JP2012089736A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n+型バッファ層2表面にアライメントマーク3形成と全面リンイオン注入4と選択的ボロンイオン注入5する第1工程、ノンドープエピ層6の積層と全面リンイオン注入4とノンドープエピ層6表面の転写アライメントーク3を検出してパターン合わせして選択的ボロンイオン注入5する第2工程を有し、該第2工程を複数回繰り返して並列pn層7を形成する半導体装置の製造方法において、複数回繰り返される前記第2工程のうち少なくとも一回は、ノンドープエピ層6の積層後に、引き続きエピ成長槽内で前記ノンドープエピ層6表面をエッチングして、前記転写されたアライメントマーク3の底辺部の幅を広げるプロセスを追加する。
【選択図】 図1
Description
(比較実験例)
図3は幅3μm、段差(深さ)1.0μmの矩形凹部状の当初のアライメントマーク(図3(a))に、厚さ7μmエピタキシャル層(図示せず)を5回積層させ、5層の各エピタキシャル層表面に転写されたアライメントマークのうち、4層分(図3(b)〜(e))の断面図である。このアライメントマーク(図3(b)〜(e))を露出装置が検出するかどうかの評価を行った。露光装置のアライメントマークに対する検出限界段差は0.25μmである。エピタキシャル成長条件は、温度1100℃、シリコン原料ガスとしてDCS(ジクロロシラン)を用い、エピタキシャル成長ごとに、厚さ7μmのエピタキシャル層を形成させた。
エピタキシャル成長による累積の膜厚は、3〜5層目でのエッチングにより、35μmから33.5μmへ減少した。しかし、設計から要求された膜厚は、35±1.75μmであり、この要求を満足することはできた。
2 n+バッファ層
3 アライメントマーク
4 リンイオン注入
5 ボロンイオン注入
6 ノンドープエピタキシャル層
7 並列pn層
8 フィールド酸化膜
10 ガードリング
13 pベース領域
14 ソース領域
15 ゲート絶縁膜
16 ゲート電極
17 ソース電極
100 素子活性部
200 周縁耐圧構造部
Claims (3)
- 第1導電型半導体基板表面に第1導電型エピタキシャル層を成長させた後、アライメントマークを凹部状に形成し、第1導電型不純物の全面イオン注入と第2導電型不純物の選択的イオン注入を行う第1工程、エピタキシャル成長槽内でノンドープエピタキシャル層を積層し、第1導電型不純物の全面イオン注入と、前記ノンドープエピタキシャル層表面に転写されたアライメントークの凹部状段差を検出してフォトリソグラフィによりパターン合わせを行い第2導電型不純物の選択的イオン注入を行う第2工程と、該第2工程を複数回繰り返して、前記基板主面に垂直方向の柱状または層状のpn半導体層が、前記基板主面に平行方向に交互に繰り返し隣接して並ぶ構成の並列pn層を形成する方法を含む半導体装置の製造方法において、複数回繰り返し行われる前記第2工程のうち少なくとも一回は、ノンドープエピタキシャル層の積層後に、引き続きエピタキシャル成長槽内で、前記ノンドープエピタキシャル層表面をエッチングして、前記転写されたアライメントマークの底辺部の幅を広げるプロセスを追加することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記第1導電型半導体基板が表面に第1導電型エピタキシャル層を備え、該第1導電型エピタキシャル層表面に前記アライメントマークが形成されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記転写されたアライメントマークの底辺部の幅を広げるエッチングがHClガスエッチングであることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
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