JP2012094927A - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カセットケース21内に、複数の半導体ウエハWが所定間隔を隔てて収容されている。紫外線照射ユニット12は、光源31の光を導入して面発光可能な複数の導光部材33を備えている。紫外線照射ユニット12は、移動手段13を介してカセットケース21と離間接近可能であり、カセットケース21側に接近したときに、複数の導光部材33が半導体ウエハWの被照射面にそれぞれ対向するように配置され、各半導体ウエハWに対して同時に紫外線照射を行うようになっている。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、複数の処理対象物に対して、同時に光を照射して反応させることのできる高能率型の紫外線照射装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、複数の処理対象物を光照射の対象としたときに、処理対象物の形状や存否に対応して光照射を制御することのできる紫外線照射装置を提供することにある。
また、被照射面に光を照射する導光部材を採用した構成では、複数の処理対象物間に導光部材を位置させて光照射を行うことが可能となる。従って、複数の処理対象物に、一括して光照射を行うことができ、この点からも光照射の効率向上を図ることができる。
更に、発光ダイオードを採用した場合には、省電力化が達成できる他、照射領域の可変設定により、無駄な電力消費が回避可能となる。
また、光照射手段を検知手段の検知結果に基づいて照射体の発光と未発光とを制御する構成では、一部の処理対象物が過大に光照射されてしまうような不都合を未然に防止することができるうえ、発光ダイオードを採用した場合の消費電力を抑制することができる。
更に、整列手段を含む構成とすれば、処理対象物を適性位置に保って光照射ができ、部分的な照射漏れを回避できる。
また、ケース内に不活性ガスが供給可能であれば、例えば、紫外線硬化型の接着シートを採用した場合、酸素阻害による接着剤の硬化不良を防止することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 収容手段
12、60 紫外線照射ユニット(光照射手段)
13 移動手段
15 検知手段
17 整列手段
18 ケース
20 開口部
31 光源
33 導光部材(照射体)
35 シャッター(発光制御手段)
65 発光ダイオード(照射体)
S 接着シート(処理対象物)
W 半導体ウエハ(処理対象物)
Claims (7)
- 光反応型の接着シートが貼付されるとともに、相互に所定間隔を隔てて支持された複数の処理対象物のシート貼付面側を被照射面として光を照射する光照射装置において、
前記被照射面に光を照射する複数の照射体を有する光照射手段と、前記複数の処理対象物と光照射手段とを離間接近方向に相対移動可能に設けられた移動手段とを含み、
前記複数の照射体は、移動手段を介して前記複数の処理対象物の被照射面にそれぞれ対向配置可能に設けられ、これら複数の被照射面に対して同時に光照射可能に設けられていることを特徴とする光照射装置。 - 前記光照射手段は光源を有し、前記照射体は、光源から発光された光を前記被照射面に照射するための導光部材を含み、当該導光部材が前記処理対象物間に位置可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の光照射装置。
- 前記照射体は、前記被照射面に平行な面内であって、前記相対移動方向に直交する方向に配置された単数又は複数の発光ダイオードにより構成されていることを特徴とする請求項1記載の光照射装置。
- 前記発光ダイオードは、前記処理対象物の形状に対応した領域のみに光照射することを特徴する請求項3記載の光照射装置。
- 前記処理対象物の有無を検知する検知手段を含み、前記光照射手段は、検知手段の検知結果に基づいて照射体の発光と未発光とを制御する発光制御手段を含むことを特徴とする請求項1ないし4記載の光照射装置。
- 前記処理対象物を整列させる整列手段を更に含むことを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載の光照射装置。
- 前記複数の処理対象物及び光照射手段は、密閉可能なケース内に配置され、当該ケースに不活性ガスが供給可能に設けられていることを特徴とする請求項1ないし6の何れかに記載の光照射装置。
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