JP5459192B2 - 振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラ - Google Patents

Description

振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラに関するものである。

振動波モータにおいては、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（後は進行波と略する）を発生させる。そして、この進行波によって駆動面に楕円運動を生さじさせ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子が駆動される（例えば、特許文献１参照）。
この様な振動波モータは、低回転でも高トルクを有するといった特徴があるため、駆動装置に搭載した場合に、駆動装置のギア数を少なくすることができる。このため、ギアにより発生される騒音が小さくなり、静寂化が達成可能となり、また、位置決め精度も向上する。

近年、振動波モータは、径が従来の１／３〜１／５倍程度と小型化、軽量化される傾向がある。この様な小型化された振動波モータは、機器の組み込みに対しての使い勝手が良く、アプリケーションへの適用化が進み、出荷台数を大幅に伸ばしている。
このような振動波モータにおいて、弾性体の駆動面と、その駆動面から駆動力が伝達される移動子の摺動面との間は、駆動力が伝達されるように加圧されている。この加圧力は、従来、出力軸にはめ込まれたばね部材によって発生されている（例えば、特許文献２参照）。このため、振動波モータの出力軸方向の長さの短縮には限界があった。

一方、振動波モータにおいて、加圧力を発生させる部分を、出力軸を中心として配置せず、弾性体及び移動子が配置されている部分よりも外径の部分に配置する構成も開示されている（例えば、特許文献３参照）。

特公平１−１７３５４号公報 特開２００６−３３３６２９号公報 特開平１１−１９６５９１号公報

しかし、特許文献３において発生される加圧力は、出力軸と平行でなく傾いているため、振動子と移動子との加圧力が偏り、高回転時において不快な異音が発生したり、駆動効率が低下したり、また高負荷の発生が困難である等の課題が発生する。

本発明は、小型化が可能で、且つ均一な加圧力を付加可能な振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラを提供することを目的とする。

前記課題を解決するために、請求項１の発明は、電気機械変換素子に接合され、励振により振動波を生じる弾性体と、前記弾性体に加圧接触され、前記振動波によって、前記弾性体に対して相対的に回転駆動される相対運動部材と、を有するモータ本体と、前記弾性体と前記相対運動部材との間に加圧力を発生させる加圧部材と、を備え、前記加圧部材は、前記弾性体または前記相対運動部材の一方を、前記回転駆動の回転軸に沿って他方側に加圧する加圧部、前記加圧部から前記回転軸を中心とした径方向の外側に延びる延在部、及び、前記加圧部に前記延在部における前記モータ本体よりも前記径方向の外側に配置され、前記加圧部に、前記回転軸に平行な方向に加圧力を発生させる加圧部本体、を有すること、を特徴とする振動波モータである。
請求項２の発明は、請求項１項に記載の振動波モータにおいて、前記加圧部本体及び前記モータ本体は、前記回転軸に沿った方向における前記延在部の一方の側に配置されていること、を特徴とする振動波モータである。
請求項３の発明は、請求項１または２に記載の振動波モータにおいて、前記加圧部は、前記弾性体または前記相対運動部材の一方を、前記回転軸を中心として加圧することを特徴とする振動波モータである。
請求項４の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、前記加圧部本体は、前記延在部から連続し、前記回転軸と平行な第２軸に沿って加圧される被加圧部を備えること、を特徴とする振動波モータである。
請求項５の発明は、請求項４に記載の振動波モータにおいて、前記被加圧部は、圧縮ばねにより加圧されることを特徴とする振動波モータである。
請求項６の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、前記加圧部は、前記回転軸を中心とした円周に沿って配置されていること、を特徴とする振動波モータである。
請求項７の発明は、請求項１から６のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、前記延在部は前記加圧部から複数の径方向に延び、前記加圧部本体は、前記延在部のそれぞれの端部に設けられていること、を特徴とする振動波モータである。
請求項８の発明は、請求項７に記載の振動波モータにおいて、複数の前記延在部は異なる直径方向に延びること、を特徴とする振動波モータである。
請求項９の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、前記延在部は、板ばねであることを特徴とする振動波モータである。
請求項１０の発明は、請求項９に記載の振動波モータにおいて、前記延在部の前記径方向の外側の端部は、前記回転軸と平行に延びる第２延在部に連続し、前記第２延在部の剛性が前記延在部より高いこと、を特徴とする振動波モータである。
請求項１１の発明は、請求項１から１０のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
前記加圧部本体よりも径方向外側に配置された、前記加圧部本体を前記回転軸と垂直な方向への移動を規制する規制部材を有することを特徴とする振動波モータである。
請求項１２の発明は、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の振動波モータを備えるレンズ鏡筒である。
請求項１３の発明は、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の振動波モータを備えるカメラである。

