JP2012084691A - 成膜装置と成膜装置用の支持台 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜時にウエハ70が載置される支持台であって、載置部材40と可動部材30を備えている。載置部材40は、ウエハ70が載置されるときに、ウエハ70の裏面の外周部を支持する第1支持面44を備えている。可動部材30は、ウエハ70を搬送するときに、ウエハ70の裏面の外周部を支持する第2支持面34を備えている。第2支持面34は、第1支持面44の内周端44aよりも外周側に位置している。可動部材30は、上部位置と下部位置との間を移動可能である。第1支持面44に支持されたウエハ70を平面視したときに、可動部材30全体がウエハ70と重なる範囲内に位置する。
【選択図】図3
Description
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:チャンバ
14:排気管
16:シャワーヘッド
18:原料ガス供給管
20:ウエハステージ
22:サセプタ
24:サセプタ支持部材
30:内側サセプタ
32:凸部
34:ウエハ支持面
40:外側サセプタ
42:外周壁
44:ウエハ支持面
46:内側サセプタ支持面
48:貫通孔
52:ヒータ
54:リフトピン
70:半導体ウエハ
90:ロボットハンド
Claims (4)
- ウエハの表面に膜を成長させる際にウエハが載置される支持台であって、
ウエハが載置される載置部材と、ウエハを搬送する可動部材を備えており、
載置部材は、ウエハが載置されるときに、ウエハの裏面の外周部と接触してウエハを支持する第1支持面を備えており、
可動部材は、ウエハを搬送するときに、ウエハの裏面の外周部と接触してウエハを支持する第2支持面を備えており、
第2支持面は、第1支持面の内周端よりも外周側に位置しており、
可動部材は、第2支持面が第1支持面より上側に位置する上部位置と第2支持面が第1支持面と同じ高さまたは第1支持面より下側に位置する下部位置との間を移動可能であり、
第1支持面に支持されたウエハを平面視したときに、可動部材全体がウエハと重なる範囲内に位置する、
ことを特徴とする支持台。 - 可動部材には、第1支持面よりも内周側の領域全体に、ウエハが第1支持面に支持されたときにウエハの裏面に対して間隔を空けた位置でウエハの裏面に対して平行に伸びる面が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の支持台。
- 第2支持面が、内周側ほど下側に変位する傾斜面であることを特徴とする請求項1または2に記載の支持台。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の支持台と、ウエハを搬送する搬送手段を備えた成膜装置であって、
搬送手段は、ウエハを搬送するときに、ウエハの裏面の外周部と接触してウエハを支持する第3支持面を備えており、
搬送手段は、可動部材が上部位置にあるときに、第2支持面と第3支持面とが干渉しない態様で、可動部材との間でウエハを受け渡すことを特徴とする成膜装置。
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