JP4934112B2 - 光照射装置 - Google Patents
光照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4934112B2 JP4934112B2 JP2008180421A JP2008180421A JP4934112B2 JP 4934112 B2 JP4934112 B2 JP 4934112B2 JP 2008180421 A JP2008180421 A JP 2008180421A JP 2008180421 A JP2008180421 A JP 2008180421A JP 4934112 B2 JP4934112 B2 JP 4934112B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light irradiation
- irradiation
- irradiated surface
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、複数の処理対象物に対して、同時に光を照射して反応させることのできる高能率型の紫外線照射装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、複数の処理対象物を光照射の対象としたときに、処理対象物の形状や存否に対応して光照射を制御することのできる紫外線照射装置を提供することにある。
また、被照射面に光を照射する導光部材を採用した構成では、複数の処理対象物間に導光部材を位置させて光照射を行うことが可能となる。従って、収容手段が処理対象物を多段に収容する構成であるときに、一括して光照射を行うことができ、この点からも光照射の効率向上を図ることができる。
更に、発光ダイオードを採用した場合には、省電力化が達成できる他、照射領域の可変設定により、無駄な電力消費が回避可能となる。
また、光照射手段を検知手段の検知結果に基づいて照射体の発光と未発光とを制御する構成では、一部の処理対象物が過大に光照射されてしまうような不都合を未然に防止することができるうえ、発光ダイオードを採用した場合の消費電力を抑制することができる。
更に、整列手段を含む構成とすれば、処理対象物を適性位置に保って光照射ができ、部分的な照射漏れを回避できる。
また、収容手段等を密閉可能なケース内に配置し、不活性ガスが供給可能であれば、例えば、紫外線硬化型の接着シートを採用した場合、酸素阻害による接着剤の硬化不良を防止することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 収容手段
12、60 紫外線照射ユニット(光照射手段)
13 移動手段
15 検知手段
17 整列手段
18 ケース
20 開口部
31 光源
33 導光部材(照射体)
35 シャッター(発光制御手段)
65 発光ダイオード(照射体)
S 接着シート(処理対象物)
W 半導体ウエハ(処理対象物)
Claims (7)
- 光反応型の接着シートが貼付された処理対象物のシート貼付面側を被照射面として光を照射する光照射装置において、
開口部を備え、複数の処理対象物を相互に所定間隔を隔てて収容可能な収容手段と、前記被照射面に光を照射する複数の照射体を有する光照射手段と、前記収容手段と光照射手段とを離間接近方向に相対移動させる移動手段とを含み、
前記照射体は、移動手段を介して前記開口部を通じて被照射面に対向するように配置され、前記複数の処理対象物の被照射面に対して同時に光照射することを特徴とする光照射装置。 - 前記光照射手段は光源を有し、前記照射体は、光源から発光された光を前記被照射面に照射するための導光部材を含み、当該導光部材が前記処理対象物間に位置可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の光照射装置。
- 前記照射体は、前記被照射面に平行な面内であって、前記相対移動方向に直交する方向に配置された単数又は複数の発光ダイオードにより構成され、相対移動中に複数の被照射面を同時に光照射することを特徴とする請求項1記載の光照射装置。
- 前記発光ダイオードは、前記処理対象物の形状に対応した領域のみに光照射することを特徴する請求項3記載の光照射装置。
- 前記収容手段内の処理対象物の有無を検知する検知手段を含み、前記光照射手段は、検知手段の検知結果に基づいて照射体の発光と未発光とを制御する発光制御手段を含むことを特徴とする請求項1ないし4記載の光照射装置。
- 前記処理対象物を整列させる整列手段を更に含むことを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載の光照射装置。
- 前記収容手段、光照射手段及び移動手段は密閉可能なケース内に配置され、当該ケースに不活性ガスが供給可能に設けられていることを特徴とする請求項1ないし6の何れかに記載の光照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008180421A JP4934112B2 (ja) | 2008-07-10 | 2008-07-10 | 光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008180421A JP4934112B2 (ja) | 2008-07-10 | 2008-07-10 | 光照射装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012032263A Division JP5234866B2 (ja) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | 光照射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010021358A JP2010021358A (ja) | 2010-01-28 |
JP4934112B2 true JP4934112B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=41705963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008180421A Expired - Fee Related JP4934112B2 (ja) | 2008-07-10 | 2008-07-10 | 光照射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4934112B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09148238A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Nippon Steel Corp | 半導体製造装置 |
JP4279738B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2009-06-17 | リンテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
JP4841939B2 (ja) * | 2005-11-22 | 2011-12-21 | 株式会社ディスコ | 半導体ウェハの加工装置 |
-
2008
- 2008-07-10 JP JP2008180421A patent/JP4934112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010021358A (ja) | 2010-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4841939B2 (ja) | 半導体ウェハの加工装置 | |
TW200807537A (en) | Ultraviolet ray irradiation apparatus and cutter including the same | |
US8222620B2 (en) | Light irradiation apparatus and light irradiation method | |
TW200933720A (en) | Ultraviolet irradiation method and device using the same | |
JPWO2008142975A1 (ja) | ダイシング装置およびダイシング方法 | |
KR100849589B1 (ko) | 절삭장치 | |
JP5234866B2 (ja) | 光照射装置 | |
JP4934112B2 (ja) | 光照射装置 | |
TWI659275B (zh) | 曝光裝置、基板處理裝置、曝光方法、及基板處理方法 | |
JP2017188548A (ja) | 加工装置 | |
JP5324130B2 (ja) | 光照射装置 | |
JP5728265B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
TWI649642B (zh) | 曝光裝置、基板處理裝置、基板曝光方法以及基板處理方法 | |
JP6957108B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5554034B2 (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP2010171075A (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP6205446B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP5847571B2 (ja) | 光照射装置 | |
JP2020194839A (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP7438630B2 (ja) | 搬送車 | |
JP5554033B2 (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP2023170500A (ja) | 電磁波照射装置および電磁波照射方法 | |
JP2009152386A (ja) | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 | |
JP5681546B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP5965133B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110407 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120214 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4934112 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |