JP7027114B2 - 振動型アクチュエータ、及びそれを備えた電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、振動子と、振動子に励振される振動によって摩擦駆動される回転体とを有する振動型アクチュエータ、及びそれを備えた電子機器に関する。

一般に、振動型アクチュエータは、カメラレンズの駆動用などに製品応用がなされている。特許文献１には、棒状型の振動型アクチュエータが記載されている。

図７は、従来の棒状型の振動型アクチュエータの構成を説明する模式図である。棒状型の振動型アクチュエータは、駆動振動が励振される振動子２１４を有し、振動子２１４に励振された駆動振動により、振動子２１４と、振動子２１４と加圧接触するロータ（回転体）２０７と、を相対的に移動させている。

振動子２１４は、少なくとも２つの弾性体２０１、２０２と、弾性体２０１、２０２に挟まれる圧電素子２０３と、を有する。効率よく振動させるため、圧電素子２０３は所定の挟持力が付与されるように締め付けられている。

そして、圧電素子２０３に電界を印加し、直交する２つの曲げ振動を振動子２１４に励起させることによって弾性体２０１に楕円運動を発生させ、これにロータ２０７を圧接して摩擦力により駆動力を得るようにしている。ロータ２０７は、接触部２０７ａとロータ本環２０７ｂとを有する。ロータ２０７を加圧バネ２０９で加圧させることによって、振動子２１４とロータ２０７とが加圧接触するように構成されている。

ギア２１０は、加圧バネ２０９の加圧力の反力を受ける。ギア２１０は、フランジ２１２に圧入されたフランジキャップ２１１との間で摺動しながら、ロータ２０７と同期回転する。ここで、フランジキャップ２１１がなく、フランジ２１２とギア２１０とが直接接触する場合、フランジ２１２が摩耗してしまう恐れがある。そのため、フランジキャップ２１１を設けることにより、フランジ２１２の摩耗を防止して、軸受を高寿命化している。

特開２０１６－１３００９号公報

現在、特許文献１に記載の振動型アクチュエータは、更なる小型化が求められている。振動型アクチュエータを小型化できれば、振動型アクチュエータを備える製品の小型化が可能なためである。

また、特許文献１の振動型アクチュエータは、ギア２１０とフランジキャップ２１１とが摺動するすべり軸受けの構造となっている。このような構成の場合、ギア２１０とフランジキャップ２１１との隙間及びフランジキャップ２１１とフランジ２１２との隙間の幅が、振動型アクチュエータの駆動性能に影響する。具体的には、隙間が小さ過ぎると負荷が増大し、大きすぎるとギア２１０とロータ２０７の振れ回りが大きくなり、速度むらの原因となってしまう。そのため、特許文献１のようにフランジキャップ２１１をフランジ２１２に圧入する構成の場合、ギア２１０、フランジキャップ２１１及びフランジ２１２の３つの嵌合部品のそれぞれを高い寸法精度で製造することが求められ、製造が容易でない。

本発明はこのような従来技術に鑑みてなされたものであり、従来よりも小型化が可能で、かつ、従来よりも製造が容易な振動型アクチュエータを提供することを目的とする。

本発明の一側面としての振動型アクチュエータは、シャフトと、前記シャフトにより貫通される、電気－機械エネルギー変換素子及び弾性体、を備える振動子と、前記シャフトにより貫通され、前記振動子と接触し、前記弾性体の振動により前記シャフトの軸周りに回転する回転体と、前記シャフトにより貫通され、前記回転体と係合し、前記回転体の回転により前記シャフトの軸周りに回転する出力伝達部材と、前記シャフトに対して相対移動せず、前記出力伝達部材に対して相対移動する固定部材と、前記出力伝達部材を前記固定部材側に押圧し、前記回転体を前記振動子側に押圧する加圧部材と、を有し、前記固定部材は、基底部、及び前記基底部から前記出力伝達部材側に突出する突起部、を備え、前記シャフトの軸方向において、前記基底部と前記出力伝達部材との間に加圧受け部材を有し、前記基底部は、前記出力伝達部材及び前記加圧受け部材を介して前記加圧部材により押圧され、前記出力伝達部材は、前記基底部と対向する面に、前記シャフトの軸回りに形成された溝部を有し、前記出力伝達部材と前記加圧受け部材との摺動面の摺動面積は、前記加圧受け部材の前記出力伝達部材と対向する面の面積未満であることを特徴とする。

