JP5150575B2 - 基板ホルダー保持装置及び基板ホルダー収納チャンバ - Google Patents

Description

インライン型基板処理装置で発生する基板ホルダー堆積膜対策として、基板ホルダー収納チャンバによる基板ホルダーの交換システムが特許文献１に開示されている。
特許文献１の基板ホルダー収納チャンバは、放射状に配置された搬送用ローラー付の複数の搬送レールと、その搬送レールを放射中心を軸として回転駆動する搬送レール回転機構を備え、各搬送レール上に基板ホルダーが搭載可能になっている。この搬送レールを収納チャンバに設けられた搬出入口（１ヶ所）に回転搬送する事で、収納チャンバー内の基板ホルダーをインライン型基板処理装置へ搬出（回収）する方式である。

特開２００５−１２０４１２号公報

しかしながら、以下のような課題又は問題点があった。
（１）基板ホルダー収納チャンバの小型化
前記のように、従来技術では基板ホルダー収納に回転方式を採用している為、搬送レールの放射状配置が必要である。搬送レールの配置半径は内蔵レール数とレール間隔で決定され、内蔵する搬送レール数が多くなると放射中心より離して配置する必要が有る為に配置半径が広がってしまう。又、放射配置の特徴として中心付近の搬送レール間隔は放射角度により外周に向かい拡大する為、外周部に無駄な空間が発生する。これらの問題より基板ホルダー収納チャンバの小型化が困難であった。

（２）構造簡略化
従来技術では放射状配置の全搬送レールにインライン型基板処理装置への搬送用ローラーが必要であり、搬送用の部品数量が多く価格が高いという問題があった。同時に全搬送レールに対し搬送調整が必要であり調整作業に長時間を要していた。

（３）加熱効率改善
従来技術では収納基板ホルダーは放射状配置の為、基板ホルダーの配置範囲が大きく全基板ホルダーを網羅する加熱用ヒーターの配置が困難であった。よって天井２ヶ所に加熱用ヒーターを固定し、加熱時には温度分布確保の為、回転機構にて基板ホルダーを回転させる必要があった。従来方式では各基板ホルダー当りの入熱量が少なく、昇温を含めた脱ガス加熱に時間を要していた。

本発明の一実施形態によれば、基板ホルダー保持装置において、複数の基板ホルダーを保持可能で、かつ、配列方向に移動可能なテーブル機構と、前記基板ホルダーを前記テーブル機構から分離するための上下機構と、前記テーブル機構と前記上下機構との連動により、前記テーブル機構における基板ホルダーの位置を移動させる連動機構と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、放射状配置を並列配置にする事ができ、装置構成の簡素化と省スペース化に利する。
本発明によれば、チャンバーサイズの小型化が可能となり、また加熱の効率化も可能となる。

図１は本実施形態のインライン型基板処理装置の概略構成を示す平面図である。 図２は基板ホルダー保持装置Ａの斜視図である。 図３は基板ホルダー保持装置Ａの斜視図である。 図４Ａは基板ホルダー８、搬送機構２０を示す図である。 図４Ｂは基板ホルダー８、移載機構３０を示す図である。 図５は基板ホルダー保持装置Ａの斜視図である。 図６は基板ホルダー保持装置Ａの斜視図である。 図７Ａは基板ホルダー収納チャンバ１８内の加熱機構（本実施形態ではヒータ４）の配置を示す平面図である。 図７Ｂは加熱機構の側面図である。 図８は基板ホルダー収納チャンバ１８から隣接チャンバへ基板ホルダー搬出フロー図である。 図９は基板ホルダー収納チャンバ１８から隣接チャンバへ基板ホルダー搬出フローの別の図である。 図１０は隣接チャンバから基板ホルダー収納チャンバ１８への基板ホルダー搬入フロー図である。 図１１は本発明の他の形態にかかる基板ホルダー搬出フロー図である。

