JPH0287981A - 圧電アクチュエータ - Google Patents

圧電アクチュエータ

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Publication number
JPH0287981A
JPH0287981A JP63238605A JP23860588A JPH0287981A JP H0287981 A JPH0287981 A JP H0287981A JP 63238605 A JP63238605 A JP 63238605A JP 23860588 A JP23860588 A JP 23860588A JP H0287981 A JPH0287981 A JP H0287981A
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JP
Japan
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piezoelectric
piezoelectric element
drive member
fixed
secured
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Application number
JP63238605A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Endo
晃 遠藤
Nobutoshi Sasaki
佐々木　信俊
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Marcon Electronics Co Ltd
Original Assignee
Marcon Electronics Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、圧電素子の振動を利用した圧電アクチュエー
タに関する。
（従来の技術） 圧電素子を用いた圧電アクチュエータ（超音波Ｆ−夕な
どとも呼ばれている）の研究・開発が行われているが、
その原理。＋、＋４−Ｙユち様々である。例えば、特開
昭６１−１８５０８１号公報でｔ、ｔ、第４図に示づよ
うむ駆動猪首が承されており、第１の圧電素子１１はベ
ース１２ど第１の保持体１３に固定され、第２の圧電索
子１４は前記第１の保持体１３と第２の保持体１５ト：
固定され、この第２の保持体１５ｊｋ二は駆動端部材１
６が設けられており、移動体１７が前記駆ｖＪ端部材１
６に接して＋１３つ、各圧電素子１１゜１４を駆動する
ことにより移動体１７が送られる。
このような圧電アクチュ」ニータでは、移動体の移動方
向に変位するＩｉ：’、”ａ素子の固定と圧゛電索子の
強度などを確保するために、第５図に示すようにボルト
締結やワイヤ引張りなどの押付力付与手段によりその欠
点をカバーしているが、圧電素子の効率は低下し、猪首
も大形となり、部品点数も増えるなどの問題点を有して
いだ。
（発明が解決しようどする課題） この発明は、機械的強度に優れ、安定で出ツノ効率の高
い圧電アクチュエータを提供するものである。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明になる圧電アクチユエータは、第１の圧電素子
の一端面をベースに固着し、その他端面を連結体に固着
し、連結体の第１の圧電素子を固着した面の′反対面に
第２の圧゛宅索子を固着し、この第２の圧電素子の連結
体と固着した反対面をベースに固着して、これら第１の
圧電素子と第２の圧電素子とは直角の関係となるように
第３の圧電素子を連結体に固着したもので、第１の圧電
素子と第２の圧電素子とが互いに逆の動ぎを行い移動体
を移動させるものである。
（作用） この発明になる圧電アクチュエータは、第１の圧電素子
と第２の圧電素子とが互いに逆の動きをするために、内
部応力が生じず、機械的強度の大ぎな、安定で高効率な
ものである。
（実施例） 第１図は本発明の実施例を示ず圧電アクチュエータの側
面図で、第１の圧電素子１と第２の圧電素子２は連結体
５をはさんで互いに一直線上に連結体５とベース４に固
着され、第３の圧電索子３は第１の圧電素子１及び第２
の圧電素子２とは直角の関係となるように前記連結体５
にその一端面を固着される。この第３の圧電素子３の他
端面には、超硬合金からなる駆動部材６が固着され、こ
の駆動部材６に移動体７が加圧接触されでいる。各圧電
素子１，２．３を駆ＷＪすることにより駆動部材６は斜
め、楕円１円などの軌跡を描きながら振動するために、
移りＪ体７は駆動部材６上を移動する。
このような駆動部材６の振動軌跡の様子を次に説明する
。第２図は第１の圧電素子１にＶ＋−Ｖ＋）Ｓｌｎωｔ
、第２の圧電索子２にＶ２　＝　−Ｖｏ　Ｓｉｎ　ωｔ
　、第３の圧電素子３にＶ、＋　＝Ｖｏ　ｓｉｎωｔを
印加したときの駆動部材６の動きを示したもので、８の
ような斜め方向の１騒動軌跡となる。第３図は第１の圧
電索子１にＶ　＋　□＝　ＶＯＳ！ｎ　Ｑ）　ｉ　、第
２の圧電素子２にＶ２　＝　−Ｖｇ　ｓｉｎωｔ、第３
の圧電索子３に、＝Ｖ、ｃｏｓωｔを印加したときの駆
動部材６の動きを示したもので、９のような円の振動軌
跡となる。第３図においては、第１の圧電索子１と第３
の圧電素子３との印加りδ圧の位相差を９０°としたが
、それ以外でもよく、例えば４５°では駆動部材６は楕
円軌跡を描く。このような種々の動きを行う駆動部材６
に移動体７を加圧接触させることにより移動体７は移動
する。
このように、第１の圧電素子と第２の圧電索子とを互い
に逆の動きを行わせることにより、第１の圧電素子と第
２の圧電素子との長さが一定となるために、圧ｍ１子へ
のストレス、ベースへのストレスなどがなくなるために
、長寿命で高効率なものとなる。
第１の圧電素子と第２の圧電素子とを互いに逆の動きを
行わせる方法としては、前述のように逆の信）Ｊを加え
てもよく、あらかじめ分極方向を逆にして同じ信号を加
えてもよい。
また、第１の圧電素子と第２の圧電素子を固着するベー
スは各圧電素子ごとに段【プ、それらベースをボルトな
どで連結し一体化しＣ乙よく、第２のベースに各ベース
を固定してｂよい。さらに、連結体の第３の圧電素子を
固着した反対の面はベースに連結されていてもよい。
［発明の効果］ この発明になる圧電アクチュエータは、圧電素子に生ず
る変位が互いに逆となるために、圧電索子自体にも、ま
たこれら圧電素子を保持するベースにもストレスが発生
せず、機械的寿命が極めて長く安定で、しかも発生力、
変位のロスがなく高効率なものとなる特長を右するもの
である。
【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図は本発明の実施例を示ずもので、第１図
は圧電アクチユエータの側面図、第２図及び第３図は第
１図の圧電アクチュエータの駆動部材の振動軌跡をそれ
ぞれ示す説明図、第４図及び第５図は従来の圧電アクチ
ュエータをそれぞれ示す側面図である。 １・・・第１の圧電集子　　２・・・第２の圧電素子３
・・・第３の圧電索子　　４・・・ペース５・・・連結
体　　　　　　６・・・駆動部材７・・・移動体 特　　許　　出　　願　　人 マルコン電子株式会社 駆動部材の撮動軌跡を示す説明図 第　　２　　図 駆動部材の振動軌跡を示す説明図 第　　３　　図 圧電アクチュエータの側面図 第　　１　　図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）一端面をベースに、他端面を連結体に固着した第
    １の圧電素子と、この第１の圧電素子を固着した連結体
    の反対面に一端面を固着し、他端面をベースに固着した
    第２の圧電素子と、この第１及び第２の圧電素子と直角
    の関係になるように連結体に固着した第３の圧電素子と
    、この第３の圧電素子の他端面に直接、又は駆動部材を
    介して加圧接触させた移動体とを具備した圧電アクチュ
    エータ。
JP63238605A 1988-09-21 1988-09-21 圧電アクチュエータ Pending JPH0287981A (ja)

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Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010113505A1 (ja) * 2009-03-31 2010-10-07 株式会社ニコン 圧電アクチュエータ及びレンズ鏡筒
JP2010237352A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Nikon Corp 駆動装置及びレンズ鏡筒
JP2010239733A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Nikon Corp 駆動装置及びレンズ鏡筒
WO2010143438A1 (ja) * 2009-06-10 2010-12-16 株式会社ニコン 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2010283938A (ja) * 2009-06-03 2010-12-16 Nikon Corp 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラ
JP2010288355A (ja) * 2009-06-10 2010-12-24 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2011004508A (ja) * 2009-06-18 2011-01-06 Nikon Corp 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動アクチュエータの製造方法
JP2011004512A (ja) * 2009-06-18 2011-01-06 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2011010419A (ja) * 2009-06-24 2011-01-13 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2011041335A (ja) * 2009-08-06 2011-02-24 Nikon Corp 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2011101560A (ja) * 2009-11-09 2011-05-19 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2012080611A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Nikon Corp 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2012080606A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2012078399A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2012080597A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Nikon Corp 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒、及び撮像装置

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015008631A (ja) * 2009-03-31 2015-01-15 株式会社ニコン 圧電アクチュエータ及びレンズ鏡筒
CN102365815A (zh) * 2009-03-31 2012-02-29 株式会社尼康 压电致动器以及透镜镜筒
JP2010239733A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Nikon Corp 駆動装置及びレンズ鏡筒
US8693116B2 (en) 2009-03-31 2014-04-08 Nikon Corporation Piezoelectric actuator and lens barrel
US9154053B2 (en) 2009-03-31 2015-10-06 Nikon Corporation Piezoelectric actuator and lens barrel
CN103973158A (zh) * 2009-03-31 2014-08-06 株式会社尼康 压电致动器以及透镜镜筒
JP2010237352A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Nikon Corp 駆動装置及びレンズ鏡筒
WO2010113505A1 (ja) * 2009-03-31 2010-10-07 株式会社ニコン 圧電アクチュエータ及びレンズ鏡筒
JP5633508B2 (ja) * 2009-03-31 2014-12-03 株式会社ニコン 圧電アクチュエータ及びレンズ鏡筒
JP2010283938A (ja) * 2009-06-03 2010-12-16 Nikon Corp 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラ
US8981620B2 (en) 2009-06-10 2015-03-17 Nikon Corporation Driving mechanism, lens barrel, and camera
CN102460937A (zh) * 2009-06-10 2012-05-16 株式会社尼康 驱动装置、镜头镜筒以及相机
JP2010288355A (ja) * 2009-06-10 2010-12-24 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
WO2010143438A1 (ja) * 2009-06-10 2010-12-16 株式会社ニコン 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2011004508A (ja) * 2009-06-18 2011-01-06 Nikon Corp 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動アクチュエータの製造方法
JP2011004512A (ja) * 2009-06-18 2011-01-06 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2011010419A (ja) * 2009-06-24 2011-01-13 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2011041335A (ja) * 2009-08-06 2011-02-24 Nikon Corp 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2011101560A (ja) * 2009-11-09 2011-05-19 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2012080597A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Nikon Corp 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒、及び撮像装置
CN102447416A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 株式会社尼康 压电促动器、透镜镜筒及照相机
CN102447417A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 株式会社尼康 驱动装置、透镜镜筒及照相机
JP2012078399A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2012080606A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Nikon Corp 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
JP2012080611A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Nikon Corp 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ

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