本発明の一側面としての振動型アクチュエータによれば、従来よりも小型化が可能で、且つ、従来よりも製造が容易な振動型アクチュエータを提供することができる。

第１の実施形態に係る振動型アクチュエータの構成を説明する断面模式図。 第１の実施形態に係るフランジの構成を説明する模式図。 第２の実施形態に係るフランジの構成を説明する模式図。 第３の実施形態に係るフランジ及びギアの構成を説明する断面模式図。 第４の実施形態に係るフランジ及びギアの構成を説明する断面模式図。 第５の実施形態に係るデジタルカメラの構成を説明する斜視模式図。 従来例における振動型アクチュエータの断面模式図。

［実施例１］
（第１の実施形態）
本実施形態の振動型アクチュエータ１００について、図１を参照して説明する。図１は、振動型アクチュエータ（振動型駆動装置）１００の構成を説明する断面模式図である。

振動型アクチュエータ１００は、ロータ（回転体）１６、ゴム９、加圧バネ（加圧部材）１０、ギア（出力伝達部材）１１、フランジキャップ（加圧受け部材）１２、フランジ（固定部材）１３、第一のナット１４、及び振動子１５を有する。振動型アクチュエータ１００は、回転型の振動型アクチュエータである。

振動子１５は、第一の弾性体１、第二の弾性体２、圧電素子（電気－機械エネルギー変換素子）３、フレキシブルプリント基板４、シャフト５、及び第二のナット６を有する。なお、以下の説明では、振動型アクチュエータ１００について、第一のナット１４側を上側とし、第二のナット６側を下側と呼ぶ。そのため、以降の説明では、第一のナット１４を上部ナット１４、第二のナット６を下部ナット６と呼ぶことがある。第一の弾性体１、第二の弾性体２、圧電素子３及びフレキシブルプリント基板４は、シャフト５及び下部ナット６によって、所定の挟持力（圧縮力）が付与されるように締め付けられ、棒状の振動子１５を構成している。

圧電素子３には、それぞれが２つの電極からなる電極群（Ａ相とＢ相）が設けられている。不図示の電源から、フレキシブルプリント基板４を介して、それぞれの電極群に位相の異なる交流電界が印加されると、振動子１５に、直交する２つの曲げ振動が励振される。これら２つの振動モードは軸方向まわりの空間的な位相が９０度ずれており、印加交流電界の位相を調整することにより、２つの曲げ振動に、９０度の時間的な位相差を与えられる。その結果、振動子１５の曲げ振動が軸周りに回転し、第一の弾性体１上に楕円運動が発生する。振動型アクチュエータ１００の駆動の原理は従来技術と同様であり、例えば、特許文献１に説明が記載されている。

圧電素子３は、複数の圧電層と電極層を交互に積層して同時焼成して形成した積層圧電素子でもよいし、単板の圧電素子を複数積層して弾性体で挟み込む構成でもよい。また、圧電素子３のＡ相の一部には振動子の曲げ振動により歪みを生じ、正圧電効果により電荷を発生し、この電荷を検出することで振動子の振動状態のモニターするためのセンサ相が設けられている。この時の周波数に対するＡ相圧電素子の印加電圧とセンサ相の出力信号の位相差の関係は、共振周波数において９０度となり、共振周波数より高い側の周波数では徐々にずれていく。よって、振動を与えている時にこの位相差の値を検出することで入力の周波数と振動体の共振周波数との関係のモニターが行え、振動体の安定した駆動が行える。

ロータ１６は、接触部（摺動部材）７と、ロータ本環８と、を有する。接触部７の振動子１５側（下側）の面は、第一の弾性体１の上側の面と接触している。接触部７は、接触面積が小さく、かつ適度なバネ性を有する構造となっている。ロータ本環８は、接触部７ｂを支持しており、ロータ本環８と接触部７とが一体となって回転する。

接触部７の材料は、耐摩耗性や強度、耐食性を兼ね備えたステンレス鋼等が好ましく、より好ましくはＳＵＳ４２０Ｊ２である。接触部７は、旋盤加工又は３Ｄプリンター等で加工してもよいし、プレス加工で行ってもよい。プレス加工が、加工精度、コストの点で好ましい。接触部７は、樹脂接着剤による接着、又は、半田などの金属ろう付け、レーザー溶接あるいは抵抗溶接等の溶接、圧入、かしめ等の機械的接合で、ロータ本環８に固定される。