［基板処理装置構成の説明］
図１は本実施形態のインライン型基板処理装置の概略構成を示す平面図である。このようなインライン型基板処理装置は、例えば、磁気ディスクの製造装置として用いられる。本実施形態の基板処理装置では、複数の真空チャンバ１３が無端状（図では方形状のループ）に接続配置されている。各真空チャンバ１３は、専用または兼用の排気系よって排気される真空容器である。各真空チャンバ１３の境界部には仕切り弁（ゲートバルブ）１４が配置され、各真空チャンバ１３が気密状態を保って接続されている。基板は、基板処理装置内を基板ホルダー８に保持されて搬送される。複数の接続された真空チャンバ１３内には、移動路が設置されており、この移動路に沿って基板ホルダー８を移動させるマグネット式の搬送機構（後述する）が設けられている。基板処理装置の複数の真空チャンバ１３のうち、方形の一辺に配置された二つの真空チャンバ１３が、基板ホルダー８への基板の搭載を行なう基板供給チャンバ１５及び基板ホルダー８からの基板の回収を行なう基板排出チャンバ１６となっている。また、方形の角部分は、基板ホルダー８の搬送を９０度方向転換する、方向転換機構を備えた方向転換チャンバ１７になっている。また、方向転換チャンバ１７の１つには、基板ホルダー収納チャンバ１８が仕切り弁１４を介して接続されている。

基板ホルダー収納チャンバ１８は、複数の基板ホルダー８を保持する基板ホルダー保持装置Ａと、基板ホルダー８を隣の方向転換チャンバ１７と基板ホルダー保持装置Ａとの間で搬送するための搬送機構２０と、基板ホルダー保持装置Ａと搬送機構２０との間で基板ホルダー８を移載する移載機構３０（図４参照）と、基板ホルダー８を加熱するための加熱機構（図７参照）と、を有する。なお、基板ホルダー保持装置Ａは、本実施形態では複数（例えば２列において）基板ホルダー８が並列に設けられ、より多くの基板ホルダー８を収納可能になっている。基板ホルダー収納チャンバ１８に、基板ホルダー８の新品や再生・洗浄済み品を収納し、またこれと交換するため基板処理装置から回収される膜の堆積した基板ホルダー８を収容することで、生産を止めることなく基板ホルダー８を入れ替えることが可能となる。

図２に基板ホルダー保持装置Ａの斜視図を示す。
基板ホルダー保持装置Ａは、基板ホルダー８を並置して保持する可動式テーブル（第１の保持機構および列方向駆動手段に相当）５と、可動式テーブル５に保持される基板ホルダー８の全てを一度に可動式テーブル５から分離するユニット７Ａと７Ｂからなる分離機構（第２の保持機構に相当）７と、これらの動作をコントロールするコントローラ（連動機構に相当）６と、を備える。具体的には、可動式テーブル５は、複数の基板ホルダー８を保持可能なテーブル本体５１と、テーブル本体５１を駆動する駆動機構５２と、を有する。テーブル本体５１は、基板ホルダー８の底部に嵌め合う溝５１ａが複数等間隔に設けられていて、複数の基板ホルダー８を立て、基板ホルダーの板厚方向に配列させた状態で保持可能である。駆動機構５２は、テーブル本体５１を水平方向である前後方向に往復移動させるものである。本実施形態では、駆動機構５２のアクチュエータは、ボールねじにより構成される。テーブル本体５１に結合部分５２ａに結合されたナットを含み、該ナットはテーブル５１の前後方向に延在するネジ軸に螺合している。ネジ軸はコントローラ６の制御下にモータの回転で回転される。ネジ軸の回転によりナットは前後に移動し、該ナットに結合されたテーブル５１が前後に移動される。なお、駆動機構５２のアクチュエータは、ボールねじに限定されず、エアシリンダや油圧シリンダなどのシリンダ、後述の搬送機構２０と同様に磁気結合を介して直動させるマグネットアクチュエータなどを用いてもよい。

また、分離機構７は、本実施形態では、可動式テーブル５の左右両側に配されるユニット７Ａ,７Ｂから構成される。ユニット７Ａは、基板ホルダー８の底部を保持可能な保持部７１Ａと、保持部７１Ａを上下方向に駆動する駆動部７２Ａと、を有する。
保持部７１Ａは、基板ホルダー８の列方向に延びる水平部７１１ａと、水平部７１１ａから上下方向に延び、基板ホルダー８の列方向に沿って所定の間隔で複数配される区画部材７１２ａと、を有する。区画部材７１２ａによって区切られる１つの区画に、１枚の基板ホルダー８を保持する。従って、この区画の配置間隔は、可動式テーブル５の溝５１ａの間隔と同じ大きさであり、可動式テーブル５に保持される複数の基板ホルダー８の全てを同時に保持部７１Ａが保持可能に構成されている。また、分離機構７の保持部７１Ａに形成される区画数は、本実施形態では、搬送機構２０による１回の搬送数分（例えば、可動式テーブル５の溝数よりも１つ分）だけ少ない数以上に設定されている。

