JP6734578B2 - 硬質磁性材料 - Google Patents
硬質磁性材料 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6734578B2 JP6734578B2 JP2016044907A JP2016044907A JP6734578B2 JP 6734578 B2 JP6734578 B2 JP 6734578B2 JP 2016044907 A JP2016044907 A JP 2016044907A JP 2016044907 A JP2016044907 A JP 2016044907A JP 6734578 B2 JP6734578 B2 JP 6734578B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fecoal alloy
- layer
- fecoal
- hard magnetic
- magnetic material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 title claims description 73
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 207
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 207
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 48
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 45
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 43
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 39
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 31
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 claims description 29
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 claims description 29
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 21
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 15
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 32
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 21
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 18
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 13
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 11
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 10
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N strontium oxide Chemical compound [O-2].[Sr+2] IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005335 FePt Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
(FexCo1−x)1−yAly (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.6を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数である。)
本発明のFeCoAl合金系硬質磁性材料は、下記一般式(1)で表される組成を有する正方晶FeCoAl合金である。
(FexCo1−x)1−yAly (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.6を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数である。)
本発明の第2の態様に係るFeCoAl合金系硬質磁性体膜の膜厚は特に制限されるものではないが、例えば100nm以下、好ましくは50nm以下とすることができ、また例えば1nm以上とすることができる。
本発明の第3の態様に係る永久磁石(以下において「FeCoAl合金系永久磁石」ということがある。)は、本発明の第1の態様に係るFeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子であって、粒径が100nm以下である粒子を含むことを特徴とする。FeCoAl合金系永久磁石におけるFeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子の粒径は100nm以下であり、好ましくは50nm以下であり、特に好ましくは30nm以下である。FeCoAl合金系硬質磁性材料粒子の粒径が上記の上限値以下であることにより、良好な保磁力を発現することが可能になる。一方、熱揺らぎ効果を考慮すれば、微粒子の粒径は好ましくは10nm以上、より好ましくは20nm以上である。本明細書において、FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子の粒径は、電子顕微鏡像の画像解析により測定される球相当径(画像中に粒子が占める面積と同一の面積を与える球の直径)を意味する。
