CN102545689B - 振动波马达、透镜镜筒以及照相机 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够小型化且能够施加均匀加压力的振动波马达、透镜镜筒以及照相机。本发明的振动波马达(1)包括马达主体(25)和加压部件(30)，马达主体具有由驱动信号激振的机电转换元件(12)、与机电转换元件接合并通过激振产生振动波的弹性体(13)、与弹性体加压接触并通过振动波而相对于弹性体被相对地旋转驱动的相对运动部件(11)，加压部件使弹性体与相对运动部件之间产生加压力，其具有：加压部(31)，对弹性体或相对运动部件的一方沿着旋转驱动的旋转轴(C1)向另一方侧加压；延伸部(32)，从加压部向以旋转轴(C1)为中心的径向外侧延伸；加压部主体(33)，配置在延伸部中的与马达主体相比位于径向外侧的位置处。

Description

振动波马达、透镜镜筒以及照相机

技术领域

本发明涉及振动波马达、透镜镜筒以及照相机。

背景技术

在振动波马达中，利用压电体的伸缩使弹性体的驱动面产生行进性振动波(下文简称行波)。然后，通过该行波使驱动面产生椭圆运动，从而驱动与椭圆运动的波峰加压接触的移动件(例如，参照专利文献1)。

这样的振动波马达具有即使低速旋转也能够得到高转矩这一特征，所以在搭载于驱动装置中的情况下，能够减少驱动装置的齿轮数。因此，齿轮产生的噪音减小，能够实现静音化，还能够提高定位精度。

近年来，振动波马达存在使其直径为以往的1/3～1/5倍程度的小型化、轻量化的倾向。这样的小型化的振动波马达对于设备组装而言具有良好的便利性，对于实际应用的适用得到推进，出厂数量大幅提高。

在这样的振动波马达中，弹性体的驱动面和从该驱动面传递驱动力的移动件的滑动面之间被加压，以传递驱动力。该加压力以往通过嵌入在输出轴上的弹簧部件产生(例如，参照专利文献2)。因此，振动波马达的输出轴方向上的长度缩短存在界限。

另一方面，在振动波马达中，还公开有如下结构，即：产生加压力的部分不以输出轴为中心配置，而是配置在与配置有弹性体及移动件的部分相比位于外径的部分处(例如，参照专利文献3)。

专利文献1：日本特公平1-17354号公报

专利文献2：日本特开2006-333629号公报

专利文献3：日本特开平11-196591号公报

但是，由于在专利文献3中所产生的加压力与输出轴不平行而是倾斜的，所以振子和移动件之间的加压力会偏斜，因此存在当高转速时产生令人不舒服的异响、驱动效率下降、而且难以产生高负载等技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供能够小型化且能够施加均匀的加压力的振动波马达、透镜镜筒以及照相机。

本发明通过以下那样的解决手段来解决上述技术问题。此外，为了容易理解，标注与本发明的实施方式对应的附图标记进行说明，但不限于此。

技术方案1记载的发明是，一种振动波马达(1、201、301、401、501)，其特征在于，包括：马达主体(25、225、325、425、525)，所述马达主体(25、225、325、425、525)具有：由驱动信号激振的机电转换元件(12、212、312、512)、与所述机电转换元件(12、212、312、512)接合并通过所述激振产生振动波的弹性体(13、213、313、413、513)、以及与所述弹性体(13、213、313、413、513)加压接触并通过所述振动波而相对于所述弹性体(13、213、313、413、513)被相对地旋转驱动的相对运动部件(11、211、311、511)；和加压部件(30、230、330、430、530)，使所述弹性体(13、213、313、413、513)与所述相对运动部件(11、211、311、511)之间产生加压力，所述加压部件(30、230、330、430、530)具有：加压部(31、231、331、431、531)，对所述弹性体(13、213、313、413、513)或所述相对运动部件(11、211、311、511)的一方沿着所述旋转驱动的旋转轴(C 1)向另一方侧进行加压；延伸部(32、232、332、432A、432B、532A、532B)，从所述加压部(31、231、331、431、531)向以所述旋转轴(C1)为中心的径向的外侧延伸；以及加压部主体(33、233、333、433A、433B、533A、533B)，配置在所述延伸部(32、232、332、432A、432B、532A、532B)中的与所述马达主体(25、225、325、425、525)相比位于所述径向的外侧的位置处。