分離機構７の保持部７１Ａを上下移動させる駆動部７２Ａは、油圧シリンダなどの直動アクチュエータを備えて構成される。なお、図示していないが、直動アクチュエータは基板ホルダー収納チャンバ１８の外に配され、駆動軸のみがチャンバ内に配されている。もう一方のユニット７Ｂも７Ａと同じ構成である。
テーブル５上の基板ホルダーの全部を一度に上方に持ち上げテーブルから離させる分離機構７は、基板ホルダー８を可動式テーブル５に保持させるときは、図２に示すようにテーブル５の下方の退避位置にあり、可動式テーブル５から基板ホルダーを分離させるときは図３に示すように上方に駆動され、各ユニット７Ａ、７Ｂが左右両側から持ち上げるようにして基板ホルダー８を可動式テーブル５から分離する。また、上方の位置から退避位置まで下降させるときに、基板ホルダー８を可動式テーブル５に移載する。

コントローラ６は、本実施形態では、一般的なコンピュータを有して構成され、プログラムに基づき可動式テーブル５、分離機構７、後述する搬送機構２０及び移載機構３０に指令を出力し、これらの協調した動作を実現する。なお、コントローラ６は基板ホルダー収納チャンバ１８に配される複数の基板ホルダー保持装置Ａに共通に設けられ、それぞれをコントロールする。

図４Ａと図４Ｂに、基板ホルダー８、搬送機構２０及び移載機構３０を示す。図４Ａは正面方向から見た基板ホルダー８及び搬送機構２０の図であり、図４Ｂは基板の側方から見た基板ホルダー８、搬送機構２０及び移載機構３０の図である。

基板ホルダー８は、本実施形態では、１枚又は複数枚（図では２枚）の基板８１（搭載状態を破線で示す）を、真空チャンバ１３内で両面に対して処理することができるように保持する。図４Ａに示すように、基板ホルダー８は複数の支持爪８３によって基板を側面から支持することで、表面全体への成膜処理等を可能にしている。また、基板ホルダー８の底部には基板面内に平行な方向に沿って延びるマグネット８２が設けられており、搬送機構２０に磁気結合することでマグネット８２の延在する方向（横方向）に沿って基板ホルダーは搬送される。

搬送機構２０は、テーブル５の最前列にある基板ホルダーが、可動式テーブル５から移載機構３０（図４Ｂ）で取り出された後、取り出された基板ホルダーを更に搬送する機構である。搬送マグネット２３と、モータなどの回転駆動力を発生する駆動源２１と、駆動源２１の回転を搬送マグネット２３の軸の周りの回転に変換する回転方向変換機構２２と、を搬送機構２０は有する。搬送マグネット２３は、基板ホルダーの移動方向に延びる部材であって、Ｎ極及びＳ極のマグネットがらせん状に配列されたものであり、これを軸を中心に回転させることでその軸に沿った方向に図４の移載機構によって搬送マグネット２３の上に載せられ磁気的に結合した基板ホルダー８を横方向に搬送可能である。本実施形態では、テーブル５から取出された基板ホルダーを搬送する搬送機構２０は、基板ホルダー収納チャンバ１８に並列配置された基板ホルダー保持装置Ａの近傍に、かつ、複数の基板ホルダー保持装置Ａによって共用されるように設けられている。コントローラ６は、駆動源２１に駆動信号を出力することで、搬送方向や搬送タイミング、搬送速度等をコントロールする。なお、図示していないが、本実施形態では駆動源２１は基板ホルダー収納チャンバ１８の外に設けられ、駆動軸がベローズ（図示せず）に囲まれた状態でチャンバ内に挿入されている。なお、本発明の適用において、搬送機構は磁気結合によるものに限られない。

また、図４Ｂの移載機構３０は、搬送マグネット２３の前方に設けられ、搬送ローラ３１と、搬送ベース３２と、駆動軸３３と、シリンダなどの上下駆動用の駆動装置３４と、を備えて構成される。搬送ローラ３１は、図４Ｂに示すように、基板ホルダ−８の突出部８４とその底面側で嵌め合うように係合し可動式テーブル側に向いており、複数の搬送ローラ３１が基板ホルダー８の搬送方向に沿って設けられている。搬送ローラ３１は、搬送方向に沿って基板ホルダー８を案内するように回転可能である。駆動装置３４は、コントローラ６からの指令に基づいて搬送ローラ３１を上下に駆動し、搬送ローラ３１を基板ホルダー８に係合し又は非係合にして基板ホルダー８の可動テーブル５への移載動作を実現する。