図1は、一の実施形態に係るFeCoAl合金系硬質磁性材料の製造方法S100(以下において単に「製造方法S100」ということがある。)を説明するフローチャートである。図2は、製造方法S100の各工程における積層構造を模式的に説明する断面図である。
図1に示すように、製造方法S100は、Rh層成長工程S1と、FeCoAl層成長工程S2と、酸化防止層形成工程S3とをこの順に有する。
Rh層成長工程S1(以下において単に「工程S1」ということがある。)は、酸化マグネシウム単結晶基板10(以下において「MgO基板10」ということがある。)の表面に、ロジウム層20をエピタキシャル成長させる工程である。図2(A)には工程S1前のMgO基板10が表れており、図2(B)には工程S1後の積層構造が表れている。
FeCoAl層成長工程S2(以下において単に「工程S2」ということがある。)は、ロジウム層20の表面に、下記一般式(1)で表される組成を有するFeCoAl合金層30をエピタキシャル成長させる工程である。
(FexCo1−x)1−yAly (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.6を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数である。)
FeCoAl合金層30の好ましい組成については上記した通りである。
図2(B)には工程S1後工程S2前の積層構造が表れており、図2(C)には工程S2後の積層構造が表れている。
酸化防止層形成工程S3(以下において単に「工程S3」ということがある。)は、FeCoAl合金層30の表面に、酸化防止層40を形成する工程である。図2(C)には工程S2後工程S3前の積層構造が表れており、図2(D)には工程S3後の積層構造が表れている。
酸化防止層40としてSiO2層をスパッタリングによって形成する際、基板10を加熱する必要はなく、基板10の温度は例えば室温〜200℃とすることができる。
例えば、FeCoAl合金層を成長させた後、FeCoAl合金層の表面にフォトレジスト層を形成し、エッチングによりフォトレジスト層に被覆されていないFeCoAl合金層(またはFeCoAl合金層およびロジウム層)を除去した後、フォトレジスト層を除去し、その後FeCoAl合金層(またはFeCoAl合金層およびロジウム層)を分離することにより、FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
また例えば、FeCoAl合金層を成長させた後、電子ビームリソグラフィーによってFeCoAl合金層(またはFeCoAl合金層およびロジウム層)の不要部分を除去し、その後FeCoAl合金層(またはFeCoAl合金層およびロジウム層)を分離することにより、FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
また例えば、ロジウム層を成長させた後、ロジウム層の表面にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層に被覆されていないロジウム層表面にのみFeCoAl合金層を成長させた後、フォトレジスト層を除去し、その後FeCoAl合金層(またはFeCoAl合金層およびロジウム層)を分離することにより、FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
また例えば、酸化マグネシウム基板の表面にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層に被覆されていないMgO表面にのみロジウム層および引き続いてFeCoAl合金層を成長させた後、フォトレジスト層を除去し、その後FeCoAl合金層(またはFeCoAl合金層およびロジウム層)を分離することにより、FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
FeCoAl合金層(またはFeCoAl合金層およびロジウム層)を分離するにあたっては、例えば機械研磨、Arエッチング、イオンエッチング、集束イオンビーム(FIB)加工、電子ビームリソグラフィー等の公知の微細加工法を単独で又は組み合わせて用いることができる。
なお、永久磁石を製造する観点からは、FeCoAl合金層を必ずしも酸化マグネシウム基板から分離しなくてもよい。例えば、FeCoAl合金層を成長させた後、電子ビームリソグラフィーやフォトリソグラフィー等によってFeCoAl合金層(またはFeCoAl合金層およびロジウム層)の不要部分を除去することにより、酸化マグネシウム基板にFeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子が複数担持された積層体を製造することが可能である。当該積層体は永久磁石としての特性を有する。さらに当該積層体を複数枚積層することによっても、永久磁石を製造することが可能である。隣接する積層体の間に適当な接着剤を介在させてもよい。また積層の前に基板を研磨等により薄くしてもよい。
必要に応じて、永久磁石を磁化させる工程をさらに行ってもよい。
図3は、他の一の実施形態に係るFeCoAl合金系硬質磁性材料の製造方法S200(以下において単に「製造方法S200」ということがある。)を説明するフローチャートである。図4は、製造方法S200の各工程における積層構造を模式的に説明する断面図である。
図3に示すように、製造方法S200は、FeCoAl層成長工程S201と、酸化防止層形成工程S202と、熱処理工程S203とをこの順に有する。
FeCoAl層成長工程S201(以下において単に「工程S201」ということがある。)は、チタン酸ストロンチウム基板210(以下において単に「SrTiO3基板210」ということがある。)の表面に、下記一般式(1)で表される組成を有するFeCoAl合金層230をエピタキシャル成長させる工程である。
(FexCo1−x)1−yAly (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.6を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数である。)
