JP2012028715A - 酸素分圧制御熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記酸素分圧センサが、前記排出ラインであって前記熱処理部の下流側に配設された下流側酸素分圧センサであり、該箱状体の表面に設置された画面部を有し、前記下流側酸素分圧センサから送信された測定酸素分圧信号、前期熱処理部温度センサから送信された測定温度信号及び入力された運転操作制御情報に基づいて前記画面部に熱処理部温度コンロトール線図及び酸素分圧コントロール線図を、時間軸を共通にして表示させ、表示させたこれらの線図を基にして、前記温度コントローラに温度制御信号を、そして前記酸素分圧コントローラに酸素分圧制御信号を送信する運転操作コントローラを備える。
【選択図】図3
Description
前記熱処理部、温度コントローラ、雰囲気ガス供給ライン、排出ライン及び酸素分圧コントローラ及び酸素分圧センサを一体に内蔵する箱状体を備え、
前記酸素分圧センサが、前記排出ラインであって前記熱処理部の下流側に配設された下流側酸素分圧センサであり、
該箱状体の表面に設置された画面部を有し、前記下流側酸素分圧センサから送信された測定酸素分圧信号、前期熱処理部温度センサから送信された測定温度信号及び入力された運転操作制御情報に基づいて前記画面部に熱処理部温度コンロトール線図及び酸素分圧コントロール線図を、時間軸を共通にして表示させ、表示させたこれらの線図を基にして、前記温度コントローラに温度制御信号を、そして前記酸素分圧コントローラに酸素分圧制御信号を送信する運転操作コントローラを備えることを特徴とする酸素分圧制御熱処理装置を提供する。
図3において、管状型赤外線急速急冷熱処理炉部11の熱処理炉13は酸素分圧制御部12(図13ではSiOCで表示)に連結ライン21で連結される。
また、運転コントローラ35は、画面部17に制御状態を示す熱処理温度線図及び酸素分圧線図を、時間軸を共通にして表示する。これらの線図を個別に表示させることができる。
Claims (4)
- 内部に配設された試料を酸素分圧制御された雰囲気ガスで加熱処理する熱処理部と、該熱処理部の温度を計測する熱処理部温度センサ、該熱処理部の温度をコントロールする温度コントローラと、前記熱処理部に接続され、酸素分圧制御された雰囲気ガスを供給する雰囲気ガス供給ラインと、熱処理に供された雰囲気ガスを排出する排出ラインと、雰囲気ガスの酸素分圧制御を行う酸素分圧コントローラ及び酸素分圧センサと、を備えた酸素分圧制御熱処理装置において、
前記熱処理部、温度コントローラ、雰囲気ガス供給ライン、排出ライン及び酸素分圧コントローラ及び酸素分圧センサを一体に内蔵する箱状体を備え、
前記酸素分圧センサが、前記排出ラインであって前記熱処理部の下流側に配設された下流側酸素分圧センサであり、
該箱状体の表面に設置された画面部を有し、前記下流側酸素分圧センサから送信された測定酸素分圧信号、前期熱処理部温度センサから送信された測定温度信号及び入力された運転操作制御情報に基づいて前記画面部に熱処理部温度コンロトール線図及び酸素分圧コントロール線図を、時間軸を共通にして表示させ、表示させたこれらの線図を基にして、前記温度コントローラに温度制御信号を、そして前記酸素分圧コントローラに酸素分圧制御信号を送信する運転操作コントローラを備えること
を特徴とする酸素分圧制御熱処理装置。 - 請求項1において、前記運転コントローラは、前記画面部に制御状態を示す熱処理部温度線図及び酸素分圧線図を、時間軸を共通にして表示することを特徴とする酸素分圧制御熱処理装置。
- 請求項1において、前記熱処理部は赤外線熱処理部及び冷却気体冷却手段で構成され、前記箱状体の内部で、急速クランチ部がなされることで、前記箱状体内で、急速加熱冷却が行われるよにされたことを特徴とする酸素分圧制御装置。
- 請求項1に記載した酸素分圧制御処理装置が、ネットワークを介してパソコンに接続され、上述した運転操作コントローラの機能を持った当該パソコンから温度コントローラ及び酸素分圧コントローラの制御がなされることを特徴とする酸素分圧制御熱処理装置。
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---|---|---|---|---|
US9364913B2 (en) | 2013-05-01 | 2016-06-14 | Denso Corporation | Method for brazing sheet material and heat exchanger |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04110034A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-10 | Sony Corp | 熱処理方法及び熱処理装置 |
JPH06145781A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-27 | Nippon Techno:Kk | 雰囲気熱処理炉 |
JP2001160554A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理方法及び熱処理装置 |
JP2002326887A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-12 | Nec Machinery Corp | 酸素分圧制御による試料作成方法および試料作成装置 |
JP2005142222A (ja) * | 2002-11-05 | 2005-06-02 | Denso Corp | 積層型誘電素子及びその製造方法 |
WO2008114740A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 極低酸素濃度ガス生成装置、処理システム、薄膜堆積方法及び不活性ガス |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04110034A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-10 | Sony Corp | 熱処理方法及び熱処理装置 |
JPH06145781A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-27 | Nippon Techno:Kk | 雰囲気熱処理炉 |
JP2001160554A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理方法及び熱処理装置 |
JP2002326887A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-12 | Nec Machinery Corp | 酸素分圧制御による試料作成方法および試料作成装置 |
JP2005142222A (ja) * | 2002-11-05 | 2005-06-02 | Denso Corp | 積層型誘電素子及びその製造方法 |
WO2008114740A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 極低酸素濃度ガス生成装置、処理システム、薄膜堆積方法及び不活性ガス |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9364913B2 (en) | 2013-05-01 | 2016-06-14 | Denso Corporation | Method for brazing sheet material and heat exchanger |
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Publication number | Publication date |
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