石形成用ターゲット | |
JP4697570B2 (ja) | 薄膜希土類永久磁石とその製造方法 | |
JP4803398B2 (ja) | 積層型永久磁石 | |
JP6353901B2 (ja) | 磁性材料 | |
WO2006064937A1 (ja) | ナノコンポジット磁石及びその製造方法 | |
JP2009182168A (ja) | 磁性薄膜および薄膜磁気デバイス | |
JP6923185B2 (ja) | 硬質磁性材料 | |
TWI700711B (zh) | 稀土類薄膜磁石及其製造方法 | |
JP7181064B2 (ja) | 強磁性積層膜およびその製造方法ならびに電磁誘導性電子部品 | |
US20220381853A1 (en) | Magnetic sensor | |
JP4645178B2 (ja) | 磁気素子およびインダクタ | |
JP5390996B2 (ja) | 希土類高配向磁性薄膜とその製造方法、磁器部材および希土類永久磁石 | |
JP4483166B2 (ja) | 永久磁石薄膜 | |
JP4457530B2 (ja) | 永久磁石薄膜 | |
JP6734578B2 (ja) | 硬質磁性材料 | |
JP2016207680A (ja) | 薄膜磁石 | |
JPH04219912A (ja) | 希土類薄膜磁石の形成方法 | |
JPH09219313A (ja) | R−tm−b系硬磁性薄膜およびその製造方法 | |
KR100605366B1 (ko) | 자기특성이 우수한 희토류 박형자석의 제조방법 | |
CN114999801A (zh) | 一种提高NdFeB基永磁厚膜矫顽力的方法 | |
JP2001217124A (ja) | R‐Fe‐B系垂直磁気異方性薄膜磁石及びその製造方法 |