JP6923185B2 - 硬質磁性材料 - Google Patents
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Description
(Fe1−xCox)1−y−zVyAz (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.7を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数であり;zは0≦z≦0.15を満たす実数であり;0<z≦0.15のとき、AはC、若しくはN、又はそれらの組み合わせを表す。)
本発明のFeCoV基合金系硬質磁性材料は、下記一般式(1)で表される組成を有する正方晶FeCoV基合金である。
(Fe1−xCox)1−y−zVyAz (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.7を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数であり;zは0≦z≦0.15を満たす実数であり;0<z≦0.15のとき、AはC、若しくはN、又はそれらの組み合わせを表す。)
(Fe1−xCox)1−y−zVy (2)
となる。かかる実施形態において、一般式(1)中のxは好ましくは0.50〜0.70、yは好ましくは0.04〜0.11である。x及びyが上記範囲内であることにより、一軸磁気異方性をさらに高めることが可能になる。
本発明の第2の態様に係るFeCoV基合金系硬質磁性体膜の膜厚は特に制限されるものではないが、例えば100nm以下、好ましくは50nm以下とすることができ、また例えば5nm以上とすることができる。
本発明の第3の態様に係る永久磁石(以下において「FeCoV基合金系永久磁石」ということがある。)は、本発明の第1の態様に係るFeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子であって、粒径が1000nm以下である粒子を含むことを特徴とする。FeCoV基合金系永久磁石におけるFeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子の粒径は1000nm以下であり、好ましくは500nm以下、より好ましくは100nm以下、さらに好ましくは50nm以下であり、特に好ましくは30nm以下である。FeCoV基合金系硬質磁性材料粒子の粒径が上記の上限値以下であることにより、良好な保磁力を発現することが可能になる。一方、熱揺らぎ効果を考慮すれば、FeCoV基合金系硬質磁性材料粒子の粒径は好ましくは10nm以上、より好ましくは20nm以上である。本明細書において、FeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子の粒径は、電子顕微鏡像の画像解析により測定される球相当径(画像中に粒子が占める面積と同一の面積を与える球の直径)を意味する。
図1は、一の実施形態に係るFeCoV基合金系硬質磁性材料の製造方法S100(以下において単に「製造方法S100」ということがある。)を説明するフローチャートである。図2は、製造方法S100の各工程における積層構造を模式的に説明する断面図である。
図1に示すように、製造方法S100は、Rh層成長工程S1と、合金層成長工程S2と、酸化防止層形成工程S3とをこの順に有する。
Rh層成長工程S1(以下において単に「工程S1」ということがある。)は、酸化マグネシウム単結晶基板10(以下において「MgO基板10」ということがある。)の表面に、ロジウム層20をエピタキシャル成長させる工程である。図2(A)には工程S1前のMgO基板10が表れており、図2(B)には工程S1後の積層構造が表れている。
合金層成長工程S2(以下において単に「工程S2」ということがある。)は、ロジウム層20の表面に、下記一般式(1)で表される組成を有するFeCoV基合金層30(以下において単に「合金層30」ということがある。)をエピタキシャル成長させる工程である。
(Fe1−xCox)1−y−zVyAz (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.7を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数であり;zは0≦z≦0.15を満たす実数であり;0<z≦0.15のとき、AはC、若しくはN、又はそれらの組み合わせを表す。)
FeCoV基合金層30の好ましい組成については上記した通りである。
図2(B)には工程S1後工程S2前の積層構造が表れており、図2(C)には工程S2後の積層構造が表れている。
酸化防止層形成工程S3(以下において単に「工程S3」ということがある。)は、合金層30の表面に、酸化防止層40を形成する工程である。図2(C)には工程S2後工程S3前の積層構造が表れており、図2(D)には工程S3後の積層構造が表れている。
酸化防止層40としてSiO2層をスパッタリングによって形成する際、基板10を加熱する必要はなく、基板10の温度は例えば室温〜200℃とすることができる。
例えば、FeCoV基合金層を成長させた後、該合金層の表面にフォトレジスト層を形成し、エッチングによりフォトレジスト層に被覆されていないFeCoV基合金層(またはFeCoV基合金層およびロジウム層)を除去した後、フォトレジスト層を除去し、その後FeCoV基合金層(またはFeCoV基合金層およびロジウム層)を分離することにより、FeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
また例えば、FeCoV基合金層を成長させた後、電子ビームリソグラフィーによってFeCoV基合金層(またはFeCoV基合金層およびロジウム層)の不要部分を除去し、その後FeCoV基合金層(またはFeCoV基合金層およびロジウム層)を分離することにより、FeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