本発明によれば、小型化が可能で、且つ均一な加圧力を付加可能な振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラを提供することができる。

本発明の第一実施形態の振動波モータを説明する図である。 振動波モータを図１における方向Ａから見た図である。 第一実施形態の振動波モータを搭載したレンズ鏡筒を備えるカメラの概略断面図である。 レンズ駆動回路に設けられた振動波モータの駆動装置を説明するブロック図である。 第一実施形態に対する比較形態を示す図である。 本発明の第二実施形態の振動波モータを説明する図である。 図６をＡ方向から見た図である。 第二実施形態における加圧部が加圧受部材を押圧していない状態を示す図である。 第三実施形態の振動波モータを説明する図である。 第四実施形態の振動波モータを説明する図である。 本発明の第五実施形態の振動波モータを説明する図である。 本発明の第五実施形態の振動波モータを説明する図である。

（第一実施形態）
以下、本発明にかかる振動波モータ１の実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の第一実施形態の振動波モータ１を説明する図である。図２は、振動波モータ１を図１における方向Ａから見た図である。
また、図面には、適宜、説明と理解を容易にするために、ＸＹＺ直交座標系を設けた。この座標系では、図１に示すように、振動波モータ１の出力軸１４の軸芯Ｃ１の方向をＺ軸とし（後述する振動子１０から移動子１１に向かう方向をＺプラス）、軸芯Ｃ１から見たときに振動波モータ１の後述の加圧力発生部が設けられている方向をＸマイナス方向とし、それらと直交する方向をＹとする。また、以下、Ｚプラス方向を上側、Ｚマイナス方向を下側ともいう。

図１に示すように、本実施形態の振動波モータ１は、振動子１０、移動子１１、出力軸１４等を有するモータユニット２５と、加圧部材３０とを備え、振動子１０側を固定とし、移動子１１を回転駆動する形態となっている。

振動子１０は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気−機械変換素子（以下、圧電体と称する）１２と、圧電体１２を接合した弾性体１３とから構成され、振動子１０には進行性振動波が発生される。本実施形態では一例として４波の進行波が発生される。

弾性体１３は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、円環形状である。弾性体１３の一方の面には圧電体１２が接合され、他方の面には溝１０ｂ（図２に示す）が切られ、当該面における溝１０ｂ以外の部分は駆動面１０ａ（図２に示す）となり、駆動面１０ａは移動子１１に加圧接触される。

圧電体１２は、ＰＺＴと呼ばれるチタン酸ジルコン酸鉛といった材料から構成してもよく、また、環境問題を考慮し、鉛フリーの材料であるニオブ酸カリウムナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸ナトリウム、カリウムチタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム等で構成してもよい。

圧電体１２には電極が配置され、該電極は、円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極されていて、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔分空く様に電極が配置されている。

移動子１１は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面１１ａの表面には耐摩耗性向上のための表面処理が成されている。