ロータ本環８は、振動子１５に対して、ゴム９を介して加圧部材としての加圧バネ１０で加圧されている。加圧バネ１０は、ギア１１とロータ１６との間に配置されている。このように加圧されることで、ギア１１はフランジキャップ１２に押圧され、スラスト方向での位置が定まると共に、ロータ１６は下側へ押圧される。そのため、接触部７と第一の弾性体１との間に摩擦力が生じ、上述した第一の弾性体１に励振される楕円運動によって、接触部７をシャフト５の軸周りに回転させることができる。このように、振動子１５の振動によって、ロータ１６は摩擦駆動する。ゴム９は、加圧バネ１０の加圧力を均一化する働きをしている。

ギア１１は、ロータ本環８の上側に配置されている。ロータ本環８の上面には、内径側に凹部が形成されている。ロータ本環８の上側に設けられた凹部とギア１１の下側に設けられた凸部とが係合することにより、ギア１１は、ロータ本環８と一緒にシャフト５の軸周りに回転し、振動型アクチュエータ１００の出力を外部に伝達する。ギア１１は、基底部１３ｂと対向する上側の面に、周方向に沿う溝部１１ａが設けられている。溝部１１ａを設けることにより、ギア１１の成形の精度を向上することが可能となる。さらに、溝部１１ａを設けることにより、ギア１１の溝部１１ａより内径側の面とフランジキャップ１２との摺動面の摺動面積を調整することができ、摺動面積を均一化することができる。フランジキャップ１２を小さくすることでも摺動面積を調整することは可能だが、溝部１１ａによって調整する方が、組立性が高く、好ましい。

ギア１１の材料は、強度と耐摩耗性を満たす材料を用いることが好ましく、本実施形態では強化繊維入りの樹脂を使用する。また、樹脂のベース部材と、強化繊維を調整し、後述するフランジ１３と線膨張係数が同等であることが好ましい。

振動子１５は、シャフト５と上部ナット１４によって、固定部材であるフランジ１３に固定される。フランジ１３は、振動型アクチュエータ１００が搭載される機器のフレーム等の不図示の外部部材に振動型アクチュエータ１００を取り付けるための部材であり、上部ナット１４のシャフト５のスラスト方向の所定位置に固定されている。振動型アクチュエータ１００を駆動すると、ロータ１６及びギア１１が、振動子１５の振動により回転し、シャフト５、フランジ１３及び振動子１５に対して相対移動する。

フランジ１３は、内径側において下側に突出する突起部１３ａと、シャフト５の軸に垂直な基底部１３ｂと、を有する。突起部１３ａを設けることにより、フランジ１３と、シャフト５及びギア１１との嵌合長を長くすることができる。突起部１３ａの外周面とギア１１の内周面とが摺動することにより、滑り軸受としての役目を果たしている。フランジ１３は、形状が比較的複雑であるため、樹脂成型又は亜鉛ダイキャスト、アルミダイキャスト、金属焼結等の方法で製造することが好ましい。本実施形態では、フランジ１３を、寸法精度、コスト及び強度のバランスから製造するものとする。

突起部１３ａの外周面とギア１１の内周面との隙間は、小さ過ぎると摺動負荷が増大し、大きすぎるとロータ本環８の振れ回りが大きくなり、速度むらの原因となる。そのため、適切な値に管理すること好ましい。

フランジキャップ１２は、フランジ１３に支持されており、ギア１１と基底部１３ｂとの間に配置されている。フランジキャップ１２は、基底部１３ｂに対する加圧力を受ける加圧受け部材である。フランジキャップ１２の硬度は、フランジ１３の硬度より高いことが好ましい。フランジキャップ１２はフランジ１３に対して接着剤等で固定することが好ましい。フランジキャップ１２の材料としては、耐摩耗性がある材料を用いることが好ましく、具体的には、ステンレス等が挙げられる。ステンレスを用いる場合、プレス加工でフランジキャップ１２を製造する方法は、寸法精度及び生産性が高いためより好ましい。フランジキャップ１２の出力伝達部材側（ギア１１側、下側）の面は、ギア１１の上側の面の内径側と接触する。フランジキャップ１２とギア１１との接触面は摺動面となるため、この摺動面の摩擦係数は小さいことが好ましい。

本実施形態において、フランジキャップ１２を設けない場合、フランジ１３の基底部１３ｂの下側の面は、ギア１１と直接接触することになる。フランジ１３は、スラスト方向において加圧ばね１０の加圧力を受けるため、ギア１１が回転することによって、フランジ１３の下側の面摩耗してしまう。このような摩耗を低減するために、スラスト方向において、フランジ１３とギア１１との間にフランジキャップ１２を配置している。一方で、ラジアル方向（シャフト５の軸方向に直交する方向）においては、フランジ１３の突起部１３ａの側面（シャフト５の軸と平行な面）とギア１１とが接している。突起部１３ａは、ギア１１からの側力を受けるのみである。ギア１１からの側力は、摩耗が進む面圧よりも十分に小さいため、ギア１１と直接摺動させることが可能である。

従来は、フランジ２１２の突起部の下側の面とギア２１０の加圧受け部２１０ａとの間でフランジキャップ２１１を介して加圧力を受けていた。それに対し、本実施形態の振動型アクチュエータ１００は、フランジ１３の基底部１３ｂの下側の面と、ギア１１との間にフランジキャップ１２を配置し、そこで加圧バネ１０の加圧力を受けている。そのため、従来のような、ギア２１０の加圧受け部２１０ａ、及びフランジキャップ２１１のＲ部２１１ａを設ける必要がない。その結果、本実施形態の振動型アクチュエータ１００によれば、振動型アクチュエータ１００を軸方向に小型化することができる。

図７に示す従来の振動型アクチュエータのように、フランジ２１２にフランジキャップ２１１を圧入した場合、フランジ２１２、フランジキャップ２１１及びギア２１０の３つの部品が嵌合する。そのため、フランジ２１２、フランジキャップ２１１及びギア２１０の３つの部品の公差が振動型アクチュエータの駆動性能に影響するため、寸法管理が煩雑となる。一方、本実施形態の振動型アクチュエータ１００によれば、ラジアル方向において嵌合する嵌合部材は、ギア１１とフランジ１３との２つである。そのため、嵌合部材の間隔を従来よりも制御しやすく、また、各嵌合部材の寸法管理が従来よりも容易となり、従来よりも容易に製造できる。

フランジ１３の構成について、図２を参照して説明する。図２（ａ）はフランジ１３の側面模式図であり、図２（ｂ）はフランジ１３を下側からみた模式図である。ギア１１との摺動面である、フランジ１３の突起部１３ａの側面には、スラスト方向に沿う複数の溝１３ｃが設けられている。複数の溝１３ｃを設けることによって、ギア１１と突起部１３ａの側面との摺動面積を小さくすることができるため、ギア１１と突起部１３ａの側面との間の摩擦力による摺動損失を低減することが可能である。従来は、プレスによる絞り加工で製造するカップ状のフランジキャップ２１１を用いていたため、フランジキャップ２１１の側面に溝を形成するのが困難であった。本実施形態のように、フランジキャップ１２を板状にして、ラジアル方向においてフランジ１３の側面とギア１１とが接する構成にすれば、フランジ１３及びギア１１の少なくとも一方の摺動面を加工によって、摺動損失を容易に低減することができる。

このように本実施形態によれば、従来よりも小型化が可能で、且つ、従来よりも製造が容易な振動型アクチュエータ１００を提供することができる。また、振動型アクチュエータ１００によれば、ギア１１とフランジ１３との摺動による摺動損失を従来よりも低減することが可能である。

（第２の実施形態）
本実施形態では、第１の実施形態のフランジ１３として、図３に示したフランジ３３を用いる。フランジ３３の構成以外は、第１の実施形態と同様の構成のため、詳細な説明は省略する。図３は、本実施系チアのフランジ３３の構成を説明する模式図である。

フランジ３３は、突起部３３ａと、基底部３３ｂとを有する。突起部３３ａには、周方向に沿う溝部３３ｃが設けられている。溝部３３ｃを設けることによって、ギア１１と突起部３３ａの側面との摺動面積を小さくすることができるため、ギア１１と突起部３３ａの側面との間の摩擦力による摺動損失を低減することが可能である。このように、フランジキャップ１２を板状にして、ラジアル方向においてフランジ３３の側面とギア１１とが接する構成にすれば、フランジ３３及びギア１１の少なくとも一方の摺動面を加工することによって、摺動損失を容易に低減することができる。

このように本実施形態によれば、従来よりも小型化が可能で、且つ、従来よりも製造が容易な振動型アクチュエータを提供することができる。また、本実施形態の振動型アクチュエータによれば、ギア１１とフランジ３３との摺動による摺動損失を従来よりも低減することが可能である。

