JPH02119577A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH02119577A JPH02119577A JP63271409A JP27140988A JPH02119577A JP H02119577 A JPH02119577 A JP H02119577A JP 63271409 A JP63271409 A JP 63271409A JP 27140988 A JP27140988 A JP 27140988A JP H02119577 A JPH02119577 A JP H02119577A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- piezoelectric
- fixed
- base
- piezoelectric elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、圧電素子の振動を利用した圧電アクチュエ
ータに関する。
ータに関する。
（従来の技術）
圧電素子を用いた圧電アクチュエータ（超音波モータな
どとも呼ばれている）の研究開発が行われているが、そ
の原理、構造も様々である。
どとも呼ばれている）の研究開発が行われているが、そ
の原理、構造も様々である。
例えば、特開昭６１−１８５０８１号公報では、第３図
に示ずＪ：うな駆動装置が示されており、第１の圧電素
子１１はベー・ス１２と第１の保持体１３に固定され、
第２の圧電索子１４は前記第１の保持体１３と第２の保
持体１５に固定され、この第２の保持体１５には駆動端
部材１６が設けられており、移動体１７が前記駆動端部
材１６に接しており、圧電素子１１．圧電索子１４を駆
動することにより移動体１７が直線的に移動する。
に示ずＪ：うな駆動装置が示されており、第１の圧電素
子１１はベー・ス１２と第１の保持体１３に固定され、
第２の圧電索子１４は前記第１の保持体１３と第２の保
持体１５に固定され、この第２の保持体１５には駆動端
部材１６が設けられており、移動体１７が前記駆動端部
材１６に接しており、圧電素子１１．圧電索子１４を駆
動することにより移動体１７が直線的に移動する。
このような圧電アクチュエータでは、移動体１７の移動
方向に変位する圧電素子の固定と圧電素子へのストレス
緩和のために、第４図に示すようにボルト締結やワイヤ
引張りなどの押付力付与手段により、それらの欠点をカ
バーしているが、圧電素子の効率は低下し、装置も人形
となり、部品点数も増え１ｍなものとなっていた。
方向に変位する圧電素子の固定と圧電素子へのストレス
緩和のために、第４図に示すようにボルト締結やワイヤ
引張りなどの押付力付与手段により、それらの欠点をカ
バーしているが、圧電素子の効率は低下し、装置も人形
となり、部品点数も増え１ｍなものとなっていた。
更に、直線的な動きしかできないために、多様するニー
ズに応えることもできなかった。
ズに応えることもできなかった。
（発咀が解決しようとする課題）
この発明は、機械的強度に優れ、安定で出力効率が高く
、移動方向が自在の圧電アクチュエータをＢｉ！供する
ものである。
、移動方向が自在の圧電アクチュエータをＢｉ！供する
ものである。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
この発明になる圧電アクチュエータは、第１の圧電素子
の一端面をベースに、その反対面を振動体に固定し、こ
の振動体の第１の圧電素子を固定した面と直角となるよ
うに、かつ一直線上に振動体の対向面に第２．第３の圧
電素子を固定し、この第２．第３の／Ｅｆ電素子の反対
而をベースに固定する。振動体の第１．第２．第３の圧
電素子を固定した面と直角になるように、かつ一直線上
に振動体の対向面に第４．第５の圧電素子を固定し、こ
の振動体に固定した第４゜第５の圧電素子の反対而をベ
ースに固定する。
の一端面をベースに、その反対面を振動体に固定し、こ
の振動体の第１の圧電素子を固定した面と直角となるよ
うに、かつ一直線上に振動体の対向面に第２．第３の圧
電素子を固定し、この第２．第３の／Ｅｆ電素子の反対
而をベースに固定する。振動体の第１．第２．第３の圧
電素子を固定した面と直角になるように、かつ一直線上
に振動体の対向面に第４．第５の圧電素子を固定し、こ
の振動体に固定した第４゜第５の圧電素子の反対而をベ
ースに固定する。
このような圧電素子の配置、固定状態にて第２の圧電素
子と第３の圧電素子及び／又は第４の圧電素子と第５の
圧電素子をそれぞれ互いに逆の動きを行わせ移動体を移
動させるものである。
子と第３の圧電素子及び／又は第４の圧電素子と第５の
圧電素子をそれぞれ互いに逆の動きを行わせ移動体を移
動させるものである。
（作 用）
この発明になる圧電アクチュエータは、第２の圧電素子
と第３の圧電素子及び第４の圧電素子と第５の圧電素子
とがそれぞれ互いに逆の動きをするために、内部応力が
生じず機械的強度の大きな安定で高効率なもので、更に
、動きが四方に自在なものである。
と第３の圧電素子及び第４の圧電素子と第５の圧電素子
とがそれぞれ互いに逆の動きをするために、内部応力が
生じず機械的強度の大きな安定で高効率なもので、更に
、動きが四方に自在なものである。
（実施例）
第１図は本発明の実施例を示す圧電アクチュエータの側
断面図で、第２図はその平面図である。第１の圧電索子
１はベース７と振動体６の間に固るし、第２の圧電素子
２及び第３の圧電素子３は振動体６をはさみ一直線上に
、かつ第１の圧電素子１とは直角の関係となるようにそ
れぞれベースに固着する。第４の圧電索子４及び第５の
圧電素子５は、第２の圧電素子２及び第３の圧電索子３
と同一面に振動体６をはさみ一直線Ｆに、かつ第１の圧
Ｍ索子１とは直角の関係となるようにそれぞれをベース
に固着する。
断面図で、第２図はその平面図である。第１の圧電索子
１はベース７と振動体６の間に固るし、第２の圧電素子
２及び第３の圧電素子３は振動体６をはさみ一直線上に
、かつ第１の圧電素子１とは直角の関係となるようにそ
れぞれベースに固着する。第４の圧電索子４及び第５の
圧電素子５は、第２の圧電素子２及び第３の圧電索子３
と同一面に振動体６をはさみ一直線Ｆに、かつ第１の圧
Ｍ索子１とは直角の関係となるようにそれぞれをベース
に固着する。
このようにして圧電アクチュエータの駆動部を構成する
。第２の圧電素子２と第３の圧電索子３及び第４の圧電
索子４と第５の圧電素子５はそれぞれ互いに逆の変位を
行うように駆動する。
。第２の圧電素子２と第３の圧電索子３及び第４の圧電
索子４と第５の圧電素子５はそれぞれ互いに逆の変位を
行うように駆動する。
このような構成では、撮勤体６の上に加圧接触させた移
動体８（２点鎖線で示した）は移動する。このとぎ、第
１の圧電素子１ど第２．第３の圧電素子２，３あるいは
第４．第５の圧電素子４．５を駆動すると移動体８は直
線的に動き、第１〜第５の圧電素子１．２．３．４．５
すべてを駆動させると移動体８は自由な方向に動ぎ、今
までは１ｒ９られなかった自在な動きを制御できる。
動体８（２点鎖線で示した）は移動する。このとぎ、第
１の圧電素子１ど第２．第３の圧電素子２，３あるいは
第４．第５の圧電素子４．５を駆動すると移動体８は直
線的に動き、第１〜第５の圧電素子１．２．３．４．５
すべてを駆動させると移動体８は自由な方向に動ぎ、今
までは１ｒ９られなかった自在な動きを制御できる。
このように、第２の圧電素子と第３の圧電素子及び第４
の圧電素子と第５の圧電素子とをそれぞれ互いに逆の動
きを行わせることにより、第２の圧電素子と第３の圧電
素子及び第４の圧電素子と第５の圧電素子の駆動時長さ
が一定となるために、素子へのストレス、ベースへのス
トレスなどがなく、長寿命で高効率なものとなる。
の圧電素子と第５の圧電素子とをそれぞれ互いに逆の動
きを行わせることにより、第２の圧電素子と第３の圧電
素子及び第４の圧電素子と第５の圧電素子の駆動時長さ
が一定となるために、素子へのストレス、ベースへのス
トレスなどがなく、長寿命で高効率なものとなる。
また、各圧電素子を固定するベースは各圧電素子ごとに
設け、それらベースをボルトなどで連結したり、接着し
て一体化してもよく、第２のベースに各ベースを固定し
てもよい。
設け、それらベースをボルトなどで連結したり、接着し
て一体化してもよく、第２のベースに各ベースを固定し
てもよい。
［発明の効果］
この発明になる圧電アクチュエータは、圧電素子に生ず
る振動変位が互いに逆となるために、圧電素子自体にも
、またこれら圧電素子を保持するベースにも応力が発生
せず、機械的寿命が極めて長く安定で、しかも変位９発
生力のロスが少ない高効率なものとなった。更に、今ま
でのような直線的な動きのみでなく、四方に自在に動か
すことができる。
る振動変位が互いに逆となるために、圧電素子自体にも
、またこれら圧電素子を保持するベースにも応力が発生
せず、機械的寿命が極めて長く安定で、しかも変位９発
生力のロスが少ない高効率なものとなった。更に、今ま
でのような直線的な動きのみでなく、四方に自在に動か
すことができる。
第１図及び第２図は本発明の実施例を示づもので、第１
図は圧電アクチュエータの側断面図、第２図は第１図の
圧電アクチュエータの平面図、第３図及び第４図は従来
の圧電アクチユエータをそれぞれ示す側面図である。 １・・・第１の圧電素子 ２・・・第２の圧電素子 ３・・・第３の圧電素子 ４・・・第４の圧電素子 ５・・・第５の圧電素子 ６・・・振動体 ７・・・ベース ８・・・移動体 特 許 出 願 人 マルコン電子株式会社 １第１の圧電素子
図は圧電アクチュエータの側断面図、第２図は第１図の
圧電アクチュエータの平面図、第３図及び第４図は従来
の圧電アクチユエータをそれぞれ示す側面図である。 １・・・第１の圧電素子 ２・・・第２の圧電素子 ３・・・第３の圧電素子 ４・・・第４の圧電素子 ５・・・第５の圧電素子 ６・・・振動体 ７・・・ベース ８・・・移動体 特 許 出 願 人 マルコン電子株式会社 １第１の圧電素子
Claims (1)
- （１）圧電素子を固定した振動体に移動体を加圧接触さ
せた圧電アクチュエータにおいて、ベースと振動体間に
両端面を固定した第１の圧電素子、該振動体の第１の圧
電素子を固定した面と直角面に、かつ一直線上に一端面
をそれぞれ固定し他端面をベースに固定した第２及び第
３の圧電素子、この第１，第２，第３の圧電素子とそれ
ぞれ直角の関係になるようにベースと振動体間に固定し
た第４及び第５の圧電素子を具備し、第２と第３の圧電
素子が互いに逆の動きを行うこと及び／又は第４及び第
５の圧電素子が互いに逆の動きを行うことを特徴とする
圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63271409A JPH02119577A (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63271409A JPH02119577A (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 圧電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02119577A true JPH02119577A (ja) | 1990-05-07 |
Family
ID=17499648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63271409A Pending JPH02119577A (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02119577A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5523643A (en) * | 1992-08-18 | 1996-06-04 | Olympus Optical Company Limited | Ultrasonic piezoelectric transducer and ultrasonic actuator |
| US5563465A (en) * | 1993-04-14 | 1996-10-08 | Hitachi, Ltd. | Actuator |
-
1988
- 1988-10-26 JP JP63271409A patent/JPH02119577A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5523643A (en) * | 1992-08-18 | 1996-06-04 | Olympus Optical Company Limited | Ultrasonic piezoelectric transducer and ultrasonic actuator |
| US5563465A (en) * | 1993-04-14 | 1996-10-08 | Hitachi, Ltd. | Actuator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2839543B2 (ja) | 変位発生装置 | |
| JPH0287981A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| KR930009211A (ko) | 초음파 모우터 | |
| JPH0532991B2 (ja) | ||
| JP4838463B2 (ja) | 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置 | |
| JPH02119577A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPH0636673B2 (ja) | 駆動装置 | |
| JPS61180583A (ja) | 圧電駆動機構 | |
| JPH0223070A (ja) | リニア型超音波モータ | |
| JP2694035B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JPH05122949A (ja) | リニア型アクチユエータ | |
| JP2717718B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JPH06106029B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0274177A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0260474A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPS63249480A (ja) | 超音波モ−タ− | |
| JPS6118371A (ja) | 圧電モ−タ | |
| JPH05122951A (ja) | 駆動機構 | |
| JP2526311Y2 (ja) | 圧電モータ | |
| JPH06276762A (ja) | 圧電リニアアクチュエータ | |
| JP2622286B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JPS63314182A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JPH02151282A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0365074A (ja) | 超音波モータ | |
| JPS63110968A (ja) | 超音波リニアモ−タ |