出力軸１４は、ゴム部材１７と出力軸１４のＤカット１４ａにはまるように挿入されたストッパー部材１５とを介して移動子１１に結合されている。出力軸１４とストッパー部材１５はＥクリップ１６等により固定され、移動子１１と一体に回転する。すなわち、移動子１１の回転方向の軸芯は、出力軸１４の軸芯Ｃ１とほぼ同軸となる。
また、出力軸１４の上側の端面（Ｚプラス側の端面）には、出力軸１４の軸芯Ｃ１ｗｏ中心とした逆円錐形状を有する窪み部１４ｂが形成されている。

ストッパー部材１５と移動子１１との間のゴム部材１７は、ゴム部材１７による粘着性で移動子１１とストッパー部材１５と結合する機能があり、かつ移動子１１からの振動を出力軸１４へ伝えないための振動吸収との機能があるブチルゴム部材等が好適である。

また、ベアリング１８は、出力軸１４の外周に嵌合されて、Ｅクリップ１６、ストッパー部材１５により出力軸１４に固定されている。

上述した振動子１０、移動子１１、出力軸１４等、出力軸１４の軸芯Ｃ１を中心として配置された部材を合わせてモータユニット２５という。
また、振動波モータ１は、後述するようにレンズ鏡筒２の固定部であるギアユニットモジュール５０（図３に図示）に固定される基板部１９を備える。基板部１９には、振動子１０における弾性体１３の内径側に設けられたヒレ部２０が固定されている。さらに基板部１９は、出力軸１４に嵌められたベアリング１８を径方向に支持し、出力軸１４を回転方向に可動支持している。

加圧部材３０は、移動子１１の摺動面１１ａを弾性体１３の駆動面１０ａ側に加圧する部材である。
加圧部材３０は、出力軸１４に設けられた窪み部１４ｂの内面と接するように配置された加圧部３１と、加圧部３１から、出力軸１４の軸芯Ｃ１を中心とした径方向の外側に延びる延在部３２と、延在部３２の端部に設けられた加圧力発生部３３とを備える。

加圧部３１は、半球面形状を有している。加圧部３１と接触する出力軸１４の窪み部１４ｂの形状が逆円錐形状となっているため、加圧部３１と出力軸１４の窪み部１４ｂとが確実に接触（線接触）される。

延在部３２は、加圧部３１から出力軸１４の軸芯Ｃ１を中心とした径方向の外側に向かって延びる板状部材である。
加圧力発生部３３は、延在部３２の径方向外側の端部において、延在部３２よりも下側（Ｚマイナス側）に設けられている。
加圧力発生部３３は、有底円筒型部のシリンダ部３４と、シリンダ部３４の内部に配置され、シリンダ部３４の底部に設けられた穴部３４ａより先端が突き出したピン３６を備える。
ピン３６は、頭部３６ａとその頭部３６ａから延びる円柱部３６ｂとを備える。また、円柱部３６ｂの先端には、ねじ部３６ｃが形成されている。

基板部１９には、ねじ穴１９ａが形成されており、ピン３６のねじ部３６ｃは、そのねじ穴１９ａに螺合されている。ここで、ねじ穴１９ａは、出力軸１４の軸芯Ｃ１と平行に形成されている。したがって、ねじ穴１９ａにねじ部３６ｃが螺合されたピン３６の軸芯Ｃ２は、出力軸１４の軸芯Ｃ１と平行になる。

ピン３６の円柱部３６ｂの外周には圧縮ばね３５が取り付けられている。圧縮ばね３５の一端はシリンダ部３４の底面（Ｚプラス側面）に接し、他端はピン３６の頭部３６ａの下面（Ｚマイナス側面）に接している。
ピン３６のねじ部３６ｃを基板部１９に設けられたねじ穴１９ａにねじ込み、ねじ込み深さを調整することにより、ピン３６の頭部３６ａの基板部１９に対する位置を調整することができる。このピン３６の頭部３６ａの基板部１９に対する位置を調整することにより、圧縮ばね３５がその下端においてシリンダ部３４を加圧する力を調整することができる。圧縮ばね３５がシリンダ部３４を加圧する力は、延在部３２を介して加圧部３１に伝達され、加圧部３１が出力軸１４を押圧する力が調整される。