具体的には、図５に示す待機位置から図６に示す位置に搬送ローラ３１を上昇させることで、基板ホルダー８の突出部８４を搬送ローラ３１に係合させて基板ホルダー８を可動式テーブル５から上方向に取り出す。そして、図４Ｂに示すように、基板ホルダー８のマグネット８２が搬送マグネット２３に磁気的に結合する搬送位置まで下降させることで、基板ホルダー８を可動式テーブル５から搬送位置に移載する。搬送位置の基板ホルダーは、その後図４Ａの搬送機構で横方向に搬送される。逆の動作により、搬送位置から可動式テーブル５への移載も可能である。

図７Ａと７Ｂに基板ホルダー収納チャンバ１８内の加熱機構（本実施形態ではヒータ４）の配置を示す。なお、図７Ａは平面図、図７Ｂは側面図である。
ヒータ４は、脱ガス等を行うために基板ホルダー８を加熱可能なものであり、基板ホルダー８の上方に配置される。この位置は、分離機構７により基板ホルダー８を上方に配置した時に接触しない位置である。ヒータ４としては、例えば、輻射熱により基板ホルダー８を加熱可能なランプヒーターなどのほか、気体の加熱を介して基板ホルダー８を加熱するシーズヒータなども用いることができる。加熱するときは、上記分離機構７により基板ホルダー８を上昇させ、ヒータ４により近づけた状態とすると、より高い加熱効果が得られる。
なお、ヒータ４の代わりに又はこれと併用して、高温ガスを導入することによる基板ホルダー８の加熱も可能である。加熱時のチャンバー圧力状態に関しては、加圧、大気、真空状態での加熱が可能である。

［基板ホルダー搬送の動作］
次に、上記構成の基板ホルダー保持装置Ａ、搬送機構２０および移載機構３０の動作について説明する。
図８は、基板ホルダー収納チャンバ１８から外へ基板ホルダー８を搬出するフローを示している。上述のような一連の動作、可動式テーブル５、分離機構７、搬送機構２０及び移載機構３０の動作をプログラムしたコントローラ６によりコントロールすることにより実現する。なお、図面を分かりやすくするために、図８では分離機構７については説明に必要な部分にのみ図示している。

図８−図１１の実施例にあっては、テーブル５は前後方向（図面上は左右方向）に移動し、分離機構７は上下方向に移動し、移載機構３０は上下方向及び前後方向に移動し、そして搬送マグネット２３は固定位置（回転するが）であることに注意されたい。従って、これら機構の相対的移動の位置関係は、搬送マグネット２３を基準として見ることができる。

図８の前半（ａ）〜（ｆ）は、１つの基板ホルダー８を可動式テーブル５から搬送位置Ｈ０、Ｗ０に移載し、搬出する動作である。
（ａ）は可動式テーブル５に基板ホルダー８が収容された状態を示す。この状態で可動式テーブル５を作動させ、搬送マグネット２３側に前進させる（（ｂ））。このときの移動ピッチは、本実施形態では、可動式テーブル５における基板ホルダー８の配置間隔ｐと同じに設定されている。したがって、このピッチだけ動かしたときにちょうど搬送マグネット２３の上方に最前列の基板ホルダー８が位置するように、可動式テーブル５と搬送マグネット２３との位置関係を設定しておく。

次に、移載機構３０を上方に移動させ搬送ローラ３１を上昇させ、基板ホルダー８を可動式テーブル５から上方に取り出し（（ｃ））、この状態から可動式テーブル５を後退させる（（ｄ））。その後移載機構を下方に移動させ搬送ローラ３１を下降させることで、基板ホルダー８を搬送位置Ｈ０，Ｗ０に移載する（（ｅ））。その後、搬送マグネット２３を回転駆動し、基板ホルダー８を横方向に搬送して、収納チャンバ１８から外へと搬出する（（ｆ））。これにより、可動式テーブル５の最前列溝、即ち搬送マグネット２３側端部の配置スペースに１つ空きスペースができる。

図８の後半（ｇ）〜（ｋ）は、上記可動式テーブル５の空いたスペースに基板ホルダー８を移す動作である。
移載機構３０を上方に移動し移載位置から待機位置に戻し（（ｇ））、可動式テーブル５を上述と同じように配置間隔ｐ分だけ搬送マグネット２３側に前進させる（（ｈ））。そして、分離機構７を作動させ、可動式テーブル５に保持される全ての基板ホルダー８を上方に持ち上げ、可動式テーブル５から分離する（（ｉ））。その分離したままの状態で、可動式テーブル５を配置間隔ｐ分だけ後退させた後（（ｊ））、分離機構７を下降させ基板ホルダー８を可動式テーブル５に移す。これにより、基板ホルダー８が前述の空いたスペースを埋めて、搬送マグネット２３側に詰めた状態で可動式テーブル５に配置される（（ｋ））。

以後、（ａ）〜（ｋ）を繰り返すことで、可動式テーブル５に配された全ての基板ホルダー８を順次収納チャンバから搬出することが可能である。
以上のように、本発明の搬送方式により、放射状ではなく並列状での基板ホルダー８の収納が可能となる。又、複数あった搬送レールを１箇所の可動式テーブル５とする事で、可動式テーブル上の基板ホルダーを小間隔収納でき、チャンバーサイズの小型化が可能となる。同時に搬送用部品の削減によるコストダウンと、搬送ローラー位置の調整作業時間を大幅に縮小できる。

又、基板ホルダー８の配置面積が縮小する事で、全ホルダーをカバーする脱ガス用ヒーター４配置が可能となる。同時にホルダー当りの入熱量が上がり昇温時間等の短縮が計れる。又、基板ホルダー８と可動式テーブル５の分離機構により、基板ホルダー８とヒータ４を近づけることで昇温時間短縮も可能となる。

［変形例］
なお、本実施形態では、可動式テーブル５の移動ピッチを常に基板ホルダー８の配置間隔ｐ分にしているが、可動式テーブル５と搬送位置の間で基板ホルダー８を移載するときと、分離機構７を用いて可動式テーブル５内で基板ホルダー８の配置を変えるときとで、移動ピッチを変えてもよい。つまり、可動式テーブル５内で配置を変えるときは配置間隔ｐ単位で移動ピッチを設定することが必要であるが、搬送位置に移載する場合は搬送レール２３の位置まで可動式テーブル５を動かすことが必要である。

また、上記シーケンスに限られない。例えば、図９に可動式テーブル５内で基板ホルダー８の配置を換える際の別の動作例を示す。図９の例では、図８の（ｇ）に対応する（ｇ’）の状態から、可動式テーブル５を駆動する前に分離機構７により基板ホルダー８を分離し（ｈ’）、その状態で可動式テーブル５を搬送位置とは反対の方向に駆動し（ｉ’）、基板ホルダー８を可動式テーブル５に移す（ｊ’）。図８の（ｋ）の状態に図９の（ｋ’）が対応している。この場合、図８の動作例に比べ、反対方向に駆動する分スペースが必要となるが、搬送マグネット２３との干渉は避けられる。

また、図９の例のように、分離機構７を用いるタイミングと可動式テーブル５を動かすタイミングによって、可動式テーブル５の駆動方向を変えることができることから、タイミングを変えることで、基板ホルダー８を搬出でなく可動式テーブル５に搬入する場合にも搬出時と駆動方向を揃えることができる。

これを適用した搬入時の動作例を図１０に示す。図１０（ａ）は、搬送機構２０の搬送位置によりテーブル５の最前列溝に基板ホルダー８が搬送されている状態である。搬入時は、搬出時とは異なり、可動式テーブル５を駆動する前に分離機構７を動作させて、基板ホルダー８を分離することで（（ｂ））、搬送マグネット２３側（前方）に可動式テーブル５を駆動させて最前列に搬送した基板ホルダーを２列目に移し替え行うことができる（（ｃ）、（ｄ）、（ｅ））。搬送機構２０からテーブルの最前列に基板ホルダーは搬送され、その基板ホルダーは分離機構７とにより順次後方に送られる。こうしてテーブル５の全ての溝に基板ホルダーを搬入できる。これにより、可動式テーブル５が移動するスペースを最小限に抑えることができる。もちろん、同様のタイミング調整により搬入時、搬送時共に搬送マグネット側２３とは反対方向に駆動するようにしてもよいし、タイミング調整を行わず、搬入時と搬出時とで反対方向に駆動するようにしてもよい。

また、基板ホルダー８を縦置きする場合について説明したが、例えば上下方向に積層する場合（この場合、列方向は上下方向となる）にも本発明を適用可能である。また、上記実施形態では、基板の板厚方向に基板ホルダー８を積層させているが、基板の側面方向（面内方向）に積層させてもよい。

また、上記実施形態では、可動式テーブル５を１配置間隔ｐ分ずつ進退させているが、これに限らず、例えば、２配置間隔ｐ分又はそれ以上ずつずらすようにしてもよい。例えば、搬送機構２０が１度に２個ずつ搬送するような場合は、２個ずつ空きスペースができるので、これを一気につめることができるように基板ホルダー８が搬送される配置間隔ｐ分ずつ（この例では２配置間隔ｐ分ずつ）、進退させてもよい。もちろん、１配置間隔ｐを２回繰り返して、つめてもよい。

また、上記実施形態では、保持機構からの分離機能と列方向への駆動とを各保持機構に分けて行わせているが、一方の保持機構に双方を行わせてもよい。例えば、可動式テーブル５を上下方向にも駆動し、分離機構７の保持部材７１Ａを可動式テーブル５の下方に固定し、可動式テーブル５を下降させることで分離機構７へ基板ホルダー８を移し、可動式テーブル５が前進又は交代した後、保持部材７１Ａを上昇させることで再び可動式テーブル５に移すような構成としてもよい。この場合、例えば、上記可動式テーブル５の駆動機構５２の下方に、さらにシリンダなどの上下駆動装置を設け、駆動機構５２ごと動かすようにする。

また、上記実施形態では、一方の保持機構（可動式テーブル５）のみ、列方向に駆動する構成としているが、第２の保持機構にも駆動機構を設けて、第１及び第２の保持機構の両方を交互に列方向に進退させるような構成としてもよい。
また、上記基板ホルダー収納チャンバ―は、基板ホルダー８の真空保管、脱ガスのために用いているが、これに限らず、基板の脱ガスや隣室へ導入まで待機させる目的で、基板が搭載された状態の基板ホルダー８を収納する装置として使用してもよい。

また、上記実施形態では、可動式テーブル５を動かすことで、可動式テーブル５内の基板ホルダー８の列方向位置を変更する構成としているが、図１１（ａ）に示すように、可動式テーブル５を動かすことで、分離機構７における基板ホルダー８の列方向配置を変更するようにしてもよい。この動作は、図１１に示すように、動作シーケンスを変更するだけで実現可能である。図１１は、基板ホルダー８搬出時に搬送マグネット２３側に詰める場合のシーケンス例を示す。なお、この場合、可動式テーブル５の最大保持可能数（溝５１ａ数）を分離機構７における最大保持可能数よりも小さく（搬送機構２０による１回の搬送数分だけ小さく）することが好ましい。また、列方向に駆動する可動式テーブルの列方向長さを短くできるので、更なる省スペース化が可能である。

搬送機構 ２０
駆動源 ２１
回転方向変換機構 ２２
搬送マグネット ２３
移載機構 ３０
搬送ローラ ３１
搬送ベース ３２
駆動軸 ３３
駆動装置 ３４
ヒータ ４
可動式テーブル ５
テーブル本体 ５１
溝 ５１ａ
駆動機構 ５２
ナット ５２ａ
案内部 ５２ｂ
コントローラ ６
分離機構 ７
ユニット ７Ａ,７Ｂ
保持部 ７１Ａ
水平部 ７１１ａ
区画部材 ７１２ａ
駆動部 ７２Ａ
基板ホルダー ８
基板 ８１
マグネット ８２
支持爪 ８３
突出部 ８４

Claims (2)

1. 基板を保持するための基板ホルダーを収納可能な基板ホルダー収納チャンバであって、
   前記基板の厚さ方向に沿って複数の基板ホルダーを並べて保持可能な複数の第１部材と、
   前記第１部材に保持される基板ホルダーを前記基板の厚さ方向へ移動させる移動機構と、
   前記基板ホルダーの移動方向前方に配され、前記第１部材から前記移動機構によって移動してきた前記基板ホルダーを、前記基板の側方に沿ってチャンバ外へ搬送させる搬送機構と、
   を備え、
   複数の前記第１部材は並列に配置され、前記搬送機構を共用している
   ことを特徴とする基板ホルダー収納チャンバ。
2. 前記基板ホルダーは前記基板を鉛直方向に保持し、前記移動機構は前記基板を鉛直方向に保持した状態で移動することを特徴とする請求項１に記載の基板ホルダー収納チャンバ。

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