技术方案2记载的发明是，在技术方案1所述的振动波马达(1、201、301、401、501)中，其特征在于，所述加压部主体(33、233、333、433A、433B、533A、533B)及所述马达主体(25、225、325、425、525)配置在沿着所述旋转轴(C1)的方向上的、所述延伸部(32、232、332、432A、432B、532A、532B)的一侧。

技术方案3记载的发明是，在技术方案1或2所述的振动波马达(1、201、301、401、501)中，其特征在于，所述加压部(31、231、331、431、531)以所述旋转轴(C1)为中心对所述弹性体(13、213、313、413、513)或所述相对运动部件(11、211、311、511)的一方加压。

技术方案4记载的发明是，在技术方案1至3中任一项所述的振动波马达(1、301、401)中，其特征在于，所述加压部主体(33、333、433A、433B)具有被加压部(34、334、434)，该被加压部(34、334、434)从所述延伸部(32、332、432A、432B)连续并沿着与所述旋转轴(C1)平行的第二轴被加压。

技术方案5记载的发明是，在技术方案4所述的振动波马达(1、301、401)中，其特征在于，所述被加压部(34、334、434)被压缩弹簧加压。

技术方案6记载的发明是，在技术方案1至5中任一项所述的振动波马达(301)中，其特征在于，所述加压部(331)沿着以所述旋转轴(C1)为中心的圆周配置。

技术方案7记载的发明是，在技术方案1至6中任一项所述的振动波马达(401、501)中，其特征在于，所述延伸部(432A、432B、532A、532B)从所述加压部(431、531)沿多个径向延伸，所述加压部主体(433A、433B、533A、533B)设在所述延伸部(432A、432B、532A、532B)各自的端部。

技术方案8记载的发明是，在技术方案7所述的振动波马达(501)中，其特征在于，多个所述延伸部(532A、532B)沿不同的直径方向延伸。

技术方案9记载的发明是，在技术方案1至3中任一项所述的振动波马达(201、501)中，其特征在于，所述延伸部(232、532A、532B)是板簧。

技术方案10记载的发明是，在技术方案9所述的振动波马达(201、501)中，其特征在于，所述延伸部(232、332、532A、532B)的所述径向的外侧的端部与第二延伸部(232、532A、532B)连续，所述第二延伸部(232、332、532A、532B)与所述旋转轴(C1)平行地延伸，所述第二延伸部(232、532A、532B)的刚性大于所述延伸部(232、532A、532B)的刚性。