ここで、ピン３６の頭部３６ａの外周は、シリンダ部３４の内面と摺動可能に接している。また、ピン３６の円柱部３６ｂの外周はシリンダ部３４の穴部３４ａの内面と摺動可能に接している。
したがって、シリンダ部３４は、その内面が頭部３６ａの外周にガイドされ、また穴部３４ａの内面が円柱部３６ｂによってガイドされる。このガイドによってシリンダ部３４は、ピン３６の軸芯Ｃ２に沿って移動することが可能となっている。

ピン３６の軸芯Ｃ２は、上述のように出力軸１４の軸芯Ｃ１と平行である。したがって、シリンダ部３４の移動方向も出力軸１４の軸芯Ｃ１と平行になる。ゆえに、シリンダ部３４から延びる延在部３２の先端に設けられた加圧部３１は、出力軸１４の軸芯Ｃ１に沿って加圧力を加えることが可能となる。

図３は、第一実施形態の振動波モータ１を搭載したレンズ鏡筒２を備えるカメラ３の概略断面図である。なお、図３の振動波モータ１は、図１に示す方向Ｂから見た図である。
振動波モータ１が設置された基板部１９は、レンズ鏡筒２のギアユニットモジュール５０に取り付けられる。振動波モータ１の出力ギア５１は、ギアユニットモジュール５０の減速ギア５２と噛み合い、減速ギア５２は、カム環５３に形成されたギア部５３ａに噛み合っている。

振動波モータ１の回転駆動力は、出力ギア５１、減速ギア５２、カム環５３のギア部５３ａと伝達され、カム環５３が回転駆動される。
カム環５３には、周方向に対して斜めにキー溝５３ｂが切られており、該キー溝５３ｂに固定ピン６１が挿入されたＡＦ環６０は、カム環５３が回転駆動することにより、光軸方向に直進方向に駆動され、所望の位置に停止可能となっている。

また、レンズ鏡筒２の外側固定筒６と内側固定筒７の間には、レンズ駆動回路５が設けられている。レンズ駆動回路５は、振動波モータ１の駆動、制御、回転数の検出、振動センサーの検出等を行う。

図４は、レンズ駆動回路５に設けられた振動波モータ１の駆動装置１００を説明するブロック図である。駆動装置１００は、発振部１０１、制御部１０２、移相部１０３、増幅部１０４を備える。
発振部１０１は、制御部１０２の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。移相部１０３は、該発振部１０１で発生した駆動信号を位相の異なる２つの駆動信号に分ける。増幅部１０４は、移相部１０３によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。

増幅部１０４からの駆動信号は、振動波モータ１に伝達され、この駆動信号の印加により振動子１０に進行波が発生し、移動子１１が駆動される。回転検出部１０５は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動子１１の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出し、検出値を電気信号として制御部１０２に伝達する。制御部１０２は、レンズ鏡筒２内またはカメラ３のＣＰＵからの駆動指令を基に振動波モータ１の駆動を制御する。制御部１０２は、回転検出部１０５からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部１０１の周波数を制御する。

次に、第一実施形態の振動波モータ１の動作について説明する。
制御部１０２から、駆動指令が発令され、発振部１０１からは駆動信号を発生させ、その信号は位相部により９０度位相の異なる２つの駆動信号に分割され、増幅部１０４により所望の電圧に増幅される。駆動信号は、振動波モータ１の圧電体１２に印加され、圧電体１２は励振され、その励振によって弾性体１３には４次の曲げ振動が発生する。圧電体１２はＡ相とＢ相とに分けられており、駆動信号はそれぞれＡ相とＢ相に印加される。Ａ相から発生する４次曲げ振動とＢ相から発生する４次曲げ振動とは位置的な位相が１／４波長ずれるようになっており、また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは９０度位相がずれているため、２つの曲げ振動は合成され、４波の進行波となる。
なお、波数は４に限定されず、９、また、他の波数、５、６、７、８、１０又はそれ以上でも、同様な構成で、同様な方法で制御すれば、同様な効果が得られる。

