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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5325151B2 (ja) * 2010-03-31 2013-10-23 日本電波工業株式会社 水晶デバイス、及びその製造方法
JP5492697B2 (ja) * 2010-08-04 2014-05-14 日本電波工業株式会社 Ａｔカット水晶デバイス及びａｔカット水晶デバイスの製造方法
JP5788728B2 (ja) * 2011-07-21 2015-10-07 日本電波工業株式会社 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法
JP5930526B2 (ja) * 2012-02-20 2016-06-08 日本電波工業株式会社 圧電振動素子及び圧電デバイス
JP5943187B2 (ja) * 2012-03-21 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP5930532B2 (ja) * 2012-06-01 2016-06-08 日本電波工業株式会社 圧電振動片及び圧電デバイス
JP6110112B2 (ja) * 2012-11-19 2017-04-05 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
JP6107332B2 (ja) * 2013-03-29 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 振動子、発振器、電子機器および移動体
WO2015025618A1 (ja) * 2013-08-20 2015-02-26 株式会社 村田製作所 弾性表面波デバイス及びその製造方法
JP2015070449A (ja) * 2013-09-30 2015-04-13 京セラクリスタルデバイス株式会社 水晶デバイス
CN106233624B (zh) * 2014-04-24 2018-12-21 株式会社村田制作所 水晶振动装置以及其制造方法
KR101522670B1 (ko) * 2014-08-19 2015-05-26 주식회사 이노칩테크놀로지 압전 소자 및 이를 구비하는 전자기기
US10601393B2 (en) * 2015-01-29 2020-03-24 Daishinku Corporation Crystal resonator plate and crystal resonator device
CN105047568B (zh) * 2015-09-07 2018-01-09 京东方科技集团股份有限公司 薄膜晶体管及其制作方法、显示面板
CN105634436A (zh) * 2015-12-22 2016-06-01 成都泰美克晶体技术有限公司 一种具有圆形晶片结构的石英晶体谐振器及其制作方法
WO2017126185A1 (ja) * 2016-01-21 2017-07-27 株式会社村田製作所 水晶振動子及びその製造方法
JP6868201B2 (ja) 2017-09-01 2021-05-12 株式会社村田製作所 圧電振動子
WO2019044488A1 (ja) * 2017-09-01 2019-03-07 株式会社村田製作所 水晶振動子
JP7015484B2 (ja) * 2018-08-02 2022-02-03 株式会社村田製作所 Ｍｅｍｓデバイス
CN112039455B (zh) * 2019-07-19 2023-09-29 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 体声波谐振器的封装方法及封装结构
CN112039459B (zh) * 2019-07-19 2024-03-08 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 体声波谐振器的封装方法及封装结构
JPWO2022044949A1 (enrdf_load_stackoverflow) * 2020-08-26 2022-03-03
JP7517135B2 (ja) * 2020-12-18 2024-07-17 株式会社大真空 圧電振動デバイス
JP7543899B2 (ja) * 2020-12-23 2024-09-03 株式会社大真空 圧電振動デバイス
US11522120B1 (en) * 2021-07-02 2022-12-06 Yoketan Corp. Micro crystal oscillator

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5342585A (en) 1976-09-29 1978-04-18 Seiko Instr & Electronics Ltd Crystal oscillator
CH625372A5 (enrdf_load_stackoverflow) * 1979-07-06 1981-09-15 Ebauchesfabrik Eta Ag
JPS57125510A (en) 1981-01-29 1982-08-04 Matsushima Kogyo Co Ltd Quartz oscillator
JPS6150413A (ja) 1984-08-20 1986-03-12 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動子の製造方法
JPH02298110A (ja) 1989-05-11 1990-12-10 Seiko Epson Corp 水晶振動子
JPH05102778A (ja) * 1991-08-13 1993-04-23 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
JPH05183375A (ja) 1991-12-28 1993-07-23 Murata Mfg Co Ltd 圧電薄膜発振子
JP4060972B2 (ja) * 1999-01-29 2008-03-12 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子及びその製造方法
JP2000349584A (ja) * 1999-06-07 2000-12-15 Tdk Corp 圧電部品及びその製造方法
JP2001345656A (ja) 2000-06-02 2001-12-14 Seiko Epson Corp 水晶振動片の製造方法及び水晶デバイス
JP2004208236A (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Seiko Epson Corp 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP2005109886A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Seiko Epson Corp 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP3841304B2 (ja) * 2004-02-17 2006-11-01 セイコーエプソン株式会社 圧電発振器、及びその製造方法
JPWO2006114936A1 (ja) * 2005-04-18 2008-12-18 株式会社大真空 圧電振動片及び圧電振動デバイス
JP4707021B2 (ja) 2005-08-22 2011-06-22 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス
JP2007258918A (ja) * 2006-03-22 2007-10-04 Epson Toyocom Corp 圧電デバイス
JP4414987B2 (ja) * 2006-07-27 2010-02-17 日本電波工業株式会社 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品
JP5041145B2 (ja) * 2007-09-07 2012-10-03 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス
JP2009147849A (ja) * 2007-12-18 2009-07-02 Epson Toyocom Corp 圧電振動子の製造方法、圧電基板ウエハ及び圧電振動子
JP5184142B2 (ja) * 2008-02-26 2013-04-17 セイコーインスツル株式会社 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
JP2010147953A (ja) * 2008-12-22 2010-07-01 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電フレーム及び圧電デバイス
JP2010171536A (ja) * 2009-01-20 2010-08-05 Seiko Instruments Inc 圧電振動子
JP2010171572A (ja) * 2009-01-21 2010-08-05 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器
JP2012085253A (ja) * 2010-03-25 2012-04-26 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装型の水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法
JP5325151B2 (ja) * 2010-03-31 2013-10-23 日本電波工業株式会社 水晶デバイス、及びその製造方法
JP5026574B2 (ja) * 2010-04-27 2012-09-12 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
JP5492697B2 (ja) * 2010-08-04 2014-05-14 日本電波工業株式会社 Ａｔカット水晶デバイス及びａｔカット水晶デバイスの製造方法
JP5595196B2 (ja) * 2010-09-16 2014-09-24 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
JP5595218B2 (ja) * 2010-10-20 2014-09-24 日本電波工業株式会社 圧電デバイス及び圧電基板の製造方法
JP2012156978A (ja) * 2011-01-05 2012-08-16 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Ａｔカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法
JP5657400B2 (ja) * 2011-01-12 2015-01-21 日本電波工業株式会社 水晶デバイス

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