JP2012080597A - 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒、及び撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータ(1)は、第1の方向に沿って厚みすべり振動をする第1圧電素子(6)と、第1圧電素子(6)により駆動され、第1の方向に沿って振動する第1部材(3b)と、第1部材(3b)に支持され、第2の方向に沿って厚みすべり振動をする第2圧電素子(7)と、第2圧電素子(7)により駆動され、第2の方向に沿って振動する第2部材(3a)と、第2部材(3a)によって駆動される被駆動体(4)と第2部材(3a)との間に圧力を生成する加圧部(8)とを備える。加圧部(8)は、被駆動体(4)と第2部材(3a)との間の圧力を、被駆動体(4)の駆動状態に応じて変更する第3圧電素子(81)を備える。
【選択図】図1
Description
<第1の実施形態>
本実施形態の圧電アクチュエータは、ベース部に対してロータを相対的に変位させる相対駆動を行い、ロータによってカメラ(撮像装置)のレンズ鏡筒等の光学機器や電子機器を駆動する。
図1は、本実施形態における圧電アクチュエータ1を示す概略構成図である。
図1に示すように、圧電アクチュエータ1は、ベース部2、駆動駒3、ロータ4、支持軸5、第1圧電素子6、第2圧電素子7、加圧部8、及び加圧制御部20を備えている。
基部3bは、周方向に交差する一対の側面がやや傾斜したほぼ直方体形状を有している。基部3bは例えば軽金属合金等により形成され、導電性を有している。基部3bは保持部2aによって支持軸5と平行な方向(第1の方向)に駆動可能に支持されている。また、基部3bは、第1圧電素子6により駆動され、第1の方向に沿って振動する。
先端部3aは、断面が山形の六角柱形状を有している。先端部3aは例えばステンレス鋼等により形成され、導電性を有している。先端部3aは、基部3bとロータ4との間に配置され、保持部2aから突出してロータ4を支持している。また、先端部3aは、第2圧電素子7により駆動され、各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向(第2の方向)に沿って振動する。
支持軸5は、中心線がロータ4の回転軸と一致するように配置された丸棒状の部材である。支持軸5は、一方の端部が丸棒状の直径が大きく、加圧部8を固定している。また、支持軸5は、他方の端部が取付部40に固定されている。支持軸5は、ベース部2とロータ4を貫通している。支持軸5は、ロータ4の回転方向Rに沿って配置された複数の駆動駒3の中心に配置されている。
ここで、第1圧電素子6の厚み方向を、各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向、すなわち各駆動駒3の中心を通る中心円の接線方向とする。
なお、第1圧電素子6には、後述する電源部10(図3)から電圧が供給される。
ここで、第2圧電素子7の厚み方向を、支持軸5の軸方向に平行な方向とする。
なお、第2圧電素子7には、後述する電源部10(図3)から電圧が供給(印加)される。
ゴム部材82は、第3圧電素子81とロータ4との間に配置されている。ゴム部材82は、ロータ4における支持軸5と平行な方向の振動を減衰する減衰ゴムとして機能する。
電圧供給部21は、制御部22から供給される制御信号に基づいて、第3圧電素子81に印加する電圧を変更して、第3圧電素子81に供給(印加)する。
制御部22は、電圧供給部21に制御信号を供給して、第3圧電素子81に印加する電圧を制御する。
図2は、本実施形態における圧電アクチュエータ1の加圧制御部20を示す概略ブロック図である。
この図において、加圧制御部20は、生成した電圧を出力端子AとBとの間の電位差として出力して、信号線を介して第3圧電素子81に供給する。
電圧供給部21は、直流電源部211、スイッチ部212、及び電圧変更部213を備えている。
スイッチ部212は、一端が直流電源部211の陽極端子に、他端が電圧変更部213にそれぞれ接続されている。また、スイッチ部212は、制御部22から供給される制御信号に基づいて、直流電源部211の陽極端子と電圧変更部213との間の導通状態又は非導通状態を切り替える。すなわち、スイッチ部212は、制御部22から供給される制御信号に基づいて、第3圧電素子81に電圧を供給(印加)している状態と供給(印加)していない状態とを切り替える。
電圧変更部213は、例えば、可変抵抗などを含み、直流電源部211が生成した直流電圧を抵抗分圧により変更した電圧を電圧供給部21の出力端子Aに出力する。スイッチ部212は、制御部22から供給される制御信号に基づいて、出力する電圧を変更する。
図3は、本実施形態における圧電アクチュエータ1の駆動回路を示す回路図である。
図3(a)及び図3(b)に示すように、圧電アクチュエータ1は、第1圧電素子6及び第2圧電素子7の各々に電圧を供給する電源部10を備えている。
電源部10は、第1端子T1から第4端子T4を備えている。第1端子T1から第4端子T4は、それぞれ所定の周波数のサイン波状の電圧を供給する。また、電源部10は、第1端子T1及び第2端子T2の各端子間、並びに、第3端子T3及び第4端子T4の各端子間で、所定の位相差を有する同一波形のサイン波状の電圧を供給する。
まず、圧電アクチュエータ1において駆動駒3によりロータ4を回転させる動作について説明する。
このとき、第2圧電素子71は、電源部10の第3端子T3によって供給されたサイン波状の電圧により、ロータ4の回転方向Rの後方側への逆方向の変形を開始する。第1組の駆動駒31の先端部31aは、ロータ4から離れた状態で、第2圧電素子71の逆方向の変形により、ロータ4の回転方向Rの後方側へ向けて移動する。
図4は、本実施形態における加圧部の動作の一例を示す図である。
この図では、時刻t1において、ロータ4の駆動が開始され、時刻t4において、ロータ4の駆動が停止される例が示されている。
図4(b)は、ロータ4の摺動面における圧力(ロータ4と先端部3aとの間の圧力)を示している。波形202は、ロータ4が停止中である際にロータ4をフリーホイール状態にする場合において、第3圧電素子81によって変更される上述の圧力Nを示す波形である。また、波形203は、ロータ4が停止中である際にロータ4をロック状態にする場合における上述の圧力Nを示す波形である。
ここで、フリーホイール状態とは、ロータ4が上述の第2の方向に自由に動作可能な状態である。すなわち、フリーホイール状態とは、ロータ4と先端部3aとの間に生じる摩擦力が0になっている状態である。また、ロック状態とは、ロータ4と先端部3aとの間に生じる摩擦力によって、ロータ4が固定された状態である。
図4(c)は、ロータ4の回転速度rpm(rotation per minute)を示している(波形204)。
この場合、制御部22は、制御信号を介して電圧変更部213に電圧を所定の電圧に下げる変更をさせる。これにより、直流電源部211によって生成された電圧が、電圧変更部213によって所定の電圧に変更(低下)されて第3圧電素子81に供給される。つまり、加圧制御部20の電圧供給部21は、第3圧電素子81に印加する電圧を変更(低下)する。第3圧電素子81は、電圧供給部21より変更された電圧によって、支持軸5と平行な方向の厚さが縮小し、ロータ4の摺動面における圧力Nの値をN2に変更する。すなわち、第3圧電素子81は、ロータ4の回転速度が速い駆動状態である場合に、回転速度が遅い状態である場合よりロータ4の摺動面における圧力Nを下げる。また、第3圧電素子81は、ロータ4の回転速度が最高速度である場合に、ロータ4の駆動を開始する場合よりロータ4の摺動面における圧力Nを下げる。したがって、加圧部8は、ロータ4と先端部3aとの間の圧力Nの値をN1からN2に下げる。
これにより、直流電源部211によって生成された電圧が、電圧変更部213によって所定の電圧に変更されて第3圧電素子81に供給される。つまり、加圧制御部20の電圧供給部21は、第3圧電素子81に印加する電圧を高く変更する。第3圧電素子81は、電圧供給部21より変更された電圧によって、支持軸5と平行な方向の厚さが拡大し、ロータ4の摺動面における圧力Nの値をN1に変更する。すなわち、第3圧電素子81は、ロータ4の駆動を停止する場合に、ロータ4の回転速度が最高速度である場合よりロータ4の摺動面における圧力Nを上げる。したがって、加圧部8は、ロータ4と先端部3aとの間の圧力Nの値をN2からN1に上げる。
図5は、本実施形態における圧電アクチュエータ1の各状態と、特許文献1に記載されている従来の圧電アクチュエータとの比較を示す表である。この表において、各状態は、第3圧電素子81の状態(応力の有無)、ロータ4の摺動面の加圧の有無、及び第3圧電素子81に電圧印加の有無を示している。また、各状態には、それぞれ、ロータ4が停止中である場合と駆動中である場合の2つの場合が示されている。
また、本実施形態において、加圧部8は、第3圧電素子81と共にロータ4と先端部3aとの間の圧力を生成する不図示のバネ部材(弾性部材)を含んでもよい。
また、状態(b)では、ロータ4を駆動する場合には、バネ部材による与圧があるため、電圧供給部21は、第3圧電素子81に電圧を印加しなくてもよいし、電圧(負電圧)を印加してもよい。電圧供給部21が電圧(負電圧)を印加する場合には、圧電アクチュエータ1は、ロータ4の駆動状態に応じて、ロータ4と先端部3aとの間の圧力を下げることができる。これにより、圧電アクチュエータ1は、従来よりも、ロータ4を効率よく回転させることができる。
また、状態(c)では、ロータ4を駆動する場合には、第3圧電素子81は、電圧供給部21から電圧が印加される。これにより、圧電アクチュエータ1は、ロータ4の駆動状態に応じて、ロータ4と先端部3aとの間の圧力を変更することができる。そのため、圧電アクチュエータ1は、従来よりも、ロータ4を効率よく回転させることができる。
また、状態(d)では、ロータ4を駆動する場合には、第3圧電素子81は、電圧供給部21から電圧が印加される。これにより、圧電アクチュエータ1は、ロータ4の駆動状態に応じて、ロータ4と先端部3aとの間の圧力を変更することができる。そのため、圧電アクチュエータ1は、従来よりも、ロータ4を効率よく回転させることができる。
図6は、本実施形態における加圧部の動作の別の一例を示す図である。
この図では、図4と同様に時刻t1において、ロータ4の駆動が開始され、時刻t4において、ロータ4の駆動が停止される例が示されている。この図において、(b)の波形202aが、図4(b)と異なる点を除いて、他は図4(b)と同様である。ここでは、図6(b)における波形202aについて説明する。
まず、時刻t1から時刻t2までの期間において、加圧部8は、波形202aが示すようにロータ4の回転速度に応じて、ロータ4の摺動面における圧力Nを下げる。この場合、制御部22は、制御信号を介して電圧変更部213にロータ4の回転速度に応じて電圧を下げる変更をさせる。これにより、直流電源部211によって生成された電圧が、電圧変更部213によって電圧に変更(低下)されて第3圧電素子81に供給される。つまり、加圧制御部20の電圧供給部21は、第3圧電素子81に印加する電圧をロータ4の回転速度に応じて変更する。第3圧電素子81は、電圧供給部21より変更(低下)された電圧によって、支持軸5と平行な方向の厚さが縮小し、ロータ4の摺動面における圧力Nの値をロータ4の回転速度に応じてN1からN2に変更する。
次に、本実施形態の圧電アクチュエータ1における別の一形態について説明する。本実施形態における圧電アクチュエータ1は、第3圧電素子81に交流電圧を印加し、ロータ4と先端部3aとの間の圧力を検出する。圧電アクチュエータ1は、検出した圧力に基づいて、ロータ4と先端部3aとの間の圧力にフィードバック制御を行う。そのため、本実施形態において、圧電アクチュエータ1は、図2における加圧制御部20と加圧制御部の構成が異なる。なお、圧電アクチュエータ1の基本的な構成は、図1及び図3における第1の実施形態と同様である。
図7は、本実施形態における圧電アクチュエータ1の加圧制御部20aを示す概略ブロック図である。この図において、図2と同じ構成には同一の符号を付す。
この図において、加圧制御部20aは、電圧供給部21a及び制御部22aを備えている。加圧制御部20aは、生成した電圧を出力端子AとBとの間の電位差として駆動信号を出力して、信号線を介して第3圧電素子81に供給する。
重畳回路部215は、オペアンプ(演算増幅回路)などにより構成される加算回路である。重畳回路部215は、電圧変更部213から供給された直流電圧に、交流信号生成部214が生成した交流信号を重畳して、駆動信号を生成する。重畳回路部215は、生成した駆動信号を電圧供給部21aの出力端子Aに出力する。
FB信号検出部231は、コイル231から供給された交流信号に基づいて、ロータ4と先端部3aとの間の圧力の変化を検出して、検出結果を制御部22aに供給する。
なお、第3圧電素子81は、電圧を印加することにより、支持軸5と平行な方向の厚さが拡大すると共に、ロータ4と先端部3aとの間の圧力によって、起電力を生じる。検出部23は、コイル231とFB信号検出部231とを介して、この第3圧電素子81に生じた起電力による電流変化を検出し、検出した電流変化に基づいて、ロータ4と先端部3aとの間の圧力を検出する。
まず、本実施形態の圧電アクチュエータ1において駆動駒3によりロータ4を回転させる動作は、第1の実施形態と同様である。また、本実施形態の圧電アクチュエータ1における加圧部8の動作は、図4から図6に示される第1の実施形態と同様である。ここでは、本実施形態の加圧制御部20aによるフィードバック制御について説明する。
さらに、検出部23は、第3圧電素子81において、ロータ4と先端部3aとの間の圧力によって生じた起電力に基づいて、ロータ4と先端部3aとの間に生じる圧力を検出する。これにより、ロータ4と先端部3aとの間に生じる圧力を検出するセンサを設ける必要がない。したがって、本実施形態における圧電アクチュエータ1は、部品数の増加を抑えつつ、ロータ4と先端部3aとの間の圧力を精度よく制御することができる。
図8は、本実施形態における圧電アクチュエータ1の加圧制御部20bを示す概略ブロック図である。この図において、図7と同じ構成には同一の符号を付す。
この図において、加圧制御部20bは、電圧供給部21b及び制御部22aを備えている。加圧制御部20bは、生成した電圧を出力端子AとBとの間の電位差として駆動信号を出力して、信号線を介して第3圧電素子81に供給する。
重畳回路部215aは、例えば、コンデンサなどにより構成されるACカップリング回路である。重畳回路部215aは、電圧変更部213から供給された直流電圧に、交流信号生成部214が生成した交流信号を重畳して、駆動信号を生成する。重畳回路部215aは、生成した駆動信号を電圧供給部21aの出力端子Aに出力する。
さらに、本実施形態の圧電アクチュエータ1における別の一形態について説明する。本実施形態における圧電アクチュエータ1は、第1圧電素子6と第2圧電素子7とを駆動する制御サイクルの中において、ロータ4と先端部3aとの間の圧力を制御する。なお、本実施形態における圧電アクチュエータ1の構成は、第2の実施形態と同様である。本実施形態における圧電アクチュエータ1において、加圧部8の動作が第2の実施形態と異なる。すなわち、制御部22aの動作が第2の実施形態と異なる。
図9は、本実施形態における加圧部8の動作の別の一例を示す図である。
図9(a)は、第1組の駆動駒31(先端部31a)におけるY方向の変位を示している(波形205)。図9(b)は、第2組の駆動駒32(先端部32a)におけるY方向の変位を示している(波形206)。ここで、Y方向とは、支持軸5と平行な方向(第1の方向)である。
また、図9(c)は、第1組の駆動駒31(先端部31a)におけるX1方向の変位を示している(波形207)。図9(d)は、第2組の駆動駒32(先端部32a)におけるX2方向の変位を示している(波形208)。ここで、X1方向及びX2方向とは、各駆動駒3の中心におけるロータ4の回転円の接線方向(第2の方向)である。
また、図9(e)は、ロータ4の摺動面における圧力(ロータ4と先端部3aとの間の圧力)Nを示している(波形209)。
具体的には、時刻t5から時刻t8までの期間において、第1組の駆動駒31(先端部31a)は、ロータ4に接触し、X1軸方向の変位速度が最大になる。この期間内の時刻t6から時刻t7までの期間において、加圧部8は、ロータ4の摺動面における圧力Nを高める変更を行う。
時刻t13から時刻t14までの期間においても、時刻t6から時刻t7までの期間と同様に、加圧部8は、ロータ4の摺動面における圧力Nを高める。
時刻t15から時刻t16までの期間においても、時刻t10から時刻t11までの期間と同様に、加圧部8は、ロータ4の摺動面における圧力Nを高める。
図10に示すように、カメラ101(撮像装置)は、撮像素子108が内蔵されたカメラボディ102と、レンズ107を有するレンズ鏡筒103とを備えている。
本実施形態では、レンズ鏡筒103は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。
上記の各実施形態において、第1圧電素子6及び第2圧電素子7は、厚みすべり変形ではなく、厚み方向に変形してもよい。この場合、厚みすべり変形をする圧電素子を用いた場合と同様の効果を得ることができる。
また、上記の各実施形態において、第3圧電素子81は、積層型の圧電素子を用いる形態でもよい。積層型の圧電素子は、電圧を印加することによる厚さの変化を大きくすることができる。そのため、積層型の圧電素子を用いる場合、加圧部8は、第3圧電素子81による圧力の変更範囲を大きくすることができる。また、第1圧電素子6、第2圧電素子7、及び第3圧電素子81は、ジルコン酸チタン酸塩を含む材料である形態を説明したが、ジルコン酸チタン酸塩を含まない他の材料を用いる形態でもよい。
また、ロータ4を停止中にロック状態にする場合に、機械的にクランプしてロックするメカクランプ部を設ける形態でもよい。メカクランプ部は、例えば、支持軸5と同軸において、ノック式のボールペンのような機構を軸に持ち、ロータ4を停止中に機械的にロックする形態でもよい。また、メカクランプ部は、ソレノイドや外部からの押し当てによってロックする形態でもよい。
また、上記第2の実施形態において、オペアンプを用いた加算回路又はACカップリングによって、直流電圧と交流信号を重畳する形態を説明したが、他の方法を用いて重畳する形態でもよい。
Claims (12)
- 第1の方向に沿って厚みすべり振動をする第1圧電素子と、
前記第1圧電素子により駆動され、前記第1の方向に沿って振動する第1部材と、
前記第1部材に支持され、第2の方向に沿って厚みすべり振動をする第2圧電素子と、前記第2圧電素子により駆動され、前記第2の方向に沿って振動する第2部材と、
前記第2部材によって駆動される被駆動体と前記第2部材との間に圧力を生成する加圧部と
を備え、
前記加圧部は、
前記圧力を、前記被駆動体の駆動状態に応じて変更する第3圧電素子を備える
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第3圧電素子は、
前記駆動状態が、駆動されている前記被駆動体の速度が速い状態である場合に、前記速度が遅い状態である場合より前記圧力を下げる
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第3圧電素子は、
前記被駆動体の速度が最高速度である場合に、前記被駆動体の駆動を開始する又は停止する場合より前記圧力を下げる
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第3圧電素子は、
前記第2部材が前記第2の方向に沿って振動する際において、前記第2部材の速度が最大となる期間、且つ、前記被駆動体と前記第2部材が接触する期間に、前記被駆動体と前記第2部材が接触しない期間より前記圧力を高くする
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第3圧電素子は、
前記被駆動体が前記第2の方向に自由に動作可能な状態にされる場合に、前記被駆動体と前記第2部材との間に生じる摩擦力が0になるように、前記圧力を変更する
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記圧電アクチュエータは、
前記第3圧電素子に印加する電圧を変更して、前記圧力を制御する制御部を備える
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記圧電アクチュエータは、
直流電圧に交流信号を重畳させた駆動信号を前記第3圧電素子に供給する電圧供給部と、
前記圧力を検出する検出部と
を備え、
前記制御部は、
前記検出部によって検出された圧力に基づいて、前記電圧供給部に対して前記駆動信号を変更させる
ことを特徴とする請求項6に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記検出部は、
前記第3圧電素子において、前記圧力によって生じた起電力に基づいて、前記圧力を検出する
ことを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記加圧部は、
前記第3圧電素子と共に前記圧力を生成する弾性部材を含む
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第3圧電素子は、積層型の圧電素子である
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータを備えることを特徴とするレンズ鏡筒。
- 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータを備えることを特徴とする撮像装置。
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JP2018074723A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置およびプリンター |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01145168A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-07 | Nec Corp | 紙送り機構 |
JPH0287981A (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-28 | Marcon Electron Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JPH04331482A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-19 | Canon Inc | 振動子の組立方法、振動型モータ及び振動型モータを備えた装置 |
JPH05203772A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-10 | Olympus Optical Co Ltd | 回転駆動装置 |
JPH09271183A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータ |
JP2000324863A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-24 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの駆動方法 |
JP2003289682A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Kyocera Corp | 超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置 |
JP2006187097A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Alps Electric Co Ltd | アクチュエータ |
JP2010172128A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Nikon Corp | アクチュエータ駆動装置、レンズ鏡筒および撮像装置 |
Family Cites Families (4)
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---|---|---|---|---|
US6570298B2 (en) * | 2000-05-09 | 2003-05-27 | Tokkyokiki Co., Ltd. | Vibration control device and driving method thereof |
US6967432B2 (en) * | 2001-12-04 | 2005-11-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric shear resonator, composite piezoelectric shear resonator, and piezoelectric resonator component |
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KR101022938B1 (ko) * | 2009-11-10 | 2011-03-16 | 삼성전기주식회사 | 카메라모듈의 손떨림 보정기구 |
-
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01145168A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-07 | Nec Corp | 紙送り機構 |
JPH0287981A (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-28 | Marcon Electron Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JPH04331482A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-19 | Canon Inc | 振動子の組立方法、振動型モータ及び振動型モータを備えた装置 |
JPH05203772A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-10 | Olympus Optical Co Ltd | 回転駆動装置 |
JPH09271183A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータ |
JP2000324863A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-24 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの駆動方法 |
JP2003289682A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Kyocera Corp | 超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置 |
JP2006187097A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Alps Electric Co Ltd | アクチュエータ |
JP2010172128A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Nikon Corp | アクチュエータ駆動装置、レンズ鏡筒および撮像装置 |
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