JP2012019116A - 基板ホルダーストッカ装置及び基板処理装置並びに該基板ホルダーストッカ装置を用いた基板ホルダー移動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に真空処理を行うプロセスチャンバ内を搬送される基板ホルダーを収納する基板ホルダーストッカチャンバ18は、複数の基板ホルダーをその板厚方向に並べて保持するとともに往復移動する可動式テーブルAと、可動式テーブルAと並設され、複数の前記基板ホルダーその板厚方向を並べて保持するとともに往復移動する可動式テーブルBと、所定位置に停止した可動式テーブルA及び可動式テーブルBのいずれか一方に保持された基板ホルダーを、可動式テーブルA及び可動式テーブルBのいずれか他方に保持させるテーブル間移送機構31とを備えている。
【選択図】図4
Description
また、本発明の他の目的は、より発塵の少ない基板ホルダーストッカ装置及び基板処理装置並びに該基板ホルダーストッカ装置を用いた基板ホルダー移動方法を提供することにある。
或いは、本発明に係る基板処理装置は、このような基板ホルダーストッカ装置と、基板ホルダーに基板を移載する基板移載チャンバと、基板ホルダーに搭載された基板を搬送するとともに真空処理を施すプロセスチャンバと、を備えて構成されることを特徴とする。
或いは、本発明に係る基板ホルダー移動方法は、このような基板ホルダーストッカ装置での基板ホルダー移動方法であって、第1可動保持部及び第2可動保持部の第1の方向への動作と、テーブル間移送部による基板ホルダーの移動を交互に行うことで、第1可動保持部若しくは第2可動保持部における基板ホルダーの保持位置を任意に移動させることを特徴とする。
又、基板ホルダー8を回収する際には、上流側の真空チャンバ13から搬送されてきた基板ホルダー8を方向転換チャンバ17で方向転換せずに、そのまま基板ホルダーストッカチャンバ18内に回収する。すなわち、生産を止めることなく基板ホルダー8の入替えができる。
ヒーター4は、脱ガス等を行うために基板ホルダー8を加熱する発熱体であり、基板ホルダー8の上方に配置されている。この位置は、テーブル間移送機構31により基板ホルダー8を上方に配置したときに接触しない位置である。
のテーブルレールNo6より可動式テーブルBの テーブルレールNo20への基板ホルダーを搬送する(図11(b)参照)。そして、駆動機構42によって、テーブルレールNo20に搬送(位置変更)された基板ホルダーを、装置間搬送機構20にて搬送可能な位置まで移動させて成膜装置への搬出することができる(図11(c),(d)参照)。
上述した基板ホルダーストッカチャンバ18は、可動式テーブルを2つ(A,B)有するが、更に複数の可動式テーブルを有することで、基板ホルダー8の収納数を増やすことができる。例えば、図16(a),(b)に示す基板ホルダーストッカチャンバ28,38のように、可動式テーブルを3つ、または4つ備える構成とすることができる。また、テーブル間移送機構31の設置数を増やすことで、各可動式テーブルの可動範囲を減らすことができるため、更なる省スペースが可能となる。
4 ヒーター
8 基板ホルダー
10 キャリア
11 スライダー
11a 永久磁石
12 基板
13 真空チャンバ
14 仕切り弁(ゲートバルブ)
15 基板供給チャンバ
16 基板排出チャンバ
17 方向転換チャンバ
18,28,38 基板ホルダーストッカチャンバ(ストッカチャンバ)
20 装置間搬送機構(装置間搬送部)
21 搬送回転動力
22 回転方向転換機(Gear等)
23 搬送マグネット
25 ホルダー
26 基板支持爪
30,A,B 可動式テーブル(第1可動保持部、第2可動保持部)
30a テーブルレール
31,31a,31b,51 テーブル間移送機構(テーブル間移送部)
32 加熱装置
40、41 ガイドコロ
42 駆動機構
43 ボールネジ
61 上下機構
62 コロ駆動機構(摩擦搬送機構)
63 搬送コロ(推進部)
64 磁気式回転導入機
65 駆動装置
80 出し入れチャンバ
Claims (8)
- 基板に真空処理を行うプロセスチャンバ内を搬送される基板ホルダーを収納する基板ホルダーストッカ装置であって、
前記プロセスチャンバに連結されたチャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、重力方向と交わる第1の方向に複数の前記基板ホルダーを並べて保持するとともに前記第1の方向に往復移動可能な第1可動保持部と、
前記チャンバ内で前記第1可動保持部と並設され、前記第1の方向に複数の前記基板ホルダーを並べて保持するとともに前記第1の方向に往復移動可能な第2可動保持部と、
前記チャンバ内に設けられ、所定位置に停止した前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部のいずれか一方の所定の保持位置に保持された前記基板ホルダーを、前記第1の方向と直交する方向に移動させて、前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部のいずれか他方に保持させるテーブル間移送部と、を備えることを特徴とする基板ホルダーストッカ装置。 - 前記第1可動保持部若しくは前記第2可動保持部の一方に保持されている前記基板ホルダーを前記プロセスチャンバとの間で移送する装置間搬送部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダーストッカ装置。
- 前記テーブル間移送部は、複数設けられることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板ホルダーストッカ装置。
- 前記テーブル間移送部は、回転制御可能な推進部を備えるとともに、前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部に対する位置を移動できるように設けられ、
前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部が前記所定位置に停止したときに、前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部のいずれか一方の所定の保持位置に保持された前記基板ホルダーに前記推進部が接触する位置に移動することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板ホルダーストッカ装置。 - 前記テーブル間移送部は、回転制御可能な推進部を備え、前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部のそれぞれに前記推進部が設けられ、
前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部が前記所定位置に停止したときに、前記第1の方向と直交する方向に対向する前記第1可動保持部に設けられた前記推進部と前記第2可動保持部に設けられた前記推進部が連動することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板ホルダーストッカ装置。 - 前記第1可動保持部若しくは前記第2可動保持部に保持されている前記基板ホルダーを加熱する加熱部を、前記チャンバ内に備えることを特徴とする基板ホルダーストッカ装置。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板ホルダーストッカ装置と、前記基板ホルダーに基板を移載する基板移載チャンバと、前記基板ホルダーに搭載された基板を搬送するとともに真空処理を施すプロセスチャンバと、を備えて構成されることを特徴とする基板処理装置。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板ホルダーストッカ装置での基板ホルダー移動方法であって、
前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部の前記第1の方向への動作と、テーブル間移送部による前記基板ホルダーの移動を交互に行うことで、前記第1可動保持部若しくは前記第2可動保持部における前記基板ホルダーの保持位置を任意に移動させることを特徴とする基板ホルダー移動方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015521373A (ja) * | 2012-04-26 | 2015-07-27 | インテヴァック インコーポレイテッド | 真空プロセスのためのシステム構成 |
WO2016047679A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US10062600B2 (en) | 2012-04-26 | 2018-08-28 | Intevac, Inc. | System and method for bi-facial processing of substrates |
SG10201807710WA (en) * | 2014-02-20 | 2018-10-30 | Intevac Inc | System and method for bi-facial processing of substrates |
CN106688088B (zh) | 2014-08-05 | 2020-01-10 | 因特瓦克公司 | 注入掩膜及对齐 |
US9637319B1 (en) * | 2016-09-02 | 2017-05-02 | Amazon Technologies, Inc. | Tote handling systems and methods |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005120412A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Anelva Corp | 成膜装置 |
WO2010038272A1 (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-08 | キヤノンアネルバ株式会社 | 基板ホルダー保持装置及び基板ホルダー収納チャンバ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4699556A (en) * | 1984-05-17 | 1987-10-13 | Proconics International, Inc. | Object handling apparatus |
US4986729A (en) * | 1989-04-24 | 1991-01-22 | Proconics International, Inc. | Wafer transfer apparatus |
JP4222589B2 (ja) * | 2001-03-26 | 2009-02-12 | キヤノンアネルバ株式会社 | 基板搬送装置及びそれを用いた基板処理装置 |
JP4642610B2 (ja) * | 2005-09-05 | 2011-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板位置合わせ装置および基板収容ユニット |
JPWO2009153856A1 (ja) | 2008-06-17 | 2011-11-24 | キヤノンアネルバ株式会社 | 防着カバー付きキャリアおよび防着カバー着脱装置 |
JP5657948B2 (ja) | 2009-09-02 | 2015-01-21 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空処理装置及び基板移載方法 |
JP5539019B2 (ja) * | 2010-05-19 | 2014-07-02 | キヤノンアネルバ株式会社 | 基板支持装置及び真空処理装置 |
-
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005120412A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Anelva Corp | 成膜装置 |
WO2010038272A1 (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-08 | キヤノンアネルバ株式会社 | 基板ホルダー保持装置及び基板ホルダー収納チャンバ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015521373A (ja) * | 2012-04-26 | 2015-07-27 | インテヴァック インコーポレイテッド | 真空プロセスのためのシステム構成 |
WO2016047679A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Also Published As
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---|---|
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