JP2012192313A - 光照射装置および光照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置1は、被照射体に対向可能に設けられ、当該被照射体に光を照射する発光手段4と、被照射体と発光手段4とを相対移動させる移動手段3と、移動手段3により相対移動される被照射体に所定の気体を吹き付ける吹付手段5とを備え、移動手段3により被照射体と発光手段4とを相対移動させつつ、被照射体の被照射領域に吹付手段5により気体を吹き付けながら、発光手段4により当該被照射領域に光を照射する。
【選択図】図1
Description
また、本発明の光照射装置において、前記吹付手段は、前記被照射体に吹き付ける気体を冷却または加熱する温度調節手段を備えていることが好ましい。
また、本発明において、被照射体に吹き付ける気体を冷却または加熱するように構成すれば、被照射体を反応に適した温度にすることができるので、被照射体をさらに効率よく反応させることができる。
なお、第2実施形態以降において、次の第1実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第1実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
また、各実施形態における明示のない例えば、上、下、左、右、または、手前、奥という方向を示す表現は、全て各実施形態を示した図を基準に用いられている。
図1に示すように、本実施形態の光照射装置1は、ウェハWの上側に位置する回路面に貼付された保護テープPTに光を照射するものである。ここで、ウェハWは、回路面とは反対側の面に貼付されたダイシングテープDTを介してリングフレームRFと一体化されている。保護テープPTは、基材シートBS1の一方の面に紫外線硬化型の被照射体としての接着剤層AD1が積層された構成を有し、当該接着剤層AD1を介してウェハWに貼付されている。ダイシングテープDTは、基材シートBS2の一方の面に紫外線硬化型の接着剤層AD2が積層された構成を有し、当該接着剤層AD2を介してウェハWに貼付されている。
また、温度調節手段55として、気体を加熱可能なものにはコイルヒータや赤外線ヒータ等が例示でき、気体を冷却可能なものにはフロンやペルチェ素子を備えた冷却装置が例示できる。
先ず、光照射装置1は、単軸ロボット3によりウェハWが搬送されてきたことを図示しないセンサで検知すると、発光ユニット42に対して電力を供給するとともに、開閉弁54を開いてチャンバ51内への気体の供給を開始する。気体供給装置53から供給された気体は、チャンバ51内を通過することで発光手段4を冷却した後、噴出口51Aから噴出する。そして、光照射装置1は、ウェハWを吸着保持したテーブル2を左方向へ移動させることで、チャンバ51の噴出口51Aから保護テープPTに気体を吹き付けつつ、保護テープPTに紫外線光を含む光を照射して、保護テープPTの接着剤層AD1を硬化させる。
そして、保護テープPTの接着剤層AD1の硬化が終了すると、ウェハWは、図示しない搬送装置によって次工程に搬送され、ウェハWの回路面から保護テープPTが剥離された後、ダイシング等の所定処理が施される。
すなわち、光照射装置1は、保護テープPTと発光手段4とを相対移動させつつ、保護テープPTの接着剤層AD1における被照射領域に所定の気体を吹き付けながら、発光手段4により当該被照射領域に光を照射するため、保護テープPTが貼付されたウェハWを筐体内に一旦収容したり、保護テープPT全体を覆ったりする必要がない。このため、単位時間あたりの処理能力を高くすることができるとともに、光照射装置1全体の構成を簡素化することができる。従って、接着剤層AD1を簡易な構成で効率よく反応させることができる。
次に、本発明の第2実施形態を図2に基づいて説明する。
本実施形態の光照射装置1は、ダイシングテープDTの接着剤層AD2が被照射体である点と、吹付手段5の構成とが前記第1実施形態と相違する。
次に、本発明の第3実施形態を図3に基づいて説明する。
本実施形態の光照射装置1は、発光手段4をチャンバ51により包囲していない点で前記第1および第2実施形態と相違する。
3 単軸ロボット(移動手段)
4 発光手段
5 吹付手段
7 搬送ロボット(移動手段)
51 チャンバ(包囲手段)
55 温度調節手段
56 第1チャンバ(包囲手段)
AD1,AD2 接着剤層(被照射体)
Claims (4)
- 光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置であって、
前記被照射体に対向可能に設けられ、当該被照射体に光を照射する発光手段と、
前記被照射体と前記発光手段とを相対移動させる移動手段と、
前記移動手段により相対移動される被照射体に所定の気体を吹き付ける吹付手段とを備え、
前記移動手段により前記被照射体と前記発光手段とを相対移動させつつ、被照射体の被照射領域に前記吹付手段により気体を吹き付けながら、前記発光手段により当該被照射領域に光を照射することを特徴とする光照射装置。 - 前記吹付手段は、前記発光手段を包囲可能な包囲手段を備え、当該包囲手段を介して前記被照射体に気体を吹き付け可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。
- 前記吹付手段は、前記被照射体に吹き付ける気体を冷却または加熱する温度調節手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光照射装置。
- 光に反応する被照射体に光を照射する光照射方法であって、
被照射体と発光手段とを相対移動させつつ、被照射体の被照射領域に所定の気体を吹き付けながら、当該被照射領域に光を照射することを特徴とする光照射方法。
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