進行波の波頭には楕円運動が生じている。従って、駆動面１０ａに加圧接触された移動子１１は、この楕円運動によって摩擦的に駆動される。移動子１１の駆動により駆動された駆動体には、光学式エンコーダが配置されていて、そこから、電気パルスが発生し、制御部１０２に伝達される。制御部１０２は、この信号を基に、現在の位置と現在の速度を得ることが可能となる。

ここで、振動子１０の駆動面１０ａに対して加圧する加圧部材３０は、上述のように加圧部３１と、延在部３２と、加圧力発生部３３を備える。加圧力発生部３３のシリンダ部３４は出力軸１４の軸芯Ｃ１と平行な軸芯Ｃ２に沿って加圧されている。その加圧力は延在部３２により加圧部３１へ伝達され、加圧部３１によって出力軸１４の中心に加えられる。ピンの軸芯Ｃ２は、出力軸１４の軸芯Ｃ１と平行方向であるので、延在部３２の先端に設けられた加圧部３１の加圧方向も、出力軸１４の軸芯方向とほぼ同一となる。

また、加圧部３１は球面形状、加圧部３１に接触する出力軸１４の形状は逆円錐形状となっているため、振動子１０と移動子１１との加圧力の偏りの防止可能で均一な加圧力を発生させることができる。

図５は、本実施形態に対する比較形態を示す図である。比較形態と第一実施形態との相違点は、加圧部材（圧縮ばね）３５Ａが、出力軸１４Ａのギア部５１Ａとベアリング１８Ａの間に設けられている点である。この比較形態によると、圧縮ばね３５Ａが出力軸１４Ａに挿入されているので、圧縮ばね３５Ａの長さ分、振動波モータ１Ａの軸芯Ｃ１Ａに沿った長さを確保する必要がある。

しかし、本実施形態によると、図１に示すように、圧縮ばね３５は、振動波モータ１の出力軸１４に取り付けられていないので、比較形態と比べて、圧縮ばね３５の分だけ振動波モータ１の軸芯Ｃ１方向の長さを小さくすることができる。したがって、振動波モータ１を扁平形状にすることができる。

また、本実施形態では、加圧力発生部３３が、延在部３２の下側（Ｚマイナス側）に設けられている。したがって、振動波アクチュエータ１の軸芯Ｃ１方向の長さを最小限にすることができる。このように本実施形態の振動波モータ１は、その軸芯Ｃ１方向の長さを短くすることができるので、図３に示すような、いわゆるパンケーキ型レンズ鏡筒への搭載も可能となる。

さらに、本実施形態では、加圧力発生部３３に、力量が安定して与えられる圧縮ばね３５を用いたので、安定した加圧力を与えることが可能となる。

（第二実施形態）
次に、第二実施形態を説明する。図６は、発明の第二実施形態の振動波モータ２０１を説明する図である。図７は図６をＡ方向から見た図である。図８は加圧部２３１が加圧受部材２２２を押圧していない状態を示す図である。

第二実施形態は、移動子２１１の回転中心が固定軸２１４となっており、固定軸２１４を中心として配置されたモータユニット２２５と、加圧部材２３０とを備える。モータユニット２２５における振動子２１０は、第一実施形態と同様な構成のため説明を省略する。
移動子２１１は、ゴム部材２１７によりギア部材２２１に固定されている。ゴム部材２１７は、ゴム部材２１７による粘着性で移動子２１１とギア部材２２１とを結合し、かつ移動子２１１からの振動を吸収し、ギア部材２２１への振動の伝達を防止する。材料としてはブチルゴム等が好適である。

