JP4645178B2 - 磁気素子およびインダクタ - Google Patents
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Description
また、本発明の磁性薄膜では、磁性薄膜がコイルを挟むようにコイルの両側に設けられていると共に、コイルの両側に設けられた一対の磁性薄膜のそれぞれに対応した一対の斜め成長磁性層のうち、一方の斜め成長磁性層における結晶成長方向が積層面となす角度が、積層面の一端から他端に沿って徐々に大きくなっており、かつ他方の斜め成長磁性層における結晶成長方向が積層面となす角度が、積層面の他端から一端に沿って徐々に大きくなっている。このように、一対の斜め成長磁性層において結晶成長方向が積層面となす角度が、積層面の一端から他端に沿って互いに逆の変化をしていくことにより、積層面上の位置に対するこれらの角度ばらつきが低減される。
また、コイルの両側に一対の磁性薄膜を設け、これら一対の磁性薄膜にそれぞれ対応した一対の斜め成長磁性層において、結晶成長方向がコイル延在面となす角度を、コイル延在面の一端から他端に沿って互いに逆の変化をしていくようにしたので、コイル延在面上の位置に対するこれらの角度ばらつきを低減することができ、製造時の歩留りを向上させ、製造コストを低減させることが可能となる。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る磁気素子としてのインダクタ10の構成を模式的に表したものであり、(A)は上面図を、(B)は(A)におけるA−A部分の矢視断面図を模式的に表している。このインダクタ10は、基板2と、この基板2上に形成された絶縁層3Aおよび磁性薄膜1と、磁性薄膜1上にスパイラル状に形成された平面コイル4と、磁性薄膜1上で平面コイル4を覆うように形成された絶縁層3Bとを備えている。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。
Claims (6)
- コイルと、
前記コイルを挟むように前記コイルの両側に設けられた磁性薄膜と
を備え、
前記磁性薄膜は、絶縁材料とこの絶縁材料の混入によって軟磁性化する磁性材料とを含むと共に積層面に対して斜め方向に柱状に結晶成長した斜め成長磁性層を有し、
前記コイルの両側に設けられた一対の磁性薄膜のそれぞれに対応した一対の斜め成長磁性層のうち、一方の斜め成長磁性層における結晶成長方向が前記積層面となす角度は、積層面の一端から他端に沿って徐々に大きくなっており、かつ他方の斜め成長磁性層における結晶成長方向が前記積層面となす角度は、積層面の他端から一端に沿って徐々に大きくなっている
ことを特徴とする磁気素子。 - 前記磁性薄膜の少なくとも一方は、前記絶縁材料および前記磁性材料を含むと共に積層面に対して垂直方向に柱状に結晶成長した垂直成長磁性層をさらに有する
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気素子。 - 前記磁性薄膜の少なくとも一方は、前記斜め成長磁性層と前記垂直成長磁性層との層間の少なくとも1つに、絶縁層を有する
ことを特徴とする請求項2に記載の磁気素子。 - 前記磁性薄膜の少なくとも一方は、前記斜め成長磁性層を複数有し、この複数の斜め成長磁性層の層間に、絶縁層を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気素子。 - 前記磁性材料は、鉄(Fe)またはコバルト鉄(CoFe)を含む
ことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の磁気素子。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の磁気素子を備えた
ことを特徴とするインダクタ。
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