また例えば、ロジウム層を成長させた後、ロジウム層の表面にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層に被覆されていないロジウム層表面にのみFeCoV基合金層を成長させた後、フォトレジスト層を除去し、その後FeCoV基合金層(またはFeCoV基合金層およびロジウム層)を分離することにより、FeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
また例えば、酸化マグネシウム基板の表面にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層に被覆されていないMgO表面にのみロジウム層および引き続いてFeCoV基合金層を成長させた後、フォトレジスト層を除去し、その後FeCoV基合金層(またはFeCoV基合金層およびロジウム層)を分離することにより、FeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
FeCoV基合金層(またはFeCoV基合金層およびロジウム層)を分離するにあたっては、例えば機械研磨、Arエッチング、イオンエッチング、集束イオンビーム(FIB)加工、電子ビームリソグラフィー等の公知の微細加工法を単独で又は組み合わせて用いることができる。
なお、永久磁石を製造する観点からは、FeCoV基合金層を必ずしも酸化マグネシウム基板から分離しなくてもよい。例えば、FeCoV基合金層を成長させた後、電子ビームリソグラフィーやフォトリソグラフィー等によってFeCoV基合金層(またはFeCoV基合金層およびロジウム層)の不要部分を除去することにより、酸化マグネシウム基板にFeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子が複数担持された積層体を製造することが可能である。当該積層体は永久磁石としての特性を有する。さらに当該積層体を複数枚積層することによっても、永久磁石を製造することが可能である。隣接する積層体の間に適当な接着剤を介在させてもよい。また積層の前に基板を研磨等により薄くしてもよい。
必要に応じて、永久磁石を磁化させる工程をさらに行ってもよい。
上記説明した製造方法S100により、FeCoV基合金系硬質磁性材料を製造した。酸化マグネシウム単結晶基板(10mm×10mm×厚さ1mm、ケーアンドアール・クリエーション製)の[100]面に、スパッタリングによりロジウム層(厚さ20.0nm)をエピタキシャル成長させた。ロジウム層を成長させる間、MgO基板の温度は300℃に保持した。ロジウム層の成長を終えた後、MgO基板の温度を200℃に変更し、ロジウム層の表面にFeCoV基合金層((Fe1−xCox)1−y−zVyCz;0.4≦x≦0.7;0<y≦0.15;0≦z≦0.15;厚さ5.0〜50.0nm)をエピタキシャル成長させた。FeCoV基合金層の成長を終えた後、MgO基板の温度を室温に変更し、FeCoV基合金層の表面に酸化防止層としてSiO2層(厚さ5.0nm)をスパッタリングにより成長させた。得られたFeCoV基合金層について磁気特性を評価した。
20 ロジウム層
30 FeCoV基合金層
40 酸化防止層
Claims (5)
- 下記一般式(1)で表される組成を有する正方晶FeCoV基合金であって、
前記正方晶FeCoV基合金の正方晶歪c/aが1.05以上1.3以下であるFeCoV基合金系硬質磁性材料からなり、
膜厚が5nm以上であることを特徴とする、硬質磁性体膜。
(Fe1−xCox)1−y−zVyAz (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.7を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数であり;zは0<z≦0.15を満たす実数であり;AはC、若しくはN、又はそれらの組み合わせを表す。) - 前記yが0.04以上0.15以下であり、
前記zが0.01以上0.15以下である、
請求項1に記載の硬質磁性体膜。 - 前記膜厚が20nm以上である、
請求項1又は2に記載の硬質磁性体膜。 - 下記一般式(1)で表される組成を有する正方晶FeCoV基合金であって、前記正方晶FeCoV基合金の正方晶歪c/aが1.05以上1.3以下であるFeCoV基合金系硬質磁性材料の粒子であって、粒径が1000nm以下である粒子を含む、永久磁石。
(Fe 1−x Co x ) 1−y−z V y A z (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.7を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数であり;zは0<z≦0.15を満たす実数であり;AはC、若しくはN、又はそれらの組み合わせを表す。) - (a)酸化マグネシウム単結晶基板の表面に、ロジウム層をエピタキシャル成長させる工程と、
(b)前記ロジウム層の表面に、下記一般式(1)で表される組成を有する膜厚5nm以上のFeCoV基合金層をエピタキシャル成長させる工程と
を含む、FeCoV基合金系硬質磁性体膜の製造方法。
(Fe1−xCox)1−y−zVyAz (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.7を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数であり;zは0<z≦0.15を満たす実数であり;AはC、若しくはN、又はそれらの組み合わせを表す。)
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