ギア部材２２１の内径側にはベアリング２１８が配置され、そのベアリング２１８の内径側には固定軸２１４が嵌合され、移動子２１１は固定軸２１４の軸芯Ｃ１を中心に回転駆動する。固定軸２１４は基板部２１９に固定されている。
一方、ベアリング２１８の内径側には加圧受部材２２２が配置され、その軸芯は固定軸２１４の軸芯Ｃ１と同軸に配置されている。

基板部２１９には、振動子２１０に設けられたヒレ部２２０、固定軸２１４が固定され、加圧部材２３０が配置されている。
加圧部材２３０は、加圧部２３１、板ばね部２３２、フランジ部２３４、固定部２３５とから構成される。
板ばね部２３２は、固定軸２１４の軸芯Ｃ１と垂直方向に延伸され、先端に加圧部２３１を有している。加圧部材２３０は、図８に示す様に加圧力が与えられていない場合には、湾曲変形しており、加圧部２３１が加圧受部材２２２の円錐形の凹部と係合する図６の状態の場合に、適正加圧力が発生され、その揚合、固定軸２１４の軸芯方向に力が発生する。

板ばね部２３２の加圧部２３１との反対側の端部には、フランジ部２３４が形成されている。フランジ部２３４は、図７に示すように、板ばね部２３２より幅が広く、図６に示すように、固定軸２１４の軸芯Ｃ１と平行方向に延伸されている。この構成では、板ばね部２３２の曲げ剛性よりフランジ部２３４の曲げ剛性が大きいので、板ばね部２３２に加圧力が与えられてもフランジ部２３４の変形が小さく、固定端として機能する。フランジ部２３４は、基板部２１９に立設された固定部２３５にねじ２３６によって取り付けられている。

第二実施形態によると、第二実施形態によると、板ばね部２３２の固定部２３５に曲げ剛性の大きいフランジ部２３４を設け、固定軸２１４の軸芯方向に延伸させた。本実施形態によると、第一実施形態と同様に、加圧部材２３０の加圧力発生部２３３を固定軸２１４の軸芯Ｃ１方向へ確実に与えることができ、振動子２１０と移動子２１１との加圧力の偏りを防止することができる。
また、このように構成することにより、加圧部材２３０において、板ばね部２３２以外の部分を板ばね部２３２より低くすることができるので振動波モータ２０１の高さを低くする（固定軸２１４方向の幅を狭くする）ことができる。そして、このようにモータユニットを扁平にしても高回転駆動の可能、高効率の可能、高負荷駆動を達成することが出来る。
また、第一実施形態と比較して部品点数を減らすことができ、したがって作業工程数も減らすことができる。

（第三実施形態）
次に第三実施形態を説明する。図９は、本発明の第三実施形態の振動波モータ３０１を説明する図である。第三実施形態が第一実施形態と同様に、モータユニット３２５と加圧部材３３０とを備える。第一実施形態と異なる点は、ベアリング３１８の位置である。

振動子３１０は、第一実施形態と同様な構成のため、その説明を省略する。
移動子３１１は、ゴム部材３１７を介してベアリング受部材３４０に接続されている。ゴム部材３１７は、ゴム部材３１７による粘着性で移動子３１１とベアリング受部材３４０とを結合し、かつ移動子３１１からの振動を吸収し、出力軸３１４への振動の伝達を防止する。材料としてはブチルゴム等が好適である。

ベアリング受部材３４０は出力軸３１４のＤカット３１４ａにはまるように形成され、移動子３１１と一体に回転する。つまり、移動子３１１の回転方向の軸芯は、出力軸３１４の軸芯Ｃ１とほぼ同軸となる。

出力軸３１４はギア部３１４ｃが一体的に設けられている。そして、基板部３１９におけるギア部３１４ｃの近傍には、ブッシュ３４１が設けられ、ギア部３１４ｃの振れが低減される。ベアリング３１８の内周面には出力軸３１４がはめ込まれ、外周面には加圧部材３３０の延在部３２が嵌め込まれる。

基板部３１９は、振動子３１０に設けられたヒレ部３２０が固定され、出力軸３１４の振れを防止するブッシュ３４１が嵌め込まれ、また、加圧部材３３０が固定されている。

加圧部材３３０は、延在部３２２及び加圧力発生部３３３を備える。
加圧力発生部３３３は、シリンダ部３３４と、圧縮ばね３３５と、ピン３３６と、固定ピン３３７とを備える。
第一実施形態と同様に、シリンダ部３３４内に、圧縮ばね３３５が外周にはめ込まれたピン３３６を配置し、シリンダ部３３４の底部に設けられた穴３３４ａよりピン３３６のねじ部３３６ｃを基板部３１９のねじ穴３１９ａにねじ込み、シリンダ部３３４を図８の下方（Ｚマイナス方向）に押圧する。その圧力を延在部３２２を介して、ベアリング３１８の外周側と接する加圧部３３１へ伝達し、ベアリング３１８を加圧することで、出力軸３１４に加圧力を与え、振動子３１０と移動子３１１との間に加圧力を発生させる。

本実施形態においてピン３３６の軸芯Ｃ２は、出力軸３１４の軸芯Ｃ１と平行方向に延伸されている。シリンダ部３３４の内面はピン３３６の頭部３３６ａの外周と接触し、またシリンダ部３３４の底部に設けられた穴３３４ａの内面は、ピン３３６の円柱部３３６ｂの外周と摺動可能に接触しているので、シリンダ部３３４の移動方向も出力軸３１４の軸芯Ｃ１と平行方向となる。従って、延在部３２２の先端に設けられた加圧部３３１の加圧方向は、出力軸３１４の軸芯方向とほぼ同一にすることができる。

また、本実施形態でシリンダ部３３４の上端には、延在部３２２が延びている方向と軸芯Ｃ２を挟んだ反対方向に向かって第２延在部３２９が延びている。その第２延在部３２９には、穴３３４ａが設けられている。一方、基板部３１９には軸芯Ｃ１及びＣ２と平行に固定ピン３３７が立設されている。そして、固定ピン３３７は穴３３４ａに挿入されてその穴３３４ａの内周面と摺動可能に接している。

本実施形態によると、ピン３３６によるシリンダ部３３４の案内に加え、さらに、シリンダ部３３４から延びる第２延在部３２９が基板部３１９に設けられた固定ピン３３７によって案内される。したがって、延在部３２２の軸芯Ｃ１に対する平行移動をより確実に行うことができる。また、加圧部材３３０の、軸芯Ｃ１と垂直な方向への移動も防止することができる。

本実施形態においても、加圧部材３３０の加圧力発生部３３３により発生した加圧力を、出力軸３１４の軸芯Ｃ１方向へ確実に与えることができ、振動子３１０と移動子３１１との加圧力の偏りを防止することができる。そして、このようにモータユニットを扁平にしても高回転駆動の可能、高効率の可能、高負荷駆動を達成することが出来る。
さらに、第三実施形態は、第一実施形態に対してベアリング３１８の位置を変更することにより、ストッパー等の部品点数を低減することができる。

（第四実施形態）
図１０は、本発明の第四実施形態の振動波モータ４０１を説明する図である。第四実施形態は第一実施形態に対し、加圧部材が２個設けられている点が異なる。
２つの加圧部材４３０Ａ，４３０Ｂの間にモータユニット４２５が配置され、より確実に加圧部材４３０の加圧力を出力軸４１４の軸芯Ｃ１方向により確実に与えることができる。

（第五実施形態）
図１１及び図１２は、本発明の第五実施形態の振動波モータ５０１を説明する図である。図１１は、図１２のＣ−Ｃ断面図である。
第五実施形態では加圧部材が２つ設けられている点以外、第二実施形態と同様である。そしてこれらの２つの加圧部材５３０Ａ，５３０Ｂの間にモータユニット５２５を配置する。これにより、より確実に加圧部材５３０Ａ，５３０Ｂの加圧力を出力軸５１４の軸方向に与えることができる。
また、本実施形態では、図１２に示す様に、第一の加圧部材５３０Ａの延在部５３２Ａと、第二の加圧部材５３０Ｂの延在部５３２Ｂとを、同一直径上（同一直線上）に設けないようにした。すなわち、出力軸５１４の軸芯Ｃ１から延びる延在部５３２Ａと延在部５３２Ｂとの間に形成される角度は、１８０度より小さくなる。
このようにすることで、レンズ鏡筒２の筒部材の間の、空きスペース等の円弧状のスペースに配置することが可能となる。

