JP5847571B2 - 光照射装置 - Google Patents
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Description
搬送口から不活性ガスを漏らさないために、搬送口にシャッターを設けることが考えられるが、装置が大きくなってしまったり、制御が煩雑になってしまう。
また、不活性ガスの連続供給は、経済的にも無駄を伴うものとなり、コスト的負担が重くなる。
本発明は、照射室内に供給される一定量のガス供給で、照射室内をガス雰囲気に保ち、期待する光反応を得ることができ、経済性にも優れた光照射装置を提供することにある。
前記被照射体の出し入れを可能とする開口を備えたチャンバと、当該チャンバ内にガスを供給するとともに、前記開口の面と平行な面内にガスを吹き出して当該開口を遮断するようにガスを吹き出す吹出手段を有する供給手段と、前記チャンバ内に位置して被照射体に光を照射する発光手段とを備え、
前記チャンバ内のガスを前記吹出手段に環流させる循環手段を備え、当該循環手段は、前記チャンバ内の空気を外部に排出するとともに、チャンバ内の空気を外部に排出した後にチャンバ内のガスを吸引しつつ還流させ、前記供給手段は、前記チャンバ内にガスを供給するものを備え、当該チャンバ内にガスを供給するものは、前記循環手段がチャンバ内の空気を外部に排出してからチャンバ内のガスを吸引しつつ還流させる状態になったとき、駆動を停止する、という構成を採っている。
また、チャンバ内に供給された不活性ガスが循環手段を介して吹出手段に環流するように構成されているため、常時不活性ガスを供給するのに比べて不活性ガスの消費を抑制することができる。
更に、吸引手段を設けることで、吹出手段から吹き出すガスが吸引手段に向かう流れを形成することができ、開口を遮断する作用の確実性を担保することが可能となる。
また、吹出手段のガス吹出方向を前記相対移動方向に直交し、被照射体の表面と平行な方向とする構成により、被照射体が開口を横切るときでも、ガスカーテンの形成状態を維持することができる。
なお、ノズル42から不活性ガスを吹き出す方向は、被照射体WKと発光手段16との相対移動方向に直交する方向であって、被照射面WK1と平行な方向となるため、保持手段13が左右方向に移動してガスカーテンを被照射体WKが横切っても、ノズル42からの面的なガスの流れが阻害されることはなく、安定したガスカーテンを維持することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
また、分岐管34Bを設けずに、ノズル42のみから不活性ガスをチャンバ12内に供給するようにしてもよい。
更に、酸素濃度計を用いてチャンバ12内に不活性ガスを充満させる場合に限らず、タイマーを用いて一定時間後にポンプ32の駆動を停止させてもよいし、不活性ガス濃度計であってもよい。
更に、被照射体WKは、リングフレームFRを含むものに限定されず、半導体ウエハWFに半導体ウエハWFと同形状のダイシングテープDTや保護シート等の接着シートが貼付されたものでもよい。
また、吹出手段17は、チャンバ12の外側に設けられていてもよい。
酸素濃度計や不活性ガス濃度計の検知結果を基に、チャンバ12内の酸素濃度が上昇した場合や、不活性ガス濃度が低下した場合に、ポンプ32を駆動し、主管34Aや分岐管34Bから不活性ガスを追加供給するようにしてもよい。
11 開口
12 チャンバ
15 供給手段
16 発光手段
17 吹出手段
18 吸引手段
19 循環手段
42 ノズル
SP 照射室
WK 被照射体
Claims (3)
- 被照射体の被照射面に光を照射する光照射装置において、
前記被照射体の出し入れを可能とする開口を備えたチャンバと、当該チャンバ内にガスを供給するとともに、前記開口の面と平行な面内にガスを吹き出して当該開口を遮断するようにガスを吹き出す吹出手段を有する供給手段と、前記チャンバ内に位置して被照射体に光を照射する発光手段とを備え、
前記チャンバ内のガスを前記吹出手段に環流させる循環手段を備え、当該循環手段は、前記チャンバ内の空気を外部に排出するとともに、チャンバ内の空気を外部に排出した後にチャンバ内のガスを吸引しつつ還流させ、前記供給手段は、前記チャンバ内にガスを供給するものを備え、当該チャンバ内にガスを供給するものは、前記循環手段がチャンバ内の空気を外部に排出してからチャンバ内のガスを吸引しつつ還流させる状態になったとき、駆動を停止することを特徴とする光照射装置。 - 前記吹出手段から吹き出すガスを吸引する吸引手段を更に備えていることを特徴とする請求項1記載の光照射装置。
- 前記被照射体と前記発光手段は相対移動可能に設けられ、前記吹出手段は、前記相対移動方向に直交し、被照射面と平行な方向からガスを吹き出すことを特徴とする請求項1又は2記載の光照射装置。
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