FeCoAl合金層230の好ましい組成については上記した通りである。
図4(A)には工程S201前のSrTiO3基板210が表れており、図4(B)には工程S201後の積層構造が表れている。
酸化防止層形成工程S202(以下において単に「工程S202」ということがある。)は、FeCoAl合金層230の表面に、酸化防止層240を形成する工程である。図4(B)には工程S201後工程S202前の積層構造が表れており、図4(C)には工程S202後の積層構造が表れている。
熱処理工程S203(以下において単に「工程S203」ということがある。)は、工程S201及び工程S202を経ることによって得られた積層体(図4(C)参照)を熱処理(アニーリング)する工程である。当該積層体は、チタン酸ストロンチウム基板210及びFeCoAl合金層230を含んでいる。
熱処理工程S203を経ることにより、FeCoAl合金層230が一軸磁気異方性を発現する。
例えば、FeCoAl合金層を成長させた後、酸化防止層を形成せずに上記同様に熱処理工程を行い、FeCoAl合金層の表面にフォトレジスト層を形成し、エッチングによりフォトレジスト層に被覆されていないFeCoAl合金層を除去した後、フォトレジスト層を除去し、その後FeCoAl合金層を分離することにより、FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
また例えば、FeCoAl合金層を成長させ、上記同様に熱処理工程を行った後、電子ビームリソグラフィーによってFeCoAl合金層の不要部分を除去し、その後FeCoAl合金層を分離することにより、FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
また例えば、酸化ストロンチウム基板の表面にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層に被覆されていないSrTiO3表面にのみFeCoAl合金層を成長させ、フォトレジスト層を除去した後、上記同様に熱処理工程を行い、その後FeCoAl合金層を分離することにより、FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子を製造することも可能である。
FeCoAl合金層を分離するにあたっては、機械研磨、Arエッチング、イオンエッチング、集束イオンビーム(FIB)加工、電子ビームリソグラフィー等の公知の微細加工法を単独で又は組み合わせて用いることができる。
なお、永久磁石を製造する観点からは、FeCoAl合金層を必ずしもチタン酸ストロンチウム基板から分離しなくてもよい。例えば、FeCoAl合金層を成長させ、上記同様に熱処理工程を行った後、電子ビームリソグラフィーやフォトリソグラフィー等によってFeCoAl合金層の不要部分を除去することにより、チタン酸ストロンチウム基板にFeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子が複数担持された積層体を製造することが可能である。当該積層体は永久磁石としての特性を有する。さらに当該積層体を複数枚積層することによっても、永久磁石を製造することが可能である。隣接する積層体の間に適当な接着剤を介在させてもよい。また積層の前に研磨等により基板を薄くしてもよい。
必要に応じて、永久磁石を磁化させる工程をさらに行ってもよい。
上記説明した製造方法S100により、FeCoAl合金系硬質磁性材料を製造した。酸化マグネシウム単結晶基板(10mm×10mm×厚さ1mm、ケーアンドアール・クリエーション製)の[100]面に、スパッタリングによりロジウム層(厚さ20.0nm)をエピタキシャル成長させた。ロジウム層を成長させる間、MgO基板の温度は300℃に保持した。ロジウム層の成長を終えた後、MgO基板の温度を200℃に変更し、ロジウム層の表面にFeCoAl合金層((FexCo1−x)1−yAly、0.4≦x≦0.6、0<y≦0.15、厚さ2.0〜20.0nm)をエピタキシャル成長させた。FeCoAl合金層の成長を終えた後、MgO基板の温度を室温に変更し、FeCoAl合金層の表面に酸化防止層としてSiO2層(厚さ5.0nm)をスパッタリングにより成長させた。得られたFeCoAl合金層について磁気特性を評価した。
上記説明した製造方法S200により、FeCoAl合金系硬質磁性材料を製造した。チタン酸ストロンチウム単結晶基板(10mm×10mm×厚さ1mm、信光社製)の(100)面に、スパッタリングによりFeCoAl合金層((Fe0.5Co0.5)1−yAly、0<y≦0.15、厚さ2.0〜20.0nm)をエピタキシャル成長させた。FeCoAl合金層を成長させる間、SrTiO3基板の温度は200℃に保持した。FeCoAl合金層の成長を終えた後、SrTiO3基板の温度を室温に変更し、FeCoAl合金層の表面に酸化防止層としてSiO2層(厚さ5.0nm)をスパッタリングにより成長させた。得られた積層体に対して熱処理(熱アニーリング)(200〜800℃、5分ないし6時間)を施した。得られたFeCoAl合金層について磁気特性を評価した。
図12は、これらの合金薄膜試料について、一軸磁気異方性Ku1をAl組成(y)に対してプロットしたグラフである。なお一軸磁気異方性Ku1は式:
Ku1=(Ms・Hk)/2+2πMs 2
(式中、Hkは異方性磁界を表す。)
により算出した。一軸磁気異方性Ku1はアニーリング温度600℃、Al組成y=0.10のとき最大値1.7×107erg/cm3となった。
上記説明した製造方法S100により、FeCoAl合金系硬質磁性材料を製造した。酸化マグネシウム単結晶基板(10mm×10mm×厚さ1m、ケーアンドアール・クリエーション製)の(100)面に、スパッタリングによりロジウム層(厚さ20.0nm)をエピタキシャル成長させた。ロジウム層を成長させる間、MgO基板の温度は300℃に保持した。ロジウム層の成長を終えた後、MgO基板の温度を200℃に変更し、ロジウム層の表面に微細加工により円形のFeCoAl合金層((Fe0.5Co0.5)0.9Al0.1、厚さ2.0nm、直径30〜100nm)をエピタキシャル成長させた。FeCoAl合金層の成長を終えた後、MgO基板の温度を室温に変更し、FeCoAl合金層の表面に酸化防止層としてSiO2層(厚さ5.0nm)をスパッタリングにより成長させた。得られたFeCoAl合金層について磁気特性を評価した。
図16は、作製した円形の(Fe0.5Co0.5)0.9Al0.1合金薄膜試料(厚さ2.0nm、直径30nm/50nm/100nm)の磁化曲線である。試料群1で得られた連続膜の(Fe0.5Co0.5)0.9Al0.1合金薄膜試料(厚さ2.0nm)の磁化曲線を併せて示してある。図17は、作製した円形の(Fe0.5Co0.5)0.9Al0.1合金薄膜試料(厚さ2.0nm、直径30nm/50nm/100nm)の保磁力Hcをドット直径に対してプロットしたグラフである。直径100nm以下の試料で保磁力Hcが増大し、直径30nmの試料において3.5kOeを超える結果となった。保磁力Hcの理論値は、一軸磁気異方性Ku1及び飽和磁化Msから、式:
Hc=2Ku1/Ms
で算出される。該理論式により算出される保磁力の理論値は約10kOeであるから、これに近い値が実現されているといえる。これらの結果から、本発明のFeCoAl硬質磁性材料は、高い保磁力を発現できることが示された。
20 ロジウム層
30、230 FeCoAl合金層
40、240 酸化防止層
210 チタン酸ストロンチウム単結晶基板
Claims (8)
- 下記一般式(1)で表される組成を有する正方晶FeCoAl合金であって、
前記正方晶FeCoAl合金の正方晶歪c/aが1を超え1.3以下であり、
前記正方晶FeCoAl合金のB2規則度が0.25〜1である、
FeCoAl合金系硬質磁性材料。
(FexCo1−x)1−yAly (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.6を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数である。) - 前記正方晶歪c/aが1.01以上1.3以下である、
請求項1に記載のFeCoAl合金系硬質磁性材料。 - 請求項1又は2に記載のFeCoAl合金系硬質磁性材料からなる、
硬質磁性体膜。 - 請求項1又は2に記載のFeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子であって、粒径が100nm以下である粒子を含む、永久磁石。
- FeCoAl合金系硬質磁性材料の粒子であって、粒径が100nm以下である粒子を含む、永久磁石であって、
前記FeCoAl合金系硬質磁性材料は、下記一般式(1)で表される組成を有する正方晶FeCoAl合金であって、
前記正方晶FeCoAl合金の正方晶歪c/aが1を超え1.3以下である、
永久磁石。
(Fe x Co 1−x ) 1−y Al y (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.6を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数である。) - (a)酸化マグネシウム単結晶基板の表面に、ロジウム層をエピタキシャル成長させる工程と、
(b)前記ロジウム層の表面に、下記一般式(1)で表される組成を有するFeCoAl合金層をエピタキシャル成長させる工程と、
(c)前記FeCoAl合金層から、前記FeCoAl合金の粒子であって、粒径が100nm以下である粒子を得る工程と
を含む、FeCoAl合金系永久磁石の製造方法。
(FexCo1−x)1−yAly (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.6を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数である。) - (a)チタン酸ストロンチウム単結晶基板の表面に、下記一般式(1)で表される組成を有するFeCoAl合金層をエピタキシャル成長させる工程と、
(b)前記チタン酸ストロンチウム基板および前記FeCoAl合金層を含む積層体を熱処理する工程と
を含み、
前記熱処理後の前記FeCoAl合金層のB2規則度が0.25以上である、
FeCoAl合金系硬質磁性材料の製造方法。
(FexCo1−x)1−yAly (1)
(一般式(1)中、xは0.4≦x≦0.6を満たす実数であり;yは0<y≦0.15を満たす実数である。) - (c)前記工程(a)の後かつ前記工程(b)の前に、前記FeCoAl合金層の表面に酸化防止層を形成する工程
をさらに含む、請求項7に記載のFeCoAl合金系硬質磁性材料の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016044907A JP6734578B2 (ja) | 2016-03-08 | 2016-03-08 | 硬質磁性材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016044907A JP6734578B2 (ja) | 2016-03-08 | 2016-03-08 | 硬質磁性材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017162934A JP2017162934A (ja) | 2017-09-14 |
JP6734578B2 true JP6734578B2 (ja) | 2020-08-05 |
Family
ID=59857355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016044907A Active JP6734578B2 (ja) | 2016-03-08 | 2016-03-08 | 硬質磁性材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6734578B2 (ja) |
-
2016