（第３の実施形態）
本実施形態の構成について、図４を参照して説明する。図４は、本実施形態のギア４１及びフランジ４３の構成を説明する断面模式図である。本実施形態では、第１の実施形態のフランジ１３として、図４に示したフランジ４３を用いる。また、第１の実施形態のギア１１として、図４に示したギア４１を用いる。なお、ギア４１及びフランジ４３の構成以外は、第１の実施形態と同様の構成のため、詳細な説明は省略する。

ギア４１は、シャフト５が貫通している貫通孔の側面が２段になっており、スラスト方向下側が貫通孔の内径が大きく、スラスト方向上側がの内径が小さくなっている。これを換言すると、ギア４１は、フランジ４３の突起部４３ａ側に突出しており、貫通孔の内径が相対的に小さい凸部４１ａが設けられている。凸部４１ａは、貫通孔の内径が相対的に大きい部分よりもスラスト方向下側（該部分よりも基底部４３ｂから離れた位置）に配置されている。

また、フランジ４３の突起部４３ａの側面も２段になっており、スラスト方向上側の外径が大きく、スラスト方向下側の外径が小さくなっている。これを換言すると、フランジ４３の突起部４３ａは、スラスト方向において基底部側（基底部４３ｂ側）に、外径が相対的に大きい凸部４３ｃが設けられている。

本実施形態では、ギア４１の凸部４１ａと突起部４３ａとが摺動し、また、ギア４１と突起部４３ａの凸部４３ｃとが摺動する。そして、上述の２つの摺動部の間は、ギア４１と突起部４３ａが接触しない空間となっている。その結果、摺動面積をさらに減らし、摺動損失を低減することできる。

このように本実施形態によれば、従来よりも小型化が可能で、且つ、従来よりも製造が容易な振動型アクチュエータを提供することができる。また、本実施形態の振動型アクチュエータによれば、ギア１１とフランジ３３との摺動による摺動損失を従来よりも低減することが可能である。

（第４の実施形態）
本実施形態の構成について、図５を参照して説明する。図５は、本実施形態のフランジ５３及びギア５１の構成を説明する断面模式図である。本実施形態では、第１の実施形態のフランジ１３として、図５に示したフランジ５３を用いる。また、第１の実施形態のギア１１として、図５に示したギア５１を用いる。なお、ギア５１及びフランジ５３の構成以外は、第１の実施形態と同様の構成のため、詳細な説明は省略する。

本実施形態のフランジ５３は、突起部５３ａと基底部５３ｂを有する。基底部５３ｂのスラスト方向下側の面には、スラスト方向上側にへこんでいる凹部５３ｃが設けられている。そして、凹部５３ｃには、フランジキャップ１２がフランジ５３と接して配置されている。このような構成にすることにより、振動型アクチュエータのスラスト方向における長さを小さくして、更なる小型化を行うことができる。

振動型アクチュエータの傾きを防ぐために、フランジ５３の基底部５３ｂのスラスト方向の厚みは一定にして、フランジ５３の剛性を所望の範囲にすることが好ましい。本実施形態では、フランジキャップ１２が接する部分の厚みを小さくするのみであり、また、その上部にはナット（不図示）が配置されているため、厚みを小さくしたことによる剛性の低下は僅かである。

軸受の長さが短すぎるとギア５１が倒れ、動力の伝達が不安定となる恐れがある。逆に、軸受の長さが長すぎると摺動損失が増加してしまう。しかし、本実施形態によれば、基底部５３ｂの厚みを調整することにより、軸受の長さを制御可能である。

このように、本実施形態によれば、従来よりも小型化が可能で、且つ、従来よりも製造が容易な振動型アクチュエータを提供することができる。また、軸受の長さを保ったまま、スラスト方向において振動型アクチュエータ全体を短くすることが可能となる。

（第５の実施形態）
本実施形態では、上述の振動型アクチュエータを有する電子機器の一例である撮像装置について、図６を参照して説明する。図６は、撮像装置の一例であるデジタルカメラ１０１の概略構造を示す斜視図である。

デジタルカメラ１０１の前面には、レンズ鏡筒１０２が取り付けられており、レンズ鏡筒１０２の内部には、光軸方向に移動可能な不図示の光学レンズ群が配置されている。第１の実施形態の振動型アクチュエータ１００は、不図示のギア列を介して、レンズ鏡筒１０２に配置されたレンズ群と接続している駆動部である。振動型アクチュエータ１００を駆動することにより、レンズ鏡筒のレンズ群が駆動される。すなわち、レンズ群は、振動型アクチュエータ１００で駆動される被駆動部である。例えば、アクチュエータ１００は、ズームレンズの駆動用及び／又はフォーカスレンズの駆動用等に任意に用いることができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。また、その要旨の範囲内で、上述の各実施形態の構成を互いに組み合わせてもよい。

例えば、上述の第４の実施形態の構成に、第１～第３の実施形態の構成を組み合わせてもよい。

また、上述の各実施形態では、フランジに振動型アクチュエータが固定されているが、さらに、ギア１１と噛み合う減速ギア、又は、振動型アクチュエータの駆動速度を読み取るエンコーダ等をフランジ上に設けてもよい。

１ 弾性体（第１の弾性体）
３ 電気－機械エネルギー変換素子
５ シャフト
１０ 加圧部材（加圧バネ）
１１ 出力伝達部材（ギア）
１２ 加圧受け部材（フランジキャップ）
１３ 固定部材（フランジ）
１３ａ 突起部
１３ｂ 基底部
１５ 振動子
１６ 回転体

Claims (17)

1. シャフトと、前記シャフトにより貫通される、電気－機械エネルギー変換素子及び弾性体、を備える振動子と、
   前記シャフトにより貫通され、前記振動子と接触し、前記弾性体の振動により前記シャフトの軸周りに回転する回転体と、
   前記シャフトにより貫通され、前記回転体と係合し、前記回転体の回転により前記シャフトの軸周りに回転する出力伝達部材と、
   前記シャフトに対して相対移動せず、前記出力伝達部材に対して相対移動する固定部材と、
   前記出力伝達部材を前記固定部材側に押圧し、前記回転体を前記振動子側に押圧する加圧部材と、を有し、
   前記固定部材は、基底部、及び前記基底部から前記出力伝達部材側に突出する突起部、を備え、
   前記シャフトの軸方向において、前記基底部と前記出力伝達部材との間に加圧受け部材を有し、
   前記基底部は、前記出力伝達部材及び前記加圧受け部材を介して前記加圧部材により押圧され、
   前記出力伝達部材は、前記基底部と対向する面に、前記シャフトの軸回りに形成された溝部を有し、
   前記出力伝達部材と前記加圧受け部材との摺動面の摺動面積は、前記加圧受け部材の前記出力伝達部材と対向する面の面積未満であることを特徴とする振動型アクチュエータ。
2. 前記シャフトの軸方向に直交する方向において、前記突起部と前記出力伝達部材は接することを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
3. 前記突起部は、前記出力伝達部材から側力を受けることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータ。
4. 前記シャフトの軸方向において、前記突起部と前記出力伝達部材は接しないことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
5. 前記突起部は、前記基底部の内径側に設けられており、
   前記シャフトは、前記突起部を貫通していることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
6. 前記突起部の側面に、前記シャフトの軸方向に沿う溝部が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
7. 前記突起部の側面には、複数の前記溝部が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の振動型アクチュエータ。
8. 前記突起部の側面に、前記突起部の側面の周方向に沿う溝部が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
9. 前記突起部は、前記突起部の外径が、前記突起部の他の部分と比較して大きい凸部が設けられており、
   前記突起部の前記凸部が、前記出力伝達部材と接することを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
10. 前記突起部の前記凸部は、前記シャフトの軸方向において、前記突起部の外径が、前記突起部の他の部分と比較して小さい部分よりも前記基底部側に設けられていることを特徴とする請求項９に記載の振動型アクチュエータ。
11. 前記出力伝達部材は、前記出力伝達部材の前記シャフトが貫通する貫通孔の内径が、前記貫通孔の他の部分と比較して小さい凸部が設けられており、
    前記出力伝達部材の前記凸部が、前記突起部の側面の一部と接することを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
12. 前記出力伝達部材の前記凸部は、前記シャフトの軸方向において、前記貫通孔の内径が、前記貫通孔の他の部分と比較して大きい部分よりも前記基底部から離れた位置に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の振動型アクチュエータ。
13. 前記基底部は、前記基底部の前記出力伝達部材側の面に凹部が設けられており、
    前記加圧受け部材は、前記凹部に配置されていることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
14. 前記加圧受け部材の硬度は、前記固定部材の硬度よりも高いことを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
15. 前記シャフトと前記固定部材はそれぞれ、独立した部材であることを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載の振動型アクチュエータ。
16. 請求項１から１５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
    前記振動型アクチュエータの駆動によって駆動される被駆動部と、
    を有することを特徴とする電子機器。
17. 前記被駆動部には光学レンズが備えられていることを特徴とする請求項１６に記載の電子機器。

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