（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。また、上述の実施形態、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。

１，２０１，３０１，４０１，５０１：振動波モータ、１１，２１１，３１１，５１１：移動子、１３，２１３，３１３，４１３，５１３：弾性体、２５，２２５，３２５，４２５，５２５：モーターユニット、３１，２３１，３３１，４３１，５３１：加圧部、３２，２３２，３３２，４３２Ａ，４３２Ｂ，５３２Ａ，５３２Ｂ：延在部、３３，３３３，４３３Ａ，４３３Ｂ：加圧力発生部、３４，３３４，４３４：シリンダ部、Ｃ１：軸芯

Claims (13)

1. 電気機械変換素子に接合され、励振により振動波を生じる弾性体と、
   前記弾性体に加圧接触され、前記振動波によって、前記弾性体に対して相対的に回転駆動される相対運動部材と、を有するモータ本体と、
   前記弾性体と前記相対運動部材との間に加圧力を発生させる加圧部材と、を備え、
   前記加圧部材は、
   前記弾性体または前記相対運動部材の一方を、前記回転駆動の回転軸に沿って他方側に加圧する加圧部、前記加圧部から前記回転軸を中心とした径方向の外側に延びる延在部、及び、前記加圧部に前記延在部における前記モータ本体よりも前記径方向の外側に配置され、前記加圧部に、前記回転軸に平行な方向に加圧力を発生させる加圧部本体、を有すること、を特徴とする振動波モータ。
2. 請求項１項に記載の振動波モータにおいて、
   前記加圧部本体及び前記モータ本体は、前記回転軸に沿った方向における前記延在部の一方の側に配置されていること、
   を特徴とする振動波モータ。
3. 請求項１または２に記載の振動波モータにおいて、
   前記加圧部は、前記弾性体または前記相対運動部材の一方を、前記回転軸を中心として加圧することを特徴とする振動波モータ。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
   前記加圧部本体は、前記延在部から連続し、前記回転軸と平行な第２軸に沿って加圧される被加圧部を備えること、
   を特徴とする振動波モータ。
5. 請求項４に記載の振動波モータにおいて、
   前記被加圧部は、圧縮ばねにより加圧されることを特徴とする振動波モータ。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
   前記加圧部は、前記回転軸を中心とした円周に沿って配置されていること、
   を特徴とする振動波モータ。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
   前記延在部は前記加圧部から複数の径方向に延び、前記加圧部本体は、前記延在部のそれぞれの端部に設けられていること、
   を特徴とする振動波モータ。
8. 請求項７に記載の振動波モータにおいて、
   複数の前記延在部は異なる直径方向に延びること、
   を特徴とする振動波モータ。
9. 請求項１から３のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
   前記延在部は、板ばねであることを特徴とする振動波モータ。
10. 請求項９に記載の振動波モータにおいて、
    前記延在部の前記径方向の外側の端部は、前記回転軸と平行に延びる第２延在部に連続し、
    前記第２延在部の剛性が前記延在部より高いこと、を特徴とする振動波モータ。
11. 請求項１から１０のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
    前記加圧部本体よりも径方向外側に配置された、前記加圧部本体を前記回転軸と垂直な方向への移動を規制する規制部材を有することを特徴とする振動波モータ。
12. 請求項１〜１１のいずれか１項に記載の振動波モータを備えるレンズ鏡筒。
13. 請求項１〜１１のいずれか１項に記載の振動波モータを備えるカメラ。

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