JP2012060628A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 電圧の印加により振動する圧電振動片と、前記圧電振動片を囲んで前記圧電振動片と一体に形成され一主面と他主面とを含む外枠と、前記外枠の外周の縁部に形成される一対の第１キャスタレーションとを有する圧電フレームと、
   第１面と、その第１面の反対側の第２面と、外周の縁部に形成される一対の第２キャスタレーションとを有し、前記第１面が非導電性接着剤により前記外枠の前記一主面に接合されるベース部と、
   前記非導電性接着剤により前記外枠の前記他主面に接合され、前記ベース部とともに前記圧電振動片を密閉するリッド部と、を備え、
   前記圧電フレームは、
   前記圧電振動片の前記一主面及び前記他主面に形成された一対の励振電極と、前記一主面側の励振電極から前記第１キャスタレーションの一方まで引き出された前記一主面の第１引出電極及び前記他主面側の励振電極から前記第１キャスタレーションの他方まで引き出された前記他主面の第２引出電極と、前記第２引出電極に電気的に接続され前記第１キャスタレーションに形成された第１側面電極と、を有し、
   前記ベース部は、前記第１側面電極及び前記第１引出電極にそれぞれ電気的に接続され前記一対の第２キャスタレーションに形成された一対の第２側面電極を有し、
   前記第１及び第２キャスタレーションには、前記第１側面電極又は前記第１引出電極と前記第２側面電極とを電気的に接続するように一対の接続電極が形成されている圧電デバイス。
2. 前記第１及び第２キャスタレーションには前記接続電極を覆うように前記非導電性接着剤が形成されている請求項１に記載の圧電デバイス。
3. 前記一主面から前記他主面への方向から見ると、前記外枠の外周及び前記ベース部の外周は四角形であり、前記第１及び第２キャスタレーションは前記四角形の角部に形成される請求項１又は請求項２に記載の圧電デバイス。
4. 前記一主面から前記他主面への方向から見ると、前記外枠の外周及び前記ベース部の外周は四角形であり、前記第１及び第２キャスタレーションは前記四角形の辺に形成される請求項１又は請求項２に記載の圧電デバイス。
5. 前記圧電振動片は、厚みすべり振動モードを有する圧電振動片であり、
   前記外枠の外周及び前記ベース部の外周は長い長辺とその長辺より短い短辺とを有する四角形であり、
   前記第１及び第２キャスタレーションが前記短辺に沿って形成される請求項４に記載の圧電デバイス。
6. 一対の前記第１キャスタレーションは、前記圧電振動片の中心を通り前記長辺に平行である中心線の前記短辺方向の両側に形成され、
   一対の前記第２キャスタレーションは、前記ベース部の中心を通り前記長辺に平行である中心線の前記短辺方向の両側に形成されている請求項５に記載の圧電デバイス。
7. 前記接着剤は、前記ベース部及び前記リッド部の融点よりも低い低融点ガラス又はポリイミド樹脂を含む請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
8. 前記圧電振動片は、厚みすべり振動モードを有する圧電振動片又は一対の振動腕を有する音叉型圧電振動片である請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
9. 一主面と他主面とを有する圧電振動片と前記圧電振動片の周囲を囲み且つ前記圧電振動片を支持する外枠とを有する圧電フレームを複数含み、隣り合う前記外枠間に前記一主面から前記他主面まで貫通する少なくとも一対の第１貫通孔が形成された圧電ウエハを用意する第１用意工程と、
   前記一主面と前記他主面とに形成される一対の励振電極と、前記一対の励振電極から前記一対の第１貫通孔までそれぞれ引き出された一対の引出電極と、前記第１貫通孔に形成され前記引出電極と電気的に接続される第１側面電極とを形成する第１電極形成工程と、
   第１面及びその第１面と反対側の第２面とを有するベース部を複数含み、前記圧電ウエハと接合する際に前記一対の第１貫通孔と一致し且つ隣り合う前記ベース部間に前記ベース部を貫通する少なくとも一対の第２貫通孔が形成された第１ウエハを用意する第２用意工程と、
   前記第２貫通孔に形成され前記第１側面電極と電気的に接続される第２側面電極を形成する第２電極形成工程と、
   前記圧電ウエハの前記一主面に前記第１ウエハの前記第１面を接着剤により接合する第１接合工程と、
   前記第１接合工程の後に、前記第１及び第２貫通孔に前記第１側面電極及び前記第２側面電極を覆うように接続電極を形成する第３電極形成工程と、
   を備える圧電デバイスの製造方法。
10. 前記第２電極形成工程又は前記第３電極形成工程で、前記第１ウエハの前記第２面に形成され前記第２側面電極に電気的に接続される一対の外部電極が形成される請求項９に記載の圧電デバイスの製造方法。
11. 前記圧電フレームの前記外枠に接合するリッド部を複数含む第２ウエハを用意する第３用意工程と、
    前記第１接合工程及び前記第３電極形成工程後、前記圧電ウエハの前記他主面に前記第２ウエハを前記接着剤により接合する第２接合工程を備え、
    前記第２接合工程で、前記接続電極が前記接着剤で覆われるように、溶融した前記接着剤が前記第１及び第２貫通孔に流れ込む請求項９又は請求項１０に記載の圧電デバイスの製造方法。