- 2016-03-08 JP JP2016044907A patent/JP6734578B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017162934A (ja) | 2017-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Huang et al. | Engineering bulk, layered, multicomponent nanostructures with high energy density | |
JP4988713B2 (ja) | 薄膜希土類磁石及びその製造方法 | |
Li et al. | Grain interface modification and magnetic properties of Nd–Fe–B sintered magnets | |
Niarchos et al. | Toward rare-earth-free permanent magnets: a combinatorial approach exploiting the possibilities of modeling, shape anisotropy in elongated nanoparticles, and combinatorial thin-film approach | |
Kumar et al. | Effect of annealing temperature and preparation condition on magnetic anisotropy in nanocrystalline cobalt ferrite | |
JP2012246174A (ja) | 窒化鉄材の製造方法及び窒化鉄材 | |
Jimenez-Villacorta et al. | Advanced permanent magnetic materials | |
JP5936688B2 (ja) | 永久磁石材料 | |
Sellmyer et al. | Novel structures and physics of nanomagnets | |
Wang et al. | Magnetostriction, soft magnetism, and microwave properties in Co-Fe-C alloy films | |
Gabay et al. | Application of mechanochemical synthesis to manufacturing of permanent magnets | |
US11250976B2 (en) | Rare earth thin film magnet, process for producing same, and target for forming rare earth thin film magnet | |
JP6618298B2 (ja) | 超高周波強磁性薄膜とその製造方法 | |
WO2002015206A1 (fr) | Aimant permanent en terre rare et son procede de fabrication | |
JP6923185B2 (ja) | 硬質磁性材料 | |
JP6734578B2 (ja) | 硬質磁性材料 | |
JP3392444B2 (ja) | 磁性人工格子膜 | |
JPWO2006109615A1 (ja) | 積層型永久磁石 | |
KR101308105B1 (ko) | 수직자화 박막 구조체 및 그 제조 방법 | |
JP6398911B2 (ja) | 永久磁石およびその製造方法 | |
Fukunaga et al. | Magnetic Properties of ${{\hbox {Sm}}\hbox {-}{\hbox {Co}}/\alpha\hbox {-}{\hbox {Fe}}} $ Nanocomposite Thick Film-Magnets at Room and High Temperatures | |
JP5390996B2 (ja) | 希土類高配向磁性薄膜とその製造方法、磁器部材および希土類永久磁石 | |
JP2019038715A (ja) | 積層体、および薄膜の製造方法 | |
JP2010109184A (ja) | Fe/FePdナノコンポジット磁石の製造方法 | |
Peng et al. | High-frequency magnetic characteristics of Fe-Co-based nanocrystalline alloy films |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20160405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160405 |
|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20160406 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190306 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20190306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20190306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20190308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191105 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20191226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200602 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200624 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6734578 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |