WO2010140619A1

WO2010140619A1 - 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ

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Publication number: WO2010140619A1
Application number: PCT/JP2010/059348
Authority: WO
Inventors: 佐藤　高広
Original assignee: 株式会社ニコン
Priority date: 2009-06-03
Filing date: 2010-06-02
Publication date: 2010-12-09
Also published as: US8908301B2; JP5541281B2; CN102460936A; JPWO2010140619A1; US20120147490A1; CN102460936B

Abstract

　限定されたスペースにも配置可能で且つ駆動性能の良好な振動アクチュエータ、それを備えるレンズ鏡筒及びカメラを提供する。　本発明の振動アクチュエータ１０は、第１の面１３ａを有し、電気信号により励振される圧電体１３と、前記第１の面１３ａに接合され前記励振によって振動波を生じる第２の面１２ｄを有する振動体１２と、前記第２の面１２ｄに加圧接触され、前記振動体１２に対して相対移動する移動体１５とを有し、前記圧電体１３の厚さが、前記移動体１５の相対移動方向に沿って異なっていること、を特徴とする。

Description

振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ

　本発明は、振動アクチュエータ、それを備えるレンズ鏡筒及びカメラに関する。

　振動アクチュエータは、圧電体の伸縮を利用して、弾性体の駆動面に進行性振動波を発生させるものであり、この進行波によって、駆動面には楕円運動が生じ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子は駆動される（特許文献１参照）。このような振動アクチュエータは、低回転でも高トルクを有するといった特徴がある。このため、駆動装置に搭載した場合に駆動装置のギアを省略することができ、ギア騒音を無くす、位置決め精度が向上できるといったような利点がある。

特公平１－１７３５４号公報

　近年のデジタルカメラまたはレンズ鏡筒のコンパクト化に伴い、振動アクチュエータを配置するスペースも限定されてきている。しかし、振動アクチュエータをスペースに合わせて全体的に小型化した場合、振動子の径が短くなるため、発生トルクが低下する傾向にある。

　本発明の課題は、限定されたスペースにも配置可能で且つ駆動性能の良好な振動アクチュエータ、それを備えるレンズ鏡筒及びカメラを提供することである。

　本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。

　請求項１に記載の発明は、第１の面を有し、電気信号により励振される圧電体と、前記第１の面に接合され前記励振によって振動波を生じる第２の面を有する振動体と、前記第２の面に加圧接触され、前記振動体に対して相対移動する移動体とを有し、前記圧電体の厚さが、前記移動体の相対移動方向に沿って異なっていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
　請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータであって、前記圧電体は、前記第１の面と反対側の第３の面に、前記相対移動方向に沿って分割されて形成された複数の電極部を有し、前記圧電体は、同一の電極部が形成されている領域では一定の厚さであること、を特徴とする振動アクチュエータである。
　請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記圧電体は、円形の開口が設けられた内周部と、楕円形状の外周部を有し、前記圧電体の厚さは、前記楕円形状の長径側の方が短径側より厚いこと、を特徴とする振動アクチュエータである。
　請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の振動アクチュエータであって、前記複数の電極部の前記内周部側の周方向の長さが、互いに等しいこと、を特徴とする振動アクチュエータである。
　請求項５に記載の発明は、請求項３または４に記載の振動アクチュエータであって、前記移動体の前記相対移動方向は、前記圧電体の前記内周部の周方向に沿った方向であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
　請求項６に記載の発明は、請求項３～５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記移動体は円環形状であり、前記第２の面の前記圧電体の前記内周部の周方向に沿った位置に接触されて設けられること、を特徴とする振動アクチュエータである。
　請求項７に記載の発明は、請求項１～５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記振動体の前記第２の面側は、櫛歯状となるように複数の溝が形成され、前記移動体の相対移動方向と交差する方向における前記溝の深さは、前記移動体の相対移動方向に沿って異なっていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
　請求項８に記載の発明は、請求項１から７のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒である。
　請求項９に記載の発明は、請求項１から７のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるカメラである。

　なお、上記説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。

　本発明によれば、限定されたスペースにも配置可能で且つ駆動性能の良好な振動アクチュエータ、それを備えるレンズ鏡筒及びカメラを提供することができる。

本発明の第１実施形態のカメラを説明する図である。カメラにおけるレンズ鏡筒内部を被写体側から見た図である。第１実施形態の超音波モータの断面図である。第１実施形態の振動子を示す図である。第１実施形態の圧電体を示す図である。第２実施形態の振動子を示す図である。第２実施形態における移動体の進行方向を横軸として、溝の深さを縦軸としたグラフである。変形形態の振動子を示す図である。

（第１実施形態）
　以下、図面等を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。なお、以下の実施形態は、振動アクチュエータとして、超音波モータを例に説明する。

　図１は、本発明の第１実施形態のカメラ１を説明する図である。図２はカメラ１におけるレンズ鏡筒３内部を被写体側から見た図である。カメラ１は、撮像素子８を有するカメラボディ２と、レンズ７を有するレンズ鏡筒３とを備えている。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。

　レンズ鏡筒３は、レンズ７、カム筒６、ギア４，５、超音波モータ１０、及びこれらを包囲する筐体９等を備えている。本実施形態では、超音波モータ１０は、図２に示すように、カム筒６と筐体９との間の円環状の隙間に配置されるものである。超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ７を駆動する駆動源として用いられる。超音波モータ１０から得られた駆動力は、ギア４，５を介してカム筒６に伝えられる。レンズ７は、カム筒６に保持されており、超音波モータ１０の駆動力により、光軸方向（図１中に示す、矢印Ｌ方向）に略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。

　図１において、レンズ鏡筒３内に設けられた不図示のレンズ群（レンズ７を含む）によって、撮像素子８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子８によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。

　図３は、第１実施形態の超音波モータ１０の断面図である。なお、理解を容易にするために、図３及び後述の図４～６には、ＸＹＺ直交座標系を設けた。出力軸１８の軸方向に平行な方向をＺ軸方向とし、Ｚ軸方向において移動子１５側に向かう方向をＺ軸プラス方向とした。そして、Ｚ軸プラス方向（移動子１５側）から見た振動子１１の外形の楕円形状の長径（長軸、図４参照）に平行な方向をＸ軸方向、短径（短軸、図４参照）に平行な方向をＹ軸方向とする。

　第１実施形態の超音波モータ１０は、振動子１１、移動子１５、出力軸１８、加圧部材１９等を備え、振動子１１側を固定とし、移動子１５を回転駆動する形態となっている。振動子１１は、弾性体１２と、弾性体１２に接合された圧電体１３とを有する中空形状の部材である。弾性体１２は、共振先鋭度が大きな金属材料によって形成された部材である。弾性体１２は、外形が略楕円形状である中空形状（図３（ａ）参照）であり、この弾性体１２は、櫛歯部１２ａ、ベース部１２ｂ、フランジ部１２ｃ等を有する。

　櫛歯部１２ａは、移動子１５と接触する側の面に、複数の溝３０（図４に図示）を切ることにより形成され、この櫛歯部１２ａの先端面は、移動子１５に加圧接触され、移動子１５を駆動する駆動面１２ｄとなる。この駆動面には、Ｎｉ－Ｐ（ニッケル－リン）メッキ等の潤滑性の表面処理が施されている。櫛歯部１２ａを設ける理由は、圧電体１３の伸縮により駆動面１２ｄに生じる進行波の中立面をできる限り圧電体１３側へ近づけ、これにより駆動面１２ｄの進行波の振幅を増幅させるためである。

　ベース部１２ｂは、弾性体１２の周方向に連続した部分であり、ベース部１２ｂの櫛歯部１２ａとは反対側の面１２ｅに、圧電体１３が接合されている。フランジ部１２ｃは、弾性体１２の内径方向に突出した鍔状の部分であり、ベース部１２ｂの厚さ方向の中央に配置されている。このフランジ部１２ｃにより、振動子１１は、固定部材１６に固定されている。

　圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電体である。なお、本実施形態では、圧電体１３として圧電素子を用いたが、電歪素子等を用いてもよい。この圧電体１３については後に詳述する。圧電体１３は、弾性体１２に接着剤を用いて接合されている。

　フレキシブルプリント基板１４は、その配線が圧電体１３の電極部に接続されている。フレキシブルプリント基板１４は、圧電体１３に駆動信号を供給する機能を有する。このフレキシブルプリント基板１４から供給される駆動信号によって、圧電体１３が伸縮することにより、弾性体１２を励振し、弾性体１２の駆動面に進行波が発生する。本実施形態では、４波の進行波が発生している。

　移動子１５は、弾性体１２の駆動面に生じる進行波によって回転駆動される部材である。移動子１５は、アルミニウム等の軽金属によって形成された略円盤形状の部材であり、振動子１１（弾性体１２の駆動面１２ｄ）に接触する接触面１５ａを有する。接触面１５ａは、略円環形状であり、接触面１５ａの表面には、耐磨耗性向上のためのアルマイト等の表面処理が施されている。出力軸１８は、略円柱形状の部材である。出力軸１８は、一方の端部がゴム部材２３を介して移動子１５に接しており、移動子１５と一体に回転するように設けられている。

　ゴム部材２３は、ゴムにより形成された略円環形状の部材である。このゴム部材２３は、ゴムによる粘弾性で移動子１５と出力軸１８とを一体に回転可能とする機能と、移動子１５からの振動を出力軸１８へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、ブチルゴム、シリコンゴム、プロピレンゴム等が用いられている。

　加圧部材１９は、振動子１１と移動子１５とを加圧接触させる加圧力を発生する部材である。この加圧部材１９は、ギア４とベアリング受け部材２１との間に設けられている。本実施形態では、加圧部材１９は、圧縮コイルバネを用いているが、これに限定されるものではない。

　ギア４は、出力軸１８のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅリング等のストッパ２２で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸１８と一体となるように設けられている。ギア４は、出力軸１８の回転とともに回転することにより、ギア５（図１参照）に駆動力を伝達する。

　また、ベアリング受け部材２１は、ベアリング１７の内径側に配置され、ベアリング１７は、固定部材１６の内径側に配置された構造となっている。加圧部材１９は、振動子１１を移動子１５側へ、出力軸１８の軸方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子１５は、振動子１１の駆動面に加圧接触し、回転駆動される。なお、加圧部材１９とベアリング受け部材２１との間には、加圧力調整ワッシャーを設けて、超音波モータ１０の駆動に適正な加圧力が得られるようにしてもよい。

　次に、本実施形態の振動子１１について詳述説明する。図４は、振動子１１を示す図である。図４（ａ）は、振動子１１を移動子１５側から見た図であり、図４（ｂ）は、ＸＺ平面に平行な矢印Ｓ１－Ｓ２断面での振動子１１の断面図であり、図４（ｃ）は、ＹＺ平面に平行な矢印Ｓ３－Ｓ４断面での振動子１１の断面図である。また、図４（ａ）中に破線で示される形状は、駆動面１２ｄに接する移動子１５の接触面１５ａの形状であり、接触面１５ａは、この破線で示された領域で駆動面１２ｄと接する。

　また、図５は、本実施形態の圧電体１３を示す図である。図５（ａ）は、圧電体１３の弾性体１２に対する接合面１３ａを弾性体１２側から見た図である。図５（ｂ）は、圧電体１３における接合面１３ａとは反対側の面１３ｂを、ギア部材２０側から見た図である。圧電体１３は、中央に開口１３ｄが設けられ、開口１３ｄ側の内周部１３ｒと、外周部１３Ｒとを有する略平板形状である。

　圧電体１３の接合面１３ａは、弾性体１２と接合される面である。図５（ａ）に示すように接合面１３ａには、略全面に電極部Ｄ１が形成されている。
　電極部Ｄ１は、無電解めっきを用いて形成される。本実施形態では、電極部Ｄ１は、無電解ニッケルリン（Ｎｉ－Ｐ）めっきの皮膜層である。

　図５（ｂ）に示すように、圧電体１３における接合面１３ａとは反対側の面１３ｂには、Ａ相、Ｂ相の電気信号が入力される電極部Ｄ２～Ｄ５、Ｄ６～Ｄ９と、グランドとなる電極部Ｄ１０とが周方向に所定の間隔をあけて形成されている。また、面１３ｂの内周端及び外周端及び電極部Ｄ２～Ｄ１０間は、圧電体１３の素地が露出した素地部１３ｃとなっている。
　電極部Ｄ２～Ｄ５、Ｄ６～Ｄ９は、それぞれ、Ａ相、Ｂ相の駆動信号を入力する電極部であり、各相において分極が交互となるように配置されている。電極部Ｄ１０は、Ａ相（電極部Ｄ２～Ｄ５）とＢ相（電極部Ｄ６～Ｄ９）との間となるように、電極部Ｄ２と電極部Ｄ６との間に形成されている。
　電極部Ｄ２～Ｄ１０は、本実施形態では、銀ペーストをスクリーン印刷によって塗布することにより形成されている。

　図４及び図５に示すように、本実施形態で振動子１１は、弾性体１２及び圧電体１３を含めて外形が楕円形状である。このように振動子１１の外形を楕円形状にしたのは以下の理由による。本実施形態の場合、図２に示すように、超音波モータ１０は、カム筒６と筐体９との間の円環状の隙間に配置されるものである。振動子１１が楕円形状でなく、外形が真円形の場合、その径の大きさはカム筒６と筐体９との間の幅に限定されるため、圧電体の静電容量も限定される。

　しかし圧電体は、楕円形にした場合、長径が大きくなるにつれて静電容量が大きくなる。それは、厚さや誘電率等の条件を一定とした場合に、圧電体の静電容量は、圧電体が分極された領域の面積に比例するため、圧電体の面積を広くすることにより、分極される領域を広くすることができるからである。つまり、圧電体と弾性体との接合面の面積が広くなれば、圧電体が分極される領域を広くとることができ、圧電体の静電容量を大きくできる。これにより、より大きな駆動力が得られるからである。

　このように、本実施形態によれば、振動子１１（圧電体１３）が楕円形状であるので、一方向（本実施形態ではＹ方向）に十分なスペースをとることができない、例えばカム筒６と筐体９との間の円環状の隙間のような場所に配置することができるとともに、そのスペースを利用して最大限大きなトルクを得ることができる。

　ここで、図５（ｂ）に示すように、楕円形の圧電体１３における接合面１３ａとは反対側の面１３ｂに形成された電極部Ｄ２～Ｄ９の電極の内周部１３ｒの周方向の幅ｌ（例えば電極部Ｄ８，Ｄ９ではｌ８，ｌ９）は、進行波の周期を一定にするために一定となっている。電極の内周部１３ｒの周方向の幅ｌを一定にすると、圧電体１３は楕円であるので、それぞれの電極部Ｄ２～Ｄ９の形状及び面積は異なってくる。

　本実施形態のような楕円形状の一部（略扇形）に直接適用することはできないが、例えば直方体の物体においては一般に以下の式が成り立つ。
　　　　ΔＬ＝ｄ_３１×Ｖ×Ｌ／ｔ　　　　　…式（１）
　ここで、Ｌ：長さ、ΔＬ：長さ方向の変位、Ｖ：印加電圧、ｄ_３１：圧電体のｄ常数、ｔ：厚さ、である。

　それぞれの電極部Ｄ２～Ｄ９における略中央の周方向の長さ（内周部１３ｒと外周部１３Ｒとの中間部）をＬとすると、楕円の長径ａ側か短径ｂ側かによってＬの長さは異なる。例えば、図５（ｂ）の電極部Ｄ８，Ｄ９においては、長径ａ側の電極部Ｄ８の周方向の長さＬ８は、短径ｂ側の電極部Ｄ９の長さＬ９より長くなる。このように、それぞれの電極部における周方向の長さＬが異なる場合、一定の電圧Ｖを印加しても、周方向の長さＬにおける伸びΔＬが異なってくる。

　圧電体１３の周方向の長さＬの伸びΔＬが異なると、弾性体１２で発生する進行波が移動子１５の相対移動方向θ（圧電体１３の内周部の周方向に沿った方向）で均等に発生しない。このため、弾性体１２の駆動面１２ｄにおいて発生する進行波の高さが一定にならない。そうすると、移動子１５は弾性体１２と進行波における波が高いところでしか接触しないことになり、接触が不安定になるとともに、駆動力も十分に伝わらない。

　ゆえに、圧電体１３が楕円形状の場合においても、周方向の長さＬの伸びΔＬを電極部Ｄ２～Ｄ９間で一定にすることが好ましい。ここで、式（１）においてｄ_３１は定数であるので、印加電圧Ｖを一定にした場合、周方向の長さＬの伸びΔＬを一定にするには、Ｌ／ｔを一定にする必要がある。

　本実施形態では各電極部Ｄ２～Ｄ９における周方向の長さＬは、移動子１５の相対移動方向θに沿って（周方向の位置によって）異なる。このため、厚さｔを周方向の長さＬに比例させて変更し、周方向の長さＬが長くなる楕円形状の長径ａ側において、厚さｔを厚くし、Ｌが短くなる楕円形状の短径ｂ側において、厚さｔを薄くし、Ｌ／ｔが一定になるようする。なお、同一の電極部が形成されている領域では一定の厚さとする。

　以上、本実施形態による以下の効果を有する。
（１）このように、周方向の長さＬが長くなる楕円形状の長径ａ側において、厚さｔを厚くし、Ｌが短くなる楕円形状の短径ｂ側において、厚さｔを薄くし、Ｌ／ｔが一定になるようする。これにより、圧電体１３における周方向の長さＬの伸びΔＬが一定になる。したがって、移動子１５における進行波が、移動子１５の相対移動方向θ（圧電体１３の内周部の周方向に沿った方向）で均等に発生し、駆動面１２ｄにおいて発生する進行波の高さが一定になる。ゆえに、移動子１５と振動子１５との接触が均等になり、安定し、且つ十分な駆動力を得ることができる。

（２）振動子１１（圧電体１３）が楕円形状であるので、一方向（本実施形態ではＹ方向）に十分なスペースをとることができない限定的な場所に配置することができ、そのスペースを利用して最大限大きなトルクを得ることができる。

（第２実施形態）
　次に、本発明の第２実施形態について説明する。図６は、第２実施形態の振動子を示す図である。第２実施形態は、第1実施形態と同様に、周方向の長さＬが長くなる楕円形状の長径ａ側において、厚さｔを厚くし、Ｌが短くなる楕円形状の短径ｂ側において、厚さｔを薄くし、Ｌ／ｔが一定となるようになっている。第２実施形態と第１実施形態とが異なる点は、櫛歯部１１２ａの溝１３０の深さが、弾性体１１２における長径ａ側か短径ｂ側かによって異なっている点である。それ以外の点については第１実施形態と同様であり、同様の部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。

　本実施形態では、第１実施形態と同様に、振動子１１の外形が楕円形状である。しかし、振動子１１（圧電体１３、弾性体１１２）の形状を楕円形状のような真円以外とした場合、長径ａ側では弾性体１１２の径方向の幅が広いので短径ｂ側と比べて曲げ剛性が高くなる。すなわち、曲げ剛性が移動体の移動方向θで異なり、振動振幅が移動子１５の移動方向θで均等に発生しない可能性がある。

　そこで、本実施形態では、図６（ｂ）及び図６（ｃ）に示すように、櫛歯部１１２ａの溝１３０の深さを不均一にしている。すなわち、長径ａ側では溝１３０が深く、短径ｂ側では溝１３０が浅い。図７（ａ）は移動体の移動方向θを横軸（径がａの位置をθ＝０として）、溝の深さ（すなわちベースの厚み）を縦軸としたグラフである。図中実線は第２実施形態の場合、点線は櫛歯部１１２ａの溝１３０の深さが一定の場合を示したものである。

　また、図７（ｂ）は移動体の進行方向θを横軸（径がａの位置をθ＝０として）、曲げ剛性を縦軸としたグラフである。図７（ｂ）も同様に、図中実線は第２実施形態、点線は櫛歯部１１２ａの溝１３０の深さが一定の場合を示したものである。図示するように、溝１３０の深さが一定の場合、短径ｂ近辺（θ＝π／２、３π／２）では曲げ剛性が低く、長径ａ近辺（θ＝０、π、２π）では曲げ剛性が高い。

　しかし、第２実施形態では、図７（ａ）で実線で示すように、短径ｂ近辺（θ＝π／２、３π／２）に比べて長径ａ近辺（θ＝０、π、２π）では溝１３０が深い（ベース部１１２ｂが薄い）。したがって、長径ａ側では径方向に幅が広いが溝１３０が深く、短径ｂ側は径方向に幅が狭いが溝１３０が浅くなっており、径方向の幅と溝１３０の深さとの、剛性に対する影響が互いに相殺されて、長径ａ側と短径ｂ側における剛性の差が図７（ｂ）に実線で示すように比較形態と比べて小さくなる。

　以上、第２実施形態によると、第１実施形態の効果に加え、以下の効果を有する。
　長径ａ側では径方向に幅が広いが溝１３０が深く、短径ｂ側は径方向に幅が狭いが溝１３０が浅くなっている。したがって、径方向の幅と溝１３０の深さとの、剛性への影響が互いに相殺されて、長径ａ側と短径ｂ側における剛性の差が小さくなる。

（変形形態）
　以上、説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能である。
（１）上述の実施形態で弾性体１２の外形を楕円柱形状としたが、本発明はこれに限定されない。図８は、弾性体３２の変形形態を示す図である。なお、上述の実施形態と同様の部分は同一の符号を付す。図８（ａ）は図４（ａ）と同様に、振動子３１を移動子１５側から見た図であり、図８（ｂ）は、ＸＺ平面に平行な矢印Ｓ１－Ｓ２断面での振動子３１の断面図であり、図８（ｃ）は、ＹＺ平面に平行な矢印Ｓ３－Ｓ４断面での振動子３１の断面図である。

　図示するように、弾性体３２の外形を楕円錐形状の上部を切り取った形状としてもよい。この場合においても、周方向の長さＬが長くなる楕円形状の長径ａ側において、厚さｔを厚くし、Ｌが短くなる楕円形状の短径ｂ側において、圧電体３３の厚さｔを薄くし、Ｌ／ｔが一定になるようする。このように、弾性体３２が楕円錐形状にある場合も、楕円形状の長径側と短径側とで圧電体３３の厚さを変えることで、弾性体３２で発生する進行波の振幅を一定にすることができ。移動子１５と振動子３１（弾性体３２）との接触が均等になり、安定し、且つ十分な駆動力を得ることができる。

（２）上述の実施形態において、圧電体１３及び弾性体１２の外形が楕円形状である例を示したが、これに限らず、例えば、多角形形状として、その形状に合わせて圧電体の厚さを変更してもよい。

（３）各実施形態において、移動子が回転駆動される超音波モータを例に挙げて説明したが、これに限らず、移動子が直線方向に駆動されるリニア型の振動アクチュエータに適用してもよい。

（４）各実施形態において、超音波領域の振動を用いる超音波モータを例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、超音波領域以外の振動を用いる振動アクチュエータに適用してもよい。

（５）各実施形態において、超音波モータは、フォーカス動作時にレンズの駆動に用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、レンズのズーム動作時の駆動に用いられる超音波モータとしてもよい。

（６）各実施形態において、超音波モータは、カメラに用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、複写機の駆動部や、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部に用いてもよい。
　なお、上述の実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した各実施形態によって限定されることはない。

　１：レンズ鏡筒、３：カメラ、１０：振動アクチュエータ、１２：振動体、１２ｄ：駆動面、１３：圧電体、１３ａ：接合面、１３：開口、１３ｒ：内周部、１３Ｒ：外周部、１５：移動体、Ｄ２～Ｄ９：電極部

Claims

　第１の面を有し、電気信号により励振される圧電体と、
　前記第１の面に接合され前記励振によって振動波を生じる第２の面を有する振動体と、
　前記第２の面に加圧接触され、前記振動体に対して相対移動する移動体とを有し、
　前記圧電体の厚さが、前記移動体の相対移動方向に沿って異なっていること、を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
　前記圧電体は、前記第１の面と反対側の第３の面に、前記相対移動方向に沿って分割されて形成された複数の電極部を有し、
　前記圧電体は、同一の電極部が形成されている領域では一定の厚さであること、を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記圧電体は、円形の開口が設けられた内周部と、楕円形状の外周部を有し、
　前記圧電体の厚さは、前記楕円形状の長径側の方が短径側より厚いこと、
　を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項３に記載の振動アクチュエータであって、
　前記複数の電極部の前記内周部側の周方向の長さが、互いに等しいこと、を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項３または４に記載の振動アクチュエータであって、
　前記移動体の前記相対移動方向は、前記圧電体の前記内周部の周方向に沿った方向であること、を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項３～５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記移動体は円環形状であり、前記第２の面の前記圧電体の前記内周部の周方向に沿った位置に接触されて設けられること、を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１～５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
　前記振動体の前記第２の面側は、櫛歯状となるように複数の溝が形成され、
　前記移動体の相対移動方向と交差する方向における前記溝の深さは、前記移動体の相対移動方向に沿って異なっていること、を特徴とする振動アクチュエータ。
　請求項１から７のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒。
　請求項１から７のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるカメラ。