JP2010084229A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 基板を保持するための基板ホルダーを収納可能な基板ホルダー収納チャンバであって、
   前記基板の厚さ方向に沿って複数の基板ホルダーを列状に並べて保持可能な第１部材と、
   前記第１部材に保持される基板ホルダーを前記列方向へ移動させる移動機構と、
   前記第１部材の列方向前方に配され、基板の側方に沿ってチャンバ外へ基板ホルダーを搬送させる搬送機構と、
   を備えることを特徴とする基板ホルダー収納チャンバ。
2. 前記第１部材が２つ並列に設けられ、
   前記第１部材に対応する２つの前記搬送機構が相互に接続されて共通の搬送経路を構成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板ホルダー収納チャンバ。
3. 前記搬送機構は、基板の両側方向への基板ホルダーの搬送が可能なものであり、
   前記移動機構は、列方向の前後へ基板ホルダーを移動可能なものであり、
   基板ホルダーのチャンバ外への供給及びチャンバ外からの基板ホルダーの回収が可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板ホルダー収納チャンバ。
4. 前記移動機構は、その移動を介して、チャンバ外へ搬出した数分だけ前記第１部材に保持される基板ホルダーを前記第１部材の前記搬送機構側へ移動させるものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板ホルダー収納チャンバ。
5. 前記第１部材の下方又は上方に設けられ、複数の基板ホルダーを保持可能な第２部材と、
   前記第１部材を列方向に沿って、前記第２部材よりも前方へ駆動可能な前記移動機構としての駆動装置と、
   を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板ホルダー収納チャンバ。
6. 基板ホルダー収納チャンバは、基板に対して処理を実行する処理チャンバに接続されるもので、
   前記搬送機構は、前記処理チャンバにおける搬送機構と同一の搬送機構であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の基板ホルダー収納チャンバ。