JP2012018706A - 半導体メモリ - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 133
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 10
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 101100481702 Arabidopsis thaliana TMK1 gene Proteins 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】 本発明の半導体メモリは、行列状に配列され、電荷を蓄積可能な複数のメモリセルを備えたメモリセルアレイ100と、メモリセルアレイの行方向のメモリセルを選択する行選択手段と、行選択手段によって選択されたメモリセルに書込みパルスを印加することによってデータの書込みを行う書込み制御手段とを有する。書込み制御手段は、時間的に連続する少なくとも第1および第2の書込みパルスP1、P2を印加するとき、第2の書込みパルスP2は、第1の書込みパルスP1の電圧よりも低い低電圧幅部分VpgmLと、第1の書込みパルスの電圧よりも高い高電圧幅部分VpgmHとを有する。
【選択図】 図9
Description
110:入出力バッファ 120:アドレスレジスタ
130:コントローラ 140:ワード線駆動回路
150:センスアンプ回路 160:列制御回路
170:内部電圧発生回路
Claims (8)
- 行列状に配列され、電荷を蓄積可能な複数のメモリセルを備えたメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイの行方向のメモリセルを選択する行選択手段と、
前記行選択手段によって選択されたメモリセルに書込みパルスを印加することによってデータの書込みを行う書込み制御手段とを有し、
前記書込み制御手段は、時間的に連続する少なくとも第1および第2の書込みパルスを選択されたメモリセルに印加するとき、第2の書込みパルスは、第1の書込みパルスの電圧よりも低い低電圧幅部分と、第1の書込みパルスの電圧よりも高い高電圧幅部分とを有する、半導体メモリ。 - 前記第1の書込みパルスが、相対的に電圧が異なる低電圧幅部分と高電圧幅部分を有するとき、前記第2の書込みパルスの低電圧幅部分の電圧は、前記第1の書込みパルスの高電圧幅部分の電圧よりも低い、請求項1に記載の半導体メモリ。
- 前記書込み制御手段は、低電圧幅部分と高電圧幅部分を有する書込みパルスを複数回印加するとき、高電圧幅部分と低電圧幅部分の負の差電圧、および低電圧幅部分と高電圧幅部分の正の差電圧を変化させることができる、請求項1または2に記載の半導体メモリ。
- 前記高電圧幅部分は、選択されたメモリセルへの電荷の蓄積が飽和するのに十分な時間期間を有する、請求項1ないし3いずれか1つに記載の半導体メモリ。
- 前記書込み制御手段は、前記第1の書込みパルスを印加後、前記第2の書込みパルスの印加前の期間において、選択されたメモリセルのしきい値が所望の範囲内にあるか否かのベリファイを少なくとも1回実行する、請求項1ないし4いずれか1つに記載の半導体メモリ。
- 前記書込み制御手段は、多値データを記憶可能なメモリセルに複数のしきい値を設定する、請求項1ないし5いずれか1つに記載の半導体メモリ。
- 前記メモリセルは、半導体基板上に電荷蓄積領域と当該電荷蓄積領域に容量的に結合されたゲートとを含み、当該ゲートに書込みパルスを印加することによって前記電荷蓄積領域に電荷を蓄積する、請求項1ないし6いずれか1つに記載の半導体メモリ。
- メモリセルアレイは、NAND型のメモリセルアレイ構造を有する、請求項1ないし7いずれか1つに記載の半導体メモリ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010153979A JP5522682B2 (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 半導体メモリ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010153979A JP5522682B2 (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 半導体メモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012018706A true JP2012018706A (ja) | 2012-01-26 |
JP5522682B2 JP5522682B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=45603862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010153979A Active JP5522682B2 (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 半導体メモリ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5522682B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5992983B2 (ja) | 2014-12-03 | 2016-09-14 | ウィンボンド エレクトロニクス コーポレーション | 不揮発性半導体記憶装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010510616A (ja) * | 2006-11-16 | 2010-04-02 | サンディスク コーポレイション | 不揮発性メモリのソフトプログラミングにおける制御されたブースト |
JP2010512610A (ja) * | 2006-12-12 | 2010-04-22 | サンディスク コーポレイション | 早期ソース側ブーストを用いた不揮発性記憶装置におけるプログラム妨害の低減 |
-
2010
- 2010-07-06 JP JP2010153979A patent/JP5522682B2/ja active Active
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JP2007188593A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Sharp Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその書き込み方法 |
JP2010510616A (ja) * | 2006-11-16 | 2010-04-02 | サンディスク コーポレイション | 不揮発性メモリのソフトプログラミングにおける制御されたブースト |
JP2010512610A (ja) * | 2006-12-12 | 2010-04-22 | サンディスク コーポレイション | 早期ソース側ブーストを用いた不揮発性記憶装置におけるプログラム妨害の低減 |
JP2009266356A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Toshiba Corp | Nand型フラッシュメモリ |
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---|---|
JP5522682B2 (ja) | 2014-06-18 |
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