技术方案11记载的发明是一种透镜镜筒(2)，具有技术方案1～10中任一项所述的振动波马达(1、201、301、401、501)。

技术方案12记载的发明是一种照相机(3)，具有技术方案1～10中任一项所述的振动波马达(1、201、301、401、501)。

此外，也可以对标注了附图标记进行说明的结构进行适当改良，另外，可以将至少一部分用其他结构物来代替。

发明的效果

根据本发明，能够提供能够小型化并能够施加均匀的加压力的振动波马达、透镜镜筒以及照相机。

附图说明

图1是说明本发明的第一实施方式的振动波马达的图。

图2是从图1中的方向A观察到的振动波马达的图。

图3是具有搭载了第一实施方式的振动波马达的透镜镜筒的照相机的示意剖视图。

图4是说明设在透镜驱动电路中的振动波马达的驱动装置的框图。

图5是表示针对第一实施方式的比较方式的图。

图6是说明本发明的第二实施方式的振动波马达的图。

图7是从A方向观察到的图6的图。

图8是表示第二实施方式中的加压部没有推压加压承受部件的状态的图。

图9是说明第三实施方式的振动波马达的图。

图10是说明第四实施方式的振动波马达的图。

图11是说明本发明的第五实施方式的振动波马达的图。

图12是说明本发明的第五实施方式的振动波马达的图。

附图标记说明

1、201、301、401、501：振动波马达

11、211、311、511：移动件

13、213、313、413、513：弹性体

25、225、325、425、525：马达单元

31、231、331、431、531：加压部

32、232、332、432A、432B、532A、532B：延伸部

33、333、433A、433B：加压力产生部

34、334、434：圆筒部

C1：轴心

具体实施方式

(第一实施方式)

以下，参照附图详细说明本发明的振动波马达1的实施方式。

图1是说明本发明第一实施方式的振动波马达1的图。图2是从图1中的方向A观察到的振动波马达1的图。

此外，为了容易说明和理解，在附图中适当设有XYZ正交坐标系。在该坐标系中，如图1所示，以振动波马达1的输出轴14的轴心C1的方向为Z轴(以从后述的振子10朝向移动件11的方向为Z轴正方向)，以从轴心C1观察时振动波马达1的设有后述的加压力产生部的方向为X轴负方向，以与这些轴正交的方向为Y轴。此外，以下也将Z轴正方向称为上侧，将Z轴负方向称为下侧。

如图1所示，本实施方式的振动波马达1具有：振子10、移动件11、具有输出轴14等的马达单元25、加压部件30，该振动波马达1是使振子10侧固定而旋转驱动移动件11的方式。

振子10由以将电能转换成机械能的压电元件或电致伸缩元件等为例的电-机械转换元件(以下称为压电体)12、和与压电体12接合的弹性体13构成，由振子10产生行进性振动波。在本实施方式中，作为一例，产生4波的行波。

弹性体13由共振锐度(sharpness of resonance)大的金属材料构成，是圆环状。在弹性体13的一方的面上接合有压电体12，在另一方的面上切出槽10b(在图2中示出)，该面中的槽10b以外的部分成为驱动面10a(在图2中示出)，驱动面10a与移动件11加压接触。

压电体12可以由称作PZT的锆钛酸铅材料构成，另外，考虑到环境问题，也可以由作为无铅材料的铌酸钾钠、铌酸钾、铌酸钠、钛酸钡、钛酸铋钠、钛酸铋钾等构成。

在压电体12上配置有电极，该电极沿着圆周方向被分为两相(A相、B相)。在各相中，按每1/2波长交替极化，以在A相与B相之间空出1/4波长量的间隔的方式配置电极。

移动件11由铝那样的轻金属构成，对滑动面11a的表面实施用于提高耐磨损性的表面处理。

输出轴14隔着橡胶部件17和止挡部件15而与移动件11结合，所述止挡部件15以嵌入的方式插入在输出轴14的D缺口14a中。输出轴14和止挡部件15通过E卡夹16等而被固定，从而与移动件11一体旋转。即，移动件11的旋转方向的轴心与输出轴14的轴心C1大致同轴。

此外，在输出轴14的上侧端面(Z轴正方向侧的端面)形成有凹陷部14b，该凹陷部14b具有以输出轴14的轴心C1为中心的倒圆锥形状。

止挡部件15与移动件11之间的橡胶部件17优选具有如下功能的丁基橡胶部件等，即：具有利用橡胶部件17的粘着性将移动件11和止挡部件15结合起来的功能，并且具有使得来自移动件11的振动不会向输出轴14传递的吸收振动的功能。

此外，轴承18嵌合在输出轴14的外周，并通过E卡夹16、止挡部件15而被固定在输出轴14上。

将上述的振子10、移动件11、输出轴14等以输出轴14的轴心C1为中心配置的部件合称为马达单元25。

此外，振动波马达1具有基板部19，该基板部19如后所述被固定在透镜镜筒2的固定部即齿轮单元组件50(在图3中示出)上。在基板部19上固定有翅片部20，该翅片部20设在振子10中的弹性体13的内径侧。而且，基板部19在径向支承着嵌在输出轴14上的轴承18，将输出轴14以在旋转方向可动的方式支承。

加压部件30是将移动件11的滑动面11a向弹性体13的驱动面10a侧加压的部件。

加压部件30具有：加压部31，被配置成与设在输出轴14上的凹陷部14b的内表面接触；延伸部32，从加压部31向以输出轴14的轴心C1为中心的径向的外侧延伸；以及加压力产生部33，设在延伸部32的端部。

加压部31呈半球面形状。由于与加压部31接触的输出轴14的凹陷部14b的形状为倒圆锥形状，所以加压部31与输出轴14的凹陷部14b可靠地接触(线接触)。

延伸部32是从加压部31向以输出轴14的轴心C1为中心的径向的外侧延伸的板状部件。

加压力产生部33设在延伸部32的径向外侧的端部，且与延伸部32相比设在下侧(Z轴负方向侧)。

加压力产生部33具有：有底圆筒型部的圆筒部34；配置在圆筒部34的内部且前端从设在圆筒部34的底部的孔部34a突出的销36。

销36具有头部36a和从该头部36a延伸的圆柱部36b。另外，在圆柱部36a的前端形成有螺纹部36c。

在基板部19上形成有螺纹孔19a，销36的螺纹部36c螺合在该螺纹孔19a中。此处，螺纹孔19a与输出轴14的轴心C1平行地形成。因此，螺纹部36c螺合在螺纹孔19a中的销36的轴心C2与输出轴14的轴心C1平行。

在销36的圆柱部36b的外周安装有压缩弹簧35。压缩弹簧35的一端与圆筒部34的底面(Z轴正方向侧面)接触，另一端与销36的头部36a的下表面(Z轴负方向侧面)接触。

将销36的螺纹部36c旋入设于基板部19的螺纹孔19a中，并调整旋入深度，由此能够调整销36的头部36a相对于基板部19的位置。通过调整该销36的头部36a相对于基板部19的位置，能够调整压缩弹簧35在其下端对圆筒部34进行加压的力。压缩弹簧35对圆筒部34进行加压的力经由延伸部32而传递到加压部31，从而调整加压部31推压输出轴14的力。

此处，销36的头部36a的外周与圆筒部34的内表面能够滑动地接触。此外，销36的圆柱部36b的外周与圆筒部34的孔部34a的内表面能够滑动地接触。

因此，圆筒部34的内表面被头部36a的外周引导，并且，孔部34a的内表面被圆柱部36b引导。通过该引导，圆筒部34能够沿着销36的轴心C2移动。

销36的轴心C2如上述那样与输出轴14的轴心C1平行。因此，圆筒部34的移动方向也与输出轴14的轴心C1平行。因此，设在从圆筒部34延伸的延伸部32的前端的加压部31能够沿着输出轴14的轴心C1而施加加压力。

图3是具有搭载了第一实施方式的振动波马达1的透镜镜筒2的照相机3的示意剖视图。此外，图3的振动波马达1是从图1所示的方向B观察到的图。设有振动波马达1的基板部19安装在透镜镜筒2的齿轮单元组件50上。振动波马达1的输出齿轮51与齿轮单元组件50的减速齿轮52啮合，减速齿轮52与形成在凸轮环53上的齿轮部53a啮合。

振动波马达1的旋转驱动力通过输出齿轮51、减速齿轮52、凸轮环53的齿轮部53a而被传递，从而旋转驱动凸轮环53。

在凸轮环53上，相对于周向倾斜地切出键槽53b，固定销61插入在该键槽53b中的AF环60由于凸轮环53的旋转驱动而在光轴方向上且以直线行进方向被驱动，并能够停止在所希望的位置上。

此外，在透镜镜筒2的外侧固定筒6与内侧固定筒7之间设有透镜驱动电路5。透镜驱动电路5进行振动波马达1的驱动、控制、转速的检测、振动传感器的检测等。

图4是说明设在透镜驱动电路5中的振动波马达1的驱动装置100的框图。驱动装置100具有：振动部101、控制部102、移相部103、放大部104。

振动部101基于控制部102的指令而产生所希望的频率的驱动信号。移相部103将在该振动部101产生的驱动信号分成相位不同的2个驱动信号。放大部104将通过移相部103而分成的2个驱动信号分别升压至所希望的电压。

来自放大部104的驱动信号被传递到振动波马达1，由于施加该驱动信号而在振子10中产生行波，从而移动件11被驱动。旋转检测部105由光学式编码器或磁编码器等构成，用于检测通过移动件11的驱动而被驱动的驱动物的位置和速度，并将检测值作为电信号传递到控制部102。控制部102根据来自透镜镜筒2内或照相机3的CPU的驱动指令而控制振动波马达1的驱动。控制部102接收来自旋转检测部105的检测信号，根据其值获取位置信息和速度信息，并控制振动部101的频率以定位于目标位置。

接下来，对第一实施方式的振动波马达1的动作进行说明。

从控制部102发出驱动指令，从振动部101产生驱动信号，该信号通过相位部而被分成相位相差90度的2个驱动信号，并通过放大部104而被放大成所希望的电压。驱动信号被施加在振动波马达1的压电体12上，压电体12被激振，通过该激振而在弹性体13上产生4次弯曲振动。压电体12被分成A相和B相，驱动信号被分别施加于A相和B相。对于由A相产生的4次弯曲振动和由B相产生的4次弯曲振动，其位置上的相位错开1/4波长，另外，由于A相驱动信号与B相驱动信号错开90度相位，所以2个弯曲振动被合成而成为4波的行波。

此外，波数不限于4，也可以是9或者其他波数，5、6、7、8、10或者10以上，只要以相同的结构、相同的方法进行控制就能够得到相同的效果。

在行波的波峰产生椭圆运动。因此，与驱动面10a加压接触的移动件11通过该椭圆运动而被摩擦地驱动。在通过移动件11的驱动而被驱动的驱动体上配置有光学式编码器，从该光学编码器产生电脉冲，并被传递到控制部102。控制部102根据该信号能够获取当前位置和当前速度。

此处，对振子10的驱动面10a进行加压的加压部件30如上述那样具有加压部31、延伸部32和加压力产生部33。加压力产生部33的圆筒部34沿着与输出轴14的轴心C1平行的轴心C2而被加压。该加压力通过延伸部32而被向加压部31传递，并通过加压部31而被施加在输出轴14的中心。由于销的轴心C2的方向与输出轴14的轴心C1平行，所以设在延伸部32的前端的加压部31的加压方向也与输出轴14的轴心方向大致相同。

此外，由于加压部31为球面形状，与加压部31接触的输出轴14的形状为倒圆锥形状，所以能够防止振子10和移动件11之间的加压力的偏斜且能够产生均匀的加压力。

图5表示相对于本实施方式的比较方式。比较方式与第一实施方式的不同点在于加压部件(压缩弹簧)35A设在输出轴14A的齿轮部51A与轴承18A之间。根据该比较方式，压缩弹簧35A被插入在输出轴14A上，所以需要确保压缩弹簧35A的长度的量的、沿着振动波马达1A的轴心C1A的长度。

但是，根据本实施方式，如图1所示，压缩弹簧35没有安装在振动波马达1的输出轴14上，所以，与比较方式相比，能够将振动波马达1的轴心C1方向的长度减小与压缩弹簧35相应的量。因此，能够将振动波马达1做成扁平形状。

另外，在本实施方式中，加压力产生部33设在延伸部32的下侧(Z轴负方向侧)。因此，能够将振动波马达1的轴心C1方向的长度抑制在最小限度。这样，由于能够缩短本实施方式的振动波马达1在其轴心C1方向上的长度，所以也能够搭载在图3所示那样的、所谓的薄饼型(pancake)透镜镜筒中。

再有，在本实施方式中，在加压力产生部33中使用了能够稳定地施加力量的压缩弹簧35，所以能够施加稳定的加压力。

(第二实施方式)

下面说明第二实施方式。图6是说明本发明的第二实施方式的振动波马达201的图。图7是从A方向观察到的图6的图。图8是表示加压部231没有推压加压承受部件222的状态的图。

在第二实施方式中，移动件211的旋转中心为固定轴214，具有以固定轴214为中心配置的马达单元225、和加压部件230。马达单元225中的振子210的结构与第一实施方式相同故省略说明。

移动件211通过橡胶部件217而被固定在齿轮部件221上。橡胶部件217利用橡胶部件217的粘着性而将移动件211和齿轮部件221结合起来，并且吸收来自移动件211的振动，防止振动向齿轮部件221传递。作为材料优选丁基橡胶等。

在齿轮部件221的内径侧配置有轴承218，在该轴承218的内径侧嵌合有固定轴214，移动件211以固定轴214的轴心C1为中心旋转驱动。固定轴214被固定在基板部219上。

另一方面，在轴承218的内径侧配置有加压承受部件222，其轴心与固定轴214的轴心C1同轴地配置。

在基板部219上，固定有设在振子210上的翅片部220，固定有固定轴214，配置有加压部件230。

加压部件230由加压部231、板簧部232、凸缘部234、固定部235构成。

板簧部232在与固定轴214的轴心C1垂直的方向上延伸，并在前端具有加压部231。加压部件230在如图8所示那样没有被施加加压力的情况下弯曲变形，在加压部231处于与加压承受部件222的圆锥形的凹部卡合的图6的状态时，产生合适的加压力，在该情况下，在固定轴214的轴心方向上产生力。

在板簧部232的与加压部231相反侧的端部形成有凸缘部234。如图7所示，凸缘部234的宽度比板簧部232宽，如图6所示，凸缘部234在与固定轴214的轴心C1平行的方向上延伸。在该结构中，由于凸缘部234的弯曲刚性比板簧部232的弯曲刚性大，所以即使在板簧部232上施加加压力，凸缘部234的变形也很小，作为固定端发挥作用。凸缘部234通过螺钉236而被安装在立设于基板部219上的固定部235上。

根据第二实施方式，在板簧部232的固定部235上设有弯曲刚性大的凸缘部234，并使该凸缘部234沿固定轴214的轴心方向延伸。根据本实施方式，与第一实施方式同样，加压部件230的加压力产生部233能够可靠地沿固定轴214的轴心C1方向施加加压力，能够防止振子210和移动件211之间的加压力偏斜。

此外，通过这样构成，由于在加压部件230中，能够使板簧部232以外的部分低于板簧部232，所以能够降低振动波马达201的高度(使固定轴214方向上的宽度变窄)。而且，即使这样地将马达单元形成得扁平，也能够实现高转速驱动、高效率、高负载驱动。

此外，与第一实施方式相比，能够减少零部件数量，因此还能够减少作业工序数。

(第三实施方式)

下面说明第三实施方式。图9是说明本发明的第三实施方式的振动波马达301的图。第三实施方式与第一实施方式同样地具有马达单元325和加压部件330。与第一实施方式的不同在于轴承318的位置。

振子310的结构与第一实施方式相同，故省略其说明。

移动件311通过橡胶部件317而连接在轴承支承部件340上。橡胶部件317利用橡胶部件317的粘着性而将移动件311和轴承支承部件340结合，并且吸收来自移动件311的振动，防止振动向输出轴314传递。作为材料优选丁基橡胶等。

轴承支承部件340被形成为嵌在输出轴314的D缺口314a中，并与移动件311一体地旋转。也就是说，移动件311的旋转方向的轴心与输出轴314的轴心C1大致同轴。

输出轴314一体地设有齿轮部314c。并且，在基板部319上且在齿轮部314c附近设有衬套341，因此齿轮部314c的振动被减弱。在轴承318的内周面嵌入输出轴314，在外周面嵌入加压部件330的延伸部332。

基板部319固定有设在振子310上的翅片部320，在基板部319上嵌入有防止输出轴314振动的衬套341，还固定有加压部件330。

加压部件330具有延伸部332及加压力产生部333。

加压力产生部333具有圆筒部334、压缩弹簧335、销336、固定销337。

与第一实施方式同样地，在圆筒部334内配置有外周嵌有压缩弹簧335的销336，销336的螺纹部336c从设在圆筒部334的底部的孔334a旋入基板部319的螺纹孔319a中，并向图8的下方(Z轴负方向)推压圆筒部334。其压力经由延伸部332而向与轴承318的外周侧接触的加压部331传递，向轴承318加压，由此，向输出轴314施加加压力，在振子310与移动件311之间产生加压力。

在本实施方式中，销336的轴心C2在与输出轴314的轴心C1平行的方向上延伸。由于圆筒部334的内表面与销336的头部336a的外周接触，并且，设在圆筒部334的底部的孔334a的内表面与销336的圆柱部336b的外周能够滑动地接触，所以，圆筒部334的移动方向也是与输出轴314的轴心C1平行的方向。因此，能够使设在延伸部332的前端的加压部331的加压方向与输出轴314的轴心方向大致相同。

此外，在本实施方式中，在圆筒部334的上端，第二延伸部339朝向隔着轴心C2而与延伸部332的延伸方向相反的方向延伸。在该第二延伸部339上设有孔334a。另一方面，在基板部319，与轴心C1及C2平行地立设有固定销337。并且，固定销337插入孔334a中并与该孔334a的内周面滑动地接触。

根据本实施方式，除了利用销336对圆筒部334的引导以外，还使从圆筒部334延伸的第二延伸部339通过设在基板部319上的固定销337而被引导。因此，能够更可靠地进行延伸部332相对于轴心C1的平行移动。而且，还能够防止加压部件330的向与轴心C1垂直的方向上的移动。

在本实施方式中，也能够沿输出轴314的轴心C1方向可靠地施加通过加压部件330的加压力产生部333产生的加压力，能够防止振子310与移动件311之间的加压力的偏斜。而且，即使这样地将马达单元形成得扁平，也能够实现高转速驱动、高效率、高负载驱动。

此外，第三实施方式相对于第一实施方式改变了轴承318的位置，由此，能够减少止挡件等零部件的数量。

(第四实施方式)

图10是说明本发明的第四实施方式的振动波马达401的图。第四实施方式在设有2个加压部件方面与第一实施方式不同。

在2个加压部件430A、430B之间配置马达单元425，能够更可靠地将加压部件430的加压力沿着输出轴414的轴心C1方向施加。

(第五实施方式)

图11及图12是说明本发明的第五实施方式的振动波马达501的图。图11是图12的C-C线剖视图。

在第五实施方式中，除了设有2个加压部件以外，其他均与第二实施方式相同。并且，在这2个加压部件530A、530B之间配置马达单元525。由此，能够更可靠地将加压部件530A、530B的加压力沿输出轴514的轴向施加。

此外，在本实施方式中，如图12所示，第一加压部件530A的延伸部532A和第二加压部件530B的延伸部532B不设在同一直径上(同一直线上)。即，在从输出轴514的轴心C1延伸的延伸部532A和延伸部532B之间所形成的角度小于180度。

这样，能够配置在透镜镜筒2的筒部件之间的间隔空间等的圆弧状空间内。

(变形方式)

以上，不受已说明的实施方式限定，能够进行各种变形和变更，这些也在本发明的范围内。而且，还能够适当组合上述实施方式来使用，但省略详细说明。此外，本发明不限于以上说明的实施方式。

Claims (14)

1.一种振动波马达，其特征在于，包括：

马达主体，所述马达主体具有：由驱动信号激振的机电转换元件、与所述机电转换元件接合并通过所述激振产生振动波的弹性体、以及与所述弹性体加压接触并通过所述振动波而相对于所述弹性体被相对地旋转驱动的相对运动部件；和

加压部件，使所述弹性体与所述相对运动部件之间产生加压力，

所述加压部件具有：

加压部，对所述弹性体或所述相对运动部件的一方沿着旋转驱动的旋转轴向另一方侧进行加压；延伸部，从所述加压部向以所述旋转轴为中心的径向的外侧延伸；以及加压部主体，配置在所述延伸部中的与所述马达主体相比位于所述径向的外侧的位置处，

所述加压部主体具有被加压部，该被加压部从所述延伸部连续并沿着与所述旋转轴平行的第二轴被加压，

所述被加压部被压缩弹簧加压。

2.如权利要求1所述的振动波马达，其特征在于，

所述加压部主体及所述马达主体配置在沿着所述旋转轴的方向上的、所述延伸部的一侧。

3.如权利要求1所述的振动波马达，其特征在于，

所述加压部以所述旋转轴为中心对所述弹性体或所述相对运动部件的一方加压。

4.如权利要求2所述的振动波马达，其特征在于，

所述加压部以所述旋转轴为中心对所述弹性体或所述相对运动部件的一方加压。

5.如权利要求1至4中任一项所述的振动波马达，其特征在于，

所述加压部沿着以所述旋转轴为中心的圆周配置。

6.如权利要求1至4中任一项所述的振动波马达，其特征在于，

所述延伸部从所述加压部沿多个径向延伸，所述加压部主体设在所述延伸部各自的端部。

7.如权利要求5所述的振动波马达，其特征在于，

所述延伸部从所述加压部沿多个径向延伸，所述加压部主体设在所述延伸部各自的端部。

8.如权利要求6所述的振动波马达，其特征在于，

多个所述延伸部沿不同的直径方向延伸。

9.如权利要求7所述的振动波马达，其特征在于，

多个所述延伸部沿不同的直径方向延伸。

10.一种振动波马达，其特征在于，包括：

马达主体，所述马达主体具有：由驱动信号激振的机电转换元件、与所述机电转换元件接合并通过所述激振产生振动波的弹性体、以及与所述弹性体加压接触并通过所述振动波而相对于所述弹性体被相对地旋转驱动的相对运动部件；和

加压部件，使所述弹性体与所述相对运动部件之间产生加压力，

所述加压部件具有：

加压部，对所述弹性体或所述相对运动部件的一方沿着旋转驱动的旋转轴向另一方侧进行加压；延伸部，从所述加压部向以所述旋转轴为中心的径向的外侧延伸；以及加压部主体，配置在所述延伸部中的与所述马达主体相比位于所述径向的外侧的位置处，

所述延伸部是板簧，

所述延伸部的所述径向的外侧的端部与第二延伸部连续，所述第二延伸部与所述旋转轴平行地延伸，

所述第二延伸部的刚性比所述延伸部大。

11.如权利要求10所述的振动波马达，其特征在于，

所述加压部主体及所述马达主体配置在沿着所述旋转轴的方向上的、所述延伸部的一侧。

12.如权利要求10或11所述的振动波马达，其特征在于，

所述加压部以所述旋转轴为中心对所述弹性体或所述相对运动部件的一方加压。

13.一种透镜镜筒，具有权利要求1～12中任一项所述的振动波马达。

14.一种照相机，具有权利要求1～12中任一项所述的振动波马达。